JP5978855B2 - Actuator, optical scanner, image display device, head mounted display - Google Patents

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本発明は、アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置及びヘッドマウントディスプレイに関する。   The present invention relates to an actuator, an optical scanner, an image display device, and a head mounted display.

従来、可動子と、別の可動子である可動枠と、支持体と、可動枠上に配置されたコイルと、磁場発生手段としての一対の永久磁石を備えた光偏向器が知られている。このような光偏向器では、例えば、可動子が、第１のトーションバーを介して第１の回転軸の周りに揺動可能に可動枠に支持され、可動枠が、第２のトーションバーを介して第２の回転軸の周りに揺動可能に支持体に支持されている。そして、コイルに流れる電流と永久磁石の磁界との相互作用によって、可動子が第１の回転軸を中心に揺動し、可動枠が第２の回転軸を中心に揺動するように構成されている（例えば、特許文献１参照）。   2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known an optical deflector including a movable element, a movable frame that is another movable element, a support, a coil disposed on the movable frame, and a pair of permanent magnets as magnetic field generating means. . In such an optical deflector, for example, the mover is supported by the movable frame so as to be swingable around the first rotation axis via the first torsion bar, and the movable frame moves the second torsion bar. And is supported by the support so as to be swingable around the second rotation axis. The movable element swings about the first rotation axis and the movable frame swings about the second rotation axis by the interaction between the current flowing in the coil and the magnetic field of the permanent magnet. (For example, refer to Patent Document 1).

特開２００９−２１０９４７号公報JP 2009-210947 A

しかしながら、上記の光偏向器では、可動枠上のコイルを横切るように永久磁石の磁界が形成される一方で、コイルを横切らない磁界も発生する。このような磁界は、コイルに流れる電流との相互作用に寄与無効な磁界となるため、可動子及び可動枠の揺動効率が低下する、という課題があった。   However, in the above optical deflector, a magnetic field of a permanent magnet is formed so as to cross the coil on the movable frame, but a magnetic field that does not cross the coil is also generated. Since such a magnetic field becomes an ineffective magnetic field that contributes to the interaction with the current flowing in the coil, there has been a problem that the swinging efficiency of the mover and the movable frame is reduced.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

［適用例１］本適用例にかかるアクチュエーターは、可動部と、前記可動部を支持する周囲に配置された可動枠と、前記可動枠を支持する可動枠支持部と、前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、前記第１軸および前記第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えたことを特徴とする。   Application Example 1 An actuator according to this application example includes a movable part, a movable frame arranged around the movable part, a movable frame support part that supports the movable frame, the movable part, and the movable part. A first shaft portion that supports the movable portion so as to be swingable around a first axis, and the movable frame and the movable frame support portion; and the movable frame is connected to the first frame. A second shaft portion swingably supported around a second axis intersecting the shaft, a coil provided in an annular shape along the outer shape of the movable frame, and a plane including the first shaft and the second shaft In a plan view from the normal direction, a pair of permanent magnets sandwiching the movable frame and positioned in a direction inclined with respect to the first axis and the second axis, and in the plan view, the coil And a core material located in an annular shape.

この構成によれば、一対の永久磁石間に発生する磁界は、環状のコイルの内側に位置するコア材によって、コア材側に引き寄せられる。例えば、通常、可動枠の外側に形成される磁界も、コア材によってコイルを横切ることになる。これにより、可動枠に形成されたコイルを横切る磁界が増加されるので、永久磁石により発生する磁界の利用効率が高まる。これにより、コイルへの投入電力に対する可動部及び可動枠の揺動（駆動）効率を向上させることができる。   According to this configuration, the magnetic field generated between the pair of permanent magnets is attracted to the core material side by the core material located inside the annular coil. For example, normally, a magnetic field formed outside the movable frame also crosses the coil by the core material. As a result, the magnetic field across the coil formed on the movable frame is increased, so that the utilization efficiency of the magnetic field generated by the permanent magnet is increased. Thereby, the swinging (driving) efficiency of the movable part and the movable frame with respect to the input power to the coil can be improved.

［適用例２］上記適用例にかかるアクチュエーターの前記可動部は、前記第１軸部が接続された基部と、支柱を有する反射部と、を含み、前記基部の第１面に前記反射部の前記支柱が固着され、前記基部の前記第１面の反対側となる第２面に前記コア材が位置することを特徴とする。   Application Example 2 The movable portion of the actuator according to the application example includes a base portion to which the first shaft portion is connected, and a reflection portion having a support, and the first surface of the base portion includes the reflection portion. The column is fixed, and the core material is located on a second surface of the base opposite to the first surface.

この構成によれば、基部と反射部とが別体なので、反射部の大きさを維持させた状態で基部側全体の構造をより小型化させることができる。すなわち、反射部の大きさは基部側等の寸法の影響を受けることがない。また、反射部は支柱を有しているため、反射部が揺動した際、可動枠や可動枠支持部との接触を防止し、揺動運動を円滑に行うことができる。さらに、基部の第２面にコア材が設けられるため、コア材の設置が容易となるとともに、構造を簡略化させることできる。これにより、アクチュエーターの中央部に向けて磁界を容易に集中させることができる。   According to this configuration, since the base portion and the reflection portion are separate bodies, the entire structure on the base side can be further reduced in size while maintaining the size of the reflection portion. That is, the size of the reflecting portion is not affected by the size of the base side or the like. In addition, since the reflecting portion has a support column, when the reflecting portion swings, contact with the movable frame and the movable frame support portion can be prevented, and the swinging motion can be performed smoothly. Furthermore, since the core material is provided on the second surface of the base portion, the core material can be easily installed and the structure can be simplified. Thereby, a magnetic field can be easily concentrated toward the center part of an actuator.

［適用例３］上記適用例にかかるアクチュエーターの前記可動部は、前記第１軸部が接続された基部と、反射部と、を含み、前記基部の第１面に前記コア材が位置し、前記コア材の前記基部と反対側に前記反射部が位置することを特徴とする。   Application Example 3 The movable portion of the actuator according to the application example includes a base portion to which the first shaft portion is connected and a reflection portion, and the core material is located on the first surface of the base portion, The reflection part is located on the opposite side of the core from the base part.

この構成によれば、基部と反射部とが別体なので、反射部の大きさを維持させた状態で基部側全体の構造をより小型化させることができる。すなわち、反射部の大きさは基部側等の寸法の影響を受けることがない。また、基部と反射部との間にコア材が配置され、これにより、基部と反射部とが離間した構造となる。すなわち、コア材が、磁界を集中させるとともに、支柱（スペーサー）としても機能する。従って、反射部が揺動した際、可動枠や可動枠支持部との接触を防止し、揺動運動を円滑に行うことができる。   According to this configuration, since the base portion and the reflection portion are separate bodies, the entire structure on the base side can be further reduced in size while maintaining the size of the reflection portion. That is, the size of the reflecting portion is not affected by the size of the base side or the like. Moreover, a core material is arrange | positioned between a base part and a reflection part, and it becomes a structure where the base part and the reflection part were spaced apart by this. That is, the core material concentrates the magnetic field and also functions as a support (spacer). Therefore, when the reflecting portion swings, contact with the movable frame and the movable frame support portion can be prevented, and the swinging motion can be performed smoothly.

［適用例４］上記適用例にかかるアクチュエーターでは、前記平面視において、前記反射部が前記可動枠を覆って形成されたことを特徴とする。   Application Example 4 In the actuator according to the application example described above, the reflection portion is formed so as to cover the movable frame in the plan view.

この構成によれば、例えば、外部から反射部に向けて光を照射した際、基部、可動枠やコイル等に光が到達することがない。従って、基部、可動枠やコイル等に反射する迷光の発生を防止することができる。   According to this configuration, for example, when light is irradiated from the outside toward the reflecting portion, the light does not reach the base, the movable frame, the coil, or the like. Therefore, generation of stray light reflected on the base, the movable frame, the coil, and the like can be prevented.

［適用例５］本適用例にかかる光スキャナーは、光を反射する反射部を含む可動部と、前記可動部を支持する可動枠と、前記可動枠を支持する可動枠支持部と、前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、前記第１軸および前記第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えたことを特徴とする。 Application Example 5 An optical scanner according to this application example includes a movable part including a reflection part that reflects light, a movable frame that supports the movable part, a movable frame support part that supports the movable frame, and the movable part. And connecting the movable frame and the movable frame, and connecting the movable frame and the movable frame support unit to each other, and connecting the movable frame to the movable frame. A second shaft portion that swingably supports a second axis that intersects the first axis, a coil that is annularly provided along the outer shape of the movable frame, the first shaft, and the second shaft In a plan view from a normal direction of a plane including the pair of permanent magnets sandwiching the movable frame and positioned in a direction inclined with respect to the first axis and the second axis, and in the plan view, And a core material positioned in the ring of the coil.

この構成によれば、コイルへの投入電力に対して効率よく反射部が揺動（駆動）する光スキャナーを提供することができる。   According to this configuration, it is possible to provide an optical scanner in which the reflecting portion swings (drives) efficiently with respect to the input power to the coil.

［適用例６］本適用例にかかる画像表示装置は、光を反射する反射部を含む可動部と、前記可動部の周囲に配置された可動枠と、前記可動枠の周囲に配置された可動枠支持部と、前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する前記第１軸部と、前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、前記第１軸および前記第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えた光スキャナーと、前記光スキャナーに対して光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とする。   Application Example 6 An image display apparatus according to this application example includes a movable part including a reflection part that reflects light, a movable frame disposed around the movable part, and a movable frame disposed around the movable frame. A frame support portion; and the first shaft portion that connects the movable portion and the movable frame and supports the movable portion so as to be swingable about a first axis; the movable frame; and the movable frame support portion; A second shaft portion that swingably supports the movable frame around a second axis that intersects the first axis, a coil that is provided annularly along the outer shape of the movable frame, and the first A pair of permanent magnets sandwiching the movable frame and positioned in a direction inclined with respect to the first axis and the second axis in a plan view from a normal direction of a plane including one axis and the second axis And in the plan view, a core material located in the annular shape of the coil And scanners, and further comprising a, an irradiation unit for irradiating light to the light scanner.

この構成によれば、コイルへの投入電力に対して効率よく反射部が揺動（駆動）する光スキャナーが搭載された画像表示装置を提供することができる。   According to this configuration, it is possible to provide an image display device equipped with an optical scanner in which the reflecting portion swings (drives) efficiently with respect to the input power to the coil.

