JP5977780B2 - 垂直ダイ・チップオンボード - Google Patents
垂直ダイ・チップオンボード Download PDFInfo
- Publication number
- JP5977780B2 JP5977780B2 JP2014075306A JP2014075306A JP5977780B2 JP 5977780 B2 JP5977780 B2 JP 5977780B2 JP 2014075306 A JP2014075306 A JP 2014075306A JP 2014075306 A JP2014075306 A JP 2014075306A JP 5977780 B2 JP5977780 B2 JP 5977780B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vertical
- sensor
- sensor chip
- horizontal
- sensor circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/0206—Three-component magnetometers
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/18—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
- H05K1/181—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with surface mounted components
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/484—Connecting portions
- H01L2224/48463—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
- H01L2224/48464—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area also being a ball bond, i.e. ball-to-ball
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
- H01L2224/4901—Structure
- H01L2224/4903—Connectors having different sizes, e.g. different diameters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10007—Types of components
- H05K2201/10151—Sensor
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10431—Details of mounted components
- H05K2201/10439—Position of a single component
- H05K2201/10454—Vertically mounted
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10431—Details of mounted components
- H05K2201/10507—Involving several components
- H05K2201/1053—Mounted components directly electrically connected to each other, i.e. not via the PCB
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10431—Details of mounted components
- H05K2201/10507—Involving several components
- H05K2201/10537—Attached components
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
に関する。より具体的には、本発明は、薄型多軸センサー、例えば磁気センサーや傾斜セ
ンサー、の設計及び製造に関する。
