JP5991001B2

JP5991001B2 - Optical device, optical scanner, and image display device

Info

Publication number: JP5991001B2
Application number: JP2012098457A
Authority: JP
Inventors: 溝口　安志; 安志溝口
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2012-04-24
Filing date: 2012-04-24
Publication date: 2016-09-14
Anticipated expiration: 2032-04-24
Also published as: JP2013228424A

Description

本発明は、光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置に関するものである。 The present invention relates to an optical device, an optical scanner, and an image display apparatus.

例えば、プロジェクター等に用いられる光学デバイスとして、２次元的に光を走査する光スキャナーが知られている（例えば、特許文献１参照）。
例えば、特許文献１に記載の光スキャナーは、枠状の駆動部材と、駆動部材をＸ軸周りに回動可能とするように支持する１対の第１の軸部材と、駆動部材の内側に設けられ、光反射部を備える可動板と、可動板を駆動部材に対してＸ軸に直交するＹ軸周りに回動可能とするように支持する１対の第２の軸部材とを有する。 For example, an optical scanner that scans light two-dimensionally is known as an optical device used in a projector or the like (see, for example, Patent Document 1).
For example, an optical scanner described in Patent Document 1 includes a frame-shaped drive member, a pair of first shaft members that support the drive member so as to be rotatable about the X axis, and an inner side of the drive member. A movable plate provided with a light reflecting portion; and a pair of second shaft members that support the movable plate so as to be rotatable about a Y axis perpendicular to the X axis with respect to the drive member.

また、この光スキャナーは、駆動部材に設けられた永久磁石と、永久磁石に対向するように設けられたコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを有し、永久磁石の両極を結ぶ線分が平面視にてＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸に対して傾斜している。
そして、電圧印加手段が互いに周波数の異なる第１の電圧と第２の電圧とを重畳してコイルに印加することにより、可動板を、第１の電圧の周波数でＸ軸周りに回動させつつ、第２の電圧の周波数でＹ軸周りに回動させる。これにより、可動板の光反射部で反射した光を２次元的に走査することができる。
しかし、特許文献１に記載の光スキャナーでは、可動板の外側にはみ出した光が永久磁石で反射して迷光となるという問題があった。 The optical scanner also includes a permanent magnet provided on the driving member, a coil provided so as to face the permanent magnet, and voltage applying means for applying a voltage to the coil. The connecting line segment is inclined with respect to the X axis and the Y axis in plan view.
Then, the voltage applying means superimposes the first voltage and the second voltage having different frequencies and applies them to the coil, thereby rotating the movable plate around the X axis at the frequency of the first voltage. Rotate around the Y axis at the frequency of the second voltage. Thereby, the light reflected by the light reflection part of the movable plate can be scanned two-dimensionally.
However, the optical scanner described in Patent Document 1 has a problem that light that protrudes outside the movable plate is reflected by a permanent magnet and becomes stray light.

特開２００８−２１６９２０号公報JP 2008-216920 A

本発明の目的は、迷光を低減するとともに、ムービングマグネット方式により２次元的に光を走査することができる光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an optical device, an optical scanner, and an image display apparatus capable of reducing stray light and scanning light two-dimensionally by a moving magnet method.

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の光学デバイスは、光反射性を有する光反射部を備え、第１の軸周りに搖動可能な可動部と、
前記可動部を囲んで設けられ、前記第１の軸に直交する第２の軸周りに搖動可能な枠体部と、
一端部が前記可動部に接続され、他端部が前記枠体部に接続され、前記可動部を前記第１の軸周りに搖動可能に支持する第１軸部と、
一端部が前記枠体部に接続され、前記枠体部を前記第２の軸周りに搖動可能に支持する第２軸部と、
前記枠体部に設けられた永久磁石と、を備え、
前記永久磁石は、前記可動部側の表面に光の反射率を低減する反射低減部が設けられていることを特徴とする。
このような光学デバイスによれば、ムービングマグネット方式により２次元的に光を走査することができる。しかも、永久磁石の可動部側の表面に光の反射率を低減する反射低減部が設けられているので、可動部からはみ出した光が永久磁石に入射しても迷光となることを抑制することができる。 Such an object is achieved by the present invention described below.
An optical device of the present invention includes a light reflecting portion having light reflectivity, and a movable portion that can be swung around a first axis.
A frame body portion that surrounds the movable portion and is swingable around a second axis orthogonal to the first axis;
A first shaft part having one end connected to the movable part, the other end connected to the frame body part, and supporting the movable part slidably around the first axis;
A second shaft portion, one end portion of which is connected to the frame body portion and supports the frame body portion so as to be swingable around the second axis;
A permanent magnet provided in the frame body part,
The permanent magnet is characterized in that a reflection reducing part for reducing the reflectance of light is provided on the surface of the movable part side.
According to such an optical device, light can be scanned two-dimensionally by a moving magnet method. In addition, since a reflection reducing portion that reduces the reflectance of light is provided on the surface of the permanent magnet on the movable portion side, it is possible to suppress stray light even if light protruding from the movable portion enters the permanent magnet. Can do.

本発明の光学デバイスでは、前記永久磁石の前記可動部側の表面は、前記枠体部に沿った平面に対して傾斜した部分を有することが好ましい。
これにより、反射低減部の反射低減作用が小さくても、可動部からはみ出した光が永久磁石に入射しても迷光となることを抑制することができる。
本発明の光学デバイスでは、前記永久磁石は、角柱状をなすことが好ましい。
これにより、簡単な構成で、永久磁石の可動部側の表面を枠体部に沿った平面に対して傾斜させることができる。 In the optical device according to the aspect of the invention, it is preferable that the surface of the permanent magnet on the movable portion side has a portion inclined with respect to a plane along the frame body portion.
Thereby, even if the reflection reducing action of the reflection reducing portion is small, it is possible to suppress stray light even if light protruding from the movable portion enters the permanent magnet.
In the optical device of the present invention, it is preferable that the permanent magnet has a prismatic shape.
Thereby, the surface by the side of the movable part of a permanent magnet can be made to incline with respect to the plane along a frame part by simple structure.

本発明の光学デバイスでは、前記永久磁石は、円柱状をなすことが好ましい。
これにより、簡単な構成で、永久磁石の可動部側の表面を枠体部に沿った平面に対して傾斜させることができる。また、枠体部に対する永久磁石の設置が容易となる。
本発明の光学デバイスでは、前記永久磁石の前記可動部側の表面は、前記枠体部に沿った平面に対して平行な部分を有することが好ましい。
このような場合、永久磁石の可動部側の表面に反射低減部を設けることによる効果が顕著となる。 In the optical device of the present invention, it is preferable that the permanent magnet has a cylindrical shape.
Thereby, the surface by the side of the movable part of a permanent magnet can be made to incline with respect to the plane along a frame part by simple structure. Moreover, the permanent magnet can be easily installed on the frame body.
In the optical device according to the aspect of the invention, it is preferable that the surface of the permanent magnet on the movable portion side has a portion parallel to a plane along the frame body portion.
In such a case, the effect of providing the reflection reducing portion on the surface of the permanent magnet on the movable portion side becomes significant.

本発明の光学デバイスでは、前記反射低減部は、反射防止膜であることが好ましい。
これにより、反射低減部の反射低減作用を優れたものとすることができる。
本発明の光学デバイスでは、前記反射防止膜は、クロムで構成されていることが好ましい。
これにより、簡単に、反射防止膜を形成することができる。 In the optical device according to the aspect of the invention, it is preferable that the reflection reducing portion is an antireflection film.
Thereby, the reflection reduction effect | action of a reflection reduction part can be made excellent.
In the optical device of the present invention, it is preferable that the antireflection film is made of chromium.
Thereby, an antireflection film can be easily formed.

本発明の光学デバイスでは、前記永久磁石は、前記枠体部の厚さ方向からみたときに前記可動部に重なる部分を有することが好ましい。
このような場合、可動部から僅かにはみ出した光でも、永久磁石に入射する可能性が高まるため、永久磁石の可動部側の表面に反射低減部を設けることによる効果が顕著となる。
本発明の光学デバイスでは、前記永久磁石に対向して設けられたコイルと、
前記コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを備えることが好ましい。
これにより、ムービングコイル方式により枠体部を回動させることができる。 In the optical device according to the aspect of the invention, it is preferable that the permanent magnet has a portion that overlaps the movable portion when viewed from the thickness direction of the frame body portion.
In such a case, since the possibility that the light that slightly protrudes from the movable part is incident on the permanent magnet increases, the effect of providing the reflection reducing part on the surface of the permanent magnet on the movable part side becomes remarkable.
In the optical device of the present invention, a coil provided to face the permanent magnet;
It is preferable to include a voltage applying unit that applies a voltage to the coil.
Thereby, a frame part can be rotated by a moving coil system.

本発明の光学デバイスでは、前記永久磁石は、前記枠体部の厚さ方向からみたときに前記第１の軸および前記第２の軸に対して傾斜する方向に磁化され、
前記電圧印加手段は、前記コイルに互いに周波数の異なる第１の電圧および第２の電圧を重畳して印加することが好ましい。
これにより、小型化および低コスト化を図りつつ、可動部を第１の軸および第２の軸周りに回動させることができる。 In the optical device of the present invention, the permanent magnet is magnetized in a direction inclined with respect to the first axis and the second axis when viewed from the thickness direction of the frame body portion,
It is preferable that the voltage applying unit applies a first voltage and a second voltage having different frequencies to the coil in a superimposed manner.
Thereby, a movable part can be rotated around the 1st axis | shaft and the 2nd axis | shaft, aiming at size reduction and cost reduction.

本発明の光スキャナーは、光反射性を有する光反射部を備え、第１の軸周りに搖動可能な可動部と、
前記可動部を囲んで設けられ、前記第１の軸に直交する第２の軸周りに搖動可能な枠体部と、
一端部が前記可動部に接続され、他端部が前記枠体部に接続され、前記可動部を前記第１の軸周りに搖動可能に支持する第１軸部と、
一端部が前記枠体部に接続され、前記枠体部を前記第２の軸周りに搖動可能に支持する第２軸部と、
前記枠体部に設けられた永久磁石とを備え、
前記永久磁石は、前記可動部側の表面に光の反射率を低減する反射低減部が設けられていることを特徴とする。
これにより、迷光を抑制するとともに、ムービングマグネット方式により２次元的に光を走査することができる光スキャナーを提供することができる。 An optical scanner of the present invention includes a light reflecting portion having light reflectivity, and a movable portion that can be swung around a first axis;
A frame body portion that surrounds the movable portion and is swingable around a second axis orthogonal to the first axis;
A first shaft part having one end connected to the movable part, the other end connected to the frame body part, and supporting the movable part slidably around the first axis;
A second shaft portion, one end portion of which is connected to the frame body portion and supports the frame body portion so as to be swingable around the second axis;
A permanent magnet provided in the frame body part,
The permanent magnet is characterized in that a reflection reducing part for reducing the reflectance of light is provided on the surface of the movable part side.
Thereby, while suppressing stray light, the optical scanner which can scan light two-dimensionally by a moving magnet system can be provided.

