JP5987818B2 - レーザ加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、レーザ加工装置に関するものである。

従来より、レーザ加工装置に関し種々提案されている。
例えば、下記特許文献１に記載されるレーザマーキング装置では、それぞれ独立した筐体を有するメインユニット、レーザ出射ユニット、及びレーザ照射ユニットを備えている。メインユニット内には、装置全体を制御する制御部とレーザ光を発振する発振部とが収容されている。メインユニットは、レーザ出射ユニットに対して後側から光ファイバケーブルを介して接続されている。

一方、レーザ照射ユニットは、レーザ出射ユニットに対してメインユニットとは反対側となる前側から着脱可能に直接接続されている。そして、レーザ照射ユニットにおけるレーザ出射ユニットが接続される接続部の上側には、メインユニットの制御部から延びる電気ケーブルが着脱自在に接続される２個の接続端子部が設けられている。この接続端子部は、レーザ照射ユニット内に配置されたガルバノモータと電気的に接続されるように構成され、制御部によってガルバノモータが駆動制御されるように構成されている。

また、下記特許文献２に記載されるマニホールドでは、電磁弁に対する端子台を有するマニホールドベースが互いに連結されて、配線カバーで覆われている。また、各端子台は、端子台毎に個別に密閉的に覆う防塵ないし防水用の保護カバーと、この保護カバーに形成され、該保護カバー内の端子台に接続された配線がシールされて取り出される配線取出孔とを備えている。また、端子台に対する作業用窓が保護カバーに開設され、この作業用窓が開閉蓋によって開閉自在に密閉されるように構成されている。

特開２０１２−７６１０３号公報 実開平５−５７５４７号公報

しかしながら、前記した特許文献１に記載されたレーザマーキング装置では、レーザ照射ユニットの２個の接続端子部は、レーザ照射ユニットの外側の外気中に突出している。そのため、２個の接続端子部や、メインユニットの制御部から延びる電気ケーブルの接続端子部に接続される部分には、埃や雰囲気中のオイルミスト等が付着する。その結果、レーザ出射ユニットとレーザ照射ユニットとの着脱を繰り返した場合には、電気ケーブルと接続端子部との接続部分に付着した埃やオイルミスト等によって、導通不良などが発生する虞がある。また、各接続端子部に付着した埃やオイルミスト等が、この接続端子部からレーザ照射ユニット内に入って、ガルバノミラーやｆθレンズ等に付着する虞がある。

また、前記した特許文献２に記載されたマニホールドでは、端子台を密閉的に覆う保護カバー毎に作業用窓が開設され、各作業窓が開閉蓋によって開閉自在に密閉されているため、配線作業時には、各開閉蓋を個別に開放して配線作業をする必要がある。そのため、複数の端子台の配線を行う場合には、配線作業が煩雑になるという問題がある。また、複数の配線をまとめて配置し、且つ、複数の配線を着脱作業するためのスペースが必要となり、小型化が難しいという問題がある。

そこで、本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、複数のケーブルを電気的に接続する着脱可能なコネクタの導通不良を防止できると共に、複数のコネクタの着脱作業を容易に行うことができるレーザ加工装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するため請求項１に係るレーザ加工装置は、レーザ媒質を有して、励起レーザを受光した前記レーザ媒質が励起されて、パルスレーザを出射する発振器と、前記発振器から出射された前記パルスレーザを走査する走査部と、前記発振器と前記走査部を外気と気密に遮断するように密閉状態で収納する筐体と、前記筐体内に配設された複数の配線ケーブルと、前記発振器に光学的に接続されて該発振器に向けて前記励起レーザを導くファイバケーブルと、前記走査部の駆動電力を供給する電源ケーブルを含み、外部から前記筐体内に挿入されて、それぞれ該筐体内で着脱可能なコネクタを介して前記複数の配線ケーブルと電気的に接続される複数の電気ケーブルと、前記発振器を前記筐体内で支持する支持部材と、前記支持部材が取り付けられる前記筐体内の取付面に対して反対側の該筐体の内側面と前記発振器との間に配置されて、前記複数の電気ケーブルの前記コネクタを保持するコネクタ保持部と、を備え、前記発振器は、前記筐体内において、前記パルスレーザの出射方向である第１方向の一方側に配置され、前記筐体は、前記発振器と前記走査部とが配置された本体ベースと、前記本体ベース上に配置された前記発振器と前記走査部と前記コネクタ保持部を覆うように取り付けられたカバー部材と、前記コネクタ保持部の前記コネクタが配置される配置面に相対向して前記カバー部材に開設された第１開口部を外気と気密に閉塞する蓋部材と、前記発振器の前記第１方向の前記一方側の端面に相対向するように前記カバー部材に開設された第２開口部を外気と気密に閉塞すると共に、前記ファイバケーブルと前記複数の電気ケーブルを挿入可能に構成される挿入部と、を有することを特徴とする。

また、請求項２に係るレーザ加工装置は、請求項１に記載のレーザ加工装置において、前記コネクタ保持部は、前記複数の電気ケーブルが前記第１方向に沿って配置されるように該複数の電気ケーブルの前記コネクタを保持することを特徴とする。

また、請求項３に係るレーザ加工装置は、請求項２に記載のレーザ加工装置において、前記コネクタ保持部は、前記複数の電気ケーブルを挟むように少なくとも２個配置される複数の配線用開口部と、前記複数の配線用開口部のうち、２個の配線用開口部に挿通された状態で前記複数の電気ケーブルを結束して該コネクタ保持部上に固定する少なくとも１つの結束部材と、を有することを特徴とする。

また、請求項４に係るレーザ加工装置は、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のレーザ加工装置において、前記発振器と前記コネクタ保持部との間に配置されて、前記発振器から前記コネクタ保持部への熱伝導を断熱する断熱部材を備えたことを特徴とする。

また、請求項５に係るレーザ加工装置は、請求項２乃至請求項４のいずれかに記載のレーザ加工装置において、前記挿入部は、前記ファイバケーブルと前記複数の電気ケーブルが挿通されるケーブル挿通孔を有し、前記コネクタ保持部の前記配置面に対して垂直な方向において、前記ケーブル挿通孔の内周面のうち、前記第１開口部側の端縁部分は、前記配置面よりも前記第１開口部に近い位置に形成されていることを特徴とする。

また、請求項６に係るレーザ加工装置は、請求項５に記載のレーザ加工装置において、前記発振器は、前記第１方向の前記一方側の端面に設けられて、前記ファイバケーブルが光学的に接続されるファイバケーブル接続部を有し、前記ファイバケーブル接続部は、前記ケーブル挿通孔の内周面よりも内側の位置に対向するように配置されていることを特徴とする。

また、請求項７に係るレーザ加工装置は、請求項５又は請求項６に記載のレーザ加工装置において、前記挿入部は、前記ケーブル挿通孔を閉塞すると共に、前記ファイバケーブルと前記複数の電気ケーブルの外周面に密着して、前記ファイバケーブルと前記複数の電気ケーブルを保持する弾性部材を有することを特徴とする。

また、請求項８に係るレーザ加工装置は、請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のレーザ加工装置において、前記発振器は、前記筐体内の前記コネクタ保持部の前記配置面に平行で、前記第１方向に交差する第２方向において一方側に配置されていることを特徴とする。

