JP5985920B2 - 輪郭すべり振動子 - Google Patents
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Description
板状の水晶片と、この水晶片の両面に設けられた電極とを備え、
前記水晶片は、X軸に垂直な面をY軸を中心に40°〜60°回転させた板面と、この板面内においてY軸から35°〜55°回転させた方向の長さからなる長辺と、前記板面内において前記長辺の中央での当該長辺に垂直な方向の長さからなる短辺とを有し、
前記電極はMo又はAlからなり、
前記長辺に垂直な方向の長さは、前記長辺の中央が最も長く、前記長辺の両端に近づくにつれて短くなる、
ことを特徴とする。
20 水晶片
20’ ウエハ
21 板面
22 長辺
23 短辺
30a,30b 電極
40,41,42 支持部
50 パッケージ
51 基板部
52 枠部
53 台座
54 導電性樹脂
Claims (3)
- 板状の水晶片と、この水晶片の両面に設けられた電極と、を備えた輪郭すべり振動子において、
前記水晶片は、X軸に垂直な面をY軸を中心に40°〜60°回転させた板面と、この板面内においてY軸から35°〜55°回転させた方向の長さからなる長辺と、前記板面内において前記長辺の中央での当該長辺に垂直な方向の長さからなる短辺とを有し、
前記電極はMo又はAlからなり、
前記長辺に垂直な方向の長さは、前記長辺の中央が最も長く、前記長辺の両端に近づくにつれて短くなる、
ことを特徴とする輪郭すべり振動子。 - 前記電極はMoからなり、前記電極の厚みをHm、前記水晶片の厚みをHとしたとき、0.02 ≦ Hm/H ≦ 0.06が成り立つ、
請求項1記載の輪郭すべり振動子。 - 前記電極はAlからなり、前記電極の厚みをHm、前記水晶片の厚みをHとしたとき、0.055 ≦ Hm/H ≦ 0.095が成り立つ、
請求項1記載の輪郭すべり振動子。
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JP2012168257A JP5985920B2 (ja) | 2012-07-30 | 2012-07-30 | 輪郭すべり振動子 |
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