本発明の画像表示装置は、光反射性を有する光反射部を備え、第１の軸周りに搖動可能な可動部と、
前記可動部を囲んで設けられ、前記第１の軸に直交する第２の軸周りに搖動可能な枠体部と、
一端部が前記可動部に接続され、他端部が前記枠体部に接続され、前記可動部を前記第１の軸周りに搖動可能に支持する第１軸部と、
一端部が前記枠体部に接続され、前記枠体部を前記第２の軸周りに搖動可能に支持する第２軸部と、
前記枠体部に設けられた永久磁石とを備え、
前記永久磁石は、前記可動部側の表面に光の反射率を低減する反射低減部が設けられていることを特徴とする。
これにより、迷光を抑制するとともに、ムービングマグネット方式により２次元的に光を走査して画像を表示することができる画像表示装置を提供することができる。 An image display device of the present invention includes a light reflecting portion having light reflectivity, and a movable portion that can be swung around a first axis;
A frame body portion that surrounds the movable portion and is swingable around a second axis orthogonal to the first axis;
A first shaft part having one end connected to the movable part, the other end connected to the frame body part, and supporting the movable part slidably around the first axis;
A second shaft portion, one end portion of which is connected to the frame body portion and supports the frame body portion so as to be swingable around the second axis;
A permanent magnet provided in the frame body part,
The permanent magnet is characterized in that a reflection reducing part for reducing the reflectance of light is provided on the surface of the movable part side.
Accordingly, it is possible to provide an image display device that can suppress stray light and display an image by scanning light two-dimensionally using a moving magnet method.

本発明の光スキャナー（光学デバイス）の第１実施形態を示す平面図である。It is a top view which shows 1st Embodiment of the optical scanner (optical device) of this invention. 図１中のＡ−Ａ線断面図（永久磁石の磁化方向に沿った断面図）である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 1 (a cross-sectional view along the magnetization direction of the permanent magnet). 図１中のＢ−Ｂ線断面図（永久磁石の磁化方向に垂直な断面図）である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 1 (a cross-sectional view perpendicular to the magnetization direction of the permanent magnet). 図１に示す光スキャナーが備える駆動手段の電圧印加手段を説明するためのブロック図である。It is a block diagram for demonstrating the voltage application means of the drive means with which the optical scanner shown in FIG. 1 is provided. 図４に示す第１の電圧発生部および第２の電圧発生部での発生電圧の一例を示す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating an example of voltages generated in a first voltage generation unit and a second voltage generation unit illustrated in FIG. 4. 本発明の光スキャナー（光学デバイス）の第２実施形態を示す断面図（永久磁石の磁化方向に沿った断面図）である。It is sectional drawing (sectional drawing along the magnetization direction of a permanent magnet) which shows 2nd Embodiment of the optical scanner (optical device) of this invention. 図６に示す光スキャナーの永久磁石の磁化方向に垂直な断面図である。It is sectional drawing perpendicular | vertical to the magnetization direction of the permanent magnet of the optical scanner shown in FIG. 本発明の光スキャナー（光学デバイス）の第３実施形態を示す断面図（永久磁石の磁化方向に垂直な断面図）である。It is sectional drawing (sectional drawing perpendicular | vertical to the magnetization direction of a permanent magnet) which shows 3rd Embodiment of the optical scanner (optical device) of this invention. 本発明の光スキャナー（光学デバイス）の第４実施形態を示す断面図（永久磁石の磁化方向に垂直な断面図）である。It is sectional drawing (sectional drawing perpendicular | vertical to the magnetization direction of a permanent magnet) which shows 4th Embodiment of the optical scanner (optical device) of this invention. 本発明の画像表示装置の実施形態を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically embodiment of the image display apparatus of this invention. 本発明の画像表示装置の応用例１を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the application example 1 of the image display apparatus of this invention. 本発明の画像表示装置の応用例２を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the application example 2 of the image display apparatus of this invention. 本発明の画像表示装置の応用例３を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the application example 3 of the image display apparatus of this invention.

以下、本発明の光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。なお、以下の実施形態では、本発明の光学デバイスを光スキャナーに適用した場合について代表的に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の光スキャナー（光学デバイス）の第１実施形態を示す平面図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図（永久磁石の磁化方向に沿った断面図）、図３は、図１中のＢ−Ｂ線断面図（永久磁石の磁化方向に垂直な断面図）、図４は、図１に示す光スキャナーが備える駆動手段の電圧印加手段を説明するためのブロック図、図５は、図４に示す第１の電圧発生部および第２の電圧発生部での発生電圧の一例を示す図である。なお、以下では、説明の便宜上、図２中および図３中の上側を「上」、下側を「下」と言う。 DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of an optical device, an optical scanner, and an image display device of the invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the following embodiments, a case where the optical device of the present invention is applied to an optical scanner will be representatively described.
<First Embodiment>
FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment of an optical scanner (optical device) according to the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1 (cross-sectional view along the magnetization direction of the permanent magnet). 3 is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 1 (cross-sectional view perpendicular to the magnetization direction of the permanent magnet), and FIG. 4 is a diagram for explaining voltage applying means of driving means provided in the optical scanner shown in FIG. FIG. 5 is a block diagram and FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a voltage generated in the first voltage generation unit and the second voltage generation unit illustrated in FIG. In the following, for convenience of explanation, the upper side in FIG. 2 and FIG. 3 is referred to as “upper”, and the lower side is referred to as “lower”.

図１に示すように、光スキャナー１は、可動部１１と、１対の軸部１２ａ、１２ｂ（第１軸部）と、枠体部１３と、１対の軸部１４ａ、１４ｂ（第２軸部）と、支持部１５と、永久磁石２１と、コイル３１とを備える。
ここで、可動部１１、１対の軸部１２ａ、１２ｂは、Ｙ軸（第１の軸）周りに搖動（往復回動）する第１の振動系を構成する。また、可動部１１、１対の軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、１対の軸部１４ａ、１４ｂおよび永久磁石２１は、Ｘ軸（第２の軸）周りに搖動（往復回動）する第２の振動系を構成する。
また、光スキャナー１は、電圧印加手段４を有しており（図４参照）、永久磁石２１、コイル３１および電圧印加手段４は、前述した第１の振動系および第２の振動系を駆動（すなわち、可動部１１をＸ軸およびＹ軸周りに搖動）させる駆動手段を構成する。 As shown in FIG. 1, the optical scanner 1 includes a movable portion 11, a pair of shaft portions 12a and 12b (first shaft portion), a frame body portion 13, and a pair of shaft portions 14a and 14b (second shaft). (Shaft part), the support part 15, the permanent magnet 21, and the coil 31 are provided.
Here, the movable portion 11 and the pair of shaft portions 12a and 12b constitute a first vibration system that swings (reciprocates) around the Y axis (first axis). The movable portion 11, the pair of shaft portions 12a and 12b, the frame body portion 13, the pair of shaft portions 14a and 14b, and the permanent magnet 21 swing (reciprocate) around the X axis (second axis). To constitute a second vibration system.
Further, the optical scanner 1 has a voltage application unit 4 (see FIG. 4), and the permanent magnet 21, the coil 31, and the voltage application unit 4 drive the first vibration system and the second vibration system described above. That is, a driving means for moving the movable portion 11 around the X axis and the Y axis is configured.

以下、光スキャナー１の各部を順次詳細に説明する。
可動部１１は、板状をなす。
可動部１１の上面（一方の面）には、光反射性を有する光反射部１１１が設けられている。
本実施形態では、可動部１１は、平面視にて、円形をなしている。なお、可動部１１の平面視形状は、これに限定されず、例えば、楕円形、四角形等の多角形であってもよい。また、光反射部１１１が設けられた部分の動撓みを低減する動撓み低減構造を有する形状であってもよい。 Hereinafter, each part of the optical scanner 1 will be described in detail sequentially.
The movable part 11 has a plate shape.
A light reflecting portion 111 having light reflectivity is provided on the upper surface (one surface) of the movable portion 11.
In the present embodiment, the movable part 11 has a circular shape in plan view. In addition, the planar view shape of the movable part 11 is not limited to this, For example, polygonal shapes, such as an ellipse and a rectangle, may be sufficient. Moreover, the shape which has the dynamic deflection reduction structure which reduces the dynamic deflection of the part in which the light reflection part 111 was provided may be sufficient.

枠体部１３は、枠状をなし、前述した可動部１１を囲んで設けられている。言い換えると、可動部１１は、枠状をなす枠体部１３の内側に設けられている。
そして、枠体部１３は、軸部１４ａ、１４ｂを介して支持部１５に支持されている。また、可動部１１は、軸部１２ａ、１２ｂを介して枠体部１３に支持されている。
また、枠体部１３は、平面視にて、内側および外側の縁部がそれぞれ円形をなしている。なお、枠体部１３の形状は、枠状であれば、図示のものに限定されない。 The frame body portion 13 has a frame shape and is provided so as to surround the movable portion 11 described above. In other words, the movable portion 11 is provided inside the frame body portion 13 having a frame shape.
And the frame part 13 is supported by the support part 15 via axial part 14a, 14b. Moreover, the movable part 11 is supported by the frame body part 13 via the shaft parts 12a and 12b.
Moreover, as for the frame part 13, the inner and outer edge parts are each circular in plan view. In addition, if the shape of the frame part 13 is a frame shape, it will not be limited to the thing of illustration.

軸部１２ａ、１２ｂおよび軸部１４ａ、１４ｂは、それぞれ、弾性変形可能である。
そして、軸部１２ａ、１２ｂは、可動部１１をＹ軸（第１の軸）周りに回動（搖動）可能とするように、可動部１１と枠体部１３を連結している。また、軸部１４ａ、１４ｂは、枠体部１３をＹ軸に直交するＸ軸（第２の軸）周りに回動（搖動）可能とするように、枠体部１３と支持部１５を連結している。 The shaft portions 12a and 12b and the shaft portions 14a and 14b can be elastically deformed.
The shaft portions 12a and 12b connect the movable portion 11 and the frame body portion 13 so that the movable portion 11 can be rotated (slidable) around the Y axis (first axis). The shaft portions 14a and 14b connect the frame body portion 13 and the support portion 15 so that the frame body portion 13 can be rotated (sliding) around the X axis (second axis) orthogonal to the Y axis. doing.

