JP5992517B2 - センサ・ハウジングに対して振動板を連結するための方法 - Google Patents
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Description
2 取付け構造体
3 冷却通路
4 ハウジング
5 測定素子
6 ハウジング・リング表面
7 振動板
8 圧力パッド
9 可撓性領域
10 振動板リング表面
11 共通外方エッジ
12 共通内方エッジ
13 第1の連結部位
14 第2の連結部位
15 突出部
16 くぼみ部
17 インサート
18 端面
P 圧力、圧力又は力(矢印)の方向の指定を伴う圧力チャンバ
a 連結部位から内方共通エッジまでの距離
c 2つの連結部間の距離
d 外方エッジからの連結部の連結深さ
Claims (13)
- 圧力センサ又は力センサ(1)のハウジング(4)に対して振動板(7)を連結するための方法において、
完成した前記センサ(1)が展開されると、前記振動板(7)に対して作用する外部荷重を記録することが可能である測定素子(5)を、前記ハウジング(4)内に取り付ける段階と、
前記ハウジング(4)のハウジング・リング表面(6)と前記振動板(7)の振動板リング表面(10)との間に、前記センサー(1)が展開されると圧力にさらされる第1の連結部(13)と第2の連結部(14)とを製作するために、前記振動板リング表面(10)の反対側に、前記ハウジング・リング表面(6)を配置する段階と、
を含み、
第1に、前記ハウジング・リング表面(6)と前記振動板リング表面(10)との間の内方領域に前記第1の連結部(13)を作製する段階と、 これらの表面(6、10)を、前記第1の連結部(13)の半径方向外側において相互に当接させる段階と、
続いて、前記ハウジング・リング表面(6)と前記振動板リング表面(10)との間に前記第2の連結部(14)を作製する段階であって、
前記第2の連結部(14)は、前記第1の連結部(13)の半径方向外側において外方共通エッジ(11)まで、前記ハウジング(4)及び前記振動板(7)を相互に連結し、
規定された連結深さdが、前記第1の連結部(13)、及び前記第2の連結部(14)の2つの連結部全体について維持される段階と、
を特徴とする、
方法。 - ハウジング(4)と、前記ハウジング(4)に連結される振動板(7)とを備える圧力センサ又は力センサ(1)において、
前記ハウジング(4)に取り付けられる測定素子(5)であって、完成した前記センサ(1)が展開されると、前記振動板(7)に対して作用する外部荷重を記録することが可能である測定素子(5)と、
前記ハウジング(4)のハウジング・リング表面(6)と前記振動板(7)の振動板リング表面(10)との間に、前記センサー(1)が展開されると圧力にさらされる第1の連結部(13)と第2の連結部(14)とを製作するために、前記振動板リング表面(10)の反対側に、配置される前記ハウジング・リング表面(6)と、
を備え、
前記第1の連結部(13)は、前記ハウジング・リング表面(6)と前記振動板リング表面(10)との間の内方領域に製作され、これらの表面(6、10)は、前記第1の連結部(13)の半径方向外側において相互に当接され、
前記第2の連結部(14)は、前記ハウジング・リング表面(6)と前記振動板リング表面(10)との間に作製され、
前記第2の連結部(14)は、前記第1の連結部(13)の半径方向外側において外方共通エッジ(11)まで、前記ハウジング(4)及び前記振動板(7)を相互に連結し、
規定された連結深さdが、前記第1の連結部(13)、及び前記第2の連結部(14)の2つの連結部全体について維持されることを特徴とする、
圧力センサ又は力センサ(1)。 - 展開時に、前記センサ(1)の前記振動板(7)は、内燃機関の燃焼チャンバに露出されることが意図されることを特徴とする、請求項2に記載の圧力センサ又は力センサ(1)。
- 内側における前記連結部(13、14)の前記連結深さdは、前記ハウジング・リング表面(6)及び前記振動板リング表面(10)の共通内方エッジ(12)まで延在しないことを特徴とする、請求項2又は3に記載の圧力センサ又は力センサ(1)。
- 前記第2の連結部(14)は、前記第1の連結部(13)よりも内方に深く貫入しないことを特徴とする、請求項2から4までのいずれか一項に記載の圧力センサ又は力センサ(1)。
- 前記第2の連結部(14)は、距離cが前記2つの連結部(13、14)間に残るように、前記第1の連結部(13)よりも深くは貫入しないことを特徴とする、請求項2から5までのいずれか一項に記載の圧力センサ又は力センサ(1)。
- 前記第1の連結部(13)は、はんだ継手、ろう付け継手、溶接継手、抵抗溶接継手、接着継手、又は熱圧着継手であることを特徴とする、請求項2から6までのいずれか一項に記載の圧力センサ又は力センサ(1)。
- 突出部(15)が、前記ハウジング・リング表面(6)の上又は前記振動板リング表面(10)の上に構成され、前記突出部(15)に対して、前記第1の連結部(13)が、環状突出溶接部として抵抗溶接により形成されることを特徴とする、請求項2から7までのいずれか一項に記載の圧力センサ又は力センサ(1)。
- 少なくとも1つのくぼみ部(16)が、前記突出部(15)の付近に設けられ、溶接プロセスの過程において、前記くぼみ部(16)内に、前記突出部(15)の溶接材料が収集されることを特徴とする、請求項8に記載の圧力センサ又は力センサ(1)。
- 前記第1の連結部(13)は、くぼみ部(16)内に挿入されたインサート(17)による抵抗溶接(13)により形成されることを特徴とする、請求項2から9までのいずれか一項に記載の圧力センサ又は力センサ(1)。