を有している。この磁界は、双極子モデルを使って近似することができ、磁界は常に北を
指しているが、地表に対する磁界の角度は、赤道での水平方向から、北半球では下水平方
向(即ち、地面に向かって「下向き」)まで、南半球では上水平方向(即ち、空中に向か
って「上向き」)まで変化する。全ての場合において、地球の磁界の水平方向は、磁北を
指し、コンパスの方向を判定するのに用いられる。
方向を見定め又は航行するために用いられている。今日、磁気センサーは、未だに航行の
主たる手段であり、他にも多くの用途が展開されている。その結果、磁気センサーは、医
療、研究、及び電子器具、例えば、気象ブイ、仮想現実システム、及び様々な他のシステ
ムに使われている。
デバイスへの統合と、デバイスを益々小型化する進化とを伴っている。デバイスを小型に
し、或いはデバイスに数多くの機能を組み込むには、内部構成要素をできるだけ小さくす
る必要がある。進路発見及び航行技術をそのような小型のデバイスに組み込むには、磁気
センサー及び/又は傾斜センサーのような2次元及び3次元のセンサーのZ軸方向の高さ
(即ち、印刷回路板(PCB)の面からの高さ)を最小にしなければならない。垂直方向
センサーをZ軸に沿って取り付けるのは、半導体アッセンブリ業界、特に空間が限られて
いる製品にとっては挑戦である。現在の方法では、垂直方向(Z軸)センサーを、空間が
限られており、コストに敏感で、大量生産の、標準的なPCBの工程で作られる製品には
搭載できていない。
向に取り付けて、Z軸方向の力又は磁界を測定することが必要とされている。具体的には
、例えば携帯電話や他の消費者用及び商業用の製品で、直交するセンサーを省スペース方
式で取り付けることが必要とされている。これらは、コストに敏感で、大量生産され、一
般的なPCBアッセンブリ工程に容易に適合できる製品の需要に応えるものとなる。
を備えたセンサーパッケージが提供されている。垂直方向センサー回路構成要素は、第1
面、第2面、底縁部、上縁部、2つの側縁部、入/出力(I/O)パッド、及び感受方向
を備えており、I/Oパッドは、垂直方向センサー回路構成要素の第2面上に配置されて
おり、感受方向は、前記底縁部近くに配置されているI/Oパッドに垂直となる。或る実
施形態では、I/Oパッドは、一列に配置されている。水平方向センサー回路構成要素は
、上面、印刷回路板(PCB)取り付け面、垂直方向センサー回路構成要素境界縁部、少
なくとも2つ又はそれ以上の他の縁部、及び、垂直方向センサー回路構成要素の感受方向
に直交する1つ又は複数の感受方向を備えている。本発明のこの態様では、水平方向セン
サー回路構成要素の、垂直方向センサー回路構成要素境界縁部は、垂直方向センサー回路
構成要素をZ軸に沿って接続的に支えている。
は、約1.1mmである。他の実施形態では、垂直方向センサー回路構成要素の底縁部と
上縁部の間の距離は、約1.1mm未満である。
プ、はんだバンピング、スタッドバンピング、導電性エポキシ、及び可撓性相互接続ボン
ディング、例えばテープボンディング(TAB)、技法から成るグループから選択された
方法と適合性のあるのが望ましい。他の実施形態では、垂直方向センサー回路構成要素は
、水平方向センサー回路構成要素に導電接続するため、第1面にI/Oパッドを備えてお
り、前記I/Oパッドは、ワイヤボンディング、フリップチップ、はんだバンピング、ス
タッドバンピング、導電性エポキシ、及び可撓性相互接続ボンディング、例えばテープボ
ンディング(TAB)、技法から成るグループから選択された方法と適合性のあるのが望
ましい。このように、垂直方向センサー回路構成要素は、或る実施形態では、水平方向セ
ンサー回路構成要素に導電的に接続されていてもよい。
は半導体センサーであり、別の実施形態では、センサーの回路構成要素は磁気センサーで
ある。更に別の実施形態では、1つ又は複数の垂直方向センサー回路構成要素と1つ又は
複数の水平方向センサー回路構成要素は、傾斜センサーである。更に別の実施形態では、
1つ又は複数の垂直方向センサー構成要素は、磁気又は傾斜センサーのような或る種類の
センサーであり、1つ又は複数の水平方向センサー回路構成要素は、垂直方向の支持縁部
を提供できる半導体チップのような異なる種類のセンサーであってもよい。更に別の実施
形態では、1つ又は複数の垂直方向センサー構成要素は、磁気又は傾斜センサーなど、ど
の様な種類のセンサーでもよく、1つ又は複数の水平方向センサー回路構成要素は、垂直