軸部１２ａ、１２ｂは、可動部１１を介して互いに対向するように配置されている。また、軸部１２ａ、１２ｂは、それぞれ、Ｙ軸に沿った方向に延在する長手形状をなす。そして、軸部１２ａ、１２ｂは、それぞれ、一端部が可動部１１に接続され、他端部が枠体部１３に接続されている。また、軸部１２ａ、１２ｂは、それぞれ、中心軸がＹ軸に一致するように配置されている。 The shaft portions 12 a and 12 b are disposed so as to face each other with the movable portion 11 interposed therebetween. Each of the shaft portions 12a and 12b has a longitudinal shape extending in the direction along the Y axis. Each of the shaft portions 12 a and 12 b has one end connected to the movable portion 11 and the other end connected to the frame body portion 13. In addition, the shaft portions 12a and 12b are arranged so that the central axis thereof coincides with the Y axis.

このような軸部１２ａ、１２ｂは、それぞれ、可動部１１のＹ軸周りの搖動に伴ってねじれ変形する。
軸部１４ａおよび軸部１４ｂは、枠体部１３を介して互いに対向するように配置されている。また、軸部１４ａ、１４ｂは、それぞれ、Ｘ軸に沿った方向に延在する長手形状をなす。そして、軸部１４ａ、１４ｂは、それぞれ、一端部が枠体部１３に接続され、他端部が支持部１５に接続されている。また、軸部１４ａ、１４ｂは、それぞれ、中心軸がＸ軸に一致するように配置されている。 Such shaft portions 12a and 12b are each torsionally deformed as the movable portion 11 swings around the Y axis.
The shaft portion 14a and the shaft portion 14b are disposed so as to face each other with the frame body portion 13 interposed therebetween. Each of the shaft portions 14a and 14b has a longitudinal shape extending in the direction along the X axis. Each of the shaft portions 14 a and 14 b has one end connected to the frame body portion 13 and the other end connected to the support portion 15. In addition, the shaft portions 14a and 14b are arranged so that the central axis coincides with the X axis.

このような軸部１４ａ、１４ｂは、それぞれ、枠体部１３のＸ軸周りの搖動に伴ってねじれ変形する。
このように、可動部１１をＹ軸周りに搖動可能とするとともに、枠体部１３をＸ軸周りに搖動可能とすることにより、可動部１１を互いに直交するＸ軸およびＹ軸の２軸周りに搖動（回動）させることができる。 Such shaft portions 14 a and 14 b are torsionally deformed as the frame body portion 13 swings around the X axis.
As described above, the movable portion 11 can be swung around the Y axis, and the frame body portion 13 can be swung around the X axis, so that the movable portion 11 can be rotated around the X axis and the Y axis that are orthogonal to each other. Can be swung (rotated).

なお、軸部１２ａ、１２ｂおよび軸部１４ａ、１４ｂの形状は、それぞれ、前述したものに限定されず、例えば、途中の少なくとも１箇所に屈曲または湾曲した部分や分岐した部分を有していてもよい。
前述したような可動部１１、軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、軸部１４ａ、１４ｂおよび支持部１５は、一体的に形成されている。 Note that the shapes of the shaft portions 12a and 12b and the shaft portions 14a and 14b are not limited to those described above. Good.
The movable part 11, the shaft parts 12a and 12b, the frame body part 13, the shaft parts 14a and 14b, and the support part 15 as described above are integrally formed.

例えば、可動部１１、軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、軸部１４ａ、１４ｂおよび支持部１５を含む構造体は、シリコン基板をエッチングすることにより形成することができる。これにより、第１の振動系および第２の振動系の振動特性を優れたものとすることができる。また、かかる構造体は、第１のＳｉ層（デバイス層）と、ＳｉＯ_２層（ボックス層）と、第２のＳｉ層（ハンドル層）とがこの順に積層したＳＯＩ基板をエッチングすることにより形成することもできる。この場合、例えば、可動部１１、軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、軸部１４ａ、１４ｂおよび支持部１５を第１のＳｉ層で一体的に形成すればよく、可動部１１、軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、軸部１４ａ、１４ｂおよび支持部１５を含む構造体は、必要に応じて、ＳｉＯ_２層、第２のＳｉ層を含んでいてもよい。 For example, the structure including the movable portion 11, the shaft portions 12a and 12b, the frame body portion 13, the shaft portions 14a and 14b, and the support portion 15 can be formed by etching a silicon substrate. Thereby, the vibration characteristics of the first vibration system and the second vibration system can be made excellent. Such a structure is formed by etching an SOI substrate in which a first Si layer (device layer), a SiO ₂ layer (box layer), and a second Si layer (handle layer) are stacked in this order. You can also In this case, for example, the movable part 11, the shaft parts 12a and 12b, the frame body part 13, the shaft parts 14a and 14b, and the support part 15 may be formed integrally with the first Si layer. The structure including 12a and 12b, the frame body portion 13, the shaft portions 14a and 14b, and the support portion 15 may include a SiO ₂ layer and a second Si layer as necessary.

また、本実施形態では、軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、軸部１４ａ、１４ｂおよび支持部１５の上面には、光の反射率を低減する反射低減部１６が設けられている。これにより、かかる上面で反射した光が迷光となるのを低減することができる。
この反射低減部１６の反射低減処理としては、特に限定されないが、例えば、反射防止膜（誘電体多層膜）の形成、粗面化処理、黒色処理等が挙げられる。 In the present embodiment, a reflection reduction unit 16 that reduces the light reflectance is provided on the upper surfaces of the shaft portions 12 a and 12 b, the frame body portion 13, the shaft portions 14 a and 14 b, and the support portion 15. Thereby, it can reduce that the light reflected on this upper surface turns into a stray light.
The reflection reduction process of the reflection reduction unit 16 is not particularly limited, and examples thereof include formation of an antireflection film (dielectric multilayer film), roughening process, and black process.

前述した枠体部１３の下面（光反射部１１１とは反対側の面）には、永久磁石２１が接合されている。
永久磁石２１と枠体部１３との接合方法としては、特に限定されないが、例えば、接着剤を用いた接合方法を用いることができる。
永久磁石２１は、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜する方向に磁化されている。 A permanent magnet 21 is joined to the lower surface (the surface opposite to the light reflecting portion 111) of the frame body portion 13 described above.
Although it does not specifically limit as a joining method of the permanent magnet 21 and the frame part 13, For example, the joining method using an adhesive agent can be used.
The permanent magnet 21 is magnetized in a direction inclined with respect to the X axis and the Y axis in plan view.

本実施形態では、永久磁石２１は、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜する方向に延在する長手形状（棒状）をなす。そして、永久磁石２１は、その長手方向に磁化されている。すなわち、永久磁石２１は、一端部をＳ極とし、他端部をＮ極とするように磁化されている。
また、永久磁石２１は、平面視にて、Ｘ軸とＹ軸との交点を中心として対称となるように設けられている。 In the present embodiment, the permanent magnet 21 has a longitudinal shape (bar shape) extending in a direction inclined with respect to the X axis and the Y axis. The permanent magnet 21 is magnetized in the longitudinal direction. That is, the permanent magnet 21 is magnetized so that one end is an S pole and the other end is an N pole.
Further, the permanent magnet 21 is provided so as to be symmetric with respect to the intersection of the X axis and the Y axis in plan view.

本実施形態では、永久磁石２１の上面には、凹部２１１が設けられている。これにより、回動する可動部１１が永久磁石２１に接触するのを防止することができる。
なお、本実施形態では、枠体部１３に１つの永久磁石を設置した場合を例に説明するが、これに限定されず、例えば、枠体部１３に２つの永久磁石を設置してもよい。この場合、例えば、長尺状をなす２つの永久磁石を、Ｘ軸およびＹ軸の交点を介して互いに対向するとともに、互いに平行となるように、枠体部１３に設置すればよい。 In the present embodiment, a concave portion 211 is provided on the upper surface of the permanent magnet 21. Thereby, it is possible to prevent the rotating movable portion 11 from contacting the permanent magnet 21.
In this embodiment, a case where one permanent magnet is installed in the frame body portion 13 will be described as an example. However, the present invention is not limited to this. For example, two permanent magnets may be installed in the frame body portion 13. . In this case, for example, two long permanent magnets may be installed on the frame body portion 13 so as to face each other via the intersection of the X axis and the Y axis and to be parallel to each other.

Ｘ軸に対する永久磁石２１の磁化の方向（延在方向）の傾斜角θは、特に限定されないが、３０°以上６０°以下であるのが好ましく、４５°以上６０°以下であることがより好ましく、４５°であるのがさらに好ましい。このように永久磁石２１を設けることで、円滑かつ確実に可動部１１をＸ軸の周りに回動させることができる。
これに対し、傾斜角θが前記下限値未満であると、電圧印加手段４によりコイル３１に印加される電圧の強さなどの諸条件によっては、可動部１１を十分にＸ軸周りに回動させることができない場合がある。一方、傾斜角θが前記上限値を超えると、諸条件によっては、可動部１１を十分にＹ軸周りに回動させることができない場合がある。 The inclination angle θ in the magnetization direction (extending direction) of the permanent magnet 21 with respect to the X axis is not particularly limited, but is preferably 30 ° or more and 60 ° or less, and more preferably 45 ° or more and 60 ° or less. 45 ° is more preferable. By providing the permanent magnet 21 in this way, the movable part 11 can be rotated around the X axis smoothly and reliably.
On the other hand, if the inclination angle θ is less than the lower limit value, the movable portion 11 can be sufficiently rotated around the X axis depending on various conditions such as the strength of the voltage applied to the coil 31 by the voltage applying means 4. It may not be possible to On the other hand, if the inclination angle θ exceeds the upper limit value, the movable part 11 may not be able to be sufficiently rotated around the Y axis depending on various conditions.

このような永久磁石２１としては、例えば、ネオジム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石等を好適に用いることができる。このような永久磁石２１は、高磁性体を着磁したものであり、例えば、着磁前の硬磁性体を枠体部１３に設置した後に着磁することにより形成される。既に着磁がなされた永久磁石２１を枠体部１３に設置しようとすると、外部や他の部品の磁界の影響により、永久磁石２１を所望の位置に設置できない場合があるからである。 As such a permanent magnet 21, for example, a neodymium magnet, a ferrite magnet, a samarium cobalt magnet, an alnico magnet, a bond magnet, or the like can be suitably used. Such a permanent magnet 21 is formed by magnetizing a high magnetic material, and is formed, for example, by magnetizing a hard magnetic material before magnetization in the frame body portion 13. This is because if the permanent magnet 21 that has already been magnetized is to be installed in the frame body portion 13, the permanent magnet 21 may not be installed at a desired position due to the influence of the magnetic field of the outside or other components.

