KR101958502B1 - 다이아프램을 센서 하우징에 연결하는 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 다이아프램(7)을 압력 또는 힘 센서(1)의 하우징(4)에 연결하는 방법에 관한 것으로, 측정 요소(5)는 완제품 센서(1)가 작동하는 동안 외부로부터 다이아프램(7)에 작용하는 부하를 측정할 수 있다. 하우징(4)의 하우징 링 표면(6)은 다이아프램(7)의 다이아프램 링 표면(10)에 마주하여 두 표면(6, 10) 사이에 센서(1)의 작동 중에 부하에 의한 압축 부하에 영향을 받는 연결(13, 14)을 형성하도록 위치한다. 본 발명에 따르면, 먼저 제1 연결(13)이 표면(6, 10)이 상기 제1 연결의 외부에서 방사상으로 서로 마주보게 놓일 때까지 하우징 링 표면(6)과 다이아프램 링 표면(10) 사이의 내부 영역에서 형성된다. 그리고나서 제2 연결(14)이 하우징 링 표면(6)과 다이아프램 링 표면(10) 사이에서 형성되는데, 제2 연결은 하우징(4)과 다이아프램(7)을 공통 외부 모서리(11)까지 제1 연결(13)의 외부에서 방사상으로 서로 연결한다.

Description

다이아프램을 센서 하우징에 연결하는 방법{Method for Connecting a Diaphragm to a Sensor Housing}

본 발명은 다이아프램을 압력 또는 힘 센서 하우징에 연결하는 방법에 관한 것으로, 측정 요소는 상기 하우징 내에 설치되는데, 상기 요소는 완성된 센서가 사용될 때, 상기 다이아프램에 작용하는 외부 부하를 기록할 수 있으며, 상기 하우징의 하우징 링 표면은 표면 사이에서 연결을 이루도록 상기 다이아프램의 다이아프램 링 표면에 반대하여 위치한다.

압력 및 힘 센서는 다양한 형태로 널리 사용되고 있다. 이러한 센서가 사용되는 분야에 따라, 센서는 반드시 개별 조건이 적용되어야 한다. 많은 센서가 센서 하우징에 설치되는 다이아프램을 구비하고 있으며, 이러한 다이아프램의 연결에 의하여 센서는 강하게 실링(sealing)이 된다. 예를 들어, 적합한 사용에 있어 이러한 다이아프램은 압력 챔버에 노출된다. 압력에 의하여 발생한 부하는 다이아프램에 작용하는데, 다이아프램의 휘어짐에 의하여 측정 요소에의 신호를 궁극적으로 발생시키며, 이 측정 요소는 압력의 방향에서 보이는 다이아프램의 후방에서 하우징 내에 위치한다.

그러나, 하우징에 작용하는 외부 부하에 영향을 줄 수 없지만 예를 들어 열 응력 또는 설치과정에서 발생하는 응력에 의하여 발생하는 휘어짐이 다이아프램에 발생하면, 측정 요소에 오류 신호가 발생한다. 특히, 이는 프론트-실링(front-sealing) 센서에 대한 경우가 될 수 있다. 이는 컴포넌트의 전면의 외부에 위치한다. 설치에 의하여 발생하는 전면 다이아프램에의 응력을 제거하기 위하여, 쇼울더-실링(shoulder-sealing) 센서가 구체화된다. 이러한 센서에서, 센서의 전체 전면은 부하, 즉 압력 챔버 또는 힘의 영향에 노출된다. 이러한 센서의 한 예로 스위스 특허 제702257호를 들 수 있다. 하우징의 공통 면에 다이아프램이 하우징에 용접된다.