［適用例７］本適用例にかかるヘッドマウントディスプレイは、光を反射する反射部を含む可動部と、前記可動部の周囲に配置された可動枠と、前記可動枠の周囲に配置された可動枠支持部と、前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、前記第１軸および前記第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えた光スキャナーと、前記光スキャナーに対して光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とする。
Application Example 7 A head mounted display according to this application example includes a movable part including a reflection part that reflects light, a movable frame disposed around the movable part, and a movable frame disposed around the movable frame. A frame support portion, a first shaft portion that connects the movable portion and the movable frame, and supports the movable portion so as to be swingable about a first axis, and the movable frame and the movable frame support portion. A second shaft portion that supports the movable frame so as to be swingable around a second axis that intersects the first axis, a coil that is annularly provided along an outer shape of the movable frame, and the first A pair of permanent magnets sandwiching the movable frame and positioned in a direction inclined with respect to the first axis and the second axis in a plan view from a normal direction of a plane including one axis and the second axis And a core located in the annular shape of the coil in the plan view When the optical scanner having a, characterized by comprising an irradiation unit for irradiating light to the light scanner.

この構成によれば、コイルへの投入電力に対して効率よく反射部が揺動（駆動）する光スキャナーが搭載れたヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）を提供することができる。   According to this configuration, it is possible to provide a head-mounted display (HMD) equipped with an optical scanner in which the reflecting portion swings (drives) efficiently with respect to the input power to the coil.

第１実施形態にかかる光スキャナーの構成を示す平面図。FIG. 3 is a plan view showing the configuration of the optical scanner according to the first embodiment. 第１実施形態にかかる光スキャナーの構成を示す断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the configuration of the optical scanner according to the first embodiment. 電圧印加部の構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of a voltage application part. 発生電圧の一例を示す説明図。An explanatory view showing an example of generated voltage. 光スキャナーの動作を説明する模式図。FIG. 6 is a schematic diagram illustrating the operation of an optical scanner. 画像表示装置の構成を示す概略図。Schematic which shows the structure of an image display apparatus. 携帯用画像表示装置の構成を示す概略図。Schematic which shows the structure of a portable image display apparatus. ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）の構成を示す概略図。Schematic which shows the structure of a head up display (HUD). ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）の構成を示す概略図。Schematic which shows the structure of a head mounted display (HMD). 第２実施形態にかかるアクチュエーターの構成を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of the actuator concerning 2nd Embodiment.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の各図においては、各部材等を認識可能な程度の大きさにするため、各部材等の尺度を実際とは異ならせて示している。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the scale of each member or the like is shown differently from the actual scale so as to make each member or the like recognizable.

［第１実施形態］
まず、本実施形態にかかるアクチュエーターの構成について説明する。本実施形態にかかるアクチュエーターは、可動部と、可動部を支持する可動枠と、可動枠を支持する可動枠支持部と、可動部と可動枠とを接続するとともに、可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、可動枠と可動枠支持部とを接続するとともに、可動枠を第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、第１軸および第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、可動枠を挟み、かつ、第１軸及び第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、平面視において、環状に設けられたコイルの環状内に位置するコア材を備えたものである。以下、具体的に説明する。なお、本実施形態では、アクチュエーターとしての光スキャナーを例に挙げて説明する。 [First Embodiment]
First, the configuration of the actuator according to the present embodiment will be described. The actuator according to the present embodiment connects the movable part, the movable frame that supports the movable part, the movable frame support part that supports the movable frame, the movable part and the movable frame, and the movable part around the first axis. A first shaft portion that is swingably supported, and a second shaft portion that connects the movable frame and the movable frame support portion and supports the movable frame swingably about a second axis that intersects the first axis. And a coil provided in an annular shape along the outer shape of the movable frame, and the plane including the first axis and the second axis in a plan view from the normal direction, the movable frame is sandwiched between the first axis and the second axis. A pair of permanent magnets positioned in a direction inclined with respect to the axis and a core material positioned in an annular shape of a coil provided in an annular shape in plan view. This will be specifically described below. In the present embodiment, an optical scanner as an actuator will be described as an example.

図１は、本実施形態にかかる光スキャナーの構成を示す平面図であり、図２は、本実施形態にかかる光スキャナーの構成を示す断面図である。なお、図１は、反射部１１３を透視した平面図であり、図２は、図１におけるＡ−Ａ断面図である。   FIG. 1 is a plan view showing the configuration of the optical scanner according to the present embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing the configuration of the optical scanner according to the present embodiment. 1 is a plan view seen through the reflecting portion 113, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.

図１及び図２に示すように、光スキャナー１は、反射部１１３を含む可動部１０と、可動部１０を支持する可動枠１３と、可動枠１３を支持する可動枠支持部１５と、可動部１０と可動枠１３とを接続するとともに、可動部１０を第１軸（本実施形態ではＹ軸）周りに揺動可能に支持する一対の第１軸部１２ａ，１２ｂと、可動枠１３と可動枠支持部１５とを接続するとともに、可動枠１３を第１軸に交差する第２軸（本実施形態ではＸ軸）周りに揺動可能に支持する２対の第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄと、可動枠１３の外形に沿って環状に設けられたコイル３１と、第１軸および第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、可動枠１３を挟み、かつ、第１軸及び第２軸に対して傾斜する方向に配置された一対の永久磁石２１ａ，２１ｂと、平面視において、環状に設けられたコイル３１の内側に配置されたコア材３０を備えている。さらに、コイル３１に対して所定の電圧を印加させる電圧印加部を備えている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the optical scanner 1 includes a movable part 10 including a reflecting part 113, a movable frame 13 that supports the movable part 10, a movable frame support part 15 that supports the movable frame 13, and a movable part. A pair of first shaft portions 12a and 12b that connect the portion 10 and the movable frame 13 and support the movable portion 10 so as to be swingable about a first axis (Y-axis in the present embodiment); Two pairs of second shaft portions 14a and 14b are connected to the movable frame support portion 15 and support the movable frame 13 so as to be swingable around a second axis (the X axis in this embodiment) intersecting the first axis. , 14c, 14d, the coil 31 provided in an annular shape along the outer shape of the movable frame 13, and the movable frame 13 in a plan view from the normal direction of the plane including the first axis and the second axis. A pair of permanent magnets arranged in a direction inclined with respect to the first axis and the second axis 21a, a 21b, in a plan view, and a core material 30 arranged inside the coil 31 provided in the annular. Further, a voltage application unit that applies a predetermined voltage to the coil 31 is provided.

可動部１０は、第１軸部１２ａ，１２ｂが接続された基部１１１と、支柱１１２を有する反射部１１３とを含み、基部１１１の第１面１１１ａに反射部１１３の支柱１１２が固着されている。固着方法としては、例えば、各種接着剤、ろう材等の接合材を用いて固着させることができる。このように、基部１１１と反射部１１３とが別部材として構成されている。また、反射部１１３の表面には光を反射させる反射面１１４が形成されている。本実施形態における反射部１１３は、平面視にて、円形を成している。なお、ここで言う平面視とは、後述のＳＯＩ基板などによって形成されている板状の可動枠支持部１５を、その板厚方向から見ることを指し、以下同様の意味で用いている。さらに、この平面視を言い換えると、第１軸および第２軸を含む平面の法線方向から見ることを指す。そして、反射部１１３の全面に反射面１１４が形成されている。なお、反射部１１３の形状は、円形に限定されず、例えば、楕円形、四角形等の多角形であってもよい。そして、基部１１１の第１面１１１ａの反対側の第２面１１１ｂにコア材３０が設けられている。第２面１１１ｂとコア材３０は、例えば、接着剤、ろう材等の接合材によって固着されている。コア材３０は、例えば、鉄やケイ素鋼、鉄とニッケルの合金等の軟磁性体である。可動部１０の基部１１１は、第１軸部１２ａ，１２ｂを介して可動枠１３に支持されている。   The movable portion 10 includes a base 111 to which the first shaft portions 12a and 12b are connected, and a reflecting portion 113 having a support 112, and the support 112 of the reflecting portion 113 is fixed to the first surface 111a of the base 111. . As a fixing method, for example, it is possible to fix using a bonding material such as various adhesives or brazing material. As described above, the base 111 and the reflecting portion 113 are configured as separate members. A reflection surface 114 that reflects light is formed on the surface of the reflection portion 113. The reflection part 113 in this embodiment has a circular shape in plan view. In addition, the planar view mentioned here refers to viewing the plate-like movable frame support portion 15 formed by an SOI substrate, which will be described later, from the plate thickness direction, and is used in the same meaning hereinafter. Furthermore, in other words, this planar view refers to viewing from the normal direction of the plane including the first axis and the second axis. A reflective surface 114 is formed on the entire surface of the reflective portion 113. In addition, the shape of the reflection part 113 is not limited to a circle, For example, polygonal shapes, such as an ellipse and a rectangle, may be sufficient. The core material 30 is provided on the second surface 111b of the base 111 opposite to the first surface 111a. The second surface 111b and the core material 30 are fixed by, for example, a bonding material such as an adhesive or a brazing material. The core material 30 is, for example, a soft magnetic material such as iron, silicon steel, or an alloy of iron and nickel. The base 111 of the movable part 10 is supported by the movable frame 13 via the first shaft parts 12a and 12b.

図１に示すように、平面視において、反射部１１３が可動枠１３を覆うように形成されている。すなわち、平面視において、基部１１１、第１軸部１２ａ，１２ｂ、可動枠１３、コイル３１及び第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄが反射部１１３の内側に配置されている。そのため、第１軸部１２ａと第１軸部１２ｂとの間の距離を短くしつつ、反射部１１３の面積を大きくすることができる。また、第１軸部１２ａと第１軸部１２ｂとの間の距離を短くすることができることから、可動枠１３の小型化を図ることができる。さらに、可動枠１３の小型化を図ることができることから、第２軸部１４ａ、１４ｂと第２軸部１４ｃ、１４ｄとの間の距離を短くすることができる。これにより、反射部１１３の面積を大きく維持しつつも、光スキャナー１の全体構造を小型化させることが可能となる。また、不要な光が基部１１１、第１軸部１２ａ，１２ｂ、可動枠１３、コイル３１及び第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄで反射して迷光となるのを防止することができる。また、永久磁石２１ａ、２１ｂ間の距離を小さくすることができるため、コイル３１を横切る磁界を大きくすることができる。   As shown in FIG. 1, the reflection portion 113 is formed so as to cover the movable frame 13 in a plan view. That is, the base 111, the first shaft portions 12a and 12b, the movable frame 13, the coil 31, and the second shaft portions 14a, 14b, 14c, and 14d are disposed inside the reflecting portion 113 in plan view. Therefore, the area of the reflecting portion 113 can be increased while shortening the distance between the first shaft portion 12a and the first shaft portion 12b. Moreover, since the distance between the 1st axial part 12a and the 1st axial part 12b can be shortened, size reduction of the movable frame 13 can be achieved. Furthermore, since the movable frame 13 can be reduced in size, the distance between the second shaft portions 14a and 14b and the second shaft portions 14c and 14d can be shortened. As a result, it is possible to reduce the overall structure of the optical scanner 1 while maintaining a large area of the reflecting portion 113. Further, it is possible to prevent unnecessary light from being reflected by the base 111, the first shaft portions 12a and 12b, the movable frame 13, the coil 31, and the second shaft portions 14a, 14b, 14c, and 14d and becoming stray light. In addition, since the distance between the permanent magnets 21a and 21b can be reduced, the magnetic field across the coil 31 can be increased.