方向センサー回路構成要素を支持できる垂直方向センサー回路構成要素境界縁部を備えて
いれば、実際のセンサーか否かに関わらず、どの様な半導体チップでもよい。
されている。垂直方向センサー回路構成要素は、第1面、第2面、底縁部、上縁部、2つ
の側縁部、PCBに対する第2面上に配置されているI/Oパッドと、を備えている。本
方法は、垂直方向センサー回路構成要素の底縁部をPCBに接続する段階と、垂直方向セ
ンサー回路構成要素の第1面を、上面、PCB取り付け面、垂直方向センサー回路構成要
素境界縁部、及びPCBに接続されている少なくとも2つの他の縁部を有する1つ又は複
数の水平方向センサー回路構成要素の垂直方向センサー回路構成要素境界縁部に接続する
段階と、を備えている。垂直方向センサー回路構成要素は、水平方向センサー回路構成要
素の垂直方向センサー回路構成要素境界縁部が、垂直方向センサー回路構成要素をZ軸に
沿って支持するように取り付けてもよい。
ップ、はんだバンピング、スタッドバンピング、導電性エポキシ、及び可撓性相互接続ボ
ンディング、例えばテープボンディング(TAB)、技法から成るグループから選択され
た方法によって、PCBに導電的に接続されている。本方法の別の実施形態では、垂直方
向センサー回路構成要素は、導電性エポキシ、はんだバンピング、又はスタッドバンピン
グ技法によって、PCBに導電的に接続されている。本発明の幾つかの実施形態では、垂
直方向センサー回路構成要素と1つ又は複数の水平方向センサー回路構成要素は、各縁部
が面に実質的に垂直になるように賽の目に切断される。
多軸磁力計を作るための方法が提供されている。本方法は、上面、PCB取り付け面、垂
直方向磁気センサー回路構成要素境界縁部、及び1つ又は複数の縁部を備えた1つ又は複
数の磁界感知回路構成要素を、それらのPCB取り付け面でPCBに取り付ける段階と、
第1面、第2面、底縁部、上縁部、2つの側縁部、入/出力(I/O)パッド、及び感受
方向を備えている垂直方向磁気センサー回路構成要素をPCBに取り付ける段階とから成
り、前記I/Oパッドは垂直方向センサー回路構成要素の第2面上に配置され、前記感受
方向は底縁部に近接して配置されているI/Oパッドに直交している。この方法では、垂
直方向磁気センサー回路構成要素は、磁界感知回路構成要素に取り付けられ、それによっ
て支持されている。
構成要素であり、他の実施形態では、1つ又は複数の水平方向1次元センサー回路構成要
素である。垂直方向磁気感知回路構成要素は、磁界感知回路構成要素に導電的又は非導電
的に接続することができ、導電性接続は、例えば導電性エポキシ又は接着剤で形成するこ
とができ、一方、非導電性接続は、非導電性エポキシのような接着剤で形成することがで
きる。
多軸磁力計が提供されている。多軸磁力計は、上に述べた本発明の第3の態様の方法に従
って作られている。幾つかの実施形態では、多軸磁力計は、傾斜センサーを更に備えてい
る。傾斜センサーのあるなしに関わらず、3つの直交軸に沿って磁界強度を測定するため
の多軸磁力計は、PCBからの高さが約1.1mmの垂直方向磁気センサー回路構成要素
を備えていてもよい。同様に、代替実施形態では、傾斜センサーのあるなしに関わらず、
垂直方向磁気センサー回路構成要素は、PCBからの高さが約1.1mm未満である。
表的な実施形態を示しているに過ぎない。図1は、全体を参照番号100で示す本発明の
3軸センサーの構造を示している。3軸センサーは、センサー回路構成要素(即ちセンサ
ー)が取り付けられている印刷回路板(PCB)101を含んでいる。例えば、集積回路
パッケージに組み込まれるか、又は剥き出しのダイとして用いられる磁気抵抗性又はホー
ル効果材料である水平方向センサー回路構成要素102は、ワイヤボンディング、フリッ
プチップ、及び可撓性相互接続ボンディングのような標準的なチップオンボード技法を使
って、PCB101に取り付けられている。例えば、Van Zantの「マイクロチッ
プ製作、第4版」マグローヒル社(2000年)、第18章557頁から593頁を参照
頂きたく、同文献の開示を参考文献として援用する。一般的に、102、103、204
で示しているセンサーは、「センサー回路構成要素」と呼ばれ、必要に応じて更に具体的
な記述子が加えられ、例えば、磁界センサー回路構成要素は、磁界を感知するセンサー回
路構成要素である。ここに記載している他のセンサー構成要素も、同じ標準的なチップオ