적합한 사용에 있어, 두 경우에서의 부하는 다이아프램의 중앙 부분에 작용하는데, 부하에 의해 다이아프램이 휘어지며, 또한 설계에 따라서, 다이아프램의 측면, 즉 외부 가장자리에 더 강하게 또는 더 약하게 작용한다. 이러한 다이아프램의 측면 가장자리 부분 뒤에, 압력이나 힘의 방향이 발생하는 것과 같이, 다이아프램과 하우징의 연결은 센서 설계에 의하여 위치가 결정된다. 측정 요소가 예비 부하에 영향을 받게 하기 위해, 이러한 연결에는 그것이 발생하는 것에 따라 종종 장력이 걸리도록 한다. 적합한 사용에 있어서, 다이아프램에 작용하는 외부 부하는 이러한 장력에 반대하여 작용하고, 부하의 크기에 따라 이러한 연결에 압력을 발생시킨다.

스위스 특허 제394637호에서, 예비 부하가 걸리는 측정 요소에 대하여 언급하고 있다.

미국 특허 제4,597,151호에서, 압력 센서의 굴곡진 다이아프램이 중앙 압력 패드 및 또한 측면 지지 벽면 모두에 용접되는 것으로 언급되고 있다. 비대칭 효과를 방지하기 위하여, 굴곡진 부분이 시작되는 부분의 주위에 2차 용접이 다이아프램 지지부의 내부 모서리에 적용된다. 어떠한 센서는 짧은 시간의 온도 변화, 예를 들어 이러한 센서의 전면 다이아프램이 내연기관의 압력 챔버에 노출되는 경우에 심각한 영향을 받는다. 이러한 환경에서는 다이아프램은 쉽게 가열되고, 이 열이 다이아프램과 하우징의 연결 부위를 통해 전달되어, 온도 평형에 이를 때까지 하우징과 주변 컴포넌트의 다른 부재에 까지 열이 전달되거나, 그렇지 않더라도 다음번 연소에서 다이아프램의 온도가 다시 상승하게 한다.

다이아프램과 하우징의 온도차이로 인하여 측정 요소의 측정 값에 오류가 발생하는데, 이를 감지하기란 쉽지 않다. 다이아프램에서 하우징으로의 열전달은 이러한 컴포넌트 사이의 연결에 의하여 심각하게 좌우된다. 연결이 잘 되어 있을 수록, 열전달은 더욱 잘 일어난다. 하지만, 열적인 특성 및/또는 같은 크기의 센서의 민감도가 매우 적다면 이는 문제가 된다. 그리하여 강한 온도 변화가 있을 때의 센서 작동 특성을 측정하거나 감시하는 것이 불가능해 진다.

종래기술에서, 다이아프램과 하우징의 연결은 용접에 의하여 이루어지는데, 하우징과 다이아프램의 공통 외부 모서리에 레이저 용접 접합이 일반적으로 적용된다. 연결 깊이는 레이저 장비의 개별 파라미터에 의존하는데, 하지만 이는 급속 에이징에 영향을 받는다. 그렇기에 이러한 파라미터를 항상 확인하고 재조정할 필요가 있다. 연결 깊이가 너무 깊어서 하우징의 내부에 도달하면 센서는 용접 공정에서 열이 투과하기 때문에 손상을 입는다. 연결 깊이가 너무 얕으면 연결이 잘 되지 않음으로 다이아프램으로부터 하우징으로의 열전도가 충분하게 보장되지 않는다.

본 발명의 목적은 앞서 설명한 압력 또는 힘 센서의 하우징과 다이아프램 사이의 연결 방법에 의하여 짧은 시간의 온도 변화에도 센서의 정의된 특성(a defined characteristic of the sensor)을 나타내도록 하는 방법을 구체화 하는 것에 있다.

본 발명의 목적은 청구항 제1항의 특징에 의하여 달성될 수 있다. 나아가 유용한 방법이 종속항에 기술되어 있다.

본 발명에 내재되어 있는 사상은 연결이 정의된 연결 깊이(a defined connection depth)를 가지는 것을 전제로 하고 있다. 여기서 연결 깊이는 연결이 연속적이거나 단속적이거나에 상관없이 가장 안쪽 연결의 가장 안쪽 끝으로부터 가장 바깥쪽 연결의 가장 바깥쪽 끝까지의 전체 영역으로 정의된다. 이러한 연결은 같은 크기의 모든 센서에 정확하게 규정되어야 하고 재현 가능하도록 유지되어야 한다.

