JP5988898B2 - 砥石及びその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 48
- 239000004575 stone Substances 0.000 title claims description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 126
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 126
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 74
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 62
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 57
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 37
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 51
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 28
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 28
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 10
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 6
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 4
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 4
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 4
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 3
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- NPNPZTNLOVBDOC-UHFFFAOYSA-N 1,1-difluoroethane Chemical compound CC(F)F NPNPZTNLOVBDOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical class O=C(CCNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- -1 butyl lactone Chemical class 0.000 description 2
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N molybdenum disulfide Chemical compound S=[Mo]=S CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052982 molybdenum disulfide Inorganic materials 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)-N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]pyrimidine-5-carboxamide Chemical class C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C(=O)NCCC(N1CC2=C(CC1)NN=N2)=O VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLZOPXRUQYQQID-UHFFFAOYSA-N 3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-1-[4-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]propan-1-one Chemical class N1N=NC=2CN(CCC=21)CCC(=O)N1CCN(CC1)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F YLZOPXRUQYQQID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N Dimethoxyethane Chemical compound COCCOC XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004088 foaming agent Substances 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
図1Aは、本発明の実施の形態1に係る砥石を示す上面図である。また、図1Bは、図1AのA−A断面図である。図1A及び図1Bに示すように、実施の形態1に係る砥石1は、台座10と、該台座10に載置された複数(例えば3つ)の成形体11〜13とを備える。
まず、工程S1において、研磨材が樹脂によって結着された複合粉体を、樹脂含有率を変えて複数種類作製する。図3は、複合粉体の作製工程の詳細を示すフローチャートである。
まず、図6Aに示すように、粉体成形用の型121に複合粉体111を配置する。型121は、図1Aに示す成形体13を作製するための型であり、成形体13に対応する内径及び外径の円筒状をなすキャビティ122が内部に設けられている。
続いて、図6Bに示すように、型121の開口から上パンチ124を挿入し、図6Cに示すように、複合粉体111に荷重をかけて圧縮成形を行う。それにより、複合粉体111からなる圧粉体133が得られる。
次に、本発明の実施の形態1の変形例1−1について説明する。
図11Aは、変形例1−1に係る砥石を示す上面図であり、図11Bは、図11AのB−B断面図である。図11A及び図11Bに示すように、変形例1−1に係る砥石2は、台座10と、互いに異なる樹脂含有率を有する複数(例えば3つ)の成形体21〜23を備える。
次に、本発明の実施の形態1の変形例1−2について説明する。
図12Aは、変形例1−2に係る砥石を示す上面図であり、図12Bは、図12AのC−C断面図である。図12A及び図12Bに示すように、変形例1−2に係る砥石3は、台座10と、樹脂含有率が互いに異なる複数の(例えば3つ)成形体31〜33とを備える。
次に、本発明の実施の形態1の変形例1−3について説明する。
図13Aは、変形例1−3に係る砥石を示す上面図であり、図13Bは、図13AのD−D断面図である。図13A及び図13Bに示すように、変形例1−3に係る砥石4は、台座10と、該台座10の載置面10a上に載置された複数の成形体11A、12A、12B、13A〜13Cを備える。成形体11Aと、成形体12A、12Bと、成形体13A〜13Cとの間では樹脂含有率が互いに異なっている。
上記実施の形態1及び変形例1−1〜1−3においては、各成形体の形状を円柱状又は円筒状としたが、各成形体の形状は、互いに中心軸を一致させて載置面10a上に載置することができれば、これらの形状に限定されない。例えば、中心軸と直交する面における断面が三角形、四角形、五角形、六角形といった多角形状をなす中空の柱状(筒状)や、円筒の一部を高さ方向に沿って切り欠いた柱状(断面がC字をなす柱状)であっても良い。また、載置面10aの中心部に載置される成形体については、三角柱、四角柱、五角柱、六角柱といった多角柱状としても良いし、円柱の一部を切り欠いた柱状としても良い。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。
図14Aは、本発明の実施の形態2に係る砥石を示す上面図であり、図14Bは、図14AのE−E断面図である。図14A及び図14Bに示すように、実施の形態2に係る砥石5は、台座50と、該台座50に載置された複数の成形体51〜53を備える。
まず、図15Aに示すように、粉体成形用の型201に複合粉体202を配置する。型201は、図14Aに示す成形体51〜53を作製するための型であり、成形体51〜53に対応する径の円柱状をなすキャビティ203が内部に設けられている。
本工程S2においては、このようにして、樹脂含有率が互いに異なる3種類の圧粉体を作製する。
次に、本発明の実施の形態2の変形例2−1について説明する。
図20Aは、変形例2−1に係る砥石を示す上面図であり、図20Bは、図20AのF−F断面図である。図20A及び図20Bに示すように、変形例2−1に係る砥石6は、台座50と、該台座50の載置面50a上に載置された複数の成形体61〜63を備える。
次に、本発明の実施の形態2の変形例2−2について説明する。
図21Aは、変形例2−2に係る砥石を示す上面図であり、図21Bは、図21AのG−G断面図である。図21A及び図21Bに示すように、変形例2−2に係る砥石7は、台座50と、該台座50の載置面50a上に載置された複数の成形体71〜73を備える。
上記実施の形態2並びに変形例2−1及び2−2においては、各載置領域(例えば、図14Aに示す載置領域50−1〜50−3)に成形体を1周にわたって載置した。しかしながら、1つの載置領域に複数の成形体を2周以上にわたって載置しても良い。
上記実施の形態2及び変形例2−1〜2−3において用いられる各成形体の形状は、円柱状に限定されない。例えば、三角柱、四角柱、五角柱、六角柱といった多角柱状としても良いし、円柱の一部を切り欠いた柱状としても良い。
上記実施の形態1、2及びこれらの変形例1−1〜2−4においては、砥石の加工面を凹球面状としたが、加工面の形状は、回転対称形状であれば凹球面状に限定されない。例えば、凸球面状や非球面状であっても良いし、平面状であっても良い。
1a、2a、3a、5a、6a、7a 加工面
10、50 台座
10−1〜10−3、50−1〜50−3、60−1〜60−3、70−1〜70−3 載置領域
10a、50a 載置面
11〜13、11A、12A、12B、13A〜13C、21〜23、31〜33、51〜53、61〜63、71〜73、141〜143、221〜223 成形体
11a、12a、13a、21a、22a、23a、31a、32a、33a、51a、52a、53a、61a、62a、63a、71a、72a、73a 端面