ンボード技法を使ってPCB101に取り付けることができる。水平方向センサー回路構
成要素102は、その厚さに沿って略垂直方向縁部を有するように、賽の目に切断される
のが望ましい。水平方向センサー回路構成要素102の厚さに沿う縁部は、水平方向セン
サー回路構成要素102に直交方向に取り付けられている垂直方向センサー回路構成要素
103を支持する働きをする。このことを念頭に、ここで用いる場合、「センサー」及び
「水平方向センサー回路構成要素」は、更に、例えば、それ自体は「感知」能力を持たな
いが、その厚さに沿って、PCBに垂直方向に取り付けられている磁気センサーのような
センサーを物理的に支持することのできる垂直方向縁部(「垂直方向センサー回路構成要
素境界縁部」)を備えている半導体チップを備えている。代表的な実施形態は、PCBに
垂直方向に取り付けられている2軸磁気センサーを備えた2つの軸の磁気センサーであり
、垂直方向に取り付けられている磁気センサーは、PCB上に、何らかの総称的(感知又
は非感知的)半導体チップに相対して取り付けられている。半導体の1つ又は複数のチッ
プは、垂直方向センサーの垂直方向軸の支持部として働く垂直方向センサー回路構成要素
境界縁部を備えていさえすればよい。
ちPCB101の面を定義する軸に沿う磁力のような力を感知する。この例では、垂直方
向センサー回路構成要素103は、残りの直交軸、即ちZ軸に沿って力を感知する。従っ
て、この代表的な図では、水平方向センサー回路構成要素102は、2次元のセンサーで
ある。取り付けられているあらゆるセンサー回路構成要素から独立しているか、又は取り
付けられている何れかの回路構成要素と協力して働く、追加の回路をPCB101に取り
付けることも考えられる。第1及び第2センサー回路構成要素は、垂直方向であれ水平方
向であれ、図3から図7に示しているように、導電的又は非導電的に互いに接続されてい
てもよく、更に、図1から図4では、水平方向センサー回路構成要素を同じ高さに描いて
いるが、そのように制限されているわけではない。一般的に、垂直方向センサー回路構成
要素は、Z軸沿いには水平方向センサー回路構成要素より高いが、両方の構成要素が同じ
高さであってもよいし、水平方向センサー回路構成要素が高くてもよい。しかしながら、
センサーパッケージの高さは、約1.1mm以下であるのが望ましい。
02と垂直方向センサー回路構成要素103個々の角度方向は、3次元又は3軸、即ちX
、Y、Z軸に沿う外部磁界の3つの直交する成分を正確に感知し、測定できるように配置
されている。この代表的な実施形態では、そのような位置決めは、垂直方向センサー回路
構成要素103が水平方向センサー回路構成要素102に直角又は垂直に確実に取り付け
られることを伴っている。本発明のこの態様の好適な実施形態では、垂直方向センサー回
路構成要素103、従って垂直方向及び水平方向センサー回路構成要素の組み合わせセン
サーパッケージは、薄型で、高さが約1.1mm以下である。更に、水平方向及び垂直方
向センサー回路構成要素は、一般的に、電気的接続部、例えば、各種の適した接続技術の
中でもはんだバンピング又はスタッドバンピング用の入力/出力(I/O)パッドを、P
CBに取り付ける面や、或る実施形態では他のセンサー回路構成要素に取り付ける面に備
えている。別のチップオンボード技法は、PCBとセンサー回路構成要素の間に、電気的
接続を確立するのに用いることができる。
ており、全体を参照番号200で示している。図2の代表的な実施形態では、センサーパ
ッケージは、少なくとも3つの主要構成要素、即ち、第1及び第2の水平方向1次元セン
サー回路構成要素204と、垂直方向センサー回路構成要素103を備えている。ここで
用いる「水平方向1次元センサー回路構成要素」とは、単一の軸に沿って力を感知するセ
ンサーのことである。図2では、第1及び第2の水平方向1次元センサー回路構成要素2
04は、それぞれが、PCBの面上の互いに直交する力を感知するように取り付けられて
いる。図2Aは、2つの水平方向1次元センサー回路構成要素がPCB上の空間に分離し
て取り付けられているセンサーパッケージを示しており、2つのセンサー回路構成要素の
内の一方だけが垂直方向センサー回路構成要素103の支持部として働いている。図2B
は、2つの水平方向1次元センサー回路構成要素204が、接触して、導電的又は非導電
的に取り付けられ、両方が垂直方向センサー回路構成要素103の支持部として働いてい