연구에 의하면, 다이아프램에 작용하는 열응력과 다이아프램의 휘어짐은 센서 특성에 심각한 영향을 주는 것으로 알려져 있다. 열응력과 다이아프램의 휘어짐은 이러한 연결에서의 연결 깊이에 궁극적으로 의존하게 된다.

다이아프램과 하우징 사이의 연결에 대한 같은 연결 깊이와 같은 크기를 갖는 센서는 내연기관의 연소 챔버와 같이 큰 온도 변화에 영향을 받는 압력 챔버에 노출되는 경우에 같은 반응을 나타낸다. 하지만, 연결 깊이가 센서에서 센서까지 변한다면, 센서의 측정값은 같은 조건에서도 크게 증가할 수 있다.

본 발명의 방법에 의하면 연결 깊이가 정의되는 것이 보장된다. 이러한 방법에 따르면, 제1 연결은 하우징 링 표면과 다이아프램 링 표면 사이의 내부 영역에서 이러한 표면들이 제1 연결의 방사상 외부로 서로 마주보며 인접할 때까지 첫 단계로 형성된다. 연속적으로, 제2 연결은 하우징 링 표면과 다이아프램 링 표면 사이에서 형성되는데, 이 제2 연결은 제1 연결의 방사상 외부로 공통 외부 모서리까지 하우징과 다이아프램을 서로 연결한다. 이러한 방법으로 정의된 연결 깊이는 두 번의 연결 모두(the whole double connection)에 대해 유지된다.

하우징 링 표면과 다이아프램 링 표면이 제2 연결이 이러한 표면들 사이에서 형성되기 전에 제1 연결의 방사상 외부로 어떠한 공극도 없이 서로 마주보며 인접한 경우에 센서의 반복 재현이 가능하다는 것이 개시된다.

본 발명은 압력 또는 힘 센서의 하우징과 다이아프램 사이의 연결 방법에 의하여 짧은 시간의 온도 변화에도 센서의 정의된 특성을 나타내도록 하는 발명의 효과를 갖는다.

본 발명은 아래 첨부된 도면을 참조로 하여 더욱 상세하게 설명된다.
도 1은 구조체에 설치된 센서의 단면을 나타내는데, 센서는 압력 챔버에 노출되어 있다;
도 2는 연결 전의 센서 컴포넌트의 단면을 나타내고 있다;
도 3은 제1 연결 이후에 준비 중의 센서 단면을 나타낸다;
도 4는 두 연결이 이루어진 센서의 단면을 나타내고 있다;
도 5a는 하나의 대체 기구에서의 연결 부분의 영역에서 연결 이전의 센서 컴포넌트의 단면을 나타내고 있다;
도 5b는 다른 대체 기구에서의 연결 부분의 영역에서 연결 이전의 센서 컴포넌트의 단면을 나타내고 있다;
도 6은 연결 부분의 영역에서 제1 연결 이후에 준비 중의 센서 단면을 나타낸다;
도 7a는 연결 부분의 영역에서의 두 연결이 이루어진 센서 단면을 나타낸다;
도 7b는 하나의 대체 구체예에서 연결 부분의 영역에서 두 연결이 이루어진 센서 단면을 나타낸다.

모든 도면에서 동일한 부호 표시는 항상 동일한 구성요소와 동일한 상황을 나타낸다. 도 1은 설치 구조체(2)에 설치되는 본 발명에 따른 센서(1)의 단면을 나타내고 있는데, 센서는 내연기관과 같은 압력 챔버(P)에 노출되어 있다. 바람직하게 압력 센서인 센서(1)의 전체 단부 면(18)은 압력 챔버(P)나 힘과 같은 외부 부하에 노출되어 있다.

