JP5979626B2 - 像内の構造の位置を決定する方法及び該方法を実施するための位置測定装置 - Google Patents
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Description
Px,y=Bx,y+Sx,y
Bx,yは、マスク座標系内の基準点であり、Sx,yは、構造の対称中心と基準点の間の距離である。
,
及び
及びそれに応じて鏡像反転ピクセル:
に対して、差の二乗:
の和が取られ、これは、
で表す。
及び
に関する相関Cm,nを直接使用することができる。この場合、極値:
の近くの放物線当て嵌めによって相関の最大値が決定される。
ここで、Km,nは、正規化2Dマスク(下記で鍵孔マスク又は鍵孔アポディゼーションとも呼ぶ)であり、以下のようになる。
Am,n(x,y)は、ベクトル(−x,−y)だけ変位した変位される像1を表し、Bm,nは、固定像2を表す。両方の記録が同じサイズのものであり、各々はP×Q個のピクセルを有する。両方の記録が、同じサイズのP×Q個のピクセルから構成される行列である。例示的実施形態の1つの変形では、P=Q=1000である。これは、位置測定装置10の検出器6のピクセルの行列に対応する。上述の全和により、両方の記録内で同じピクセル位置に存在する(変位(−x,y)を考慮して)2つの記録の強度値は、常に互いから減算される。
D1、D2 ミラー平面
M1、M2 ミラー平面
Z 対称中心
Claims (14)
- 対称中心を有する構造の基準点に対する像内の位置を決定する方法であって、
構造を含み、かつ基準点を有する像を準備する段階と、
前記基準点に対して前記像の少なくとも2つの対称操作を実施し、それによって前記構造に対して合同である鏡像反転構造を有する少なくとも2つの鏡像が得られる段階と、
構造と2つの鏡像反転構造との間の少なくとも2つの変位ベクトルを決定する段階と、
前記少なくとも2つの変位ベクトルに基づいて前記基準点に対する前記構造の対称中心の位置として該構造の位置を計算する段階と、
を含み、
実施される前記対称操作は、
少なくとも2つの鏡像反転構造を生成するために、少なくとも第1の基準ミラー平面と第2の基準ミラー平面とにおいて前記像を鏡像反転すること、
であり、
前記第1の基準ミラー平面は、前記構造の第1のミラー平面と平行であり、前記第2の基準ミラー平面は、該構造の第2のミラー平面と平行であり、かつ全ての該基準ミラー平面は、前記基準点を通過する、
ことを特徴とする方法。 - 前記基準点は、前記像の中点であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1及び第2のミラー平面が互いに垂直である構造を含む前記像は、最初に、前記第1の基準ミラー平面で鏡像反転され、生成された該鏡像反転構造は、鏡像反転構造を生成するために前記第2の基準ミラー平面で鏡像反転され、該構造の位置が、構造と鏡像反転構造の間又は該2つの鏡像反転構造の間の変位ベクトルから計算されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 構造と2つの鏡像反転構造の間の前記少なくとも2つの変位ベクトルは、相互相関によって決定されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の方法。
- 構造と2つの鏡像反転構造の間の前記少なくとも2つの変位ベクトルは、最小二乗誤差法によって決定されることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記像の少なくとも1つの選択領域が、マスキングされ、該マスキング領域の外側の全ての像情報が、前記変位ベクトルの前記決定中に抑制されることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の方法。
- 基準点に対する像内の構造の位置を決定するための位置測定装置であって、
請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の方法による段階を実施する評価ユニット(7)、
を有することを特徴とする装置。 - 対称中心を有する構造の基準点に対する像内の位置を決定する方法であって、
構造を含み、かつ基準点を有する像を準備する段階と、
前記基準点に対して前記像の少なくとも1つの対称操作を実施し、それによって前記構造に対して合同である鏡像反転構造を有する少なくとも1つの鏡像が得られる段階と、
構造と1つの鏡像反転構造との間の少なくとも1つの変位ベクトルを決定する段階と、
前記少なくとも1つの変位ベクトルに基づいて前記基準点に対する前記構造の対称中心の位置として該構造の位置を計算する段階と、
を含み、
前記基準点での前記像の点鏡像反転又はそれと同等な対称操作の点鏡像反転が、前記対称操作として実施され、
構造の位置が、前記構造と前記鏡像の間の前記変位ベクトルの半分として計算されることを特徴とする方法。 - 対称中心を有する構造の基準点に対する像内の位置を決定する方法であって、
構造を含み、かつ基準点を有する像を準備する段階と、
前記基準点に対して前記像の少なくとも1つの対称操作を実施し、それによって前記構造に対して合同である構造を有する少なくとも1つの回転像が得られる段階と、
構造と1つの回転構造との間の少なくとも1つの変位ベクトルを決定する段階と、
前記少なくとも1つの変位ベクトルに基づいて前記基準点に対する前記構造の対称中心の位置として該構造の位置を計算する段階と、
を含み、
前記基準点での前記像の180°の回転が、前記対称操作として実施され、
構造の位置が、前記構造と前記回転像の間の前記変位ベクトルの半分として計算されることを特徴とする方法。 - 前記基準点は、前記像の中点であることを特徴とする請求項8又は請求項9のいずれか1項に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの変位ベクトルは、相互相関によって決定されることを特徴とする請求項8から請求項10のいずれか1項に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの変位ベクトルは、最小二乗誤差法によって決定されることを特徴とする請求項8から請求項11のいずれか1項に記載の方法。
- 前記像の少なくとも1つの選択領域が、マスキングされ、該マスキング領域の外側の全ての像情報が、前記変位ベクトルの前記決定中に抑制されることを特徴とする請求項8から請求項12のいずれか1項に記載の方法。
- 基準点に対する像内の構造の位置を決定するための位置測定装置であって、
請求項8から請求項13のいずれか1項に記載の方法による段階を実施する評価ユニット(7)、
を有することを特徴とする装置。
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