また、反射部１１３は支柱１１２を有するため、反射面１１４が形成された板部１１３ａが第１軸部１２ａ，１２ｂに対して厚さ方向に離間する構成となる。すなわち、板部１１３ａが第１軸部１２ａ、１２ｂの側面に直接接続されないので、反射部１１３の揺動（回動）時に、第１軸部１２ａ、１２ｂの捩れ変形による応力が反射部１１３に及ぶのを防止または抑制することができ、その結果、反射部１１３（板部１１３ａ）の撓みを低減させることができる。   Moreover, since the reflection part 113 has the support | pillar 112, it becomes the structure which the board part 113a in which the reflective surface 114 was formed spaces apart with respect to 1st axial part 12a, 12b in thickness direction. That is, since the plate portion 113a is not directly connected to the side surfaces of the first shaft portions 12a and 12b, the stress due to the torsional deformation of the first shaft portions 12a and 12b is applied to the reflecting portion 113 when the reflecting portion 113 swings (rotates). As a result, the deflection of the reflecting portion 113 (plate portion 113a) can be reduced.

可動枠１３は、枠状を成し、可動部１０の基部１１１の周囲を囲むように設けられている。換言すれば、可動部１０の基部１１１は、枠状の可動枠１３の内側に設けられている。また、可動枠支持部１５は、枠状を成し、可動枠１３の周囲を囲むように設けられている。換言すれば、可動枠１３は、可動枠支持部１５の内側に設けられている。可動枠１３は、第２軸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄを介して可動枠支持部１５に支持されている。可動枠支持部１５の表面には、反射防止処理が施されているのが好ましい。これにより、可動枠支持部１５に照射された不要光が迷光となるのを防止することができる。かかる反射防止処理としては、特に限定されないが、例えば、反射防止膜（誘電体多層膜）の形成、粗面化処理、黒色処理等が挙げられる。なお、可動枠支持部１５の他に可動枠１３の表面にも反射防止処理を施してもよい。   The movable frame 13 has a frame shape and is provided so as to surround the periphery of the base 111 of the movable unit 10. In other words, the base 111 of the movable portion 10 is provided inside the frame-shaped movable frame 13. The movable frame support portion 15 has a frame shape and is provided so as to surround the periphery of the movable frame 13. In other words, the movable frame 13 is provided inside the movable frame support portion 15. The movable frame 13 is supported by the movable frame support portion 15 via the second shaft portions 14a, 14b, 14c, and 14d. The surface of the movable frame support portion 15 is preferably subjected to an antireflection treatment. Thereby, it is possible to prevent unnecessary light irradiated to the movable frame support portion 15 from becoming stray light. The antireflection treatment is not particularly limited, and examples thereof include formation of an antireflection film (dielectric multilayer film), roughening treatment, and black treatment. In addition to the movable frame support portion 15, the surface of the movable frame 13 may be subjected to antireflection treatment.

また、可動枠１３は、Ｙ軸に沿った方向における長さがＸ軸に沿った方向の長さよりも長くなっている。すなわち、Ｙ軸に沿った方向における可動枠１３の長さをａとし、Ｘ軸に沿った方向における可動枠１３の長さをｂとしたとき、ａ＞ｂなる関係を満たす。これにより、第１軸部１２ａ，１２ｂに必要な長さを確保しつつ、Ｘ軸に沿った方向における光スキャナー１の長さを抑えることができる。   The movable frame 13 has a length in the direction along the Y axis that is longer than a length in the direction along the X axis. That is, when the length of the movable frame 13 in the direction along the Y axis is a and the length of the movable frame 13 in the direction along the X axis is b, the relationship a> b is satisfied. Thereby, it is possible to suppress the length of the optical scanner 1 in the direction along the X axis while securing a necessary length for the first shaft portions 12a and 12b.

また、可動枠１３は、平面視において、可動部１０の基部１１１及び第１軸部１２ａ，１２ｂからなる構造体の外形に沿った形状を成している。なお、可動枠１３の形状は、枠状であれば、特に限定されない。このような構成において、可動部１０、第１軸部１２ａ，１２ｂで構成された振動系の振動、すなわち、可動部１０のＹ軸周りの揺動を許容しつつ、可動枠１３の小型化を図ることができる。   In addition, the movable frame 13 has a shape along the outer shape of the structure including the base 111 of the movable portion 10 and the first shaft portions 12a and 12b in a plan view. The shape of the movable frame 13 is not particularly limited as long as it is a frame shape. In such a configuration, the movable frame 13 can be reduced in size while allowing the vibration of the vibration system configured by the movable portion 10 and the first shaft portions 12a and 12b, that is, the swing of the movable portion 10 around the Y axis. Can be planned.

可動枠１３上にはコイル３１が形成されている。コイル３１は、可動枠１３の外形状に倣って環状に巻かれて形成されている。コイル３１の材料としては。導電性を有するものであればよく、例えば、銅やアルミニウム等の金属が好適である。そして、コイル３１の一端は、可動枠支持部１５に設けられた第１端子３２ａに電気的に接続されている。また、コイル３１の他端は、可動枠支持部１５に設けられた第２端子３２ｂに電気的に接続されている。そして、第１端子３２ａ及び第２端子３２ｂは、後述する電圧印加部に電気的に接続されている。   A coil 31 is formed on the movable frame 13. The coil 31 is formed in an annular shape following the outer shape of the movable frame 13. As a material of the coil 31. What is necessary is just to have electroconductivity, for example, metals, such as copper and aluminum, are suitable. One end of the coil 31 is electrically connected to a first terminal 32 a provided on the movable frame support portion 15. Further, the other end of the coil 31 is electrically connected to a second terminal 32 b provided on the movable frame support portion 15. And the 1st terminal 32a and the 2nd terminal 32b are electrically connected to the voltage application part mentioned later.

第１軸部１２ａ，１２ｂおよび第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、それぞれ、弾性変形可能である。そして、第１軸部１２ａ，１２ｂは、可動部１０をＹ軸周りに回動（揺動）可能とするように、可動部１０と可動枠１３とを連結している。また、第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、可動枠１３をＹ軸に直交するＸ軸周りに回動（揺動）可能とするように、可動枠１３と可動枠支持部１５とを連結している。   The first shaft portions 12a, 12b and the second shaft portions 14a, 14b, 14c, 14d can be elastically deformed, respectively. The first shaft portions 12a and 12b connect the movable portion 10 and the movable frame 13 so that the movable portion 10 can be rotated (swinged) about the Y axis. Further, the second shaft portions 14a, 14b, 14c, and 14d have the movable frame 13 and the movable frame support portion 15 so that the movable frame 13 can be rotated (swinged) about the X axis orthogonal to the Y axis. Are connected.

第１軸部１２ａ，１２ｂは、可動部１０の基部１１１を介して互いに対向するように配置されている。また、第１軸部１２ａ，１２ｂは、それぞれ、Ｙ軸に沿った方向に延在する長手形状を成す。そして、第１軸部１２ａ，１２ｂは、それぞれ、一端部が基部１１１に接続され、他端部が可動枠１３に接続されている。また、第１軸部１２ａ，１２ｂは、それぞれ、中心軸とＹ軸とが一致するように配置されている。このように構成された第１軸部１２ａ，１２ｂは、それぞれ、可動部１０のＹ軸周りの揺動に伴ってねじれ変形する。   The first shaft portions 12 a and 12 b are disposed so as to face each other via the base portion 111 of the movable portion 10. The first shaft portions 12a and 12b each have a longitudinal shape extending in the direction along the Y axis. Each of the first shaft portions 12 a and 12 b has one end connected to the base 111 and the other end connected to the movable frame 13. Further, the first shaft portions 12a and 12b are arranged so that the center axis and the Y axis coincide with each other. The first shaft portions 12a and 12b configured as described above are torsionally deformed as the movable portion 10 swings around the Y axis.

第２軸部１４ａ，１４ｂ及び第２軸部１４ｃ，１４ｄは、可動枠１３を介して互いに対向するように配置されている。また、第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、それぞれ、Ｘ軸に沿った方向に延在する長手形状をなす。そして、第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、それぞれ、一端部が可動枠１３に接続され、他端部が可動枠支持部１５に接続されている。また、第２軸部１４ａ，１４ｂは、Ｘ軸を介して互いに対向するように配置され、同様に、第２軸部１４ｃ，１４ｄは、Ｘ軸を介して互いに対向するように配置されている。このように構成された第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、可動枠１３のＸ軸周りの揺動に伴って、第２軸部１４ａ，１４ｂ全体及び第２軸部１４ｃ，１４ｄ全体がそれぞれねじれ変形する。このように、可動部１０をＹ軸周りに揺動可能とするとともに、可動枠１３をＸ軸周りに揺動可能とすることにより、可動部１０を互いに直交するＸ軸およびＹ軸の２軸周りに揺動（回動）させることができる。   The second shaft portions 14 a and 14 b and the second shaft portions 14 c and 14 d are arranged to face each other with the movable frame 13 interposed therebetween. The second shaft portions 14a, 14b, 14c, and 14d each have a longitudinal shape that extends in a direction along the X axis. Each of the second shaft portions 14 a, 14 b, 14 c, and 14 d has one end connected to the movable frame 13 and the other end connected to the movable frame support portion 15. The second shaft portions 14a and 14b are disposed so as to face each other via the X axis, and similarly, the second shaft portions 14c and 14d are disposed so as to face each other via the X axis. . The second shaft portions 14a, 14b, 14c, and 14d configured in this way are the second shaft portions 14a and 14b and the second shaft portions 14c and 14d as the movable frame 13 swings around the X axis. Are torsionally deformed. In this way, the movable part 10 can be swung around the Y axis, and the movable frame 13 can be swung around the X axis. It can be swung (rotated) around.

なお、第１軸部１２ａ，１２ｂ及び第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの形態は上記の形態に限定されない。例えば、途中の少なくとも１箇所に屈曲または湾曲した、ミアンダー形状を有していてもよい。また、第１軸部１２ａ，１２ｂや第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの軸の本数に関しても単数であってもよいし、複数であってもよい。   In addition, the form of 1st axial part 12a, 12b and 2nd axial part 14a, 14b, 14c, 14d is not limited to said form. For example, it may have a meander shape that is bent or curved in at least one place in the middle. Also, the number of shafts of the first shaft portions 12a, 12b and the second shaft portions 14a, 14b, 14c, 14d may be singular or plural.