이러한 센서는 도 4에서 도식적으로 나타내고 있다. 여기에서 단부 면(18)은 다이아프램(7)에 의하여 형성된다. 다이아프램은 중앙 압력 패드(8), 압력 패드(8) 외측으로 인접하는 유연성 환형 영역(9), 및 이 영역(9)의 외측으로 인접하는 다이아프램 링을 포함하는데, 압력으로부터 멀어지는 측(on the side facing away from the pressure)에 다이아프램 링 표면(10)이 구비된다.

이 다이아프램(7)의 뒤에 센서(1)의 하우징(4)이 위치하는데, 하우징은 다이아프램(7)과 단단히 연결되어 있다. 하우징 내에 측정 요소(5)가 위치하는데, 측정 요소는 다이아프램의 휘어짐에 의하여 신호나 측정값을 기록하여 다이아프램(7)에 작용하는 외부부하와 관련된 결과물, 즉 예를 들어 압력 챔버(P) 내의 압력값을 도출해낼 수 있게 한다. 측정 요소(5)는 바람직하게 압전, 압전 저항, 또는 광학 측정 요소(5)이다. 본 발명의 센서(1)가 적용될 때, 다이아프램(7)과 하우징(4) 사이의 연결은 또한 항상 다이아프램의 외부 측으로부터 작용하는 부하에 노출된다. 본 발명의 센서(1)는 쇼울더-실링 또는 프론트-실링(front-sealing)으로 구성될 수 있다.

설치 구조체(2)는 특히 냉각 통로(3)를 가질 수 있는데, 이는 예컨대 내연기관에서 엔진 블록의 경우와 유사하다. 이러한 냉각 통로(3)는 히트 싱크인데, 열이 빠르게 통과할 수 있기 때문이다. 센서(1)의 하우징(4)과 설치 구조체(2)가 잘 연결되어야 그로인해 하우징(4)의 온도가 유사하게 냉각된다.

도 2는 본 발명의 연결 이전에 센서 컴포넌트의 단면을 나타낸다; 이들은 다이아프램(7)과 하우징(4)를 포함하며, 측정 요소(5)는 하우징에 구비된다. 다이아프램(7)은 중앙에 위치한 압력 패드(8)를 포함하는데, 압력 패드는 유연성 영역(9)에 의해 둘러싸여져 있다. 압력 방향에서 멀어지는 측에는 다이아프램 링이 방사상 외부 영역에 위치하고, 다이아프램 링 표면(10)은 하우징(4)에 포함되는 하우징 링 표면(6)에 대향하여 위치한다. 여기서 센서(1)는 그 구성요소들에 비하여 매우 단순한 방법으로 표현되어 있고, 여기서는 본 발명의 구체예를 위하여 중요한 특징이 한정되어 있다.

압력 또는 힘 센서(1)의 하우징(4)에 다이아프램(7)을 연결하는 본 발명에 대하여 기술하기로 한다. 측정 요소(5)를 갖는 하우징(4)과 다이아프램(7)은 도 2에 도시된 바와 같이, 하우징 링 표면(6)과 다이아프램 링 표면(10)이 서로 대향되게 위치하도록 함께 나타내고 있다. 이후에, 제1 연결(13)이 하우징 링 표면(6)과 다이아프램 링 표면(10) 사이의 방사상 내부 영역에서 상기 표면(6, 10)이 이러한 제1 연결의 방사상 외측으로 서로 마주보며 인접할 때 까지 형성된다. 도 3은 이러한 첫번째 과정 이후의 미완성된 센서(1)를 나타내고 있다. 도 6에서 이러한 연결의 영역은 동일한 중간 상태를 다시 확대하여 도시하고 있다.