100 樹脂
101 研磨材
111、112、202 複合粉体
121、201 型
122、203 キャビティ
123 粉体噴射ノズル
124、204 上パンチ
131〜133、211〜213 圧粉体
134、214 加熱装置
150、230 ダイヤモンドカップホイール
160、240 ラップ皿
Claims (21)
- 平面状又は曲面状をなす載置面を有する台座と、
樹脂に研磨材を分散させた第1の複合材により形成され、前記載置面内の周回りに一連の輪帯状をなす領域に載置された少なくとも1つの第1の成形体を含む第1の研磨部と、
樹脂に研磨材を分散させた第2の複合材であって、前記樹脂の含有率が前記第1の複合材における前記樹脂の含有率よりも低い第2の複合材により形成され、前記載置面の前記領域の内周側に載置された少なくとも1つの第2の成形体を含み、前記第1の研磨部との間に隙間が設けられている第2の研磨部と、
を備えることを特徴とする砥石。 - 前記第1の成形体は筒状をなし、
前記第2の成形体は柱状又は筒状をなし、前記第1の成形体と同軸状に載置されていることを特徴とする請求項1に記載の砥石。 - 前記第1及び第2の成形体の中心軸と直交する面において、前記第1の成形体の厚みは、前記第2の成形体の半径又は厚みとは異なることを特徴とする請求項2に記載の砥石。
- 平面状又は曲面状をなす載置面を有する台座と、
樹脂に研磨材を分散させた第1の複合材により形成され、前記載置面内の輪帯状をなす領域に載置された少なくとも1つの第1の成形体を含む第1の研磨部と、
樹脂に研磨材を分散させた第2の複合材であって、前記樹脂の含有率が前記第1の複合材における前記樹脂の含有率よりも低い第2の複合材により形成され、前記載置面の前記領域の内周側に載置された少なくとも1つの第2の成形体を含む第2の研磨部と、
を備え、
前記第1の成形体は筒状をなし、
前記第2の成形体は柱状又は筒状をなし、前記第1の成形体と同軸状に載置されており、
前記第1及び第2の成形体の中心軸と直交する面において、前記第1の成形体の厚みは、前記第2の成形体の半径又は厚みよりも大きいことを特徴とする砥石。 - 前記第1の研磨部と前記第2の研磨部とは、互いに隙間を空けて設けられていることを特徴とする請求項4に記載の砥石。
- 前記第1及び/又は第2の研磨部は、互いに同軸状に載置された複数の第1及び/又は第2の成形体を含むことを特徴とする請求項2〜5のいずれか1つに記載の砥石。
- 平面状又は曲面状をなす載置面を有する台座と、
樹脂に研磨材を分散させた第1の複合材により形成され、前記載置面内の輪帯状をなす領域に載置された少なくとも1つの第1の成形体を含む第1の研磨部と、
樹脂に研磨材を分散させた第2の複合材であって、前記樹脂の含有率が前記第1の複合材における前記樹脂の含有率よりも低い第2の複合材により形成され、前記載置面の前記領域の内周側に載置された少なくとも1つの第2の成形体を含む第2の研磨部と、
を備え、
前記第1の成形体は筒状をなし、
前記第2の成形体は柱状又は筒状をなし、前記第1の成形体と同軸状に載置されており、
前記第1及び第2の成形体を含み、互いに同軸状に載置された複数の成形体を備え、
前記複数の成形体のうち、互いに隣り合う任意の2つの成形体間の距離は、該2つの成形体の内周側において互いに隣り合う別の任意の2つの成形体間の距離よりも短いことを特徴とする砥石。 - 前記第1の研磨部と前記第2の研磨部とは、互いに隙間を空けて設けられていることを特徴とする請求項7に記載の砥石。
- 前記第1及び第2の成形体の中心軸と直交する面において、前記第1の成形体の厚みは、前記第2の成形体の半径又は厚みとは異なることを特徴とする請求項7又は8に記載の砥石。
- 前記第1の成形体の厚みは、前記第2の成形体の半径又は厚みよりも大きいことを特徴とする請求項9に記載の砥石。
- 前記第1及び/又は第2の研磨部は、互いに同軸状に載置された複数の第1及び/又は第2の成形体を含むことを特徴とする請求項7〜10のいずれか1項に記載の砥石。
- 前記第1の研磨部は、各々が柱状に成形され、前記領域に離散的に載置された複数の第1の成形体を含み、
前記第2の研磨部は、柱状に成形された少なくとも1つの第2の成形体を含むことを特徴とする請求項1に記載の砥石。 - 前記複数の第1の成形体の各々の前記柱状の高さ方向と直交する面の大きさは、前記少なくとも1つの第2の成形体の前記大きさとは異なることを特徴とする請求項12に記載の砥石。
- 前記複数の第1の成形体の各々の前記大きさは、前記少なくとも1つの第2の成形体の前記大きさよりも大きいことを特徴とする請求項13に記載の砥石。
- 平面状又は曲面状をなす載置面を有する台座と、
樹脂に研磨材を分散させた第1の複合材により形成され、前記載置面内の輪帯状をなす領域に載置された少なくとも1つの第1の成形体を含む第1の研磨部と、
樹脂に研磨材を分散させた第2の複合材であって、前記樹脂の含有率が前記第1の複合材における前記樹脂の含有率よりも低い第2の複合材により形成され、前記載置面の前記領域の内周側に載置された少なくとも1つの第2の成形体を含む第2の研磨部と、
を備え、
前記第1の研磨部は、各々が柱状に成形され、前記領域に離散的に載置された複数の第1の成形体を含み、
前記第2の研磨部は、各々が柱状に成形された複数の第2の成形体を含み、