このような永久磁石２１は、上面（すなわち可動部１１側の表面）に光の反射率を低減する反射低減部２２が設けられている。これにより、可動部１１からはみ出した光が永久磁石２１に入射しても迷光となるのを低減することができる。
特に、永久磁石２１は、枠体部１３の厚さ方向からみたときに可動部１１に重なる部分を有する。ここで、永久磁石２１は枠体部１３に設けられているので、枠体部１３の厚さ方向からみたときに可動部１１に重なる部分から僅かにはみ出した部分（すなわち、可動部１１と重ならない部分）も永久磁石２１は有することとなる。したがって、可動部１１から僅かにはみ出した光でも、永久磁石２１に入射する可能性が高まるため、永久磁石２１の可動部１１側の表面に反射低減部２２を設けることによる効果が顕著となる。 Such a permanent magnet 21 is provided with a reflection reducing portion 22 for reducing the reflectance of light on the upper surface (that is, the surface on the movable portion 11 side). Thereby, it is possible to reduce stray light even if light that protrudes from the movable portion 11 enters the permanent magnet 21.
In particular, the permanent magnet 21 has a portion that overlaps the movable portion 11 when viewed from the thickness direction of the frame body portion 13. Here, since the permanent magnet 21 is provided in the frame body portion 13, a portion slightly protruding from the portion overlapping the movable portion 11 when viewed from the thickness direction of the frame body portion 13 (that is, the movable portion 11 and the heavy portion 11 overlapped). The permanent magnet 21 also has a portion that is not to be provided. Therefore, since the possibility that light that slightly protrudes from the movable portion 11 enters the permanent magnet 21 is increased, the effect of providing the reflection reducing portion 22 on the surface of the permanent magnet 21 on the movable portion 11 side becomes remarkable.

また、永久磁石２１の可動部１１側の表面は、枠体部１３に沿った平面（Ｘ軸およびＹ軸を含む平面）に対して平行となっている。この点でも、永久磁石２１の可動部１１側の表面に反射低減部２２を設けることによる効果が顕著となる。
この反射低減部２２の反射低減処理としては、特に限定されないが、例えば、反射防止膜の形成、粗面化処理、黒色処理等が挙げられる。 Further, the surface of the permanent magnet 21 on the movable part 11 side is parallel to a plane (a plane including the X axis and the Y axis) along the frame body part 13. Also in this respect, the effect of providing the reflection reducing portion 22 on the surface of the permanent magnet 21 on the movable portion 11 side becomes remarkable.
Although it does not specifically limit as a reflection reduction process of this reflection reduction part 22, For example, formation of an antireflection film, a roughening process, a black process etc. are mentioned.

中でも、反射低減部２２は、誘電体多層膜、黒色膜等の反射防止膜であるのが好ましい。これにより、反射低減部２２の反射低減作用を優れたものとすることができる。
かかる反射防止膜は、クロムで構成されているのが好ましいこれにより、簡単に、反射防止膜を形成することができる。
永久磁石２１の直下には、コイル３１が設けられている。すなわち、枠体部１３の下面に対向するように、コイル３１が設けられている。これにより、コイル３１から発生する磁界を効率的に永久磁石２１に作用させることができる。これにより、光スキャナー１の省電力化および小型化を図ることができる。 Especially, it is preferable that the reflection reduction part 22 is antireflection films, such as a dielectric multilayer film and a black film. Thereby, the reflection reducing action of the reflection reducing unit 22 can be made excellent.
Such an antireflection film is preferably made of chromium, whereby the antireflection film can be easily formed.
A coil 31 is provided immediately below the permanent magnet 21. That is, the coil 31 is provided so as to face the lower surface of the frame body portion 13. Thereby, the magnetic field generated from the coil 31 can be applied to the permanent magnet 21 efficiently. Thereby, power saving and size reduction of the optical scanner 1 can be achieved.

なお、コイル３１は、磁心に巻回されて設けられていてもよい。
このようなコイル３１は、電圧印加手段４に電気的に接続されている。
そして、電圧印加手段４によりコイル３１に電圧が印加されることで、コイル３１からＸ軸およびＹ軸に直交する磁束を有する磁界が発生する。
電圧印加手段４は、図４に示すように、可動部１１をＹ軸周りに回動させるための第１の電圧Ｖ１を発生させる第１の電圧発生部４１と、可動部１１をＸ軸周りに回動させるための第２の電圧Ｖ２を発生させる第２の電圧発生部４２と、第１の電圧Ｖ１と第２の電圧Ｖ２とを重畳する電圧重畳部４３とを備え、電圧重畳部４３で重畳した電圧をコイル３１に印加する。 The coil 31 may be provided by being wound around a magnetic core.
Such a coil 31 is electrically connected to the voltage applying means 4.
Then, a voltage is applied to the coil 31 by the voltage application unit 4, thereby generating a magnetic field having a magnetic flux orthogonal to the X axis and the Y axis from the coil 31.
As shown in FIG. 4, the voltage applying means 4 includes a first voltage generating unit 41 that generates a first voltage V1 for rotating the movable unit 11 around the Y axis, and a movable unit 11 around the X axis. And a voltage superimposing unit 43 that superimposes the first voltage V1 and the second voltage V2, and a voltage superimposing unit 43. The voltage superimposed in (1) is applied to the coil 31.

第１の電圧発生部４１は、図５（ａ）に示すように、周期Ｔ１で周期的に変化する第１の電圧Ｖ１（水平走査用電圧）を発生させるものである。すなわち、第１の電圧発生部４１は、第１周波数（１／Ｔ１）の第１の電圧Ｖ１を発生させるものである。
第１の電圧Ｖ１は、正弦波のような波形をなしている。そのため、光スキャナー１は効果的に光を主走査することができる。なお、第１の電圧Ｖ１の波形は、これに限定されない。 As shown in FIG. 5A, the first voltage generator 41 generates a first voltage V1 (horizontal scanning voltage) that periodically changes in a cycle T1. In other words, the first voltage generator 41 generates the first voltage V1 having the first frequency (1 / T1).
The first voltage V1 has a waveform like a sine wave. Therefore, the optical scanner 1 can perform main scanning of light effectively. Note that the waveform of the first voltage V1 is not limited to this.

また、第１周波数（１／Ｔ１）は、水平走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、１０〜４０ｋＨｚであるのが好ましい。
本実施形態では、第１周波数は、可動部１１、１対の軸部１２ａ、１２ｂで構成される第１の振動系（ねじり振動系）のねじり共振周波数（ｆ１）と等しくなるように設定されている。つまり、第１の振動系は、そのねじり共振周波数ｆ１が水平走査に適した周波数になるように設計（製造）されている。これにより、可動部１１のＹ軸周りの回動角を大きくすることができる。 The first frequency (1 / T1) is not particularly limited as long as it is suitable for horizontal scanning, but is preferably 10 to 40 kHz.
In the present embodiment, the first frequency is set to be equal to the torsional resonance frequency (f1) of the first vibration system (torsional vibration system) composed of the movable portion 11 and the pair of shaft portions 12a and 12b. ing. That is, the first vibration system is designed (manufactured) so that its torsional resonance frequency f1 is a frequency suitable for horizontal scanning. Thereby, the rotation angle of the movable part 11 around the Y axis can be increased.

一方、第２の電圧発生部４２は、図５（ｂ）に示すように、周期Ｔ１と異なる周期Ｔ２で周期的に変化する第２の電圧Ｖ２（垂直走査用電圧）を発生させるものである。すなわち、第２の電圧発生部４２は、第２周波数（１／Ｔ２）の第２の電圧Ｖ２を発生させるものである。
第２の電圧Ｖ２は、鋸波のような波形をなしている。そのため、光スキャナー１は効果的に光を垂直走査（副走査）することができる。なお、第２の電圧Ｖ２の波形は、これに限定されない。 On the other hand, as shown in FIG. 5B, the second voltage generator 42 generates a second voltage V2 (vertical scanning voltage) that periodically changes at a period T2 different from the period T1. . In other words, the second voltage generator 42 generates the second voltage V2 having the second frequency (1 / T2).
The second voltage V2 has a sawtooth waveform. Therefore, the optical scanner 1 can effectively perform vertical scanning (sub-scanning) of light. Note that the waveform of the second voltage V2 is not limited to this.

第２周波数（１／Ｔ２）は、第１周波数（１／Ｔ１）と異なり、かつ、垂直走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、３０〜１２０Ｈｚ（６０Ｈｚ程度）であるのが好ましい。このように、第２の電圧Ｖ２の周波数を６０Ｈｚ程度とし、前述したように第１の電圧Ｖ１の周波数を１０〜４０ｋＨｚとすることで、ディスプレイでの描画に適した周波数で、可動部１１を互いに直交する２軸（Ｘ軸およびＹ軸）のそれぞれの軸周りに回動させることができる。ただし、可動部１１をＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸周りに回動させることができれば、第１の電圧Ｖ１の周波数と第２の電圧Ｖ２の周波数との組み合わせは、特に限定されない。 The second frequency (1 / T2) is not particularly limited as long as it is different from the first frequency (1 / T1) and is suitable for vertical scanning, but is preferably 30 to 120 Hz (about 60 Hz). . As described above, the frequency of the second voltage V2 is set to about 60 Hz, and the frequency of the first voltage V1 is set to 10 to 40 kHz as described above, so that the movable part 11 can be moved at a frequency suitable for drawing on the display. It can be rotated around each of two axes (X axis and Y axis) orthogonal to each other. However, the combination of the frequency of the first voltage V1 and the frequency of the second voltage V2 is not particularly limited as long as the movable portion 11 can be rotated around the X axis and the Y axis.