るセンサーパッケージを示している。水平方向1次元センサー回路構成要素は、水平方向
センサー回路構成要素204同士が導電的又は非導電的に接触しているが、水平方向1次
元センサー回路構成要素の内の一方だけが垂直方向センサー回路構成要素103の支持部
として働いている、センサーパッケージに取り付けてもよい。本発明の代替実施形態では
、垂直方向センサー回路構成要素を、垂直方向に、しかしZ軸以外の1つ又は複数の軸に
沿って力を感知するように取り付けることができる。つまり、本発明のセンサーパッケー
ジを形成するのに用いられている垂直方向及び水平方向センサー回路構成要素は、何れも
、1つ又は複数の軸に沿って力を感知することができる。
2)は、一般的に、電気的接続部、例えば、はんだバンピング又はスタッドバンピング用
の入力/出力(I/O)パッドを、少なくともPCB101に取り付ける面に有している
。水平方向1次元センサー回路構成要素204(並びに「垂直方向センサー回路構成要素
」103)も、例えばセンサー回路構成要素同士の間のような余分のPCB電気的接続を
やり易くするために、I/Oパッドのような電気的接続部を、PCBと接する面以外の面
に有していてもよい。他のチップオンボード技法を用いて、電気的接続を確立することも
できる。
素(204)の厚さに沿う縁部は、1つ又は複数の水平方向1次元センサー回路構成要素
204に直交して取り付けられる垂直方向センサー回路構成要素103用の支持部として
働く。水平方向1次元センサー回路構成要素204は、それらが導電的又は非導電的に接
続されている垂直方向に取り付けられたセンサー回路構成要素103を支持するため、厚
さに沿って略垂直方向の縁部を有するように、賽の目に切断されている。
ね、センサーの面ではなく、センサーの厚さ又は縁部に沿って取り付けられている、即ち
垂直方向に取り付けられていること以外は、垂直方向センサー回路構成要素103と実質
的に同じである。そのような垂直方向センサー回路構成要素は、一般的に、センサーの少
なくとも1つの面、一般的にはPCB101に取り付けられる縁部近くに、何らかの電気
的接続部(例えば、はんだバンピング又はスタッドバンピング用のI/Oパッド、又はワ
イヤボンディング用の接着パッド)を有している。I/Oパッドは、一列に配置され、列
はセンサーの感受方向に垂直であるのが望ましい。代表的な実施形態について、図7を参
照されたい。垂直方向センサー回路構成要素は、1つの軸に沿って力を感知するセンサー
を備えており、従って、その様な実施形態では「垂直方向1次元センサー回路構成要素」
と呼ばれる。別の実施形態では、垂直方向センサー回路構成要素は、X、Y、Z軸の何れ
かに沿う二方向以上の力を感知する。
ンサー回路構成要素204それぞれと、垂直方向センサー回路構成要素103との角度方
向は、3次元又は軸、即ちX、Y、Z軸に沿う外部磁界の3つの直交する成分を正確に感
知し測定するように調整される。本発明のこの態様の好適な実施形態では、垂直方向セン
サー回路構成要素103は、薄型で、即ち高さが約1.1mmに満たない。代替実施形態
では、3軸より少ない軸に沿って力を感知する垂直方向ダイ・チップオンボードセンサー
パッケージを作ることができる。図2を例に用いると、1つの水平方向1次元センサー回
路構成要素204を省き、残りの水平方向センサー回路構成要素204と垂直方向センサ
ー回路構成要素103を、本発明の方法に従って取り付けたまま残すことができる。
り、垂直方向センサー回路構成要素103、水平方向センサー回路構成要素102、20
4、及びPCBの間の代表的な取り付け方法を示している。図3は、例えば、図1の3軸
センサー100、又は図2の1つ又は複数の水平方向1次元センサー回路構成要素204
及び垂直方向センサー回路構成要素103を備えている。センサーパッケージ、例えば磁
気センサーは、センサー回路構成要素を取り付けるPCB101を含んでいる。水平方向
センサー回路構成要素102又は水平方向1次元センサー回路構成要素204は、ワイヤ
ボンディング、フリップチップ及び可撓性相互接続ボンディングのような標準的なチップ
オンボード技法を使って、電気的接続105でPCB101に取り付けられている。その
ような代表的な電気的接続は、図3(A)では水平方向センサー回路構成要素102、2
04とPCB101の間のワイヤボンディング又はTABボンディング105で表されて
おり、図3(A)及び(C)では垂直方向センサー回路構成要素103とPCB101の
