JP2014041234A - アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ - Google Patents
アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】可動部と、前記可動部の周囲に配置された可動枠と、前記可動枠の周囲に配置された可動枠支持部と、前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第1軸に交差する第2軸周りに揺動可能に支持する第2軸部と、前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、平面視において、前記可動枠を挟み、かつ、前記第1軸及び前記第2軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えた。
【選択図】図1
Description
まず、本実施形態にかかるアクチュエーターの構成について説明する。本実施形態にかかるアクチュエーターは、可動部と、可動部を支持する可動枠と、可動枠を支持する可動枠支持部と、可動部と可動枠とを接続するとともに、可動部を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、可動枠と可動枠支持部とを接続するとともに、可動枠を第1軸に交差する第2軸周りに揺動可能に支持する第2軸部と、可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、第1軸および第2軸を含む平面の法線方向からの平面視において、可動枠を挟み、かつ、第1軸及び第2軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、平面視において、環状に設けられたコイルの環状内に位置するコア材を備えたものである。以下、具体的に説明する。なお、本実施形態では、アクチュエーターとしての光スキャナーを例に挙げて説明する。
次に、第2実施形態について説明する。なお、本実施形態では、アクチュエーターとしての光スキャナーを例に挙げて説明する。図10は、本実施形態にかかる光スキャナーの構成を示す断面図である。なお、第1実施形態と同様の部材等については同じ符号を付している。
Claims (7)
- 可動部と、
前記可動部を支持する可動枠と、
前記可動枠を支持する可動枠支持部と、
前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、
前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第1軸に交差する第2軸周りに揺動可能に支持する第2軸部と、
前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、
前記第1軸および前記第2軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠を挟み、かつ、前記第1軸及び前記第2軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、
前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えたことを特徴とするアクチュエーター。 - 請求項1に記載のアクチュエーターにおいて、
前記可動部は、
前記第1軸部が接続された基部と、
支柱を有する反射部と、を含み、
前記基部の第1面に前記反射部の前記支柱が固着され、
前記基部の前記第1面の反対側となる第2面に前記コア材が位置することを特徴とするアクチュエーター。 - 請求項1に記載のアクチュエーターにおいて、
前記可動部は、
前記第1軸部が接続された基部と、
反射部と、を含み、
前記基部の第1面に前記コア材が位置し、
前記コア材の前記基部と反対側に前記反射部が位置することを特徴とするアクチュエーター。 - 請求項2または請求項3に記載のアクチュエーターにおいて、
前記平面視において、前記反射部が前記可動枠を覆って形成されたことを特徴とするアクチュエーター。 - 光を反射する反射部を含む可動部と、
前記可動部を支持する可動枠と、
前記可動枠を支持する可動枠支持部と、
前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、
前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第1軸に交差する第2軸周りに揺動可能に支持する第2軸部と、
前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、
前記第1軸および前記第2軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠支持部を挟み、かつ、前記第1軸及び前記第2軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、
前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えたことを特徴とする光スキャナー。 - 光を反射する反射部を含む可動部と、
前記可動部を支持する可動枠と、
前記可動枠を支持する可動枠支持部と、
前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、
前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第1軸に交差する第2軸周りに揺動可能に支持する第2軸部と、
前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、
前記第1軸および前記第2軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠支持部を挟み、かつ、前記第1軸及び前記第2軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、
前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えた光スキャナーと、
前記光スキャナーに対して光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とする画像表示装置。 - 光を反射する反射部を含む可動部と、
前記可動部を支持する可動枠と、
前記可動枠を支持する可動枠支持部と、
前記可動部と前記可動枠とを接続するとともに、前記可動部を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、
前記可動枠と前記可動枠支持部とを接続するとともに、前記可動枠を前記第1軸に交差する第2軸周りに揺動可能に支持する第2軸部と、
前記可動枠の外形に沿って環状に設けられたコイルと、
前記第1軸および前記第2軸を含む平面の法線方向からの平面視において、前記可動枠支持部を挟み、かつ、前記第1軸及び前記第2軸に対して傾斜する方向に位置する一対の永久磁石と、
前記平面視において、前記コイルの前記環状内に位置するコア材と、を備えた光スキャナーと、
前記光スキャナーに対して光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とするヘッドマウントディスプレイ。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9759908B2 (en) | 2013-10-29 | 2017-09-12 | Seiko Epson Corporation | Optical scanner, image display device, head mount display, and heads-up display |