本実施形態では、第２の電圧Ｖ２の周波数は、可動部１１、１対の軸部１２ａ、１２ｂ、枠体部１３、１対の軸部１４ａ、１４ｂおよび永久磁石２１で構成された第２の振動系（ねじり振動系）のねじり共振周波数（共振周波数）と異なる周波数となるように調整されている。
このような第２の電圧Ｖ２の周波数（第２周波数）は、第１の電圧Ｖ１の周波数（第１周波数）よりも小さいことが好ましい。すなわち、周期Ｔ２は、周期Ｔ１よりも長いことが好ましい。これにより、より確実かつより円滑に、可動部１１をＹ軸周りに第１周波数で回動させつつ、Ｘ軸周りに第２周波数で回動させることができる。 In the present embodiment, the frequency of the second voltage V 2 is the second composed of the movable portion 11, the pair of shaft portions 12 a and 12 b, the frame body portion 13, the pair of shaft portions 14 a and 14 b, and the permanent magnet 21. The vibration system (torsional vibration system) is adjusted to have a frequency different from the torsional resonance frequency (resonance frequency).
The frequency (second frequency) of the second voltage V2 is preferably smaller than the frequency (first frequency) of the first voltage V1. That is, the period T2 is preferably longer than the period T1. Thereby, the movable part 11 can be rotated around the X axis at the second frequency while being rotated around the Y axis more reliably and smoothly.

また、第１の振動系のねじり共振周波数をｆ１［Ｈｚ］とし、第２の振動系のねじり共振周波数をｆ２［Ｈｚ］としたとき、ｆ１とｆ２とが、ｆ２＜ｆ１の関係を満たすことが好ましく、ｆ１≧１０ｆ２の関係を満たすことがより好ましい。これにより、より円滑に、可動部１１を、Ｙ軸周りに第１の電圧Ｖ１の周波数で回動させつつ、Ｘ軸周りに第２の電圧Ｖ２の周波数で回動させることができる。これに対し、ｆ１≦ｆ２とした場合は、第２周波数による第１の振動系の振動が起こる可能性がある。 Further, when the torsional resonance frequency of the first vibration system is f1 [Hz] and the torsional resonance frequency of the second vibration system is f2 [Hz], f1 and f2 satisfy the relationship of f2 <f1. Is preferable, and it is more preferable to satisfy the relationship of f1 ≧ 10f2. Thereby, the movable part 11 can be more smoothly rotated at the frequency of the second voltage V2 around the X axis while being rotated at the frequency of the first voltage V1 around the Y axis. On the other hand, when f1 ≦ f2, the vibration of the first vibration system may occur due to the second frequency.

このような第１の電圧発生部４１および第２の電圧発生部４２は、それぞれ、制御部７に接続され、この制御部７からの信号に基づき駆動する。このような第１の電圧発生部４１および第２の電圧発生部４２には、電圧重畳部４３が接続されている。
電圧重畳部４３は、コイル３１に電圧を印加するための加算器４３ａを備えている。加算器４３ａは、第１の電圧発生部４１から第１の電圧Ｖ１を受けるとともに、第２の電圧発生部４２から第２の電圧Ｖ２を受け、これらの電圧を重畳しコイル３１に印加するようになっている。 The first voltage generation unit 41 and the second voltage generation unit 42 are connected to the control unit 7 and driven based on signals from the control unit 7. A voltage superimposing unit 43 is connected to the first voltage generating unit 41 and the second voltage generating unit 42 as described above.
The voltage superimposing unit 43 includes an adder 43 a for applying a voltage to the coil 31. The adder 43 a receives the first voltage V 1 from the first voltage generator 41 and receives the second voltage V 2 from the second voltage generator 42, and superimposes and applies these voltages to the coil 31. It has become.

次に、光スキャナー１の駆動方法について説明する。なお、本実施形態では、前述したように、第１の電圧Ｖ１の周波数は、第１の振動系のねじり共振周波数と等しく設定されており、第２の電圧Ｖ２の周波数は、第２の振動系のねじり共振周波数と異なる値に、かつ、第１の電圧Ｖ１の周波数よりも小さくなるように設定されている（例えば、第１の電圧Ｖ１の周波数が１８ｋＨｚ、第２の電圧Ｖ２の周波数が６０Ｈｚに設定されている）。 Next, a method for driving the optical scanner 1 will be described. In the present embodiment, as described above, the frequency of the first voltage V1 is set equal to the torsional resonance frequency of the first vibration system, and the frequency of the second voltage V2 is the second vibration frequency. It is set to a value different from the torsional resonance frequency of the system and smaller than the frequency of the first voltage V1 (for example, the frequency of the first voltage V1 is 18 kHz and the frequency of the second voltage V2 is 60Hz).

例えば、図５（ａ）に示すような第１の電圧Ｖ１と、図５（ｂ）に示すような第２の電圧Ｖ２とを電圧重畳部４３にて重畳し、重畳した電圧をコイル３１に印加する。
すると、第１の電圧Ｖ１によって、永久磁石２１の一端部（Ｎ極）をコイル３１に引き付けようとするとともに、永久磁石２１の他端部（Ｓ極）をコイル３１から離間させようとする磁界（この磁界を「磁界Ａ１」という）と、永久磁石２１の一端部（Ｎ極）をコイル３１から離間させようとするとともに、永久磁石２１の他端部（Ｓ極）をコイル３１に引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ａ２」という）とが交互に切り換わる。 For example, the first voltage V 1 as shown in FIG. 5A and the second voltage V 2 as shown in FIG. 5B are superimposed by the voltage superimposing unit 43, and the superimposed voltage is applied to the coil 31. Apply.
Then, the first voltage V 1 tries to attract one end (N pole) of the permanent magnet 21 to the coil 31, and the magnetic field tries to separate the other end (S pole) of the permanent magnet 21 from the coil 31. (This magnetic field is called "magnetic field A1") and one end (N pole) of the permanent magnet 21 is to be separated from the coil 31, and the other end (S pole) of the permanent magnet 21 is attracted to the coil 31. (The magnetic field is referred to as “magnetic field A2”) alternately.

ここで、上述したように、永久磁石２１は、それぞれの端部（磁極）が、Ｙ軸で分割される２つの領域に位置するように配置される。すなわち、図１の平面視において、Ｙ軸を挟んで一方側に永久磁石２１のＮ極が位置し、他方側に永久磁石２１のＳ極が位置している。そのため、磁界Ａ１と磁界Ａ２とが交互に切り換わることで、枠体部１３にＹ軸周りのねじり振動成分を有する振動が励振され、その振動に伴って、軸部１２ａ、１２ｂを捩れ変形させつつ、可動部１１が第１の電圧Ｖ１の周波数でＹ軸周りに回動する。
また、第１の電圧Ｖ１の周波数は、第１の振動系のねじり共振周波数と等しい。そのため、第１の電圧Ｖ１によって、効率的に、可動部１１をＹ軸周りに回動させることができる。すなわち、前述した枠体部１３のＹ軸周りのねじり振動成分を有する振動が小さくても、その振動に伴う可動部１１のＹ軸周りの回動角を大きくすることができる。 Here, as described above, the permanent magnet 21 is disposed so that each end (magnetic pole) is located in two regions divided by the Y axis. That is, in the plan view of FIG. 1, the N pole of the permanent magnet 21 is located on one side of the Y axis and the S pole of the permanent magnet 21 is located on the other side. Therefore, by alternately switching between the magnetic field A1 and the magnetic field A2, vibration having a torsional vibration component around the Y axis is excited in the frame body portion 13 and the shaft portions 12a and 12b are twisted and deformed along with the vibration. Meanwhile, the movable part 11 rotates around the Y axis at the frequency of the first voltage V1.
The frequency of the first voltage V1 is equal to the torsional resonance frequency of the first vibration system. Therefore, the movable part 11 can be efficiently rotated around the Y axis by the first voltage V1. That is, even if the vibration having the torsional vibration component around the Y axis of the frame portion 13 described above is small, the rotation angle of the movable portion 11 around the Y axis associated with the vibration can be increased.

一方、第２の電圧Ｖ２によって、永久磁石２１の一端部（Ｎ極）をコイル３１に引き付けようとするとともに、永久磁石２１の他端部（Ｓ極）をコイル３１から離間させようとする磁界（この磁界を「磁界Ｂ１」という）と、永久磁石２１の一端部（Ｎ極）をコイル３１から離間させようとするとともに、永久磁石２１の他端部（Ｓ極）をコイル３１に引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ｂ２」という）とが交互に切り換わる。 On the other hand, the second voltage V 2 is used to attract one end (N pole) of the permanent magnet 21 to the coil 31 and to magnetically separate the other end (S pole) of the permanent magnet 21 from the coil 31. (This magnetic field is referred to as “magnetic field B1”) and one end (N pole) of the permanent magnet 21 is to be separated from the coil 31 and the other end (S pole) of the permanent magnet 21 is attracted to the coil 31. (The magnetic field is referred to as “magnetic field B2”) alternately.

ここで、上述したように、永久磁石２１は、それぞれの端部（磁極）が、Ｘ軸で分割される２つの領域に位置するように配置される。すなわち図１の平面視において、Ｘ軸を挟んで一方側に永久磁石２１のＮ極が位置し、他方側に永久磁石２１のＳ極が位置している。そのため、磁界Ｂ１と磁界Ｂ２とが交互に切り換わることで、軸部１４ａ、１４ｂをそれぞれ捩れ変形させつつ、枠体部１３が可動部１１とともに、第２の電圧Ｖ２の周波数でＸ軸周りに回動する。
また、第２の電圧Ｖ２の周波数は、第１の電圧Ｖ１の周波数に比べて極めて低く設定されている。また、第２の振動系のねじり共振周波数は、第１の振動系のねじり共振周波数よりも低く設計されている。そのため、可動部１１が第２の電圧Ｖ２の周波数でＹ軸周りに回動してしまうことを防止することができる。 Here, as described above, the permanent magnet 21 is arranged so that each end portion (magnetic pole) is located in two regions divided by the X axis. That is, in the plan view of FIG. 1, the N pole of the permanent magnet 21 is located on one side of the X axis and the S pole of the permanent magnet 21 is located on the other side. Therefore, by alternately switching the magnetic field B1 and the magnetic field B2, the frame part 13 together with the movable part 11 is rotated around the X axis at the frequency of the second voltage V2 while twisting and deforming the shaft parts 14a and 14b. Rotate.
Further, the frequency of the second voltage V2 is set to be extremely lower than the frequency of the first voltage V1. The torsional resonance frequency of the second vibration system is designed to be lower than the torsional resonance frequency of the first vibration system. Therefore, it is possible to prevent the movable part 11 from rotating around the Y axis at the frequency of the second voltage V2.