間のはんだ付け接合105で表されており、図3(B)では垂直方向センサー回路構成要
素103とPCB101の間の、導電性エポキシ105に包まれているスタッドバンプで
表されている。図4−7も、フリップチップ式電気的接続を代表例として示している。電
気的接続105は、図に示しているものに限定されない。この代表的な実施形態では、P
CB101のX−Y面に取り付けられているか、又はPCB101の面上の磁界を感知す
るセンサー102、204と、垂直方向センサー回路構成要素103は、それらの間の電
気的接続105を特徴としてはおらず、センサー構成要素接着剤104によって接続され
ており、センサー102、204、垂直方向センサー回路構成要素103、及びPCB1
01の間には接着剤の層が形成されている。センサー構成要素接着剤104は、非導電性
又は導電性の何れでもよい。例えば、センサー構成要素接着剤104は、非導電性エポキ
シ、導電性エポキシ、又ははんだで形成することができる。センサー構成要素接着剤10
4は、具体的な縮尺を示唆するためのものではなく、図3に示しているものよりも厚くて
も薄くてもよい。先に述べた実施形態でのように、PCB101のX−Y面に取り付けら
れているか、PCB101の面上の磁界を感知するセンサー102、204は、その厚さ
に沿って略垂直方向の縁部を有するように、賽の目に切断されているのが望ましい。セン
サー102、204の厚さに沿う縁部は、センサー102、204、及びPCB101に
直交して取り付けられる垂直方向センサー回路構成要素103への支持部として働く。
な実施形態では、垂直方向センサー回路構成要素103は、水平方向に、即ちPCB10
1のX−Y面上に縁部が垂直方向センサー回路構成要素103に対する直接の支持部とし
て働くように取り付けられているセンサー102、204の縁部に、直接相対して取り付
けられている。そのような実施形態では、センサー102、204と垂直方向センサー回
路構成要素103は、導電性エポキシ、非導電性エポキシ、又は他の接着剤を備えている
センサー構成要素固定部107(導電性、又は望ましくは非導電性)によって接着されて
いるのが望ましい。センサー構成要素固定部107は、例えば、センサー102、204
と垂直方向センサー回路構成要素103の間の境界108に沿ってビードを形成する。代
表的な電気的接続105は、水平方向センサー回路構成要素102、204の上面とPC
Bの間のワイヤボンディング又はTABボンディング105のような可撓性相互接続ボン
ディング、並びに、水平方向センサー回路構成要素102、204のPCB取り付け面と
PCB101の間のフリップチップ技法によって示されている。水平方向センサー回路構
成要素とPCBの間の電気的相互接続の代替方法は、別々に用いるのが望ましいが、同時
に用いてもよい。
の代表的な実施形態の側面図である。図5は、図3に示している実施形態と似ているが、
1つだけ大きな相違点がある。図5は、PCB101のX−Y面に取り付けられているセ
ンサー102、204と、垂直方向センサー回路構成要素103が、直接電気的に連通し
ており、即ち、両者の間の電気的接続106を特徴としている実施形態を示している。そ
のような実施形態では、センサー102、204の縁部、並びに両者の間の電気的接続1
06の両方が、垂直方向センサー回路構成要素103の支持部として働く。PCB101
のX−Y面に取り付けられているセンサー102、204と垂直方向センサー回路構成要
素103の間の電気的接続は、ワイヤボンディング、フリップチップ、及び例えばテープ
ボンディング(TAB)などの可撓性相互接続ボンディングのような、当該技術分野にお
ける標準的な技法を使って形成することができる。同様に、図2(B)に示しているよう
な実施形態では、センサー構成要素103、204は、どちらも、隣接している何れの他
のセンサー構成要素とも直接電気的に連通していてもよい。水平方向及び垂直方向センサ
ー回路構成要素は互いに電気的に連通していてもよいが、垂直方向センサー回路構成要素
は、例えば、図7に示しているI/Oパッドによって容易に形成できる接続部を通して、
PCBと電気的に接触しているのが望ましい。図4でのように、代表的な電気的接続10
5は、水平方向センサー回路構成要素102、204の上面とPCBの間のワイヤボンデ
ィング又はTABボンディングのような可撓性相互接続ボンディング、並びに水平方向セ
ンサー回路構成要素102、204のPCB取り付け面とPCB101の間のフリップチ