また、請求項９に係るレーザ加工装置は、請求項８に記載のレーザ加工装置において、前記第1開口部は、前記コネクタ保持部の前記配置面に相対向するように前記第２方向において前記一方側に開設され、前記蓋部材は、前記第１開口部を外気と気密に閉塞するように前記第２方向において前記一方側に配設されていることを特徴とする。

また、請求項１０に係るレーザ加工装置は、請求項８又は請求項９に記載のレーザ加工装置において、前記第２開口部は、前記発振器の前記第１方向の前記一方側の端面に相対向するように前記第２方向において前記一方側に開設され、前記挿入部は、前記第２開口部を外気と気密に閉塞するように前記第２方向において前記一方側に配設されていることを特徴とする。

更に、請求項１１に係るレーザ加工装置は、請求項８乃至請求項１０のいずれかに記載のレーザ加工装置において、前記走査部を駆動するドライバを備え、前記ドライバは、前記筐体内の前記第２方向において他方側に、前記発振器に対向して配置され、前記コネクタ保持部の前記配置面は、前記第１方向及び第２方向に対して直交する第３方向において、前記ドライバの前記蓋部材側の端面よりも前記取付面側に位置することを特徴とする。

請求項１に係るレーザ加工装置では、発振器に励起レーザを導くファイバケーブルは、発振器に光学的に接続されている。走査部の駆動電力を供給する電源ケーブルを含む複数の電気ケーブルは、外部から筐体内に挿入されて、それぞれ筐体内で着脱可能なコネクタを介して筐体内に配設された配線ケーブルと電気的に接続されている。複数の電気ケーブルのコネクタは、発振器を支持する支持部材が取り付けられる筐体内の取付面に対して反対側の筐体の内側面と発振器との間に配置されたコネクタ保持部に保持されている。

また、筐体は、発振器と走査部とが配置された本体ベースと、本体ベース上に配置された発振器と走査部とコネクタ保持部を覆うように取り付けられたカバー部材とから構成されている。また、蓋部材は、コネクタ保持部のコネクタが配置される配置面に相対向するようにカバー部材に開設された第１開口部を気密に閉塞している。更に、挿入部は、発振器のパルスレーザの出射方向である第１方向の一方側の端面に相対向するようにカバー部材に開設された第２開口部を気密に閉塞すると共に、ファイバケーブルと複数の電気ケーブルを挿入可能に構成されている。

これにより、電源ケーブルを含む複数の電気ケーブルと筐体内に配設された配線ケーブルを電気的に接続する着脱可能なコネクタは、筐体内に配置されたコネクタ保持部に保持され、外気と気密に遮断されるため、外気中の埃やオイルミスト等がコネクタに付着して発生する導通不良を確実に防止することができる。また、ファイバケーブルと複数の電気ケーブルは、挿入部から筐体内へ挿入されるため、外気中の埃やオイルミスト等が挿入部から筐体内へ入ることを確実に防止することができる。

また、カバー部材から蓋部材を取り外すことによって、第１開口部を介して複数の電気ケーブルのコネクタの着脱操作を行うことが可能となり、複数のコネクタの着脱作業、及び、複数の電気ケーブルのコネクタ保持部への取り付け作業を容易に行うことができる。また、複数の電気ケーブルのコネクタをコネクタ保持部に保持させることによって、筐体内の複数の電気ケーブルと配線ケーブルの引き回しを容易に整列することができる。

また、ファイバケーブルと複数の電気ケーブルを挿入部から外部に引き出すことができ、外部への配線引き出しを容易に行うことが可能となる。また、発振器を支持する支持部材が配置される本体ベースの取付面に対して反対側のカバー部材の内側面と支持部材との間に、コネクタ保持部を配置することによって、筐体内の空間を有効に活用することが可能となり、筐体の小型化、つまり、レーザ加工装置の小型化を図ることができる。

また、発振器を、筐体内の本体ベース上において、パルスレーザの出射方向である第１方向の一方側に配置し、ファイバケーブルと複数の電気ケーブルを筐体内へ挿入する挿入部が、発振器の第１方向の一方側の端面に相対向するようにカバー部材に開設された第２開口部を閉塞するように設けられる。これにより、筐体の第１方向の小型化を容易に図ることができる。また、ファイバケーブルと複数の電気ケーブルを筐体内へ挿入する挿入部を、第１方向において、発振器及びコネクタ保持部に相対向するように設けることができ、ファイバケーブルと複数の電気ケーブルをほぼ直線状に外部へ引き出すことが可能となる。

また、請求項２に係るレーザ加工装置では、コネクタ保持部上に、複数の電気ケーブルが発振器の出射方向である第１方向に並んで配置されるため、ユーザは、第１開口部を介してコネクタの着脱作業を連続して容易に行うことができる。

また、請求項３に係るレーザ加工装置では、複数の電気ケーブルは、発振器の出射方向である第１方向に並んで配置された状態で、結束部材によってコネクタ保持部上に結束して固定することができ、複数の電気ケーブルを一箇所にまとめて配置することができる。

また、請求項４に係るレーザ加工装置では、断熱部材が発振器とコネクタ保持部との間に配置されているため、発振器の熱がコネクタ保持部上の複数のケーブルへ熱伝導することを防止し、各ケーブル及び各コネクタの温度上昇を防止することができる。

また、請求項５に係るレーザ加工装置では、コネクタ保持部の配置面に対して垂直な方向において、ファイバケーブルと複数の電気ケーブルが挿通されるケーブル挿通孔は、内周面の第１開口部側の端縁部分が、コネクタ保持部のコネクタが配置される配置面よりも第１開口部に近い位置に形成されている。これにより、複数の電気ケーブルをケーブル挿通孔へコネクタ保持部の配置面に対して平行に挿入することが可能となり、複数の電気ケーブルを極端に折り曲げることを防止でき、配線作業を容易に行うことができる。

また、請求項６に係るレーザ加工装置では、ファイバケーブルを発振器の第１方向の一方側の端面に設けられたファイバケーブル接続部に接続した後、第１方向に沿ってケーブル挿通孔に挿通することができる。これにより、ファイバケーブルを極端に折り曲げることを防止でき、配線作業を容易に行うことができる。

また、請求項７に係るレーザ加工装置では、挿入部に挿入されたファイバケーブルと複数の電気ケーブルは、弾性部材によって外部と気密に遮断されるため、筐体内の防塵、防水を図ることができる。

また、請求項８に係るレーザ加工装置では、発振器は、コネクタ保持部のコネクタが配置される配置面に平行で、筐体内の第１方向に交差する第２方向において一方側に配置される。これにより、筐体内の第２方向において他方側にドライバ等を配置するスペースを容易に確保することが可能となり、筐体の小型化、つまり、レーザ加工装置の小型化を図ることができる。

また、請求項９に係るレーザ加工装置では、蓋部材は、第２方向において一方側に開設された第１開口部を外気と気密に閉塞するように、第２方向において一方側に配設されている。これにより、第１開口部を小さくして蓋部材の小型化を図りつつ、ユーザは、第１開口部を介してコネクタの着脱作業を容易に行うことができる。