以上説明したように光スキャナー１では、第１の電圧Ｖ１と第２の電圧Ｖ２とを重畳させた電圧をコイル３１に印加することで、可動部１１を、Ｙ軸周りに第１の電圧Ｖ１の周波数で回動させつつ、Ｘ軸周りに第２の電圧のＶ２の周波数で回動させることができる。これにより、装置の低コスト化および小型化を図るとともに、電磁駆動方式（ムービングマグネット方式）により、可動部１１をＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸周りに回動させることができる。また、駆動源を構成する部品（永久磁石およびコイル）の数を少なくすることができるため、簡単かつ小型な構成とすることができる。また、コイル３１が光スキャナー１の振動系と離間しているので、かかる振動系に対するコイル３１の発熱による悪影響を防止することができる。
特に、永久磁石２１の可動部１１側の表面に反射低減部２２が設けられているので、可動部１１からはみ出した光が永久磁石２１に入射しても迷光となるのを低減することができる。 As described above, in the optical scanner 1, the movable unit 11 is moved around the Y axis by applying the voltage obtained by superimposing the first voltage V 1 and the second voltage V 2 to the coil 31. Can be rotated at the frequency of the second voltage V2 around the X axis. As a result, the cost and size of the apparatus can be reduced, and the movable portion 11 can be rotated around the X axis and the Y axis by an electromagnetic drive system (moving magnet system). In addition, since the number of parts (permanent magnets and coils) constituting the drive source can be reduced, a simple and small configuration can be achieved. Further, since the coil 31 is separated from the vibration system of the optical scanner 1, adverse effects due to heat generation of the coil 31 with respect to the vibration system can be prevented.
In particular, since the reflection reducing portion 22 is provided on the surface of the permanent magnet 21 on the movable portion 11 side, stray light can be reduced even if light protruding from the movable portion 11 enters the permanent magnet 21. .

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図６は、本発明の光スキャナー（光学デバイス）の第２実施形態を示す断面図（永久磁石の磁化方向に沿った断面図）、図７は、図６に示す光スキャナーの永久磁石の磁化方向に垂直な断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図６中および図７中の上側を「上」、下側を「下」と言う。 Second Embodiment
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
6 is a cross-sectional view (a cross-sectional view along the magnetization direction of the permanent magnet) showing a second embodiment of the optical scanner (optical device) of the present invention, and FIG. 7 is a magnetization of the permanent magnet of the optical scanner shown in FIG. It is sectional drawing perpendicular | vertical to a direction. In the following, for convenience of explanation, the upper side in FIG. 6 and FIG. 7 is referred to as “upper”, and the lower side is referred to as “lower”.

以下、第２実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、図６および図７において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。 Hereinafter, the second embodiment will be described with a focus on the differences from the first embodiment described above, and the description of the same matters will be omitted. 6 and 7, the same reference numerals are given to the same configurations as those in the above-described embodiment.

本実施形態の光スキャナーは、永久磁石の横断面形状が異なるとともに、永久磁石をスペーサーを介して枠体部に配置した以外は、前述した第１実施形態の光スキャナーと同様である。
本実施形態の光スキャナー１Ａは、枠体部１３にスペーサー１７を介して接合された永久磁石２１Ａを有する。 The optical scanner of the present embodiment is the same as the optical scanner of the first embodiment described above, except that the cross-sectional shape of the permanent magnet is different and the permanent magnet is arranged on the frame body part via a spacer.
1 A of optical scanners of this embodiment have the permanent magnet 21A joined to the frame part 13 via the spacer 17. As shown in FIG.

永久磁石２１Ａの上面（すなわち可動部１１側の表面）には、光の反射率を低減する反射低減部２２Ａが設けられている。これにより、可動部１１からはみ出した光が永久磁石２１Ａに入射しても迷光となるのを低減することができる。
特に、永久磁石２１Ａの可動部１１側の表面（上側の面）は、枠体部１３に沿った平面に対して傾斜している。これにより、反射低減部２２Ａの反射低減作用が小さくても、可動部１１からはみ出した光が永久磁石２１Ａに入射しても迷光となるのを低減することができる。 On the upper surface of the permanent magnet 21A (that is, the surface on the movable portion 11 side), a reflection reducing portion 22A that reduces the reflectance of light is provided. Thereby, it is possible to reduce stray light even if light protruding from the movable portion 11 enters the permanent magnet 21A.
In particular, the surface (upper surface) of the permanent magnet 21 A on the movable portion 11 side is inclined with respect to the plane along the frame body portion 13. Thereby, even if the reflection reducing action of the reflection reducing portion 22A is small, it is possible to reduce stray light even if light protruding from the movable portion 11 enters the permanent magnet 21A.

本実施形態では、永久磁石２１Ａは、図７に示すように、横断面が四角形をなす。すなわち、永久磁石２１Ａは、角柱状をなす。これにより、簡単な構成で、永久磁石２１Ａの可動部１１側の表面を枠体部１３に沿った平面に対して傾斜させることができる。なお、永久磁石２１Ａの長手方向での両端部の横断面形状は、上記四角形に対して４５°回転させた形状をなしていてもよい。この場合、枠体部１３に対する永久磁石２１Ａの設置が容易となる。 In the present embodiment, the permanent magnet 21A has a rectangular cross section as shown in FIG. That is, the permanent magnet 21A has a prismatic shape. Accordingly, the surface of the permanent magnet 21 A on the movable portion 11 side can be inclined with respect to the plane along the frame body portion 13 with a simple configuration. In addition, the cross-sectional shape of the both ends in the longitudinal direction of the permanent magnet 21A may be a shape rotated by 45 ° with respect to the square. In this case, the permanent magnet 21 A can be easily installed on the frame body portion 13.

本実施形態では、永久磁石２１Ａは、スペーサー１７に対して、接着剤１８により固定されている。
接着剤１８としては、特に限定されず、例えば、エポキシ系接着剤、アクリル系接着剤等を用いることができる。これにより、永久磁石２１Ａが所望の姿勢となるように、永久磁石２１Ａをスペーサー１７に対して簡単に固定することができる。 In the present embodiment, the permanent magnet 21 A is fixed to the spacer 17 by the adhesive 18.
It does not specifically limit as the adhesive agent 18, For example, an epoxy-type adhesive agent, an acrylic adhesive agent, etc. can be used. Accordingly, the permanent magnet 21A can be easily fixed to the spacer 17 so that the permanent magnet 21A has a desired posture.

また、本実施形態では、反射低減部２２Ａは、永久磁石２１Ａの４つの側面のうち、互いに隣り合う２つの側面に設けられている。なお、反射低減部２２Ａは、永久磁石２１Ａのすべての側面に設けられていてもよい。
以上説明したような第２実施形態に係る光スキャナー１Ａによっても、迷光を低減するとともに、ムービングマグネット方式により２次元的に光を走査することができる。 In the present embodiment, the reflection reducing portion 22A is provided on two side surfaces adjacent to each other among the four side surfaces of the permanent magnet 21A. Note that the reflection reduction unit 22A may be provided on all side surfaces of the permanent magnet 21A.
Also with the optical scanner 1A according to the second embodiment as described above, stray light can be reduced and light can be scanned two-dimensionally by the moving magnet method.

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
図８は、本発明の光スキャナー（光学デバイス）の第３実施形態を示す断面図（永久磁石の磁化方向に垂直な断面図）である。なお、以下では、説明の便宜上、図８中の上側を「上」、下側を「下」と言う。 <Third Embodiment>
Next, a third embodiment of the present invention will be described.
FIG. 8 is a cross-sectional view (cross-sectional view perpendicular to the magnetization direction of the permanent magnet) showing a third embodiment of the optical scanner (optical device) of the present invention. In the following, for convenience of explanation, the upper side in FIG. 8 is referred to as “upper” and the lower side is referred to as “lower”.

以下、第３実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、図８において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
本実施形態の光スキャナーは、永久磁石の横断面形状が異なるとともに、永久磁石をスペーサーを介して枠体部に配置した以外は、前述した第１実施形態の光スキャナーと同様である。また、本実施形態の光スキャナーは、永久磁石の横断面形状が異なる以外は、前述した第２実施形態の光スキャナーと同様である。 Hereinafter, the third embodiment will be described with a focus on differences from the first embodiment described above, and descriptions of the same matters will be omitted. In FIG. 8, the same reference numerals are given to the same configurations as those in the above-described embodiment.
The optical scanner of the present embodiment is the same as the optical scanner of the first embodiment described above, except that the cross-sectional shape of the permanent magnet is different and the permanent magnet is arranged on the frame body part via a spacer. The optical scanner of this embodiment is the same as the optical scanner of the second embodiment described above except that the cross-sectional shape of the permanent magnet is different.

本実施形態の光スキャナー１Ｂは、枠体部１３にスペーサー１７を介して接合された永久磁石２１Ｂを有する。
永久磁石２１Ｂの表面には、光の反射率を低減する反射低減部２２Ｂが設けられている。これにより、可動部１１からはみ出した光が永久磁石２１Ｂに入射しても迷光となるのを低減することができる。 The optical scanner 1 B of the present embodiment has a permanent magnet 21 B joined to the frame body part 13 via a spacer 17.
On the surface of the permanent magnet 21B, a reflection reducing unit 22B that reduces the reflectance of light is provided. Thereby, even if the light which protruded from the movable part 11 injects into the permanent magnet 21B, it can reduce that it becomes stray light.

特に、永久磁石２１Ｂの可動部１１側の表面（上側の面）は、枠体部１３に沿った平面に対して傾斜している。これにより、反射低減部２２Ｂの反射低減作用が小さくても、可動部１１からはみ出した光が永久磁石２１Ｂに入射しても迷光となるのを低減することができる。
本実施形態では、永久磁石２１Ｂは、図８に示すように、横断面が円形をなす。すなわち、永久磁石２１Ｂは、円柱状をなす。これにより、簡単な構成で、永久磁石２１Ｂの可動部１１側の表面を枠体部１３に沿った平面に対して傾斜させることができる。また、枠体部１３に対する永久磁石の設置が容易となる。なお、永久磁石２１Ｂの長手方向での両端部の横断面形状は、四角形をなしていてもよい。この場合、枠体部１３に対する永久磁石２１Ｂの設置が容易となる。 In particular, the surface (upper surface) of the permanent magnet 21 B on the movable portion 11 side is inclined with respect to the plane along the frame body portion 13. Thereby, even if the reflection reducing action of the reflection reducing unit 22B is small, it is possible to reduce stray light even if light protruding from the movable unit 11 enters the permanent magnet 21B.
In the present embodiment, the permanent magnet 21B has a circular cross section as shown in FIG. That is, the permanent magnet 21B has a cylindrical shape. Accordingly, the surface of the permanent magnet 21 B on the movable portion 11 side can be inclined with respect to the plane along the frame body portion 13 with a simple configuration. In addition, the permanent magnet can be easily installed on the frame body portion 13. In addition, the cross-sectional shape of the both ends in the longitudinal direction of the permanent magnet 21B may form a quadrangle. In this case, the permanent magnet 21 B can be easily installed on the frame body portion 13.