US9772490B2 (en) | 2013-10-29 | 2017-09-26 | Seiko Epson Corporation | Optical scanner, image display device, head mount display, and heads-up display |
WO2019107311A1 (ja) | 2017-12-01 | 2019-06-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置 |
WO2019107312A1 (ja) | 2017-12-01 | 2019-06-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置 |
US11874524B2 (en) | 2020-11-20 | 2024-01-16 | Seiko Epson Corporation | Method of driving optical device, optical system, and display |
US11886067B2 (en) | 2020-11-20 | 2024-01-30 | Seiko Epson Corporation | Optical device and display |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002162583A (ja) * | 2000-09-20 | 2002-06-07 | Texas Instruments Inc | 組立てられたマイクロミラー構造体 |
JP2004085839A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-03-18 | Canon Inc | 揺動装置、それを用いた光偏向器、画像表示装置、画像形成装置、及びその製法 |
JP2007312592A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Samsung Electronics Co Ltd | アクチュエータ及び二次元スキャナ |
JP2011039313A (ja) * | 2009-08-12 | 2011-02-24 | Seiko Epson Corp | 光偏向器及び光偏向器の製造方法 |
-
2012
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002162583A (ja) * | 2000-09-20 | 2002-06-07 | Texas Instruments Inc | 組立てられたマイクロミラー構造体 |
JP2004085839A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-03-18 | Canon Inc | 揺動装置、それを用いた光偏向器、画像表示装置、画像形成装置、及びその製法 |
JP2007312592A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Samsung Electronics Co Ltd | アクチュエータ及び二次元スキャナ |
JP2011039313A (ja) * | 2009-08-12 | 2011-02-24 | Seiko Epson Corp | 光偏向器及び光偏向器の製造方法 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9759908B2 (en) | 2013-10-29 | 2017-09-12 | Seiko Epson Corporation | Optical scanner, image display device, head mount display, and heads-up display |
US9772490B2 (en) | 2013-10-29 | 2017-09-26 | Seiko Epson Corporation | Optical scanner, image display device, head mount display, and heads-up display |
US11394284B2 (en) | 2017-12-01 | 2022-07-19 | Hamamatsu Photonics K.K. | Actuator device |
WO2019107312A1 (ja) | 2017-12-01 | 2019-06-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置 |
KR20200095459A (ko) | 2017-12-01 | 2020-08-10 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 액추에이터 장치 |
KR20200095458A (ko) | 2017-12-01 | 2020-08-10 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 액추에이터 장치 |
WO2019107311A1 (ja) | 2017-12-01 | 2019-06-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置 |
US11485629B2 (en) | 2017-12-01 | 2022-11-01 | Hamamatsu Photonics K.K. | Actuator device with first and second movabale parts and connection portions having a depression portion and a protrusion portion |
US11581792B2 (en) | 2017-12-01 | 2023-02-14 | Hamamatsu Photonics K.K. | Actuator device |
US11673794B2 (en) | 2017-12-01 | 2023-06-13 | Hamamatsu Photonics K.K. | Actuator device |
US11757341B2 (en) | 2017-12-01 | 2023-09-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Actuator device |
US11939211B2 (en) | 2017-12-01 | 2024-03-26 | Hamamatsu Photonics K.K. | Actuator device |
US11874524B2 (en) | 2020-11-20 | 2024-01-16 | Seiko Epson Corporation | Method of driving optical device, optical system, and display |
US11886067B2 (en) | 2020-11-20 | 2024-01-30 | Seiko Epson Corporation | Optical device and display |
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