하우징 링 표면(6)과 다이아프램 링 표면(10)의 두 표면은 이제 포개지고 공통 외부 모서리(11)와 공통 내부 모서리(12)를 형성한다. 이들을 분리하는 선에 제1 연결 부분(13)이 위치하는데, 제1 연결 부분은 이들 둘을 다이아프램(7)과 하우징(4) 모두에게로 확장되며, 공통 외부 모서리(11)로부터 떨어져 위치한다. 제1 연결 부분(13)은 또한 바람직하게 공통 내부 모서리(12)로부터 거리 a 만틈 떨어져서 위치한다. 이를 통해 센서(1)의 내부가 제1 연결이 용접일 경우, 센서(1)의 제조 시에 과잉 열에 영향 받지 않도록 한다.

제1 연결(13)의 적용 후에, 다이아프램 링 표면(10)과 하우징 링 표면(6)은 서로 마주보며 평평하여야 하고 가능하면 공극이 없어야 하는데, 이렇게 해야만 다이아프램(7)이 하우징(7)에 비스듬히 부착됨으로써 후에 측정이 잘못 되지 않기 때문이다.

제1 연결(13)으로부터 이후에는, 제2 연결(14)이 하우징 링 표면(6)과 다이아프램 링 표면(10) 사이의 제1 연결의 방사상 외측에 형성된다. 제2 연결은 하우징(4)과 다이아프램(7)을 공통 외부 모서리(11)까지 서로 연결한다.

도 4는 제2 용접(14)의 적용 이후에 완성된 상태의 센서(1)를 나타낸다. 도 7a 및 7b는 연결(13, 14)의 영역에서 완성된 센서의 일부 두 부분의 단면을 두 개의 다른 구체예로서 나타내고 있다. 이러한 도 4 및 도 7에서, 연결 깊이 d는 두 연결 영역(13, 14)을 포함하는 영역으로 표현되고 있다. 여기서, 두 연결 영역(13, 14)은 도 7a에서와 같이 서로 겹칠 수 있지만, 이들은 이격 거리 c 만큼 서로 떨어져 있어도 좋다. 두 가지 경우에 있어서 연결 깊이 d는 같은데, 이는 연결 깊이가 연결 부분(13, 14)의 전체 영역을 포함하고, 이들 사이의 가능한 이격 거리 c를 모두 포함하기 때문이다. 본 발명에 따르면, 정의된 연결 깊이 d가 두 번의 연결(13, 14) 모두에 대하여 유지되고 있다. 그러나 제2 연결(14)은 제1 연결(13) 보다 내부로 더 깊이 통과(penetrate)할 수 없는데, 이는 그렇게 되면 연결 깊이 d가 변경되기 때문이다.

본 발명에 따르면, 제1 연결(13)은 납땜 연결, 브레이즈(brazed) 연결, 용접 연결, 저항 용접 연결, 접착 연결, 또는 열 압축 접착 연결일 수 있다. 이러한 방법에 의하여 제1 연결(13)이 직접 액세스되지 않더라도 형성될 수 있다.

돌출부(15)는 바람직하게 하우징 링 표면(6)에 또는 다이아프램 링 표면(10)에 위치하는데, 돌출부 상에서 제1 연결(13)이 환형 돌출부 용접으로써 저항 용접에 의하여 제1 연결(13)이 수행된다. 이러한 돌출부(15)의 주위에 최소한 하나의 오목부(16)가 바람직하게 제공되며, 여기서 돌출부(15)의 용접 물질이 용접 공정에 따라서 수집될 수 있도록 한다. 이는 도 2 및 도 5a에 도시되어 있는데, 도 5a에서 오목부(16)는 돌출부(15)와 마주보도록 위치한다. 반면 도 2에서는 동일한 컴포넌트에서 나란히 위치한다. 이러한 방법으로 제1 연결 후에 제1 연결(13)에서 불필요한 물질이 하우징 링 표면(6)과 다이아프램 링 표면(10)이 서로 인접하게 되는 것을 방해하는 현상이 일어나지 않도록 한다. 여기서 각 경우에 언급된 돌출부(15)와 오목부(16)는 둥글거나 각지도록 특히 어떠한 형태로든 변경이 가능하고, 하우징(4)이나 다이아프램(7) 어느 것에도 형성될 수 있다. 각 경우에 도시된 것은 단지 하나의 변형예에 불과하고 이는 본 발명의 효과를 제한하는 것이 아니다.