特に、本実施形態では、永久磁石２１Ｂの周方向での全域に亘って反射低減部２２Ｂが設けられている。そのため、永久磁石２１Ｂを枠体部１３に設置する際に、永久磁石２１Ｂの軸線周りの姿勢を考慮する必要がなく、枠体部１３に対する永久磁石の設置が容易となる。
以上説明したような第３実施形態に係る光スキャナー１Ｂによっても、迷光を低減するとともに、ムービングマグネット方式により２次元的に光を走査することができる。 In particular, in this embodiment, the reflection reduction part 22B is provided over the whole region in the circumferential direction of the permanent magnet 21B. Therefore, when installing the permanent magnet 21 B on the frame body portion 13, it is not necessary to consider the attitude around the axis of the permanent magnet 21 B, and the permanent magnet can be easily installed on the frame body portion 13.
Also with the optical scanner 1B according to the third embodiment as described above, stray light can be reduced and light can be scanned two-dimensionally by the moving magnet method.

＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。
図９は、本発明の光スキャナー（光学デバイス）の第４実施形態を示す断面図（永久磁石の磁化方向に垂直な断面図）である。なお、以下では、説明の便宜上、図９中の上側を「上」、下側を「下」と言う。 <Fourth embodiment>
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described.
FIG. 9 is a cross-sectional view (cross-sectional view perpendicular to the magnetization direction of the permanent magnet) showing a fourth embodiment of the optical scanner (optical device) of the present invention. In the following, for convenience of explanation, the upper side in FIG. 9 is referred to as “upper” and the lower side is referred to as “lower”.

以下、第４実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、図９において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
本実施形態の光スキャナーは、永久磁石の横断面形状が異なるとともに、永久磁石をスペーサーを介して枠体部に配置した以外は、前述した第１実施形態の光スキャナーと同様である。また、本実施形態の光スキャナーは、永久磁石の横断面形状が異なる以外は、前述した第２実施形態の光スキャナーと同様である。 Hereinafter, the fourth embodiment will be described focusing on the differences from the first embodiment described above, and description of similar matters will be omitted. In FIG. 9, the same reference numerals are given to the same configurations as those in the above-described embodiment.
The optical scanner of the present embodiment is the same as the optical scanner of the first embodiment described above, except that the cross-sectional shape of the permanent magnet is different and the permanent magnet is arranged on the frame body part via a spacer. The optical scanner of this embodiment is the same as the optical scanner of the second embodiment described above except that the cross-sectional shape of the permanent magnet is different.

本実施形態の光スキャナー１Ｃは、枠体部１３にスペーサー１７を介して接合された永久磁石２１Ｃを有する。
永久磁石２１Ｃの上面（すなわち可動部１１側の表面）には、光の反射率を低減する反射低減部２２Ｃが設けられている。これにより、可動部１１からはみ出した光が永久磁石２１Ｃに入射しても迷光となるのを低減することができる。 The optical scanner 1 C of the present embodiment has a permanent magnet 21 C joined to the frame body part 13 via a spacer 17.
On the upper surface of the permanent magnet 21C (that is, the surface on the movable portion 11 side), a reflection reducing portion 22C that reduces the reflectance of light is provided. Thereby, it is possible to reduce stray light even if light protruding from the movable portion 11 enters the permanent magnet 21C.

特に、永久磁石２１Ｃの可動部１１側の表面（上側の面）は、枠体部１３に沿った平面に対して傾斜している。これにより、反射低減部２２Ｃの反射低減作用が小さくても、可動部１１からはみ出した光が永久磁石２１Ｃに入射しても迷光となるのを低減することができる。
本実施形態では、永久磁石２１Ｂは、図９に示すように、横断面がＶ字状の溝２１２が形成され、この溝２１２の壁面が可動部１１側を向くとともに、枠体部１３に沿った平面に対して傾斜している。なお、永久磁石２１Ｃの長手方向での両端部の横断面形状は、四角形をなしていてもよい。
以上説明したような第４実施形態に係る光スキャナー１Ｃによっても、迷光を低減するとともに、ムービングマグネット方式により２次元的に光を走査することができる。 In particular, the surface (upper surface) of the permanent magnet 21 C on the movable portion 11 side is inclined with respect to the plane along the frame body portion 13. Thereby, even if the reflection reducing action of the reflection reducing portion 22C is small, it is possible to reduce stray light even if light protruding from the movable portion 11 enters the permanent magnet 21C.
In the present embodiment, as shown in FIG. 9, the permanent magnet 21 B is formed with a groove 212 having a V-shaped cross section, and the wall surface of the groove 212 faces the movable part 11 side and extends along the frame body part 13. It is inclined with respect to the flat surface. In addition, the cross-sectional shape of the both ends in the longitudinal direction of the permanent magnet 21C may form a quadrangle.
Also with the optical scanner 1C according to the fourth embodiment as described above, stray light can be reduced and light can be scanned two-dimensionally by the moving magnet method.

＜画像表示装置の実施形態＞
図１０は、本発明の画像表示装置の実施形態を模式的に示す図である。
本実施形態では、画像表示装置の一例として、光スキャナー１をイメージング用ディスプレイの光スキャナーとして用いた場合を説明する。なお、スクリーンＳの長手方向を「横方向」といい、長手方向に直角な方向を「縦方向」という。また、Ｘ軸がスクリーンＳの横方向と平行であり、Ｙ軸がスクリーンＳの縦方向と平行である。 <Embodiment of Image Display Device>
FIG. 10 is a diagram schematically showing an embodiment of the image display device of the present invention.
In the present embodiment, a case where the optical scanner 1 is used as an optical scanner of an imaging display will be described as an example of an image display device. The longitudinal direction of the screen S is referred to as “lateral direction”, and the direction perpendicular to the longitudinal direction is referred to as “vertical direction”. Further, the X axis is parallel to the horizontal direction of the screen S, and the Y axis is parallel to the vertical direction of the screen S.

画像表示装置（プロジェクター）９は、レーザーなどの光を照出する光源装置（光源）９１と、複数のダイクロイックミラー９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃと、光スキャナー１とを有している。
光源装置９１は、赤色光を照出する赤色光源装置９１１と、青色光を照出する青色光源装置９１２と、緑色光を照出する緑色光源装置９１３とを備えている。 The image display device (projector) 9 includes a light source device (light source) 91 that emits light such as a laser, a plurality of dichroic mirrors 92A, 92B, and 92C, and the optical scanner 1.
The light source device 91 includes a red light source device 911 that emits red light, a blue light source device 912 that emits blue light, and a green light source device 913 that emits green light.

各ダイクロイックミラー９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃは、赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３のそれぞれから照出された光を合成する光学素子である。
このような画像表示装置９は、図示しないホストコンピューターからの画像情報に基づいて、光源装置９１（赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３）から照出された光をダイクロイックミラー９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃでそれぞれ合成し、この合成された光が光スキャナー１によって２次元走査され、スクリーンＳ上でカラー画像を形成するように構成されている。 The dichroic mirrors 92A, 92B, and 92C are optical elements that synthesize light emitted from the red light source device 911, the blue light source device 912, and the green light source device 913, respectively.
Such an image display device 9 converts light emitted from the light source device 91 (red light source device 911, blue light source device 912, green light source device 913) based on image information from a host computer (not shown) to the dichroic mirror 92A. , 92B, and 92C are combined, and the combined light is two-dimensionally scanned by the optical scanner 1 to form a color image on the screen S.

２次元走査の際、光スキャナー１の可動部１１のＹ軸周りの回動により光反射部１１１で反射した光がスクリーンＳの横方向に走査（主走査）される。一方、光スキャナー１の可動部１１のＸ軸周りの回動により光反射部１１１で反射した光がスクリーンＳの縦方向に走査（副走査）される。
なお、図１０中では、ダイクロイックミラー９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃで合成された光を光スキャナー１によって２次元的に走査した後、その光を固定ミラー９３で反射させてからスクリーンＳに画像を形成するように構成されているが、固定ミラー９３を省略し、光スキャナー１によって２次元的に走査された光を直接スクリーンＳに照射してもよい。 At the time of two-dimensional scanning, the light reflected by the light reflecting portion 111 due to the rotation of the movable portion 11 of the optical scanner 1 around the Y axis is scanned in the horizontal direction of the screen S (main scanning). On the other hand, the light reflected by the light reflecting portion 111 due to the rotation of the movable portion 11 of the optical scanner 1 around the X axis is scanned (sub-scanned) in the vertical direction of the screen S.
In FIG. 10, the light synthesized by the dichroic mirrors 92A, 92B, and 92C is scanned two-dimensionally by the optical scanner 1, and then the light is reflected by the fixed mirror 93 and then an image is formed on the screen S. However, the fixed mirror 93 may be omitted, and the screen S may be directly irradiated with light two-dimensionally scanned by the optical scanner 1.

以下に、画像表示装置の応用例について説明する。
＜画像表示装置の応用例１＞
図１１は、本発明の画像表示装置の応用例１を示す斜視図である。
図１１に示すように、画像表示装置９は、携帯用画像表示装置１００に適用することができる。 Hereinafter, application examples of the image display apparatus will be described.
<Application Example 1 of Image Display Device>
FIG. 11 is a perspective view showing an application example 1 of the image display device of the present invention.
As shown in FIG. 11, the image display device 9 can be applied to a portable image display device 100.

この携帯用画像表示装置１００は、手で把持することができる寸法で形成されたケーシング１１０と、ケーシング１１０内に内蔵された画像表示装置９とを有している。この携帯用画像表示装置１００により、例えば、スクリーンや、デスク上等の所定の面に、所定の画像を表示することができる。
また、携帯用画像表示装置１００は、所定の情報を表示するディスプレイ１２０と、キーパット１３０と、オーディオポート１４０と、コントロールボタン１５０と、カードスロット１６０と、ＡＶポート１７０とを有している。
なお、携帯用画像表示装置１００は、通話機能、ＧＳＰ受信機能等の他の機能を備えていてもよい。 The portable image display device 100 includes a casing 110 formed with dimensions that can be grasped by a hand, and an image display device 9 built in the casing 110. With this portable image display device 100, for example, a predetermined image can be displayed on a predetermined surface such as a screen or a desk.
In addition, the portable image display device 100 includes a display 120 that displays predetermined information, a keypad 130, an audio port 140, a control button 150, a card slot 160, and an AV port 170.
Note that the portable image display device 100 may have other functions such as a call function and a GSP reception function.