また、請求項１０に係るレーザ加工装置では、挿入部は、第２方向において一方側に開設された第２開口部を外気と気密に閉塞するように、第２方向において一方側に配設されている。これにより、ファイバケーブルのコネクタを発振器の第１方向の一方側の端面に設けられたファイバケーブル接続部に接続した後、第１方向に沿ってケーブル挿通孔に挿入することができ、ファイバケーブルを極端に折り曲げることを防止でき、配線作業を容易に行うことができる。

更に、請求項１１に係るレーザ加工装置では、蓋部材の内側面とコネクタ保持部のコネクタが配置される配置面との間に、コネクタを配置するスペースが必然的に形成される。従って、筐体内にコネクタを配置するスペースを余分に設ける必要がなく、筐体内の空間を有効に利用して、筐体の小型化、つまり、レーザ加工装置の小型化を図ることができる。

本実施形態に係るレーザ加工装置１の斜視図である。 レーザ加工装置１の平面図である。 防水型コネクタ２１から筐体１０内を見た後側正面図である。 レーザ加工装置１のカバー部材８から蓋部材１２を外した際の平面図である。 図２のＸ１−Ｘ１矢視断面図である。 カバー部材８を外した際の平面図である。 カバー部材８を外した際の左側面図である。 レーザ発振ユニット４の分解斜視図である。 レーザ発振器４１の概略構成を示す説明図である。 他の実施形態の要部拡大断面図である。

以下、本発明に係るレーザ加工装置について具体化した一実施形態に基づき図面を参照しつつ詳細に説明する。先ず、本実施形態に係るレーザ加工装置１の概略構成について図１乃至図９に基づいて説明する。尚、以下のレーザ加工装置１の説明において、レーザ発振器４１からパルスレーザＬを出射する方向が、レーザ加工装置１の前方向である。また、本体ベース２のレーザ発振ユニット４を取り付けた取付面に対して垂直方向が、レーザ加工装置１の上下方向である。そして、レーザ加工装置１の上下方向及び前後方向に直交する方向が、レーザ加工装置１の左右方向である。

［レーザ加工装置１の概略構成］
図１乃至図５に示すように、レーザ加工装置１は、アルミニウム、ステンレス等の金属を加工して形成された平面視略矩形状の本体ベース２と、本体ベース２上に配置されたレーザ出力部３を覆うカバー部材８と、本体ベース２の下面に取り付けられた冷却ユニット９等から構成されている。本体ベース２上に配置されたレーザ出力部３は、パルスレーザＬを出射するレーザ発振ユニット４、ガルバノスキャナ５、ｆθレンズ６、及びガルバノドライバ７等から構成される。

つまり、レーザ加工装置１は、本体ベース２とカバー部材８とによって構成される略直方体形状の筐体１０内にレーザ出力部３を収納している。例えば、筐体１０は、左右方向幅約１７４ｍｍ、前後方向幅約３８３ｍｍ、及び、上下方向高さ約１６３ｍｍに形成された略直方体形状に構成されている。従って、レーザ加工装置１は、パルスレーザＬを出射するレーザ発振ユニット４、パルスレーザＬを２次元走査するガルバノスキャナ５等を、後述のように外気と気密に遮断するように密閉状態で筐体１０内に収納する。

本体ベース２側が開口された略箱体状のカバー部材８の天井部には、平面視略矩形状の開口部１１が、レーザ発振ユニット４のほぼ全長に対向するように前後方向に開設されると共に、天井部の左右方向にほぼ全幅に渡って開設されている。ここで、開口部１１は、例えば、左右方向幅約９２ｍｍで、前後方向幅約１８０ｍｍに形成されている。

そして、平面視略矩形状の蓋部材１２が、開口部１１の上側を全面に渡って覆うように、各ネジ１３でカバー部材８にネジ止めされている。また、蓋部材１２の下面には、略矩形状のＯリング形に形成された密封材１５が、開口部１１を囲むように取り付けられている。その結果、蓋部材１２をカバー部材８の上端面にネジ止めすることによって、密封材１５が弾性変形して圧縮され、防塵防水が可能な程度に隙間を気密に閉塞する。

そして、カバー部材８は、本体ベース２の上側を全面に渡って覆うように、各ネジ１６で本体ベース２にネジ止めされている。また、本体ベース２の外周部の上端面には、略矩形状のＯリング形に形成された密封材１７が取り付けられている。その結果、カバー部材８を本体ベース２の上端面にネジ止めすることによって、密封材１７が弾性変形して圧縮され、防塵防水が可能な程度に隙間を気密に遮断するように密封する。

カバー部材８の後側の側壁部には、レーザ発振ユニット４の後側に対向するように配線用孔８Ａが形成されている。そして、配線用孔８Ａを閉塞するように、不図示のコントローラに電気的に接続された複数の電気ケーブル１８と光ファイバケーブル１９を挿通する防水型コネクタ２１が、ネジ止めにより取り付けられている。防水型コネクタ２１のカバー部材８側の基端部の周縁には、全周に渡って弾性変形可能なＯリング２２が取り付けられている。その結果、防水型コネクタ２１をカバー部材８にネジ止めすることによって、Ｏリング２２が弾性変形して圧縮され、防塵防水が可能な程度に隙間を気密に閉塞する。

図２、図３及び図５に示すように、防水型コネクタ２１は、ケーブル挿通孔２１Ａ内に各電気ケーブル１８と光ファイバケーブル１９を挿入可能、且つ、各電気ケーブル１８と光ファイバケーブル１９の外周面に密着するゴム等の弾性部材２３が嵌入されている。例えば、防水型コネクタ２１の外径は約５４ｍｍで、ケーブル挿通孔２１Ａの内径は約３４ｍｍである。

これにより、防水型コネクタ２１のケーブル挿通孔２１Ａに嵌入された弾性部材２３が弾性変形して圧縮される。その結果、弾性部材２３は各電気ケーブル１８と光ファイバケーブル１９を防塵防水の可能な程度に外気と気密に遮断すると共に、ケーブル挿通孔２１Ａを閉塞する。従って、各電気ケーブル１８と光ファイバケーブル１９は、外気と気密に遮断された状態で、防水型コネクタ２１のケーブル挿通孔２１Ａから筐体１０内へ挿入される。また、電気ケーブル１８には、ガルバノドライバ７へ電源を供給する電源ケーブル１８Ｂ、各種制御信号又は検出信号等を送信する信号ケーブル等が含まれている。

各電気ケーブル１８の筐体１０内へ挿入される先端部には、筐体１０内の配線ケーブル等に着脱可能に接続される各ケーブル側コネクタ１８Ａが電気的に接続されている。光ファイバケーブル１９の筐体１０内へ挿入される先端部には、レーザ発振器４１のファイバ接続端子４１Ａに着脱可能に接続されるケーブル側コネクタ１９Ａが光学的に接続されている。また、防水型コネクタ２１のカバー部材８に対して反対側の端部には、防水型コネクタ２１のケーブル挿通孔２１Ａから外部に引き出された各電気ケーブル１８と光ファイバケーブル１９が挿通される配線用ホース２５が接続されている。