- 前記第2の連結部(14)は、レーザ溶接継手、電子ビーム溶接継手、アルゴンアーク法により溶接された継手、タングステン不活性ガス溶接継手(TIG)、保護ガス溶接継手、又は接着継手であることを特徴とする、請求項2から10までのいずれか一項に記載の圧力センサ又は力センサ(1)。
- 前記振動板(7)は、可撓性ゾーン(9)により囲まれた中央圧力パッド(8)を有し、
展開時に、前記測定素子(5)は、前記圧力パッド(8)のたわみにより前記振動板(7)に対する圧力P又は外部力を判定すること
を特徴とする、請求項2から11までのいずれか一項に記載の圧力センサ又は力センサ(1)。 - 前記測定素子(5)は、前記圧力又は前記力を圧電的に、圧電抵抗的に、又は光学的に記録することが可能であることを特徴とする、請求項2から12までのいずれか一項に記載の圧力センサ又は力センサ(1)。
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CH394637A (de) * | 1963-04-05 | 1965-06-30 | Kistler Instrumente Ag | Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Messwandlers |
US4597151A (en) * | 1980-02-04 | 1986-07-01 | Solartron Electronics, Inc. | Fluid pressure transmitting diaphragm assembly and method of manufacture |
AU597052B2 (en) | 1986-03-19 | 1990-05-24 | Secretary Of State For Defence In Her Britannic Majesty's Government Of The United Kingdom Of Great Britain And Northern Ireland, The | Flextensional transducers |
EP0259523A1 (en) | 1986-09-11 | 1988-03-16 | Philips S.p.A. | Apparatus for dynamic statistical weighing of vehicles and/or for counting the axles of trucks or lorries |
JPH03125937A (ja) * | 1989-10-11 | 1991-05-29 | Yamatake Honeywell Co Ltd | ダイヤフラムの溶接方法 |
US5265481A (en) | 1990-12-19 | 1993-11-30 | Kistler Instrumente Ag | Force sensor systems especially for determining dynamically the axle load, speed, wheelbase and gross weight of vehicles |
US5501111A (en) | 1990-12-09 | 1996-03-26 | Kistler Instrumente Ag | Force sensor systems especially for determining dynamically the axle load, speed, wheelbase and gross weight of vehicles |
CH683714A5 (de) | 1990-12-19 | 1994-04-29 | Kk Holding Ag | Kraftsensoranordnung, insbesondere zur dynamischen Achslast-, Geschwindigkeits-, Achsabstands- und Gesamtgewichtsbestimmung von Fahrzeugen. |
CH689599A5 (de) | 1993-11-23 | 1999-06-30 | Kk Holding Ag | Aufnehmer-Anordnung zum Einbau in Fahrbahnen zwecks Erfassung der Gewichte und/oder der fahrdynamischen Reaktionen von Fahrzeugrädern. |
USD386431S (en) | 1994-10-19 | 1997-11-18 | Smc Kabushiki Kaisha | Frame for pressurized fluid-operating devices |
USD373738S (en) | 1994-10-19 | 1996-09-17 | Smc Kabushiki Kaisha | Frame for pressurized fluid-operating devices |
USD370424S (en) | 1994-10-19 | 1996-06-04 | Smc Kabushiki Kaisha | Frame for pressurized fluid-operating devices |
USD386702S (en) | 1994-10-19 | 1997-11-25 | Smc Kabushiki Kaisha | Frame for pressurized fluid-operating devices |
USD370423S (en) | 1994-10-19 | 1996-06-04 | Smc Kabushiki Kaisha | Frame for pressurized fluid-operating devices |