前述した基部１１１、第１軸部１２ａ，１２ｂ、可動枠１３、第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ及び可動枠支持部１５は、一体的に形成されている。本実施形態では、基部１１１、第１軸部１２ａ，１２ｂ、可動枠１３、第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ及び可動枠支持部１５は、第１のＳｉ層（デバイス層）と、ＳｉＯ2層（ボックス層）と、第２のＳｉ層（ハンドル層）とがこの順に積層したＳＯＩ基板をエッチングすることにより形成されている。ＳＯＩ基板は、エッチングにより微細な加工が可能であるため、ＳＯＩ基板を用いて基部１１１、第１軸部１２ａ，１２ｂ、可動枠１３、第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄおよび可動枠支持部１５を形成することにより、これらの寸法精度を優れたものとすることができ、また、光スキャナー１の小型化を図ることができる。また、支柱１１２を含む反射部１１３も、ＳＯＩ基板をエッチングすることにより形成されている。このようにすれば、簡単かつ高精度に反射部１１３を形成することができる。なお、上記の形成方法は、一例であり、これに限定されるものではない。 The base 111, the first shaft portions 12a and 12b, the movable frame 13, the second shaft portions 14a, 14b, 14c, and 14d, and the movable frame support portion 15 are integrally formed. In the present embodiment, the base 111, the first shaft portions 12a and 12b, the movable frame 13, the second shaft portions 14a, 14b, 14c, and 14d, and the movable frame support portion 15 are the first Si layer (device layer), It is formed by etching an SOI substrate in which a SiO 2 layer (box layer) and a second Si layer (handle layer) are laminated in this order. Since the SOI substrate can be finely processed by etching, the base portion 111, the first shaft portions 12a and 12b, the movable frame 13, the second shaft portions 14a, 14b, 14c, and 14d and the movable frame support are used by using the SOI substrate. By forming the portion 15, these dimensional accuracy can be improved, and the optical scanner 1 can be downsized. Further, the reflection portion 113 including the support column 112 is also formed by etching the SOI substrate. In this way, the reflecting portion 113 can be formed easily and with high accuracy. In addition, said formation method is an example and is not limited to this.

一対の永久磁石２１ａ，２１ｂは、第１軸及び第２軸に対して角度を成して磁界が生じるように配置される。具体的には、図１に示すように、一対の永久磁石２１ａ，２１ｂは、平面視において、可動枠１３を挟むように、すなわち、形成されたコイル３１を挟むように第１軸部１２ａ，１２ｂ及び第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄに対して傾斜する方向に配置されている。また、一対の永久磁石２１ａ，２１ｂは、平面視において、第１軸および第２軸に対して傾斜した軸上に配置されている、と言い換えることもできる。本実施形態の場合では、一対の永久磁石２１ａ，２１ｂが、Ｘ軸及びＹ軸に対して傾斜して配置されている。なお、本実施形態では、一対の永久磁石２１ａ，２１ｂが、可動枠支持部１５の一対の対角を挟むように配置されている。   The pair of permanent magnets 21a and 21b are arranged such that a magnetic field is generated at an angle with respect to the first axis and the second axis. Specifically, as shown in FIG. 1, the pair of permanent magnets 21 a and 21 b has the first shaft portions 12 a and 12 b so as to sandwich the movable frame 13 in plan view, that is, sandwich the formed coil 31. 12b and the second shaft portions 14a, 14b, 14c, and 14d are arranged in a direction that is inclined. It can also be said that the pair of permanent magnets 21a and 21b are arranged on axes inclined with respect to the first axis and the second axis in plan view. In the case of the present embodiment, the pair of permanent magnets 21a and 21b are arranged to be inclined with respect to the X axis and the Y axis. In the present embodiment, the pair of permanent magnets 21 a and 21 b are arranged so as to sandwich the pair of diagonals of the movable frame support portion 15.

永久磁石２１ａ、２１ｂは、それぞれ、可動枠支持部１５の中心部に対する方向に対して一方側がＮ極に、他方側がＳ極に磁化され、さらに、一対の永久磁石２１ａ，２１ｂにおいて、それぞれ異なる磁極同士が対向するように配置されている。本実施形態では、一方の永久磁石２１ａのＮ極と他方の永久磁石２１ｂのＳ極とが対向するように配置されている。なお、上記の永久磁石の配置は一例であり、一対の各永久磁石が、複数の永久磁石を組み合わせた構成になっていてもよい。   The permanent magnets 21a and 21b are each magnetized with an N pole on the one side and an S pole on the other side with respect to the direction with respect to the central portion of the movable frame support portion 15. Further, different magnetic poles are used in the pair of permanent magnets 21a and 21b. They are arranged so that they face each other. In this embodiment, it arrange | positions so that the north-pole of one permanent magnet 21a and the south pole of the other permanent magnet 21b may oppose. In addition, arrangement | positioning of said permanent magnet is an example, and a pair of each permanent magnet may be the structure which combined several permanent magnet.

配置された永久磁石２１ａ、２１ｂのＸ軸（またはＹ軸）に対する傾斜角度は、３０〜６０度であることが好ましく、４０〜５０度であることがより好ましく、ほぼ４５度であることがさらに好ましい。このように永久磁石２１ａ，２１ｂを配置することにより可動部１０及び可動枠１３を円滑に揺動（回動）させることができる。   The inclination angle of the arranged permanent magnets 21a and 21b with respect to the X axis (or Y axis) is preferably 30 to 60 degrees, more preferably 40 to 50 degrees, and further preferably approximately 45 degrees. preferable. Thus, by arranging the permanent magnets 21a and 21b, the movable part 10 and the movable frame 13 can be smoothly swung (rotated).

上記の永久磁石２１ａ、２１ｂとしては、例えば、ネオジム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石等を好適に用いることができる。   As said permanent magnet 21a, 21b, a neodymium magnet, a ferrite magnet, a samarium cobalt magnet, an alnico magnet, a bond magnet etc. can be used suitably, for example.

次に、電圧印加部の構成について説明する。図３は、電圧印加部の構成を示すブロック図であり、図４は、発生電圧の一例を示す説明図である。   Next, the configuration of the voltage application unit will be described. FIG. 3 is a block diagram illustrating the configuration of the voltage application unit, and FIG. 4 is an explanatory diagram illustrating an example of the generated voltage.

図３に示すように、電圧印加部４は、可動部１０をＹ軸周りに揺動させるための第１電圧Ｖ１を発生させる第１電圧発生部４１と、可動部１０をＸ軸周りに揺動させるための第２電圧Ｖ２を発生させる第２電圧発生部４２と、第１電圧Ｖ１と第２電圧Ｖ２とを重畳する電圧重畳部４３とを備えている。電圧印加部４の第１電圧発生部４１及び第２電圧発生部４２はそれぞれ制御部７に接続されている。また、電圧印加部４は、コイル３１の第１端子３２ａ及び第２端子３２ｂに電気的に接続されており、電圧重畳部４３で重畳した電圧をコイル３１に印加するように構成されている。   As shown in FIG. 3, the voltage application unit 4 includes a first voltage generation unit 41 that generates a first voltage V1 for swinging the movable unit 10 about the Y axis, and a swing unit 10 that swings the movable unit 10 about the X axis. A second voltage generator 42 that generates a second voltage V2 to be moved, and a voltage superimposing unit 43 that superimposes the first voltage V1 and the second voltage V2 are provided. The first voltage generation unit 41 and the second voltage generation unit 42 of the voltage application unit 4 are each connected to the control unit 7. The voltage application unit 4 is electrically connected to the first terminal 32 a and the second terminal 32 b of the coil 31, and is configured to apply the voltage superimposed by the voltage superimposing unit 43 to the coil 31.

第１電圧発生部４１は、図４（ａ）に示すように、周期Ｔ１で周期的に変化する第１電圧Ｖ１（水平走査用電圧）を発生させるものである。すなわち、第１電圧発生部４１は、第１周波数（１／Ｔ１）の第１電圧Ｖ１を発生させるものである。第１電圧Ｖ１は、正弦波のような波形をなしている。そのため、光スキャナー１は効果的に光を主走査することができる。なお、第１電圧Ｖ１の波形は、これに限定されない。   As shown in FIG. 4A, the first voltage generator 41 generates a first voltage V1 (horizontal scanning voltage) that periodically changes in a cycle T1. That is, the first voltage generator 41 generates the first voltage V1 having the first frequency (1 / T1). The first voltage V1 has a waveform like a sine wave. Therefore, the optical scanner 1 can perform main scanning of light effectively. The waveform of the first voltage V1 is not limited to this.

また、第１周波数（１／Ｔ１）は、水平走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、１０〜４０ｋＨｚであるのが好ましい。本実施形態では、第１周波数は、可動部１０、第１軸部１２ａ、１２ｂで構成される第１の振動系（ねじり振動系）のねじり共振周波数（ｆ１）と等しくなるように設定されている。つまり、第１の振動系は、そのねじり共振周波数ｆ１が水平走査に適した周波数になるように設計（製造）されている。これにより、可動部１０のＹ軸周りの回動角を大きくすることができる。   The first frequency (1 / T1) is not particularly limited as long as it is suitable for horizontal scanning, but is preferably 10 to 40 kHz. In the present embodiment, the first frequency is set to be equal to the torsional resonance frequency (f1) of the first vibration system (torsional vibration system) composed of the movable portion 10 and the first shaft portions 12a and 12b. Yes. That is, the first vibration system is designed (manufactured) so that its torsional resonance frequency f1 is a frequency suitable for horizontal scanning. Thereby, the rotation angle of the movable unit 10 around the Y axis can be increased.

一方、第２電圧発生部４２は、図４（ｂ）に示すように、周期Ｔ１と異なる周期Ｔ２で周期的に変化する第２電圧Ｖ２（垂直走査用電圧）を発生させるものである。すなわち、第２電圧発生部４２は、第２周波数（１／Ｔ２）の第２電圧Ｖ２を発生させるものである。第２電圧Ｖ２は、鋸波のような波形をなしている。そのため、光スキャナー１は効果的に光を垂直走査（副走査）することができる。なお、第２電圧Ｖ２の波形は、これに限定されない。   On the other hand, as shown in FIG. 4B, the second voltage generator 42 generates a second voltage V2 (vertical scanning voltage) that periodically changes at a period T2 different from the period T1. That is, the second voltage generator 42 generates the second voltage V2 having the second frequency (1 / T2). The second voltage V2 has a waveform like a sawtooth wave. Therefore, the optical scanner 1 can effectively perform vertical scanning (sub-scanning) of light. The waveform of the second voltage V2 is not limited to this.