図５乃至図８に示すように、本体ベース２は、平面視略矩形状の略板状に形成されると共に、外周部の全周に渡って所定高さ（例えば、高さ約３ｃｍである。）上方に延出された側壁部が形成されている。また、本体ベース２の前側約半分の部分は、底面部が下側方向に所定高さ突出して、ｆθレンズ６を全高さに渡って本体ベース２内に収納して保持可能な結像光学保持部２６が形成されている。

結像光学保持部２６には、本体ベース２の左右幅方向の中心線２７に対してレーザ発振ユニット４から離反する側に、つまり、本体ベース２の右前角部にｆθレンズ６が全高さに渡って嵌入される貫通孔２８が形成され、ｆθレンズ６が取り付けられている。また、この結像光学保持部２６の下面には、ｆθレンズ６と位置合わせ用可視半導体レーザ２９に対向する部分に略矩形状の開口部３０が開設された底板プレート３１が複数のネジによってネジ止めされている。また、各ネジの頭部は、底板プレート３１の下面に埋め込まれて、底板プレート３１の下面から突出しないように構成され、レーザ加工装置１は、底板プレート３１を介して不図示の取付台に取り付けられる。

また、開口部３０の下側周縁部には、全周に渡って２段の階段状に形成された段差部が形成されている。そして、内側の段差部には、開口部３０を全面に渡って覆う略矩形状のガラス板３２が嵌め込まれ、外側の段差部には、略矩形の枠状に形成された押さえ枠３３がガラス板３２の外周部を押圧して密閉するように各ネジ３５によって取り付けられている。また、各ネジ３５の頭部は、底板プレート３１の下面よりも内側に位置するように構成されている。

次に、カバー部材８で覆われるレーザ出力部３の概略構成について図５乃至図８に基づいて説明する。
図５乃至図７に示すように、レーザ出力部３は、レーザ発振ユニット４、光シャッター部３６、光ダンパー３７、ダイクロイックミラー３８、ガイド光部３９、ガルバノスキャナ５、ｆθレンズ６等から構成されている。

図５乃至図８に示すように、レーザ発振ユニット４は、レーザ発振器４１、ビームエキスパンダ４２、冷却プレート４３、外周面冷却部材４５、一対のペルチェ素子４６、及び放熱プレート４７等から構成されている。また、レーザ発振ユニット４の上側には、配線受け板４８が、前後両側縁部の両端部から下方に延出された各脚部４８Ａを放熱プレート４７上にネジ止めして取り付けられ、外周面冷却部材４５及び冷却プレート４３の上側を覆うように配置されている。ここで、レーザ発振器４１は、例えば、左右方向幅約３６ｍｍ、前後方向長さ約１１６ｍｍで、高さ約２４ｍｍに形成されている。配線受け板４８は、例えば、左右方向幅約７０ｍｍで、前後方向長さ約１２８ｍｍに形成されている。

レーザ発振器４１は、ＣＯ２レーザ、ＹＡＧレーザ等で構成され、加工対象物４９の加工面４９Ａにマーキング（印字）加工を行うためのパルスレーザＬを出射方向である第１光軸Ｌ１上に出射する。従って、第１光軸Ｌ１上に出射する出射方向が前側方向である。ビームエキスパンダ４２は、パルスレーザＬのビーム直径を変更（例えば、拡大）するものであり、レーザ発振器４１と同軸に設けられている。

ここで、レーザ発振器４１の概略構成について図９に基づいて説明する。図９に示すように、レーザ発振器４１は、ケーシング９１内に、ファイバ接続端子４１Ａと、集光レンズ９２と、反射鏡９３と、レーザ媒質９５と、受動Ｑスイッチ９６と、出力カプラー９７と、ウインドウ９８とが配設されている。ケーシング９１は、熱伝導性の良いアルミニウムや銅やステンレス等の金属で第１光軸Ｌ１方向に長い直方体形状に形成されている。ファイバ接続端子４１Ａは、レーザ発振器４１の後側端面に設けられ、光ファイバケーブル１９のケーブル側コネクタ１９Ａが光学的に接続されて、不図示の励起用半導体レーザから出射された波長λ_１の励起レーザが、光ファイバケーブル１９を介して入射される。

集光レンズ９２は、ファイバ接続端子４１Ａから入射された励起光を集光する。反射鏡９３は、集光レンズ９２によって集光された励起レーザを透過すると共に、レーザ媒質９５から出射されたレーザ光を高効率で反射する。レーザ媒質９５は、不図示の励起用半導体レーザから出射された励起レーザによって励起されてレーザ光を発振する。レーザ媒質９５としては、例えば、レーザ活性イオンとしてネオジウム（Ｎｄ）が添加されたネオジウム添加ガドリニウムバナデイト（Ｎｄ：ＧｄＶＯ_４）結晶や、ネオジウム添加イットリウムバナデイト（Ｎｄ：ＹＶＯ_４）結晶や、Ｎｄ：ＹＡＧ結晶等を用いることができる。

受動Ｑスイッチ９６は、内部に蓄えられた光エネルギーがある一定値を超えたとき、透過率が８０％〜９０％になるという性質持った結晶である。従って、受動Ｑスイッチ９６は、レーザ媒質９５によって発振されたレーザ光をパルス状のパルスレーザとして発振するＱスイッチとして機能する。受動Ｑスイッチ９６としては、例えば、クロームＹＡＧ（Ｃｒ：ＹＡＧ）結晶やＣｒ：ＭｇＳｉＯ_４結晶等を用いることができる。従って、レーザ発振器４１は、受動Ｑスイッチ９６を介して波長λ_２のパルスレーザＬを発振する。

出力カプラー９７は、反射鏡９３とレーザ共振器を構成する。出力カプラー９７は、例えば、表面に誘電体層膜をコーティングした凹面鏡により構成された部分反射鏡で、例えば、波長１０６３ｎｍでの反射率は、８０％〜９５％である。ウインドウ９８は、合成石英等から形成され、出力カプラー９７から出射されたパルスレーザＬを外部へ透過させる。

図５及び図８に示すように、レーザ発振器４１の下面には、熱伝導性のあるシリコーングリース等の熱伝導材を介して、アルミ等の金属板で形成された冷却プレート４３が各ネジ５１によってネジ止めにより固定される。熱伝導材は、レーザ発振器４１の下面と冷却プレート４３との実質的な接触面積を大きくし、熱抵抗を低くする状態で熱的に結合する。

アルミ等の金属板で形成された外周面冷却部材４５は、レーザ発振器４１の幅寸法とほぼ同じ幅寸法で、レーザ発振器４１の高さ寸法とほぼ同じ高さ寸法のレーザ発振器４１側が開放された断面コの字状に形成され、レーザ発振器４１とほぼ同じ長さに形成されている。そして、外周面冷却部材４５は、レーザ発振器４１の外周面に上側から嵌め込まれて、各ネジ５２で冷却プレート４３にネジ止めにより固定される。また、レーザ発振器４１の外周面と外周面冷却部材４５の内側面との間には、熱伝導材を介在させるようにしてもよい。

更に、一対のペルチェ素子４６は、上下面に設けられた熱伝導材を介して、冷却プレート４３とアルミ等の金属板で形成された放熱プレート４７との間に挟まれた状態で、放熱プレート４７の下面から座ぐり孔に挿通された各ネジ５３を冷却プレート４３にネジ止めすることによって固定される。また、一対のペルチェ素子４６は、吸熱面が熱伝導材を介して冷却プレート４３に当接され、放熱面が熱伝導材を介して放熱プレート４７に当接されている。ここで、冷却プレート４３の厚さは、放熱プレート４７の厚さよりも小さくなるように形成されている。