JPH08159900A (ja) * | 1994-12-05 | 1996-06-21 | Fuji Electric Co Ltd | 圧力センサ用感圧ダイアフラムの製造方法 |
US5717390A (en) | 1995-03-20 | 1998-02-10 | Hasselbring; Richard E. | Doppler-radar based automatic vehicle-classification system |
DE19626083C2 (de) * | 1996-06-28 | 2000-03-23 | Siemens Ag | Sensor-Bauelement |
CH692965A5 (de) | 1997-07-16 | 2002-12-31 | Kk Holding Ag | Anordnung zum Messen des Reifendrucks von rollenden Fahrzeugen. |
US6459050B1 (en) | 1999-09-20 | 2002-10-01 | Ut-Battelle, Inc. | Method and appartus for converting static in-ground vehicle scales into weigh-in-motion systems |
WO2002008712A1 (de) | 2000-07-26 | 2002-01-31 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Kapazitiver drucksensor |
USD469886S1 (en) | 2001-05-30 | 2003-02-04 | Harry Barnett | Extrusion or similar article |
WO2003071242A1 (en) | 2002-02-22 | 2003-08-28 | Gebert Ruediger Heinz | Weight sensor accessory |
JP3824964B2 (ja) * | 2002-05-17 | 2006-09-20 | 長野計器株式会社 | 絶対圧型圧力センサ |
JP4019977B2 (ja) * | 2003-02-28 | 2007-12-12 | 株式会社デンソー | 圧力検出装置 |
JP4020014B2 (ja) * | 2003-05-26 | 2007-12-12 | 株式会社ジェイテクト | 圧力センサ |
JP2005106528A (ja) | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Toyoda Mach Works Ltd | 圧力センサ及びその製造方法 |
JP2005207875A (ja) | 2004-01-22 | 2005-08-04 | Denso Corp | 圧力センサ |
US7423225B1 (en) | 2004-11-09 | 2008-09-09 | Intercomp Company | Weigh in motion technology |
USD550861S1 (en) | 2006-06-19 | 2007-09-11 | Iph International Pty Ltd | Section |
DE102006057627A1 (de) * | 2006-12-05 | 2008-06-12 | Robert Bosch Gmbh | Druckmesseinrichtung |
JP4719727B2 (ja) * | 2007-09-05 | 2011-07-06 | 長野計器株式会社 | 圧力センサの製造方法および圧力センサ |
JP2010019828A (ja) * | 2008-06-11 | 2010-01-28 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサー用ダイアフラムおよび圧力センサー |
CH699668A1 (de) * | 2008-10-09 | 2010-04-15 | Kistler Holding Ag | Sensormembrane. |
CN101498610B (zh) * | 2008-12-19 | 2010-12-22 | 北京布莱迪仪器仪表有限公司 | 一种隔膜装置制造方法及隔膜装置和隔膜式压力表 |
CH702257A1 (de) * | 2009-11-25 | 2011-05-31 | Kistler Holding Ag | Drucksensor. |
US8304670B2 (en) | 2010-03-26 | 2012-11-06 | Ut-Battelle, Llc | Portable weighing system with alignment features |
CN201716150U (zh) * | 2010-04-28 | 2011-01-19 | 雷彼得 | 有金属陶瓷电热体的内燃机气缸压力传感器 |
DE102011008346A1 (de) * | 2011-01-12 | 2012-07-12 | Hydac Electronic Gmbh | Vorrichtung zum Wandeln einer Kraft oder eines Drucks in ein elektrisches Signal und Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung |
CA145461S (en) | 2011-11-07 | 2013-05-30 | Kistler Holding Ag | Hollow profile extrusion |
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