第２周波数（１／Ｔ２）は、第１周波数（１／Ｔ１）と異なり、かつ、垂直走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、３０〜１２０Ｈｚであるのが好ましい。さらには、６０Ｈｚ程度が好適である。このように、第２電圧Ｖ２の周波数を６０Ｈｚ程度とし、前述したように第１電圧Ｖ１の周波数を１０〜４０ｋＨｚとすることで、ディスプレイでの描画に適した周波数で、可動部１０を互いに直交する２軸（Ｘ軸およびＹ軸）のそれぞれの軸周りに回動させることができる。ただし、可動部１０をＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸周りに回動させることができれば、第１電圧Ｖ１の周波数と第２電圧Ｖ２の周波数との組み合わせは、特に限定されない。   The second frequency (1 / T2) is not particularly limited as long as it is different from the first frequency (1 / T1) and is suitable for vertical scanning, but is preferably 30 to 120 Hz. Furthermore, about 60 Hz is suitable. Thus, by setting the frequency of the second voltage V2 to about 60 Hz and the frequency of the first voltage V1 to 10 to 40 kHz as described above, the movable parts 10 are orthogonal to each other at a frequency suitable for drawing on the display. The two axes (X axis and Y axis) can be rotated around each axis. However, the combination of the frequency of the first voltage V1 and the frequency of the second voltage V2 is not particularly limited as long as the movable unit 10 can be rotated about the X axis and the Y axis.

本実施形態では、第２電圧Ｖ２の周波数は、可動部１０、第１軸部１２ａ、１２ｂ、可動枠１３、第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄで構成された第２の振動系（ねじり振動系）のねじり共振周波数（共振周波数）と異なる周波数となるように調整されている。このような第２電圧Ｖ２の周波数（第２周波数）は、第１電圧Ｖ１の周波数（第１周波数）よりも小さいことが好ましい。すなわち、周期Ｔ２は、周期Ｔ１よりも長いことが好ましい。これにより、より確実かつより円滑に、可動部１０をＹ軸周りに第１周波数で回動させつつ、Ｘ軸周りに第２周波数で回動させることができる。   In the present embodiment, the frequency of the second voltage V2 is the second vibration system (including the movable portion 10, the first shaft portions 12a and 12b, the movable frame 13, and the second shaft portions 14a, 14b, 14c, and 14d). The frequency is adjusted to be different from the torsional resonance frequency (resonance frequency) of the (torsional vibration system). The frequency of the second voltage V2 (second frequency) is preferably smaller than the frequency of the first voltage V1 (first frequency). That is, the period T2 is preferably longer than the period T1. Thereby, the movable part 10 can be rotated at the second frequency around the X axis while rotating the movable unit 10 around the Y axis at the first frequency more reliably and smoothly.

また、第１の振動系のねじり共振周波数をｆ１［Ｈｚ］とし、第２の振動系のねじり共振周波数をｆ２［Ｈｚ］としたとき、ｆ１とｆ２とが、ｆ２＜ｆ１の関係を満たすことが好ましく、ｆ１≧１０ｆ２の関係を満たすことがより好ましい。これにより、より円滑に、可動部１０を、Ｙ軸周りに第１電圧Ｖ１の周波数で回動させつつ、Ｘ軸周りに第２電圧Ｖ２の周波数で回動させることができる。   Further, when the torsional resonance frequency of the first vibration system is f1 [Hz] and the torsional resonance frequency of the second vibration system is f2 [Hz], f1 and f2 satisfy the relationship of f2 <f1. Is preferable, and it is more preferable to satisfy the relationship of f1 ≧ 10f2. Thereby, the movable part 10 can be rotated more smoothly around the X axis at the frequency of the second voltage V2 while being rotated more smoothly around the Y axis.

このような第１電圧発生部４１および第２電圧発生部４２は、それぞれに接続された制御部７からの信号に基づき駆動される。そして、第１電圧発生部４１及び第２電圧発生部４２は、電圧重畳部４３に接続されている。電圧重畳部４３は、コイル３１に電圧を印加するための加算器４３ａを備えている。加算器４３ａは、第１電圧発生部４１から第１電圧Ｖ１を受けるとともに、第２電圧発生部４２から第２電圧Ｖ２を受け、これらの電圧を重畳しコイル３１に印加する。   The first voltage generation unit 41 and the second voltage generation unit 42 are driven based on signals from the control unit 7 connected thereto. The first voltage generator 41 and the second voltage generator 42 are connected to the voltage superimposing unit 43. The voltage superimposing unit 43 includes an adder 43 a for applying a voltage to the coil 31. The adder 43 a receives the first voltage V <b> 1 from the first voltage generator 41 and receives the second voltage V <b> 2 from the second voltage generator 42, and superimposes these voltages and applies them to the coil 31.

次に、光スキャナー１の動作について説明する。図５は、光スキャナーの動作を説明する模式図である。なお、本実施形態では、前述したように、第１電圧Ｖ１の周波数は、第１の振動系のねじり共振周波数と等しく設定されており、第２電圧Ｖ２の周波数は、第２の振動系のねじり共振周波数と異なる値に、かつ、第１電圧Ｖ１の周波数よりも小さくなるように設定されている（例えば、第１電圧Ｖ１の周波数が１５ｋＨｚ、第２電圧Ｖ２の周波数が６０Ｈｚに設定されている）。   Next, the operation of the optical scanner 1 will be described. FIG. 5 is a schematic diagram for explaining the operation of the optical scanner. In the present embodiment, as described above, the frequency of the first voltage V1 is set equal to the torsional resonance frequency of the first vibration system, and the frequency of the second voltage V2 is the same as that of the second vibration system. It is set to a value different from the torsional resonance frequency and smaller than the frequency of the first voltage V1 (for example, the frequency of the first voltage V1 is set to 15 kHz and the frequency of the second voltage V2 is set to 60 Hz). )

まず、例えば、図４（ａ）に示すような第１電圧Ｖ１と、図４（ｂ）に示すような第２電圧Ｖ２とを電圧重畳部４３にて重畳し、重畳した電圧をコイル３１に印加する。そして、第１電圧Ｖ１の印加によってコイル３１に電流が流れる。その結果、コイル３１に流れる電流と一対の永久磁石２１ａ，２１ｂ間における磁界との相互作用によって生じるローレンツ力により、第１軸部１２ａ，１２ｂが捩れ変形され、可動部１０がＹ軸（第１軸）を中心軸として揺動する。また、第１電圧Ｖ１の周波数は、第１の振動系のねじり共振周波数と等しい。そのため、第１電圧Ｖ１によって、効率的に、可動部１０をＹ軸周りに回動させることができる。すなわち、前述した可動枠１３のＹ軸周りのねじり振動成分を有する振動が小さくても、その振動に伴う可動部１０のＹ軸周りの回動角を大きくすることができる。   First, for example, the first voltage V1 as shown in FIG. 4A and the second voltage V2 as shown in FIG. Apply. A current flows through the coil 31 by applying the first voltage V1. As a result, the first shaft portions 12a and 12b are torsionally deformed by the Lorentz force generated by the interaction between the current flowing through the coil 31 and the magnetic field between the pair of permanent magnets 21a and 21b, and the movable portion 10 is moved to the Y-axis (first Oscillate around the center axis. The frequency of the first voltage V1 is equal to the torsional resonance frequency of the first vibration system. Therefore, the movable part 10 can be efficiently rotated around the Y axis by the first voltage V1. That is, even if the vibration having the torsional vibration component around the Y axis of the movable frame 13 described above is small, the rotation angle around the Y axis of the movable portion 10 accompanying the vibration can be increased.

また、第２電圧Ｖ２の印加によってコイル３１に電流が流れる。その結果、コイル３１に流れる電流と一対の永久磁石２１ａ，２１ｂ間における磁界との相互作用によって生じるローレンツ力により、第２軸部１４ａ，１４ｂおよび第２軸部１４ｃ，１４ｄがそれぞれ捩れ変形され、可動枠１３が可動部１０とともにＸ軸（第２軸）を中心軸として揺動する。また、第２電圧Ｖ２の周波数は、第１電圧Ｖ１の周波数に比べて極めて低く設定されている。また、第２の振動系のねじり共振周波数は、第１の振動系のねじり共振周波数よりも低く設計されている。そのため、可動部１０が第２電圧Ｖ２の周波数でＹ軸周りに回動してしまうことを防止することができる。   In addition, a current flows through the coil 31 by applying the second voltage V2. As a result, the second shaft portions 14a and 14b and the second shaft portions 14c and 14d are twisted and deformed by the Lorentz force generated by the interaction between the current flowing through the coil 31 and the magnetic field between the pair of permanent magnets 21a and 21b, respectively. The movable frame 13 swings with the movable portion 10 about the X axis (second axis) as a central axis. Further, the frequency of the second voltage V2 is set to be extremely lower than the frequency of the first voltage V1. The torsional resonance frequency of the second vibration system is designed to be lower than the torsional resonance frequency of the first vibration system. Therefore, it is possible to prevent the movable part 10 from rotating around the Y axis at the frequency of the second voltage V2.

ここで、永久磁石２１ａで発生した磁界は、可動枠１３を横切って永久磁石２１ｂに向かう。すなわち、コイル３１を横切るように一対の永久磁石２１ａ，２１ｂ間に磁界が発生する。また一方では、永久磁石２１ａで発生した磁界が、可動枠１３を横切らず、可動枠１３の外側を経由して永久磁石２１ｂに向かう場合もあり得る。この場合、可動枠１３の外側を経由する磁界（無効磁界）はコイル３１に流れる電流との相互作用に寄与しないため、可動部１０等の揺動効率の低下の原因の一つとなる。   Here, the magnetic field generated by the permanent magnet 21 a goes across the movable frame 13 toward the permanent magnet 21 b. That is, a magnetic field is generated between the pair of permanent magnets 21 a and 21 b so as to cross the coil 31. On the other hand, the magnetic field generated by the permanent magnet 21 a may not go across the movable frame 13 and go to the permanent magnet 21 b via the outside of the movable frame 13. In this case, the magnetic field (ineffective magnetic field) that passes through the outside of the movable frame 13 does not contribute to the interaction with the current flowing through the coil 31, which is one of the causes of a decrease in the oscillation efficiency of the movable unit 10 and the like.