また、冷却プレート４３の熱が各ネジ５３を伝わって放熱プレート４７に伝達されないように、各ネジ５３のネジ頭と放熱プレート４７の各座ぐり孔の間には、樹脂等の断熱材で形成された断熱ワッシャ５３Ａが挿入されている。そして、放熱プレート４７を、熱伝導材を介して、本体ベース２のレーザ発振ユニット取付部２Ａ上に各ネジ５５によって固定する。従って、レーザ発振器４１は、冷却プレート４３及び放熱プレート４７によって、筐体１０内で支持されている。また、レーザ発振器４１を支持する冷却プレート４３及び放熱プレート４７は、各ネジ５５によって筐体１０内のレーザ発振ユニット取付部２Ａ上に取り付けられる。

これにより、レーザ発振器４１の発熱が、外周面冷却部材４５及び冷却プレート４３を介して、一対のペルチェ素子４６に熱伝達されて吸熱される。また、一対のペルチェ素子４６から放熱される放熱エネルギーは、放熱プレート４７を介して本体ベース２に熱伝達される。また、図６及び図８に示すように、レーザ発振ユニット４は、本体ベース２の左右幅方向の中心線２７に対して、レーザ発振器４１の左右幅方向の中心を通る、つまり、レーザ発振器４１の左右方向中央部を通るパルスレーザＬの第１光軸Ｌ１が左側に位置するように、本体ベース２上の左後側角部に固定される。

図４乃至図７に示すように、ガルバノドライバ７は、電源ケーブル１８Ｂを介して電源を供給されると共に、電気ケーブル１８を介して制御信号が入力され、ガルバノスキャナ５を駆動制御する。ガルバノドライバ７は、本体ベース２の左右方向において、本体ベース２の右側の側壁の内側に沿って前後方向に配置され、レーザ発振器４１の右側に所定距離で、例えば、約３ｃｍの距離で平行に対向するように配置されている。また、ガルバノドライバ７は、例えば、高さ約６０ｍｍに形成されている。

また、ガルバノドライバ７の上端面７Ａは、カバー部材８の開口部１１よりも少し低い高さ、例えば、約１ｃｍ低い高さに形成されている。従って、蓋部材１２をカバー部材８にネジ止めした場合には、ガルバノドライバ７の上端面７Ａは、蓋部材１２の内側面１２Ａと上下方向の隙間を形成している。また、レーザ発振ユニット４の上側を覆う配線受け板４８の上端面４８Ｃは、ガルバノドライバ７の上端面７Ａよりも低い高さ、例えば、約９ｃｍ低い高さに位置している。これにより、配線受け板４８の上端面４８Ｃとカバー部材８にネジ止めされた蓋部材１２の内側面１２Ａとの間には、所定高さ、例えば、約１０ｃｍの高さの空間が形成される。

図５乃至図７に示すように、光シャッター部３６は、シャッターモータ５６と、平板状のシャッター５７等から構成されている。シャッターモータ５６は、ステッピングモータ、ソレノイド等で構成されている。シャッター５７は、シャッターモータ５６のモータ軸に固定された断面Ｌ字状の保持部材の側面部に取り付けられ、シャッターモータ５６のモータ軸と同軸に回転する。

シャッター５７は、ビームエキスパンダ４２から出射されたパルスレーザＬの光路を遮る位置に回転された際には、パルスレーザＬを光シャッター部３６に対して右方向に設けられた光ダンパー３７へ反射する。一方、シャッター５７がビームエキスパンダ４２から出射されたパルスレーザＬの光路上に位置しないように回転された場合には、ビームエキスパンダ４２から出射されたパルスレーザＬは、光シャッター部３６の前側に配置されたダイクロイックミラー３８に入射する。

光ダンパー３７は、シャッター５７で反射されたパルスレーザＬを吸収する。尚、光ダンパー３７は、熱伝導材を介して、本体ベース２上に固定されている。従って、光ダンパー３７の発熱は、本体ベース２に熱伝達される。

図６に示すように、ダイクロイックミラー３８は、パルスレーザＬの第１光軸Ｌ１に対して斜め右前方向に４５度の角度を形成するように配置されている。ダイクロイックミラー３８は、後側から入射されたパルスレーザＬをガルバノスキャナ５へ向かって４５度の反射角でパルスレーザＬの第１光軸Ｌ１と略直交する第２光軸Ｌ２上に反射する。また、ダイクロイックミラー３８は、後側から入射されたパルスレーザＬの一部を光検出センサ５８に向かって透過する。例えば、ダイクロイックミラー３８は、１％の透過率でパルスレーザＬを光検出センサ５８に向かって透過する。

また、ダイクロイックミラー３８に対して左側に配置されるガイド光部３９は、可視レーザ光Ｇをガルバノスキャナ５へ向かって第２光軸Ｌ２上に出射する可視半導体レーザ６１が配設されている。ダイクロイックミラー３８は、左側から入射される可視レーザ光Ｇを、９３％の透過率で、ガルバノスキャナ５へ向かって透過させ、５％の反射率で、光検出センサ５８へ向かって４５度の反射角で反射し、可視レーザ光Ｇの２％の損失が生じるように構成されている。

図５乃至図７に示すように、ガルバノスキャナ５は、レーザ発振器４１から出射されて、ダイクロイックミラー３８で反射されたパルスレーザＬと、可視半導体レーザ６１から出射されて、ダイクロイックミラー３８を透過した可視レーザ光Ｇとを、下方向、つまり、第１光軸Ｌ１及び第２光軸Ｌ２に直交する第３光軸Ｌ３方向に配置された加工対象物４９の加工面４９Ａ上に出射して２次元走査するものである。そして、ガルバノスキャナ５から第３光軸Ｌ３方向に配置された加工対象物４９の加工面４９Ａ上に出射されたパルスレーザＬと可視レーザ光Ｇは、本体ベース２の右前角部に取り付けられたｆθレンズ６を介して、底板プレート３１に取り付けられたガラス板３２を透過して加工対象物４９の加工面４９Ａに集光され、印字パターンがマーキングされる。

ガルバノスキャナ５は、ガルバノＸ軸モータ６２とガルバノＹ軸モータ６３とが、それぞれのモータ軸が互いに略直交するように外側からそれぞれの取付孔に嵌入されて本体部６５に取り付けられている。ガルバノＸ軸モータ６２のモータ軸の先端部には、ダイクロイックミラー３８によって第２光軸Ｌ２方向に反射されたパルスレーザＬが入射される第１走査ミラー６２Ａが取り付けられている。ガルバノＹ軸モータ６３のモータ軸の先端部には、第１走査ミラー６２Ａで反射されたパルスレーザＬが入射される第２走査ミラー６３Ａが取り付けられている。