한편, 도 5b에 도시된 바와 같이, 제1 연결(13)은 오목부(16)에 삽입되는 삽입체(17)를 수단으로 하는 저항 용접에 의하여 수행될 수 있다. 여기서 오목부(16)은 용접 공정 후에 블필요한 물질이 돌출하는 것이 없도록 적용될 수 있다.

제2 연결(14)은 특히 레이저 용접 연결, 전기 빔 용접 연결, 아르곤 아크 방법에 따른 용접 연결, 텅스텐 비활성 기체 용접(TIG), 보호 가스 용접 연결, 또는 접착 연결일 수 있다.

이러한 연결 부분은 외측부(11)로부터 접근이 가능하고, 따라서 통과 깊이가 제1 연결만큼 크지 않는 한 중요하지 않으며, 그리고 통과 깊이 d에 대하여 규정된 값을 초과하지 않는다.

이러한 방법에 의하여 동일 유형의 직렬의 센서 연결이 형성될 수 있는데, 이를 통해 심각한 온도 변화에 노출될 경우에도 적은 양의 손실된 측정 값을 전달할 수 있다.

1: 센서, 압력센서 2: 설치 구조체
3: 냉각 통로 4: 하우징
5: 측정 요소 6: 하우징 링 표면
7: 다이아프램 8: 압력 패드
9: 유연성 영역 10: 다이아프램 링 표면
11: 공통 외부 모서리 12: 공통 내부 모서리
13: 제1 연결 부분 14: 제2 연결 부분
15: 돌출부 16: 오목부
17: 삽입체 18: 단부 면
P: 압력, 압력 또는 힘의 방향(화살표)으로 설명되는 압력 챔버
a: 연결 부분에서 공통 내부 모서리까지의 거리
c: 두 연결 사이의 거리
d: 외부 모서리로부터 연결의 연결 깊이

Claims (12)