そこで、本実施形態では、基部１１１の第２面１１１ｂにコア材３０が配置されている。すなわち、光スキャナー１の中心部にコア材３０が配置されている。従って、図５に示すように、永久磁石２１ａで発生した磁界Ｍが、コア材３０に向かいながら永久磁石２１ｂに進行するため、磁界Ｍを光スキャナー１の中央部に集中させることができる。これにより、無効磁界の発生が低減され、コイル３１に流れる電流と磁界Ｍとの相互作用効率を高めることができる。   Therefore, in this embodiment, the core material 30 is disposed on the second surface 111b of the base 111. That is, the core material 30 is disposed at the center of the optical scanner 1. Therefore, as shown in FIG. 5, the magnetic field M generated by the permanent magnet 21 a proceeds to the permanent magnet 21 b while facing the core material 30, so that the magnetic field M can be concentrated at the center of the optical scanner 1. Thereby, generation | occurrence | production of a reactive magnetic field is reduced and the interaction efficiency of the electric current which flows into the coil 31, and the magnetic field M can be improved.

ここで、コイル３１上を横切る磁界Ｍについてさらに詳細に説明する。まず、本実施形態において、可動枠１３上に環状に形成されたコイル３１は、Ｘ軸方向に形成されたコイル３１ａとＹ軸方向に形成されたコイル３１ｂとで概略形成されている。そして、永久磁石２１ａで発生した磁界Ｍが、コア材３０によって、平面視において可動枠１３の中央部に引き寄せられつつ、永久磁石２１ｂに進行する。この際、図５に示すように、例えば、磁界Ｍの一部がＸ軸方向に形成されたコイル３１ａに対して垂直に近い角度で横切る。これにより、コイル３１ａに対応する磁界Ｍの有効成分が大きくなる。従って、コイル３１に流れる電流と磁界Ｍとの相互作用により、Ｘ軸周りの揺動効率を高めることができる。また、Ｙ軸方向に形成されたコイル３１ｂに対しても同様に磁界Ｍの一部が垂直に近い角度で横切る。これにより、コイル３１ｂに対応する磁界Ｍの有効成分が大きくなる。従って、コイル３１に流れる電流と磁界Ｍとの相互作用により、Ｙ軸周りの揺動効率を高めることができる。   Here, the magnetic field M traversing the coil 31 will be described in more detail. First, in the present embodiment, the coil 31 formed in an annular shape on the movable frame 13 is roughly formed of a coil 31a formed in the X-axis direction and a coil 31b formed in the Y-axis direction. Then, the magnetic field M generated by the permanent magnet 21a advances to the permanent magnet 21b while being attracted to the central portion of the movable frame 13 in plan view by the core material 30. At this time, as shown in FIG. 5, for example, a part of the magnetic field M crosses the coil 31a formed in the X-axis direction at an angle close to perpendicular. Thereby, the effective component of the magnetic field M corresponding to the coil 31a becomes large. Therefore, the oscillation efficiency around the X axis can be increased by the interaction between the current flowing through the coil 31 and the magnetic field M. Similarly, a part of the magnetic field M crosses the coil 31b formed in the Y-axis direction at an angle close to vertical. Thereby, the effective component of the magnetic field M corresponding to the coil 31b becomes large. Therefore, the oscillation efficiency around the Y axis can be increased by the interaction between the current flowing through the coil 31 and the magnetic field M.

次に、画像表示装置の構成について説明する。画像表示装置は、光を反射する反射部を含む可動部と、可動部の周囲に配置された可動枠と、可動枠の周囲に配置された可動枠支持部と、可動部と可動枠とを接続するとともに、可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、可動枠と可動枠支持部とを接続するとともに、可動枠を第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、第１軸および第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、可動枠支持部を挟み、かつ、第１軸及び第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、平面視において、環状に設けられたコイルの内側に位置するコア材と、を備えた光スキャナーと、光スキャナーに対して光を照射する照射部を備えたものである。図６は、画像表示装置の構成を示す概略図である。以下、具体的に説明する。なお、本実施形態では、前述した光スキャナー１を用いた場合について説明する。   Next, the configuration of the image display device will be described. An image display device includes a movable part including a reflecting part that reflects light, a movable frame disposed around the movable part, a movable frame support part disposed around the movable frame, a movable part, and a movable frame. A first shaft portion that supports the movable portion so as to be swingable about the first axis, and a movable frame and the movable frame support portion are connected to each other, and the movable frame is rotated about the second axis that intersects the first axis. In a plan view from the normal direction of the plane including the first axis and the second axis, the second axis part that is pivotably supported on the coil, the coil provided annularly along the outer shape of the movable frame, A pair of permanent magnets sandwiching the support portion and positioned in a direction inclined with respect to the first axis and the second axis, and a core material positioned inside a coil provided in an annular shape in plan view And an irradiating unit for irradiating light to the optical scanner. FIG. 6 is a schematic diagram showing the configuration of the image display apparatus. This will be specifically described below. In the present embodiment, a case where the above-described optical scanner 1 is used will be described.

図６に示すように、画像表示装置９は、光スキャナー１と、光スキャナー１に対して光を照射する照射部９１等を備えている。本実施形態の照射部９１は、赤色光を照射する赤色光源９１１と、青色光を照射する青色光源９１２と、緑色光を照射する緑色光源９１３とを備えている。さらに、赤色光源９１１、青色光源９１２及び緑色光源９１３のそれぞれに対応してダイクロイックミラー９２Ａ，９２Ｂ，９２Ｃが配置されている。   As shown in FIG. 6, the image display device 9 includes an optical scanner 1 and an irradiation unit 91 that irradiates the optical scanner 1 with light. The irradiation unit 91 of the present embodiment includes a red light source 911 that emits red light, a blue light source 912 that emits blue light, and a green light source 913 that emits green light. Further, dichroic mirrors 92A, 92B, and 92C are arranged corresponding to the red light source 911, the blue light source 912, and the green light source 913, respectively.

各ダイクロイックミラー９２Ａ，９２Ｂ，９２Ｃは、赤色光源９１１、青色光源９１２、緑色光源９１３のそれぞれから照射された光を合成する光学素子である。このような画像表示装置９は、図示しないホストコンピューターからの画像情報に基づいて、照射部９１（赤色光源９１１、青色光源９１２、緑色光源９１３）から照出された光をダイクロイックミラー９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃでそれぞれ合成し、この合成された光が光スキャナー１に照射される。そして、光スキャナー１が２次元走査され、スクリーンＳ上でカラー画像を形成するように構成されている。   Each of the dichroic mirrors 92A, 92B, and 92C is an optical element that combines light emitted from each of the red light source 911, the blue light source 912, and the green light source 913. Such an image display device 9 uses light emitted from the irradiation unit 91 (red light source 911, blue light source 912, and green light source 913) based on image information from a host computer (not shown) as dichroic mirrors 92A, 92B, Each of the combined lights is irradiated with the light scanner 1. The optical scanner 1 is two-dimensionally scanned and forms a color image on the screen S.

２次元走査の際、光スキャナー１の可動部１０のＹ軸周りの回動により反射部１１３で反射した光がスクリーンＳの横方向に走査（主走査）される。一方、光スキャナー１の可動部１０のＸ軸周りの回動により反射部１１３で反射した光がスクリーンＳの縦方向に走査（副走査）される。なお、本実施形態では、ダイクロイックミラー９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃで合成された光を光スキャナー１によって２次元的に走査した後、その光を固定ミラー９３で反射させてからスクリーンＳに画像を形成するように構成されているが、固定ミラー９３を省略し、光スキャナー１によって２次元的に走査された光を直接スクリーンＳに照射する構成であってもよい。   At the time of two-dimensional scanning, the light reflected by the reflecting portion 113 by the rotation of the movable portion 10 of the optical scanner 1 around the Y axis is scanned in the horizontal direction of the screen S (main scanning). On the other hand, the light reflected by the reflecting portion 113 due to the rotation of the movable portion 10 of the optical scanner 1 around the X axis is scanned (sub-scanned) in the vertical direction of the screen S. In the present embodiment, the light synthesized by the dichroic mirrors 92A, 92B, and 92C is scanned two-dimensionally by the optical scanner 1, and then the light is reflected by the fixed mirror 93 and then an image is formed on the screen S. However, the fixed mirror 93 may be omitted, and the screen S may be directly irradiated with light that is two-dimensionally scanned by the optical scanner 1.

上記の画像表示装置９は、例えば、携帯用画像表示装置として適用することができる。図７は、携帯用画像表示装置の構成を示す概略図である。携帯用画像表示装置１００は、手で把持することができる寸法で形成されたケーシング１１０と、ケーシング１１０内に内蔵された画像表示装置９とを有している。この携帯用画像表示装置１００により、例えば、スクリーンや、デスク上等の所定の面に、所定の画像を表示することができる。また、携帯用画像表示装置１００は、所定の情報を表示するディスプレイ１２０と、キーパット１３０と、オーディオポート１４０と、コントロールボタン１５０と、カードスロット１６０と、ＡＶポート１７０とを有している。なお、携帯用画像表示装置１００は、通話機能、ＧＳＰ受信機能等の他の機能を備えていてもよい。   The image display device 9 can be applied as a portable image display device, for example. FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a configuration of a portable image display device. The portable image display device 100 includes a casing 110 formed with a size that can be grasped by a hand, and an image display device 9 built in the casing 110. With this portable image display device 100, for example, a predetermined image can be displayed on a predetermined surface such as a screen or a desk. In addition, the portable image display device 100 includes a display 120 that displays predetermined information, a keypad 130, an audio port 140, a control button 150, a card slot 160, and an AV port 170. Note that the portable image display device 100 may have other functions such as a call function and a GSP reception function.

次に、ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）の構成について説明する。ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）は、光を反射する反射部を含む可動部と、可動部を支持する可動枠と、可動枠を支持する可動枠支持部と、可動部と可動枠とを接続するとともに、可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、可動枠と可動枠支持部とを接続するとともに、可動枠を第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、第１軸および第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、可動枠支持部を挟み、かつ、第１軸及び第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、平面視において、環状に設けられたコイルの内側に位置するコア材と、を備えた光スキャナーと、光スキャナーに対して光を照射する照射部を備えたものである。   Next, the configuration of the head-up display (HUD) will be described. A head-up display (HUD) connects a movable part including a reflecting part that reflects light, a movable frame that supports the movable part, a movable frame support part that supports the movable frame, and the movable part and the movable frame. The first shaft portion that supports the movable portion so as to be swingable about the first axis, and the movable frame and the movable frame support portion are connected, and the movable frame is swung about the second axis that intersects the first axis. In a plan view from the normal direction of the plane including the second shaft portion that can be supported, the coil provided in an annular shape along the outer shape of the movable frame, and the first shaft and the second shaft, the movable frame support portion is An optical scanner comprising a pair of permanent magnets sandwiched and inclined in a direction inclined with respect to the first axis and the second axis, and a core material located inside a ring-shaped coil in plan view And an irradiation unit for irradiating light to the optical scanner.