そして、ガルバノドライバ７を介して各モータ６２、６３の回転をそれぞれ制御して、第１走査ミラー６２Ａ及び第２走査ミラー６３Ａを回転させることによって、パルスレーザＬと可視レーザ光Ｇとを下方へ向かって２次元走査する。この２次元走査方向は、前後方向と左右方向である。また、本体部６５は、熱伝導材を介して、本体ベース２上に固定されている。従って、各モータ６２、６３の発熱は、本体部６５を介して本体ベース２に熱伝達される。

次に、冷却ユニット９の概略構成について図３、図５乃至図７に基づいて説明する。図３、図５、図７に示すように、冷却ユニット９は、ヒートシンク７１、ヒートシンクカバー７２、ファン７３、及びファンカバー７５とから構成されている。ヒートシンク７１、ヒートシンクカバー７２、及びファンカバー７５は、アルミニウムや銅やステンレス等の熱伝導率が大きい放熱材料で形成されている。

ヒートシンク７１の前後方向の長さは、レーザ発振器４１の前後方向の長さとほぼ等しい長さに形成されている。ヒートシンク７１の左右方向の幅は、レーザ発振ユニット４の放熱プレート４７の左右方向の幅よりも少し大きい幅に形成されている。そして、ヒートシンク７１は、本体ベース２の下面にネジ止めされる平面視矩形状の平板部７１Ａから複数の放熱フィン７１Ｂが左右方向に沿って平行に下方に立設され、表面積を大きくし、放熱性を向上させている。

そして、断面コの字状に上方に開口したヒートシンクカバー７２をヒートシンク７１を覆うように本体ベース２の底面部にネジ止めにより固定する。ヒートシンクカバー７２は、左側面部に空気を吸入する略横長四角形の吸気口７２Ａが開口され、右側面部に空気を排気するファン７３が配置されている。ファンカバー７５は、ファン７３側が開口された前後方向に長いコの字状に折り曲げられて、ファン７３を覆うようにヒートシンクカバー７２の右側面部にネジ止めによって固定される。ファンカバー７５は、ファン７３に対向する面に複数の排気用スリットが形成され、ファン７３から送風された空気をスムーズに外側へ排気するように構成されている。

また、図５乃至図７に示すように、本体ベース２の底面部には、ファン７３に電気的に接続されて、電源供給や制御信号を送信する配線ケーブル７７が挿通される防水型コネクタ７８が、冷却ユニット９と結像光学保持部２６との間に配置されている。防水型コネクタ７８は、レーザ発振器４１から右側方向に離反すると共に、ガルバノスキャナ５から後側方向に離反するように、ファンカバー７５と結像光学保持部２６との間に取り付けられている。

図５に示すように防水型コネクタ７８は、配線ケーブル７７を挿入可能、且つ、配線ケーブル７７の外周面に密着するゴム等の弾性部材７９が嵌入されている。これにより、防水型コネクタ７８に嵌入された弾性部材７９が弾性変形して圧縮される。その結果、弾性部材７９は配線ケーブル７７を外気と防塵防水の可能な程度に気密に遮断して、防水型コネクタ７８を閉塞する。従って、配線ケーブル７７は外気と気密に遮断された状態で、防水型コネクタ７８を介して本体ベース２の上側へ挿入される。本体ベース２の底面部から突出する防水型コネクタ７８の先端部は、底板プレート３１の下端面よりも上側に位置するように構成されている。

次に、本体ベース２上におけるレーザ発振器４１や配線ケーブル７７等と防水型コネクタ２１に挿通された各電気ケーブル１８及び光ファイバケーブル１９との接続について図３乃至図７に基づいて説明する。
図３及び図５に示すように、レーザ発振器４１の後側端面に設けられたファイバ接続端子４１Ａは、カバー部材８の配線用孔８Ａにネジ止めされた防水型コネクタ２１のケーブル挿通孔２１Ａの内周面２４よりも半径方向内側の位置に対向している。

一方、光ファイバケーブル１９は、防水型コネクタ２１をカバー部材８の配線用孔８Ａにネジ止めした際に、レーザ発振器４１の後側端面に設けられたファイバ接続端子４１Ａに対して、前後方向に対向するように弾性部材２３に挿通されている。従って、図７に示すように、光ファイバケーブル１９のケーブル側コネクタ１９Ａは、レーザ発振器４１のファイバ接続端子４１Ａに着脱可能に光学的に接続される。ケーブル側コネクタ１９Ａをファイバ接続端子４１Ａに光学的に接続した場合には、光ファイバケーブル１９は、前後方向に沿って直線状に配置されて、ケーブル挿通孔２１Ａ内の弾性部材２３に挿通され、外部に引き出される。

図６及び図７に示すように、防水型コネクタ７８を介して本体ベース２の上側に引き出された配線ケーブル７７、ガイド光部３９、光シャッター部３６、各ペルチェ素子４６及びガルバノドライバ７等に電気的に接続されて、電源供給、各種制御信号又は検出信号等を送信する各配線ケーブル８１の先端部は、それぞれ対応する各配線側コネクタ８２に電気的に接続されている。各配線側コネクタ８２は、それぞれ対応する各ケーブル側コネクタ１８Ａに着脱可能に結合可能、且つ、電気的に接続可能に構成され、配線受け板４８上に配置されている。

図６に示すように、配線受け板４８には、結束バンド８３を挿通可能な貫通孔４８Ｂが、左右方向の直線上に複数個、例えば、５個形成されると共に、前後方向に一定ピッチで複数列形成されている。そして、図６及び図７に示すように、ユーザは、各電気ケーブル１８のケーブル側コネクタ１８Ａと、各ケーブル側コネクタ１８Ａに対応する各配線側コネクタ８２とを配線受け板４８上で結合し、電気的に接続する。

その後、図４に示すように、ユーザは、カバー部材８を本体ベース２にネジ止めし、また、防水型コネクタ２１をカバー部材８の配線用孔８Ａにネジ止めする。そして、ユーザは、開口部１１を介して各電気ケーブル１８及び各配線ケーブル７７、８１が、前後方向に沿って配置されるように、各コネクタ１８Ａ、８２を配線受け板４８上に配置する。続いて、図４、図６及び図７に示すように、ユーザは、開口部１１を介して配線受け板４８上の複数の電気ケーブル１８及び配線ケーブル８１を、それぞれ２個の貫通孔４８Ｂに挿通した状態の複数の結束バンド８３で配線受け板４８上に結束して固定する。その後、ユーザは、蓋部材１２をカバー部材８にネジ止めすることによって、筐体１０内を防塵防水可能な程度に閉塞する。

尚、配線受け板４８の左右方向の両側縁部に、内側に窪む切欠部を左右方向に相対向するように形成すると共に、前後方向に沿って複数対形成するようにしてもよい。そして、配線受け板４８上の各電気ケーブル１８及び各配線ケーブル８１を、両側縁部の相対向する切欠部に挿通した状態の複数の結束バンド８３で配線受け板４８上に結束して固定するようにしてもよい。

また、図３に示すように、配線受け板４８の上面は、カバー部材８の配線用孔８Ａにネジ止めされた防水型コネクタ２１のケーブル挿通孔２１Ａの内周面２４のうち、上方向上端部２４Ａから、つまり、上下方向において開口部１１に近い上端部２４Ａから、所定高さ、例えば、高さ約３ｃｍ程度低い位置に対向している。従って、図７に示すように、防水型コネクタ２１をカバー部材８の配線用孔８Ａにネジ止めした際に、ケーブル挿通孔２１Ａの開口部１１に近い上端部２４Ａ側に挿通された電気ケーブル１８は、前後方向に沿って直線状に配置された状態で、各ケーブル側コネクタ１８Ａが各配線側コネクタ８２に結合されて、電気的に接続される。