1. 다이아프램(7)을 압력 또는 힘 센서(1)의 하우징(4)에 연결하는 방법에 있어서,
   측정 요소(5)는 상기 하우징(4) 내에 설치되고, 상기 측정 요소는 완성된 상기 센서(1)가 사용될 때 상기 다이아프램(7)에 작용하는 외부 부하를 기록할 수 있고,
   상기 하우징(4)에 포함되는 하우징 링 표면(6)은, 상기 다이아프램(7)에 포함되는 다이아프램 링 표면(10)에 마주보도록 위치하여 상기 하우징 링 표면(6) 및 상기 다이아프램 링 표면(10) 사이에 제1 연결(13) 및 제2 연결(14)을 포함하는 연결이 형성되도록 하고, 상기 제1 연결(13) 및 제2 연결(14)을 포함하는 연결은 상기 센서(1)가 사용될 때 압력을 받게 되며,
   먼저, 상기 제1 연결(13)은 상기 하우징 링 표면(6) 및 상기 다이아프램 링 표면(10)이 상기 제1 연결의 외부에서 방사상으로 서로 마주보며 인접할 때까지 상기 하우징 링 표면(6)과 상기 다이아프램 링 표면(10) 사이의 내부 영역에 형성되고,
   이후에, 상기 제2 연결(14)은 상기 하우징 링 표면(6)과 상기 다이아프램 링 표면(10) 사이에 형성되는데, 상기 제2 연결은 상기 하우징(4)과 상기 다이아프램(7)을 상기 제1 연결(13)의 외부에서 방사상으로 서로 연결하되, 상기 하우징 링 표면(6) 및 상기 다이아프램 링 표면(10)의 공통 외부 모서리(a common outer edge; 11)까지 연결하며,
   상기 제1 연결(13) 및 제2 연결(14)을 포함하는 연결에 있어서 가장 안쪽 끝으로부터 가장 바깥쪽 끝까지의 전체 영역으로 정의되는 연결 깊이 d는 상기 제1 연결(13) 및 제2 연결(14)을 포함하는 연결 전체에 대하여 유지되는 것을 특징으로 하는 다이아프램을 센서 하우징에 연결하는 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 센서(1)의 상기 다이아프램(7)은 내연 기관의 연소 챔버에 노출되도록 적용되는 것을 특징으로 하는 다이아프램을 센서 하우징에 연결하는 방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 연결 깊이 d는, 상기 하우징 링 표면(6)과 상기 다이아프램 링 표면(10)의 공통 내부 모서리(a common inner edge; 12)까지는 연장되지 않는 것을 특징으로 하는 다이아프램을 센서 하우징에 연결하는 방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 제2 연결(14)은 상기 제1 연결(13) 보다 내부로 더 깊이 통과(penetrate)하지 않는 것을 특징으로 하는 다이아프램을 센서 하우징에 연결하는 방법.
5. 제1항에 있어서, 상기 제1 연결(13) 및 상기 제2 연결(14)이 서로 거리 c만큼 떨어져 있도록, 상기 제2 연결(14)은 상기 제1 연결(13) 보다 덜 통과(penetrate)되는 것을 특징으로 하는 다이아프램을 센서 하우징에 연결하는 방법.
6. 제1항에 있어서, 상기 제1 연결(13)은 납땜 연결, 브레이즈 연결, 용접 연결, 저항 용접 연결, 접착 연결, 또는 열 압축 접착 연결인 것을 특징으로 하는 다이아프램을 센서 하우징에 연결하는 방법.
7. 제1항에 있어서, 돌출부(15)는 제1 연결(13)이 환형 돌출 용접으로서 저항 용접에 의하여 상기 돌출부에 수행되도록 하우징 링 표면(6) 또는 다이아프램 링 표면(10) 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 다이아프램을 센서 하우징에 연결하는 방법.
8. 제7항에 있어서, 최소한 하나의 오목부(16)가 상기 돌출부(15)의 근처에 위치하여 그 내부로 용접 공정에서 상기 돌출부(15)의 용접 물질이 수집되는 것을 특징으로 하는 다이아프램을 센서 하우징에 연결하는 방법.
9. 제8항에 있어서, 상기 제1 연결(13)은 상기 오목부(16)에 삽입되는 삽입체(17)를 수단으로 하여 저항 용접(13)에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 다이아프램을 센서 하우징에 연결하는 방법.
10. 제1항에 있어서, 상기 제2 연결(14)은 레이저 용접 연결, 전자 빔 용접 연결, 아르곤 아크 용접 연결, 텅스텐 비활성 기체 용접 연결(TIG), 보호가스 용접 연결, 또는 접착 연결인 것을 특징으로 하는 다이아프램을 센서 하우징에 연결하는 방법.
11. 제1항에 있어서, 상기 다이아프램(7)은, 유연성 영역(9)에 의하여 둘러싸여 있는 중앙 압력 패드(8)와 상기 유연성 영역(9)의 외측으로 인접하는 다이아프램 링을 포함하고, 압력으로부터 멀어지는 측(on the side facing away from the pressure)에 상기 다이아프램 링 표면(10)이 구비되며,
    상기 측정 요소(5)가 사용되면, 상기 압력 패드(8)가 휘어짐에 의하여 상기 다이아프램(7) 상에 작용하는 압력 P 또는 외부 힘을 측정하는 것을 특징으로 하는 다이아프램을 센서 하우징에 연결하는 방법.
12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 측정 요소(5)는 압전, 압전 저항, 또는 광학적인 방법으로 상기 압력 또는 힘을 기록하는 것을 특징으로 하는 다이아프램을 센서 하우징에 연결하는 방법.

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