前記第1の研磨部において互いに隣り合う2つの第1の成形体間の距離は、前記第2の研磨部において互いに隣り合う2つの第2の成形体間の距離よりも短いことを特徴とする砥石。 - 前記第1の研磨部と前記第2の研磨部とは、互いに隙間を空けて設けられていることを特徴とする請求項15に記載の砥石。
- 前記複数の第1の成形体の各々の前記柱状の高さ方向と直交する面の大きさは、前記少なくとも1つの第2の成形体の前記大きさとは異なることを特徴とする請求項15又は16に記載の砥石。
- 前記複数の第1の成形体の各々の前記大きさは、前記少なくとも1つの第2の成形体の前記大きさよりも大きいことを特徴とする請求項17に記載の砥石。
- 樹脂に研磨材を分散させた第1の複合材からなる少なくとも1つの第1の成形体を作製する第1成形体作製工程と、
樹脂に研磨材を分散させた第2の複合材であって、前記樹脂の含有率が前記第1の複合材における前記樹脂の含有率よりも低い第2の複合材からなる少なくとも1つの第2の成形体を作製する第2成形体作製工程と、
平面状又は曲面状をなす載置面を有する台座に対し、前記載置面内の周回りに一連の輪帯状をなす領域に前記少なくとも1つの第1の成形体を載置し、前記領域の内周側に前記第1の成形体と離間して前記少なくとも1つの第2の成形体を載置する成形体載置工程と、
前記少なくとも1つの第1及び第2の成形体の前記載置面との当接面と反対側の端面を研削又は研磨することにより、研磨対象物を研磨可能な加工面を形成する加工面形成工程と、
を含むことを特徴とする砥石の製造方法。 - 樹脂に研磨材を分散させた第1の複合材からなる少なくとも1つの第1の成形体を作製する第1成形体作製工程と、
樹脂に研磨材を分散させた第2の複合材であって、前記樹脂の含有率が前記第1の複合材における前記樹脂の含有率よりも低い第2の複合材からなる少なくとも1つの第2の成形体を作製する第2成形体作製工程と、
平面状又は曲面状をなす載置面を有する台座に対し、前記載置面内の輪帯状をなす領域に前記少なくとも1つの第1の成形体を載置し、前記領域の内周側に前記少なくとも1つの第2の成形体を載置する成形体載置工程と、
前記少なくとも1つの第1及び第2の成形体の前記載置面との当接面と反対側の端面を研削又は研磨することにより、研磨対象物を研磨可能な加工面を形成する加工面形成工程と、
を含み、
第1成形体作製工程は、筒状をなす前記第1の成形体を作製し、
第2成形体作製工程は、柱状又は筒状をなす前記第2の成形体を作製し、
前記成形体載置工程は、前記少なくとも1つの第1及び第2の成形体を同軸状に載置することを特徴とする砥石の製造方法。 - 第1成形体作製工程は、柱状をなす前記第1の成形体を複数作製し、
第2成形体作製工程は、柱状をなす前記第2の成形体を少なくとも1つ作製し、
前記成形体載置工程は、前記領域に複数の前記第1の成形体を離散的に載置することを特徴とする請求項19に記載の砥石の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013044746A JP5988898B2 (ja) | 2013-03-06 | 2013-03-06 | 砥石及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
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JP2014172106A JP2014172106A (ja) | 2014-09-22 |
JP5988898B2 true JP5988898B2 (ja) | 2016-09-07 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP (1) | JP5988898B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6378626B2 (ja) * | 2014-12-17 | 2018-08-22 | オリンパス株式会社 | 光学素子の加工用工具および光学素子の製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0727754U (ja) * | 1993-10-22 | 1995-05-23 | 鐘紡株式会社 | 研磨加工用装置 |
JP2680271B2 (ja) * | 1994-09-26 | 1997-11-19 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 両頭平面研削砥石 |
JP3956048B2 (ja) * | 2001-01-16 | 2007-08-08 | 株式会社ニコン | 砥石ペレット、砥石、これらの製造方法、砥石を用いた光学素子の製造方法、及び投影露光装置の製造方法 |
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2013
- 2013-03-06 JP JP2013044746A patent/JP5988898B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014172106A (ja) | 2014-09-22 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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