ここで、ガルバノスキャナ５は、走査部の一例として機能する。ガルバノドライバ７は、ドライバの一例として機能する。配線用孔８Ａは、第２開口部の一例として機能する。開口部１１は、第１開口部の一例として機能する。防水型コネクタ２１は、挿入部の一例として機能する。レーザ発振器４１は、発振器の一例として機能する。ファイバ接続端子４１Ａは、ファイバケーブル接続部の一例として機能する。冷却プレート４３及び放熱プレート４７は、支持部材の一例を構成する。配線受け板４８は、コネクタ保持部の一例として機能する。貫通孔４８Ｂは、配線用開口部の一例として機能する。結束バンド８３は、結束部材の一例として機能する。

以上詳細に説明した通り、本実施形態に係るレーザ加工装置１では、光ファイバケーブル１９は、ケーブル側コネクタ１９Ａを介してレーザ発振器４１のファイバ接続端子４１Ａに光学的に接続されている。外部からガルバノドライバ７へ電源を供給する電源ケーブル１８Ｂを含む複数の電気ケーブル１８を電気的に接続する着脱可能な各ケーブル側コネクタ１８Ａは、筐体１０内に配置された配線受け板４８上に保持される。

従って、各ケーブル側コネクタ１８Ａ、１９Ａは、外気と気密に遮断されるため、外気中の埃やオイルミスト等が各ケーブル側コネクタ１８Ａ、１９Ａに付着して発生する導通不良を確実に防止することができる。また、光ファイバケーブル１９と電源ケーブル１８Ｂを含む複数の電気ケーブル１８は、防水型コネクタ２１を介して外気と気密に遮断して筐体１０内へ挿入される。これにより、外気中の埃やオイルミスト等が防水型コネクタ２１から筐体１０内へ入ることを確実に防止することができる。

また、筐体１０の蓋部材１２を取り外すことによって、複数の電気ケーブル１８のケーブル側コネクタ１８Ａと各配線側コネクタ８２との着脱操作を行うことが可能となる。これにより、複数のケーブル側コネクタ１８Ａと各配線側コネクタ８２との着脱作業、及び、複数の電気ケーブル１８及び複数の配線ケーブル８１を配線受け板４８上へ結束バンド８３によって固定する取り付け作業や保守、点検等を容易に行うことができる。

また、複数の電気ケーブル１８のケーブル側コネクタ１８Ａと各配線側コネクタ８２を配線受け板４８上に固定すると共に、配線受け板４８上の各電気ケーブル１８と各配線ケーブル８１を前後方向に整列させて配置することによって、筐体１０内の各電気ケーブル１８と各配線ケーブル８１の引き回しを容易に整列することができる。また、複数の電気ケーブル１８を防水型コネクタ２１から外部に引き出すことができ、外部への配線引き出しを容易に行うことが可能となる。また、配線受け板４８をレーザ発振ユニット４の外周面冷却部材４５と蓋部材１２の内側面１２Ａとの間に配置することによって、筐体１０内の空間を有効に活用することが可能となり、筐体１０の小型化、つまり、レーザ加工装置１の小型化を図ることができる。

また、レーザ発振ユニット４は、本体ベース２の左右幅方向の中心線２７に対して、レーザ発振器４１の左右方向中央部を通るパルスレーザＬの第１光軸Ｌ１が左側に位置するように、本体ベース２上の左後側角部に固定される。また、防水型コネクタ２１は、レーザ発振器４１の後側端面に対向するようにカバー部材８の配線用孔８Ａにネジ止めされる。これにより、筐体１０の左右方向の小型化を容易に図ることができる。

また、防水型コネクタ２１をカバー部材８の配線用孔８Ａにネジ止めした際に、ケーブル挿通孔２１Ａの内周面２４の上下方向において、開口部１１に近い上端部２４Ａ側に挿通された電気ケーブル１８は、前後方向に沿って直線状に配置された状態で、防水型コネクタ２１を介して外部に引き出される。これにより、複数の電気ケーブル１８を極端に折り曲げることを防止でき、配線作業を容易に行うことができる。

また、レーザ発振器４１の後側端面に設けられたファイバ接続端子４１Ａは、カバー部材８の配線用孔８Ａにネジ止めされた防水型コネクタ２１のケーブル挿通孔２１Ａの内周面２４よりも半径方向内側の位置に対向している。これにより、光ファイバケーブル１９を極端に折り曲げることを防止でき、配線作業を容易に行うことができる。また、防水型コネクタ２１に挿通された光ファイバケーブル１９と各電気ケーブル１８は、弾性部材２３によって外部と気密に遮断されるため、筐体１０内の防塵、防水を図ることができる。

また、レーザ発振ユニット４は、本体ベース２の左右幅方向の中心線２７に対して、左側の側壁部に沿って配置される。これにより、筐体１０内の左右方向において、レーザ発振ユニット４の右側に相対向してガルバノドライバ７を配置するスペースを容易に確保することが可能となり、筐体１０の小型化、つまり、レーザ加工装置１の小型化を図ることができる。

また、蓋部材１２の内側面１２Ａは、ガルバノドライバ７の上端面７Ａよりも上側に配置され、配線受け板４８は、ガルバノドライバ７の上端面７Ａよりも下側に位置するように配置される。これにより、蓋部材１２の内側面１２Ａと配線受け板４８の各ケーブル側コネクタ１８Ａ及び各配線側コネクタ８２が配置される配置面との間に、各ケーブル側コネクタ１８Ａと各配線側コネクタ８２を配置するスペースが必然的に形成される。従って、筐体１０内に各ケーブル側コネクタ１８Ａと各配線側コネクタ８２を配置するスペースを余分に設ける必要がなく、筐体１０内の空間を有効に利用して、筐体１０の小型化、つまり、レーザ加工装置１の小型化を図ることができる。

尚、本発明は前記実施形態に限定されることはなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることは勿論である。

（Ａ）例えば、図１０に示すように、レーザ発振器４１の外周面を固定すると共に冷却する外周面冷却部材４５の上端面の全面と、配線受け板４８の下端面との間に、樹脂等のシート状に形成された断熱部材８５を挟んで保持するようにしてもよい。これにより、断熱部材８５が外周面冷却部材４５と配線受け板４８との間に配置されるため、レーザ発振器４１の熱が配線受け板４８上の各ケーブル１８、８１や各コネクタ１８Ａ、８２へ熱伝導することを防止し、各ケーブル１８、８１及び各コネクタ１８Ａ、８２の温度上昇を防止することができる。

ここで、レーザ発振器４１が加工対象物４９の加工面４９Ａにマーキング（印字）加工を行うためのパルスレーザＬを出射している場合には、レーザ発振器４１の表面温度は、約５０℃〜６０℃に上昇する。このため、断熱部材８５が外周面冷却部材４５と配線受け板４８との間に設けられていない場合には、配線受け板４８上の各ケーブル１８、８１や各コネクタ１８Ａ、８２も約５０℃〜６０℃になり、ユーザが素手で各コネクタ１８Ａ、８２に触れることができなくなる。

