JP5978855B2 - アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP1191382A3 (en) * 2000-09-20 2003-10-15 Texas Instruments Inc. Stacked micromirror structures
JP2004085839A (ja) * 2002-08-26 2004-03-18 Canon Inc 揺動装置、それを用いた光偏向器、画像表示装置、画像形成装置、及びその製法
KR100738114B1 (ko) * 2006-05-18 2007-07-12 삼성전자주식회사 액츄에이터 및 이차원 스캐너
JP5387222B2 (ja) * 2009-08-12 2014-01-15 セイコーエプソン株式会社 光偏向器

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