図８は、ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）の構成を示す概略図である。図８に示すように、ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）２１０は、上述の光スキャナー１を備えた画像表示装置９を搭載している。そして、ヘッドアップディスプレイシステム２００では、画像表示装置９が、例えば、自動車のダッシュボードに、ヘッドアップディスプレイ２１０を構成するよう搭載されている。このヘッドアップディスプレイ２１０により、フロントガラス２２０に、例えば、目的地までの案内表示等の所定の画像を表示することができる。なお、ヘッドアップディスプレイシステム２００は、自動車に限らず、例えば、航空機、船舶等にも適用することができる。   FIG. 8 is a schematic diagram illustrating a configuration of a head-up display (HUD). As shown in FIG. 8, a head-up display (HUD) 210 is equipped with an image display device 9 including the above-described optical scanner 1. In the head-up display system 200, the image display device 9 is mounted on the dashboard of an automobile so as to configure the head-up display 210, for example. With this head-up display 210, a predetermined image such as a guidance display to the destination can be displayed on the windshield 220, for example. Note that the head-up display system 200 can be applied not only to automobiles but also to aircrafts, ships, and the like.

次に、ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）の構成について説明する。ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）は、光を反射する反射部を含む可動部と、可動部を支持する可動枠と、可動枠を支持する可動枠支持部と、可動部と可動枠とを接続するとともに、可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、可動枠と可動枠支持部とを接続するとともに、可動枠を第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、第１軸および第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、可動枠支持部を挟み、かつ、第１軸及び第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、平面視において、環状に設けられたコイルの内側に位置するコア材と、を備えた光スキャナーと、光スキャナーに対して光を照射する照射部を備えたものである。   Next, the configuration of the head mounted display (HMD) will be described. A head mounted display (HMD) connects a movable part including a reflective part that reflects light, a movable frame that supports the movable part, a movable frame support part that supports the movable frame, and the movable part and the movable frame. The first shaft portion that supports the movable portion so as to be swingable about the first axis, and the movable frame and the movable frame support portion are connected, and the movable frame is swung about the second axis that intersects the first axis. In a plan view from the normal direction of the plane including the second shaft portion that can be supported, the coil provided in an annular shape along the outer shape of the movable frame, and the first shaft and the second shaft, the movable frame support portion is An optical scanner comprising a pair of permanent magnets sandwiched and inclined in a direction inclined with respect to the first axis and the second axis, and a core material located inside a ring-shaped coil in plan view And an irradiation unit that emits light to the optical scanner.

図９は、ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）の構成を示す概略図である。図９に示すように、ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）３００は、上述の光スキャナー１を備えた画像表示装置９を搭載している。ヘッドマウントディスプレイ３００は、眼鏡３１０を備え、眼鏡３１０に画像表示装置９が配置されている。そして、画像表示装置９により、眼鏡３１０の本来レンズである部位に設けられた表示部３２０に、一方の目で視認される所定の画像を表示する。   FIG. 9 is a schematic diagram illustrating a configuration of a head mounted display (HMD). As shown in FIG. 9, a head mounted display (HMD) 300 is equipped with an image display device 9 including the above-described optical scanner 1. The head mounted display 300 includes glasses 310, and the image display device 9 is disposed on the glasses 310. Then, the image display device 9 displays a predetermined image that is visually recognized by one eye on the display unit 320 provided in a portion that is originally a lens of the glasses 310.

表示部３２０は、透明であってもよく、また、不透明であってもよい。表示部３２０が透明な場合は、現実世界からの情報に画像表示装置９からの情報を重ねて使用することができる。なお、ヘッドマウントディスプレイ３００に、２つ画像表示装置９を設け、両方の目で視認される画像を、２つの表示部に表示するようにしてもよい。   The display unit 320 may be transparent or opaque. When the display unit 320 is transparent, the information from the image display device 9 can be used by being superimposed on the information from the real world. Note that the head-mounted display 300 may be provided with two image display devices 9 so that images viewed with both eyes may be displayed on the two display units.

以上、アクチュエーターとしての光スキャナーおよび画像表示装置等の形態について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができ、また、他の任意の構成を付加することもできる。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。   The embodiments of the optical scanner as an actuator and the image display device have been described above, but the present invention is not limited to this. For example, the configuration of each unit can be replaced with any configuration having the same function, and any other configuration can be added. Further, the present invention may be a combination of any two or more configurations (features) of the above embodiments.

以上、上記第１実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。   As described above, according to the first embodiment, the following effects can be obtained.

一対の永久磁石２１ａ，２１ｂ間に発生する磁界は、環状に形成されたコイル３１の内側に配置されたコア材３０によって、コア材３０側に引き寄せられる。これにより、例えば、可動枠１３の外側を経由していた磁界も、コア材３０によって引き寄せられ、可動枠１３を横切ることになる。これにより、可動枠１３に形成されたコイル３１を横切る磁界が増加されるので、永久磁石２１ａ，２１ｂにより発生する磁界の利用効率が高まる。従って、可動部１０及び可動枠１３の揺動（駆動）効率を向上させることができる。   The magnetic field generated between the pair of permanent magnets 21a and 21b is drawn toward the core material 30 by the core material 30 disposed inside the annularly formed coil 31. Thereby, for example, the magnetic field that has passed through the outside of the movable frame 13 is also attracted by the core material 30 and crosses the movable frame 13. Thereby, since the magnetic field which crosses the coil 31 formed in the movable frame 13 is increased, the utilization efficiency of the magnetic field generated by the permanent magnets 21a and 21b is increased. Therefore, the swinging (driving) efficiency of the movable part 10 and the movable frame 13 can be improved.

［第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明する。なお、本実施形態では、アクチュエーターとしての光スキャナーを例に挙げて説明する。図１０は、本実施形態にかかる光スキャナーの構成を示す断面図である。なお、第１実施形態と同様の部材等については同じ符号を付している。 [Second Embodiment]
Next, a second embodiment will be described. In the present embodiment, an optical scanner as an actuator will be described as an example. FIG. 10 is a cross-sectional view showing the configuration of the optical scanner according to the present embodiment. In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the member etc. similar to 1st Embodiment.

図１０に示すように、光スキャナー１ａは、反射部１１３を含む可動部１０と、可動部１０を支持する可動枠１３と、可動枠１３を支持する可動枠支持部１５と、可動部１０と可動枠１３とを接続するとともに、可動部１０を第１軸（本実施形態ではＹ軸）周りに揺動可能に支持する一対の第１軸部１２ａ，１２ｂ（図１参照）と、可動枠１３と可動枠支持部１５とを接続するとともに、可動枠１３を第１軸に交差する第２軸（本実施形態ではＸ軸）周りに揺動可能に支持する２対の第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ（図１参照）と、可動枠１３の外形に沿って環状に設けられたコイル３１と、第１軸および第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、可動枠１３を挟み、かつ、第１軸及び第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石２１ａ，２１ｂと、平面視において、環状に設けられたコイル３１の内側に位置するコア材３０を備えている。さらに、コイル３１に対して所定の電圧を印加させる電圧印加部を備えている。   As shown in FIG. 10, the optical scanner 1 a includes a movable unit 10 including a reflecting unit 113, a movable frame 13 that supports the movable unit 10, a movable frame support unit 15 that supports the movable frame 13, and the movable unit 10. A pair of first shaft portions 12a and 12b (see FIG. 1) for connecting the movable frame 13 and supporting the movable portion 10 so as to be swingable around a first axis (Y-axis in this embodiment), and a movable frame 13 and the movable frame support portion 15 are connected, and the two pairs of second shaft portions 14a that support the movable frame 13 so as to be swingable around a second axis (the X axis in the present embodiment) intersecting the first axis. , 14b, 14c, 14d (see FIG. 1), a coil 31 provided annularly along the outer shape of the movable frame 13, and a plan view from the normal direction of the plane including the first axis and the second axis, The movable frame 13 is sandwiched and positioned in a direction inclined with respect to the first axis and the second axis. A pair of permanent magnets 21a to a 21b, in a plan view, and a core member 30 located inside the coil 31 provided in the annular. Further, a voltage application unit that applies a predetermined voltage to the coil 31 is provided.

そして、本実施形態の可動部１０は、第１軸部１２ａ，１２ｂが接続された基部１１１と、反射部１１３と、を含み、基部１１１の第１面１１１ａにコア材３０が配置され、コア材３０上（コア材３０の基部１１１と反対側）に反射部１１３が設置されている。すなわち、本実施形態では、コア材３０が基部１１１と反射部１１３とを接続する支柱の機能を有し、基部１１１と反射部１１３の板部１１３ａとが離間した構成を有している。なお、第１面１１１ａとコア材３０との接着、コア材３０と反射部１１３との接着には、例えば、接着剤、ろう材等の接合材を用いることができる。   And the movable part 10 of this embodiment contains the base 111 to which the 1st axial parts 12a and 12b were connected, and the reflection part 113, the core material 30 is arrange | positioned at the 1st surface 111a of the base 111, and a core On the material 30 (on the side opposite to the base 111 of the core material 30), a reflecting portion 113 is installed. That is, in this embodiment, the core material 30 has a function of a support column that connects the base portion 111 and the reflection portion 113, and the base portion 111 and the plate portion 113 a of the reflection portion 113 are separated from each other. For bonding the first surface 111a and the core material 30 and bonding the core material 30 and the reflecting portion 113, for example, a bonding material such as an adhesive or a brazing material can be used.

なお、他の構成や部材及び材料等については、第１実施形態の構成等と同様なので説明を省略する。また、電圧印加部の構成や光スキャナー１ａの動作についても第１実施形態と同様なので説明を省略する。さらに、本実施形態における光スキャナー１ａを備えた画像表示装置やヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）やヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）の構成についても第１実施形態の構成と同様なので説明を省略する。   Since other configurations, members, materials, and the like are the same as the configurations of the first embodiment, description thereof will be omitted. The configuration of the voltage application unit and the operation of the optical scanner 1a are also the same as those in the first embodiment, and thus description thereof is omitted. Furthermore, since the configuration of the image display device, the head-up display (HUD), and the head-mounted display (HMD) provided with the optical scanner 1a in the present embodiment is the same as that of the first embodiment, the description thereof is omitted.

以上、上記第２実施形態によれば、第１実施形態の効果に加え、以下の効果を得ることができる。   As described above, according to the second embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, the following effects can be obtained.

基部１１１と反射部１１３との間にコア材３０が配置され、基部１１１と反射部１１３とが離間した構造となる。すなわち、コア材３０が、一対の永久磁石２１ａ，２１ｂ間における磁界を光スキャナー１ａの中央部に集中させ、可動部１０及び可動枠１３の揺動（駆動）効率を高めるとともに、支柱（スペーサー）としての機能を備え、反射部１１３が揺動した際、他の部材との接触を防止し、揺動運動を円滑に行うことができる。   The core material 30 is disposed between the base 111 and the reflective portion 113, and the base 111 and the reflective portion 113 are separated from each other. That is, the core material 30 concentrates the magnetic field between the pair of permanent magnets 21a and 21b on the central portion of the optical scanner 1a, thereby improving the swinging (driving) efficiency of the movable portion 10 and the movable frame 13, and also supports (spacers). When the reflecting portion 113 swings, the contact with other members can be prevented and the swinging motion can be performed smoothly.

なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。変形例を以下に述べる。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and improvements can be added to the above-described embodiment. A modification will be described below.

（変形例１）上記第１及び第２実施形態では、基部１１１の第１面１１１ａまたは第２面１１１ｂのいずれかの面にコア材３０を設置したが、これに限定されない。例えば、基部１１１の第１面１１１ａ及び第２面１１１ｂの両面にコア材３０設置してもよい。このようにすれば、さらに効率よく一対の永久磁石２１ａ，２１ｂ間に発生する磁界を可動枠１３の中央部方向に集中させることができる。   (Modification 1) In the first and second embodiments, the core material 30 is disposed on either the first surface 111a or the second surface 111b of the base 111, but the present invention is not limited to this. For example, the core material 30 may be installed on both the first surface 111a and the second surface 111b of the base 111. In this way, the magnetic field generated between the pair of permanent magnets 21a and 21b can be more efficiently concentrated in the direction of the central portion of the movable frame 13.

（変形例２）上記第１及び第２実施形態では、平面視にて反射部１１３が第１軸部１２ａ，１２ｂの全体、可動枠１３の全体及び第２軸部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの全体を覆う場合を例に説明したが、これに限定されない。例えば、平面視にて反射部１１３が第１軸部１２ａ，１２ｂの少なくとも一部（可動部１０の基部１１１側の端部）が覆われていればよい。このようにしても、光スキャナー１，１ａの小型化、反射部１１３の大面積化、反射部１１３の動撓みの防止、第１軸部１２ａ，１２ｂの基部１１１側の端部による迷光の防止等の効果を奏することができる。   (Modification 2) In the first and second embodiments, the reflection portion 113 is the entire first shaft portions 12a and 12b, the entire movable frame 13 and the second shaft portions 14a, 14b, 14c and 14d in plan view. However, the present invention is not limited to this. For example, it is only necessary for the reflecting portion 113 to cover at least a part of the first shaft portions 12a and 12b (the end portion on the base 111 side of the movable portion 10) in plan view. Even in this case, the size of the optical scanners 1 and 1a, the area of the reflecting portion 113 can be increased, the dynamic deflection of the reflecting portion 113 can be prevented, and the stray light can be prevented by the end of the first shaft portions 12a and 12b on the base 111 side. The effects such as the above can be achieved.

（変形例３）上記第１及び第２実施形態では、アクチュエーターとしての光スキャナー１，１ａについて説明したが、これに限定されない。例えば、アクチュエーターとして、光スイッチ、光アッテネーター等の他の光学デバイスにも適用することができる。また、光スキャナー１，１ａを搭載した画像表示装置９、ヘッドアップディスプレイ２１０やヘッドマウントディスプレイ３００について説明したが、これに限定されない。例えば、他に、レーダー装置、光測定器や各種エリアセンサー等に適用することができる。   (Modification 3) In the first and second embodiments, the optical scanners 1 and 1a as actuators have been described. However, the present invention is not limited to this. For example, the present invention can be applied to other optical devices such as an optical switch and an optical attenuator as an actuator. Moreover, although the image display device 9, the head-up display 210, and the head-mounted display 300 on which the optical scanners 1 and 1a are mounted have been described, the present invention is not limited to this. For example, the present invention can be applied to other radar devices, optical measuring devices, various area sensors, and the like.

１，１ａ…アクチュエーターとしての光スキャナー、４…電圧印加部、７…制御部、９…画像表示装置、１０…可動部、１２ａ，１２ｂ…第１軸部、１３…可動枠、１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ…第２軸部、１５…可動枠支持部、２１ａ，２１ｂ…永久磁石、３０…コア材、３１…コイル、９１…照射部、１００…携帯用画像表示装置、１１１…基部、１１１ａ…第１面、１１１ｂ…第２面、１１２…支柱、１１３…反射部、１１３ａ…板部、１１４…反射面、２１０…ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）、３００…ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,1a ... Optical scanner as an actuator, 4 ... Voltage application part, 7 ... Control part, 9 ... Image display apparatus, 10 ... Movable part, 12a, 12b ... 1st axial part, 13 ... Movable frame, 14a, 14b, 14c, 14d ... 2nd shaft part, 15 ... Movable frame support part, 21a, 21b ... Permanent magnet, 30 ... Core material, 31 ... Coil, 91 ... Irradiation part, 100 ... Portable image display device, 111 ... Base part, 111a DESCRIPTION OF SYMBOLS 1st surface, 111b ... 2nd surface, 112 ... Support | pillar, 113 ... Reflection part, 113a ... Plate part, 114 ... Reflection surface, 210 ... Head up display (HUD), 300 ... Head mount display (HMD).

Claims (7)

可動部と、
前記可動部を支持する可動枠と、
前記可動枠を支持する可動枠支持部と、
前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、
前記第１軸および前記第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、
前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えたことを特徴とするアクチュエーター。 Moving parts;
A movable frame that supports the movable part;
A movable frame support part for supporting the movable frame;
A first shaft portion that connects the movable portion and the movable frame and supports the movable portion so as to be swingable around a first axis;
A second shaft portion that connects the movable frame and the movable frame support portion, and supports the movable frame so as to be swingable around a second axis that intersects the first axis;
A coil provided annularly along the outer shape of the movable frame;
In a plan view from a normal direction of a plane including the first axis and the second axis, the pair of the movable frame is sandwiched and positioned in a direction inclined with respect to the first axis and the second axis With permanent magnets,
An actuator comprising: a core member positioned in the annular shape of the coil in the plan view. 請求項１に記載のアクチュエーターにおいて、
前記可動部は、
前記第１軸部が接続された基部と、
支柱を有する反射部と、を含み、
前記基部の第１面に前記反射部の前記支柱が固着され、
前記基部の前記第１面の反対側となる第２面に前記コア材が位置することを特徴とするアクチュエーター。 The actuator according to claim 1,
The movable part is
A base to which the first shaft portion is connected;
A reflective part having a support,
The supporting column of the reflecting portion is fixed to the first surface of the base portion,
The actuator is characterized in that the core material is located on a second surface of the base opposite to the first surface. 請求項１に記載のアクチュエーターにおいて、
前記可動部は、
前記第１軸部が接続された基部と、
反射部と、を含み、
前記基部の第１面に前記コア材が位置し、
前記コア材の前記基部と反対側に前記反射部が位置することを特徴とするアクチュエーター。 The actuator according to claim 1,
The movable part is
A base to which the first shaft portion is connected;
A reflection portion, and
The core material is located on the first surface of the base,
The actuator, wherein the reflecting portion is located on the opposite side of the core from the base. 請求項２または請求項３に記載のアクチュエーターにおいて、
前記平面視において、前記反射部が前記可動枠を覆って形成されたことを特徴とするアクチュエーター。 The actuator according to claim 2 or claim 3,
The actuator, wherein the reflecting portion is formed to cover the movable frame in the plan view. 光を反射する反射部を含む可動部と、
前記可動部を支持する可動枠と、
前記可動枠を支持する可動枠支持部と、
前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、
前記第１軸および前記第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、
前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えたことを特徴とする光スキャナー。 A movable part including a reflecting part for reflecting light;
A movable frame that supports the movable part;
A movable frame support part for supporting the movable frame;
A first shaft portion that connects the movable portion and the movable frame and supports the movable portion so as to be swingable around a first axis;
A second shaft portion that connects the movable frame and the movable frame support portion, and supports the movable frame so as to be swingable around a second axis that intersects the first axis;
A coil provided annularly along the outer shape of the movable frame;
In a plan view from a normal direction of a plane including the first axis and the second axis, the pair of the movable frame is sandwiched and positioned in a direction inclined with respect to the first axis and the second axis With permanent magnets,
An optical scanner comprising: a core material positioned in the annular shape of the coil in the plan view. 光を反射する反射部を含む可動部と、
前記可動部を支持する可動枠と、
前記可動枠を支持する可動枠支持部と、
前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、
前記第１軸および前記第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、
前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えた光スキャナーと、
前記光スキャナーに対して光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とする画像表示装置。 A movable part including a reflecting part for reflecting light;
A movable frame that supports the movable part;
A movable frame support part for supporting the movable frame;
A first shaft portion that connects the movable portion and the movable frame and supports the movable portion so as to be swingable around a first axis;
A second shaft portion that connects the movable frame and the movable frame support portion, and supports the movable frame so as to be swingable around a second axis that intersects the first axis;
A coil provided annularly along the outer shape of the movable frame;
In a plan view from a normal direction of a plane including the first axis and the second axis, the pair of the movable frame is sandwiched and positioned in a direction inclined with respect to the first axis and the second axis With permanent magnets,
In the plan view, a core material located in the ring of the coil, an optical scanner comprising:
An image display apparatus comprising: an irradiation unit that irradiates light to the optical scanner. 光を反射する反射部を含む可動部と、
前記可動部を支持する可動枠と、
前記可動枠を支持する可動枠支持部と、
前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第１軸周りに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第１軸に交差する第２軸周りに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、
前記第１軸および前記第２軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠を挟み、かつ、前記第１軸及び前記第２軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、
前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えた光スキャナーと、
前記光スキャナーに対して光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とするヘッドマウントディスプレイ。 A movable part including a reflecting part for reflecting light;
A movable frame that supports the movable part;
A movable frame support part for supporting the movable frame;
A first shaft portion that connects the movable portion and the movable frame and supports the movable portion so as to be swingable around a first axis;
A second shaft portion that connects the movable frame and the movable frame support portion, and supports the movable frame so as to be swingable around a second axis that intersects the first axis;
A coil provided annularly along the outer shape of the movable frame;
In a plan view from a normal direction of a plane including the first axis and the second axis, the pair of the movable frame is sandwiched and positioned in a direction inclined with respect to the first axis and the second axis With permanent magnets,
In the plan view, a core material located in the ring of the coil, an optical scanner comprising:
A head-mounted display, comprising: an irradiation unit that irradiates light to the optical scanner.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP1191382A3 (en) * 2000-09-20 2003-10-15 Texas Instruments Inc. Stacked micromirror structures
JP2004085839A (en) * 2002-08-26 2004-03-18 Canon Inc Shake device, optical deflector using the same, image display device, image forming device, and manufacturing method therefor
KR100738114B1 (en) * 2006-05-18 2007-07-12 삼성전자주식회사 Actuator and two dimensional scanner
JP5387222B2 (en) * 2009-08-12 2014-01-15 セイコーエプソン株式会社 Optical deflector

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