一方、断熱部材８５が外周面冷却部材４５と配線受け板４８との間に配置された場合には、配線受け板４８上の各ケーブル１８、８１や各コネクタ１８Ａ、８２の温度上昇を抑えることができ、ユーザが素手で各コネクタ１８Ａ、８２に触れることができる。その結果、レーザ発振器４１がパルスレーザを出射中、若しくは、パルスレーザの出射停止直後であっても、ユーザは素手で各コネクタ１８Ａ、８２の着脱作業を行うことができる。

（Ｂ）また、例えば、カバー部材８の天井部に形成された開口部１１の平面視右側縁部をレーザ発振ユニット４の右側端部の真上に位置するように、開口部１１の左右方向の幅を狭くしてもよい。また、防水型コネクタ２１は、レーザ発振器４１の後側端面に対向するようにカバー部材８の配線用孔８Ａにネジ止めされる。これにより、開口部１１の左右方向の幅を狭くしても、開口部１１は配線受け板４８のほぼ全面に対向するため、ユーザは、開口部１１を介して各ケーブル側コネクタ１８Ａと各配線側コネクタ８２との着脱作業を容易に行うことができる。また、開口部１１を小さくして蓋部材１２の小型化を図ることができる。

１ レーザ加工装置
２ 本体ベース
４ レーザ発振ユニット
５ ガルバノスキャナ
７ ガルバノドライバ
８ カバー部材
８Ａ 配線用孔
１０ 筐体
１１ 開口部
１２ 蓋部材
１８ 電気ケーブル
１８Ａ、１９Ａ ケーブル側コネクタ
１９ 光ファイバケーブル
２１、７８ 防水型コネクタ
２１Ａ ケーブル挿通孔
２３、７９ 弾性部材
４１ レーザ発振器
４１Ａ ファイバ接続端子
４３ 冷却プレート
４５ 外周面冷却部材
４７ 放熱プレート
４８ 配線受け板
４８Ｂ 貫通孔
７７、８１ 配線ケーブル
８２ 配線側コネクタ
８３ 結束バンド
８５ 断熱部材
９５ レーザ媒質

Claims (11)

1. レーザ媒質を有して、励起レーザを受光した前記レーザ媒質が励起されて、パルスレーザを出射する発振器と、
   前記発振器から出射された前記パルスレーザを走査する走査部と、
   前記発振器と前記走査部を外気と気密に遮断するように密閉状態で収納する筐体と、
   前記筐体内に配設された複数の配線ケーブルと、
   前記発振器に光学的に接続されて該発振器に向けて前記励起レーザを導くファイバケーブルと、
   前記走査部の駆動電力を供給する電源ケーブルを含み、外部から前記筐体内に挿入されて、それぞれ該筐体内で着脱可能なコネクタを介して前記複数の配線ケーブルと電気的に接続される複数の電気ケーブルと、
   前記発振器を前記筐体内で支持する支持部材と、
   前記支持部材が取り付けられる前記筐体内の取付面に対して反対側の該筐体の内側面と前記発振器との間に配置されて、前記複数の電気ケーブルの前記コネクタを保持するコネクタ保持部と、
   を備え、
   前記発振器は、前記筐体内において、前記パルスレーザの出射方向である第１方向の一方側に配置され、
   前記筐体は、
   前記発振器と前記走査部とが配置された本体ベースと、
   前記本体ベース上に配置された前記発振器と前記走査部と前記コネクタ保持部を覆うように取り付けられたカバー部材と、
   前記コネクタ保持部の前記コネクタが配置される配置面に相対向して前記カバー部材に開設された第１開口部を外気と気密に閉塞する蓋部材と、
   前記発振器の前記第１方向の前記一方側の端面に相対向するように前記カバー部材に開設された第２開口部を外気と気密に閉塞すると共に、前記ファイバケーブルと前記複数の電気ケーブルを挿入可能に構成される挿入部と、
   を有することを特徴とするレーザ加工装置。
2. 前記コネクタ保持部は、前記複数の電気ケーブルが前記第１方向に沿って配置されるように該複数の電気ケーブルの前記コネクタを保持することを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
3. 前記コネクタ保持部は、
   前記複数の電気ケーブルを挟むように少なくとも２個配置される複数の配線用開口部と、
   前記複数の配線用開口部のうち、２個の配線用開口部に挿通された状態で前記複数の電気ケーブルを結束して該コネクタ保持部上に固定する少なくとも１つの結束部材と、
   を有することを特徴とする請求項２に記載のレーザ加工装置。
4. 前記発振器と前記コネクタ保持部との間に配置されて、前記発振器から前記コネクタ保持部への熱伝導を断熱する断熱部材を備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のレーザ加工装置。
5. 前記挿入部は、前記ファイバケーブルと前記複数の電気ケーブルが挿通されるケーブル挿通孔を有し、
   前記コネクタ保持部の前記配置面に対して垂直な方向において、前記ケーブル挿通孔の内周面のうち、前記第１開口部側の端縁部分は、前記配置面よりも前記第１開口部に近い位置に形成されていることを特徴とする請求項２乃至請求項４のいずれかに記載のレーザ加工装置。
6. 前記発振器は、前記第１方向の前記一方側の端面に設けられて、前記ファイバケーブルが光学的に接続されるファイバケーブル接続部を有し、
   前記ファイバケーブル接続部は、前記ケーブル挿通孔の内周面よりも内側の位置に対向するように配置されていることを特徴とする請求項５に記載のレ−ザ加工装置。
7. 前記挿入部は、前記ケーブル挿通孔を閉塞すると共に、前記電気ケーブル前記複数の電気ケーブルの外周面に密着して、前記ファイバケーブルと前記複数の電気ケーブルを保持する弾性部材を有することを特徴とする請求項５又は請求項６に記載のレーザ加工装置。
8. 前記発振器は、前記筐体内の前記コネクタ保持部の前記配置面に平行で、前記第１方向に交差する第２方向において一方側に配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のレーザ加工装置。
9. 前記第１開口部は、前記コネクタ保持部の前記配置面に相対向するように前記第２方向
   において前記一方側に開設され、
   前記蓋部材は、前記第１開口部を外気と気密に閉塞するように前記第２方向において前記一方側に配設されていることを特徴とする請求項８に記載のレーザ加工装置。
10. 前記第２開口部は、前記発振器の前記第１方向の前記一方側の端面に相対向するように前記第２方向において前記一方側に開設され、
    前記挿入部は、前記第２開口部を外気と気密に閉塞するように前記第２方向において前記一方側に配設されていることを特徴とする請求項８又は請求項９に記載のレーザ加工装置。
11. 前記走査部を駆動するドライバを備え、
    前記ドライバは、前記筐体内の前記第２方向において他方側に、前記発振器に対向して配置され、
    前記コネクタ保持部の前記配置面は、前記第１方向及び第２方向に対して直交する第３方向において、前記ドライバの前記蓋部材側の端面よりも前記取付面側に位置することを特徴とする請求項８乃至請求項１０のいずれかに記載のレーザ加工装置。

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