JP5992270B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態に係る研削装置の一例を示す斜視図である。図2は、本発明の実施の形態に係る研削装置の一例を示す模式図である。図1に示すように、研削装置1は、チャックテーブル3と研削ユニット6(研削手段)とを相対回転させることにより、チャックテーブル3が保持するウエーハWを研削するとともに、押圧ローラ7で押圧されるウエーハWの外周部を粉砕し、粉砕されたウエーハWの破片を回収ボックス9内に回収するように構成されている。
まず、図2に示すように、ウエーハWの凹部Wcが形成された裏面11b側をチャックテーブル3の保持面3aで吸引保持する。そして、押圧ローラ7の側面部がチャックテーブル3に保持されたウエーハWの外周部に接触し、外周部を押し付けるような位置に、押圧ローラ7を配置する。このとき、押圧ローラ7による押し付け圧は、ウエーハWの外周部を粉砕する際に起きる振動がウエーハWの研削に影響することを防ぐため、研削砥石6dの研削荷重よりも若干強い押し付け圧であることが好ましい。
2 基台
2a 開口部
21 テーブル支持台
22 防塵カバー
3 チャックテーブル
3a 保持面
3b 吸引源
4 研削水供給手段
4a 研削水供給路
4b 研削水供給源
4c 研削水吐出口
5A,5B コラム
6 研削ユニット
6a スピンドル
6b ホイールマウント
6c 研削ホイール
6d 研削砥石
61 研削送り手段
7 押圧ローラ
71 支持部
72 押圧部
72a ピストン
8 吐出部
8a 流体供給路
8b 流体供給源
8c 流体吐出口
9 回収ボックス
9a 排気口
10 回収ボックス上下手段
10a ピストン
11a 吸引口
11b 吸引源
12 制御部
Claims (3)
- 円盤状ワークの外周部に凹部が形成されたウエーハで、該凹部の深さはウエーハの仕上げ厚み以上で、該凹部が形成された面側を吸引して保持させる保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルの中心を軸に回転させるチャック回転手段と、研削砥石を環状に配置させた研削ホイールを回転可能に装着させ該チャックテーブルが保持するウエーハを研削する研削手段と、
から少なくとも構成される研削装置であって、
該ウエーハの該外周部を押圧させる押圧ローラと、該押圧ローラを該ウエーハの該外周部に接近および離反させると共に該押圧ローラの側面をウエーハの該外周部に押圧させる押圧部と、該押圧ローラの中心軸を回転軸として回転可能に支持する支持部と、を備え、
該押圧部によって該押圧ローラの側面をウエーハの外周部に押圧させた状態で、該チャックテーブルを該チャック回転手段で回転させ、該押圧ローラがウエーハの該外周部を粉砕させることを特徴とする研削装置。 - 該押圧ローラで粉砕したウエーハ外周部を回収させる回収ボックスと、該回収ボックスを該チャックテーブルの該保持面に接近および離反させる上下手段と、粉砕したウエーハを吹き飛ばす流体吐出口を含む吐出部と、を備えていて、
該流体吐出口は該チャックテーブルの径方向に外周に向かって流体が吐出するように方向付けられていて、該流体吐出口から吐出される流体が該粉砕したウエーハ外周部を該回収ボックスで回収させることを特徴とする請求項1記載の研削装置。 - 該押圧ローラを該回収ボックスに配設させ、該回収ボックスを該上下手段で該チャックテーブルに接近させる該回収ボックスの下降動作によってウエーハの外周部に該押圧ローラの側面を押圧させることを特徴とする請求項2記載の研削装置。
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