＜画像表示装置の応用例２＞
図１２は、本発明の画像表示装置の応用例２を示す斜視図である。
図１２に示すように、画像表示装置９は、ヘッドアップディスプレイシステム２００に適用することができる。
このヘッドアップディスプレイシステム２００では、画像表示装置９は、自動車のダッシュボードに、ヘッドアップディスプレイ２１０を構成するよう搭載されている。このヘッドアップディスプレイ２１０により、フロントガラス２２０に、例えば、目的地までの案内表示等の所定の画像を表示することができる。
なお、ヘッドアップディスプレイシステム２００は、自動車に限らず、例えば、航空機、船舶等にも適用することができる。 <Application Example 2 of Image Display Device>
FIG. 12 is a perspective view showing an application example 2 of the image display device of the present invention.
As shown in FIG. 12, the image display device 9 can be applied to a head-up display system 200.
In the head-up display system 200, the image display device 9 is mounted on a dashboard of an automobile so as to constitute a head-up display 210. With this head-up display 210, a predetermined image such as a guidance display to the destination can be displayed on the windshield 220, for example.
Note that the head-up display system 200 can be applied not only to automobiles but also to aircrafts, ships, and the like.

＜画像表示装置の応用例３＞
図１３は、本発明の画像表示装置の応用例３を示す斜視図である。
図１３に示すように、画像表示装置９は、ヘッドマウントディスプレイ３００に適用することができる。
すなわち、ヘッドマウントディスプレイ３００は、眼鏡３１０と、眼鏡３１０に搭載された画像表示装置９とを有している。そして、画像表示装置９により、眼鏡３１０の本来レンズである部位に設けられた表示部３２０に、一方の目で視認される所定の画像を表示する。 <Application Example 3 of Image Display Device>
FIG. 13 is a perspective view showing an application example 3 of the image display device of the present invention.
As shown in FIG. 13, the image display device 9 can be applied to a head mounted display 300.
That is, the head mounted display 300 includes glasses 310 and the image display device 9 mounted on the glasses 310. Then, the image display device 9 displays a predetermined image that is visually recognized by one eye on the display unit 320 provided in a portion that is originally a lens of the glasses 310.

表示部３２０は、透明であってもよく、また、不透明であってもよい。表示部３２０が透明な場合は、現実世界からの情報に画像表示装置９からの情報を上乗せして使用することができる。
なお、ヘッドマウントディスプレイ３００に、２つ画像表示装置９を設け、両方の目で視認される画像を、２つの表示部に表示するようにしてもよい。 The display unit 320 may be transparent or opaque. When the display unit 320 is transparent, information from the image display device 9 can be used by adding information from the real world.
Note that the head-mounted display 300 may be provided with two image display devices 9 so that images viewed with both eyes may be displayed on the two display units.

以上、本発明の光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明の光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置では、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができ、また、他の任意の構成を付加することもできる。 Although the optical device, the optical scanner, and the image display apparatus of the present invention have been described based on the illustrated embodiments, the present invention is not limited to this. For example, in the optical device, the optical scanner, and the image display apparatus of the present invention, the configuration of each unit can be replaced with an arbitrary configuration having the same function, and other arbitrary configurations can be added. it can.

また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
また、前述した実施形態では、第１軸部が２つ（１対）設けられている場合を例に説明したが、これに限定されず、例えば、第１軸部が４つ（２対）以上設けられていてもよい。 Further, the present invention may be a combination of any two or more configurations (features) of the above embodiments.
In the above-described embodiment, the case where two first shaft portions (one pair) are provided has been described as an example. However, the present invention is not limited to this. For example, four first shaft portions (two pairs) are provided. It may be provided above.

また、前述した実施形態では、第２軸部が２つ（１対）設けられている場合を例に説明したが、これに限定されず、例えば、第２軸部が４つ（２対）以上であってもよい。
また、前述した実施形態では、本発明の光学デバイスを光スキャナーに適用した場合を例に説明したが、これに限定されず、本発明の光学デバイスは、例えば、光スイッチ、光アッテネータ等の他の光学デバイスにも適用可能である。 In the above-described embodiment, the case where two second shaft portions (one pair) are provided has been described as an example. However, the present invention is not limited to this. For example, four second shaft portions (two pairs) are provided. It may be the above.
In the above-described embodiment, the case where the optical device of the present invention is applied to an optical scanner has been described as an example. However, the present invention is not limited to this, and the optical device of the present invention includes, for example, an optical switch, an optical attenuator, and the like. The present invention can also be applied to other optical devices.

１‥‥光スキャナー１Ａ‥‥光スキャナー１Ｂ‥‥光スキャナー１Ｃ‥‥光スキャナー４‥‥電圧印加手段７‥‥制御部９‥‥画像表示装置１１‥‥可動部１２ａ‥‥軸部１２ｂ‥‥軸部１３‥‥枠体部１４ａ‥‥軸部１４ｂ‥‥軸部１５‥‥支持部１６‥‥反射低減部１７‥‥スペーサー１８‥‥接着剤２１‥‥永久磁石２１Ａ‥‥永久磁石２１Ｂ‥‥永久磁石２１Ｃ‥‥永久磁石２２‥‥反射低減部２２Ａ‥‥反射低減部２２Ｂ‥‥反射低減部２２Ｃ‥‥反射低減部３１‥‥コイル４１‥‥第１の電圧発生部４２‥‥第２の電圧発生部４３‥‥電圧重畳部４３ａ‥‥加算器９１‥‥光源装置９２Ａ、９２Ｂ、９２Ｃ‥‥ダイクロイックミラー９３‥‥固定ミラー１００‥‥携帯用画像表示装置１１０‥‥ケーシング１１１‥‥光反射部１２０‥‥ディスプレイ１３０‥‥キーパット１４０‥‥オーディオポート１５０‥‥コントロールボタン１６０‥‥カードスロット１７０‥‥ＡＶポート２００‥‥ヘッドアップディスプレイシステム２１０‥‥ヘッドアップディスプレイ２１１‥‥凹部２１２‥‥溝２２０‥‥フロントガラス３００‥‥ヘッドマウントディスプレイ３１０‥‥眼鏡３２０‥‥表示部９１１‥‥赤色光源装置９１２‥‥青色光源装置９１３‥‥緑色光源装置Ｓ‥‥スクリーンＴ１‥‥周期Ｔ２‥‥周期Ｖ１‥‥第１の電圧Ｖ２‥‥第２の電圧 θ‥‥傾斜角 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Optical scanner 1A ... Optical scanner 1B ... Optical scanner 1C ... Optical scanner 4 ... Voltage application means 7 ... Control part 9 ... Image display device 11 ... Movable part 12a ... Shaft part 12b ... Shaft part 13 ... Frame body part 14a ... Shaft part 14b ... Shaft part 15 ... Supporting part 16 ... Reflection reducing part 17 ... Spacer 18 ... Adhesive 21 ... Permanent magnet 21A ... Permanent magnet 21B ... Permanent magnet 21C Permanent magnet 22 Reflection reduction part 22A ... Reflection reduction part 22B ... Reflection reduction part 22C ... Reflection reduction part 31 ... Coil 41 ... First voltage generation part 42 ... Second Voltage generator 43 ... Voltage superposition unit 43a ... Adder 91 ... Light source device 92A, 92B, 92C ... Dichroic mirror 93 ... Fixed mirror 100 ... Portable image display 110 110 Casing 111 Light reflector 120 Display 130 Keypad 140 Audio port 150 Control button 160 Card slot 170 AV port 200 Head up display system 210 Head Up display 211 ... Recess 212 ... Groove 220 ... Windshield 300 ... Head mounted display 310 ... Glasses 320 ... Display unit 911 ... Red light source device 912 ... Blue light source device 913 ... Green light source device S ... Screen T1 Period T2 Period V1 First voltage V2 Second voltage θ Inclination angle

Claims

A light reflecting portion having light reflectivity, and a movable portion that can swing around the first axis;
A frame portion that can swing around a second axis orthogonal to the first axis;
A first shaft portion that supports the movable portion in a swingable manner around the first axis and is connected to the frame body portion;
A second shaft portion that supports the frame body portion so as to be slidable around the second axis;
A permanent magnet provided in the frame,
Wherein provided on the surface of the movable portion side of the permanent magnet, light reflectance have a, a low reflection reduction portion than the surface of the permanent magnet,
The surface of the permanent magnet on the side of the movable part is opposite to the surface of the frame part where the permanent magnet is provided.
Optical device characterized in that it have the inclined portion is.

The permanent magnet, the optical device according to claim 1 forming a prismatic.

The permanent magnet, the optical device according to claim 1 forming a cylindrical shape.

The reflection reduction unit, an optical device according to any one of claims 1 to 3 which is an anti-reflection film.

The optical device according to claim 4 , wherein the antireflection film is made of chromium.

The permanent magnet, the optical device according to any one of claims 1 to 5 has a portion overlapping the movable portion when viewed from the thickness direction of the frame portion.

A coil provided facing the permanent magnet;
The optical device according to any one of claims 1 to 6 and a voltage applying means for applying a voltage to the coil.

The permanent magnet is magnetized in a direction inclined with respect to the first axis and the second axis when viewed from the thickness direction of the frame body part,
The optical device according to claim 7 , wherein the voltage application unit superimposes and applies a first voltage and a second voltage having different frequencies to the coil.

A light reflecting portion having light reflectivity, and a movable portion that can swing around the first axis;
A frame portion that can swing around a second axis orthogonal to the first axis;
A first shaft portion that supports the movable portion so as to be slidable around the first axis and is connected to the frame body portion;
A second shaft portion that supports the frame body portion so as to be slidable around the second axis;
A permanent magnet provided in the frame,
Wherein provided on the surface of the movable portion side of the permanent magnet, light reflectance have a, a low reflection reduction portion than the surface of the permanent magnet,
The surface of the permanent magnet on the side of the movable part is opposite to the surface of the frame part where the permanent magnet is provided.
Optical scanner, characterized by have a sloped portion is.

A light reflecting portion having light reflectivity, and a movable portion that can swing around the first axis;
A frame portion that can swing around a second axis orthogonal to the first axis;
A first shaft portion that supports the movable portion so as to be slidable around the first axis and is connected to the frame body portion;
A second shaft portion that supports the frame body portion so as to be slidable around the second axis;
A permanent magnet provided in the frame,
Wherein provided on the surface of the movable portion side of the permanent magnet, light reflectance have a, a low reflection reduction portion than the surface of the permanent magnet,
The surface of the permanent magnet on the side of the movable part is opposite to the surface of the frame part where the permanent magnet is provided.
The image display apparatus characterized by have a sloped portion is.