ップ技法によって示されている。この場合も、水平方向センサー回路構成要素とPCBの
間の電気的相互接続の方法は、別々に用いるのが望ましいが、同時に用いてもよい。
の代表的な実施形態の側面図である。図6は、図5と似ているが、センサー構成要素固定
部107が追加されている。例えば、センサーを整列不良にするか、或いは損傷させるよ
うに作用しかねない大きな力がセンサーに掛かるような、頑強なセンサーを必要とする用
途では、1つ又は複数の電気的接続部106又はセンサー構成要素接着部104から得ら
れる以上の構造的な完全性を必要とする。そのような事例では、垂直方向センサー回路構
成要素103を、センサー102、204の縁部に対して、又は直接に、より適切に支え
又は支持するために、センサー構成要素固定部107を利用することができる。センサー
構成要素固定部107は、センサー回路構成要素同士の間の境界面の何処にでも配置する
ことができる。例えば、センサー構成要素固定部107は、図6に示すように、ダイの側
面に沿って配置することもできる。代わりに、センサー構成要素固定部107は、図4に
示すように、水平方向センサー回路構成要素の面と垂直方向センサー回路構成要素の縁部
の間の境界面に沿って配置することもできる。そのような実施形態では、センサー構成要
素固定部107(導電性、又は望ましくは非導電性)は、例えば、導電性エポキシ、非導
電性エポキシ、又は他の接着剤を含んでいる。センサー構成要素固定部107は、センサ
ー102、204と垂直方向センサー回路構成要素103の間の境界面108に沿ってビ
ードを形成する。同様に、センサー構成要素固定部107は、図2(B)に示しているよ
うな、全てのセンサー構成要素103、204が、直接電気的又は非電気的に連通してい
る実施形態と共に用いることもできる。図4及び図5でのように、先に概説した電気的相
互接続105を形成する方法は、別々に用いるのが望ましいが、同時に用いてもよい。
素の感受方向に直交している(図3(C)に似ている)垂直方向センサー回路構成要素の
第2面に配置されている、代表的な垂直方向ダイ・チップオンボードセンサーパッケージ
の概略図である。先に述べたように、垂直方向センサー回路構成要素は、1つ又は複数の
軸に沿って力を感知することができるので、Z軸だけに沿って力を感知できる必要はない
。この代表的な実施形態では、垂直方向及び水平方向のセンサー回路構成要素は、例えば
図1−6の何れかに示しているように接続することができる。一列の電気的接点は、この
代表的な例では、垂直方向センサー回路構成要素の感受方向に直交する、垂直方向センサ
ー回路構成要素の第1面に沿って配置されている。更に、ここではX及びY軸の2つの軸
に沿った力を感知する水平方向センサー回路構成要素を示しているが、水平方向センサー
回路構成要素も、Z軸を含む1つの軸に沿った力を感知することができる。はんだ又はス
タッドバンプのような電気的接点は、一列に配置され、垂直方向センサー回路構成要素1
03とPCB101の間の電気的接続をやり易くするのが望ましい。
チャートである。垂直方向センサー回路構成要素は、第1及び第2面、底面、上及び2つ
の側縁部、及び第2面に底縁部近くに配置されているI/Oパッドを備えている。垂直方
向センサー回路構成要素103の底縁部は、PCB101に導電的又は非導電的に接続さ
れており、そのことは、ボックス1に示している。前記垂直方向センサー回路構成要素1
03は、水平方向センサー回路構成要素102、204に近接又は隣接して取り付けられ
ている。ボックス2は、垂直方向センサー回路構成要素103の第1面を、1つ又は複数
の水平方向センサー回路構成要素102、204の垂直方向センサー回路構成要素境界縁
部に接続する段階を示しており、前記水平方向センサー回路構成要素は、上面、PCB取
り付け面、垂直方向センサー回路構成要素境界縁部、及び少なくとも2つの他の縁部を備
えている。ワイヤボンディング、フリップチップ、はんだバンピング、スタッドバンピン
グ、導電性エポキシ、及びテープボンディング(TAB)のような可撓性相互接続ボンデ
ィング技法のような標準的なチップオンボード技法が用いられる。センサー102、20
4は、垂直方向センサー回路構成要素103をPCB101に接続する前又は後に取り付
けることもできる。垂直方向センサー回路構成要素をPCB101に取り付けるこの方法
は、結果として、センサー回路構成要素103が電気的又は非電気的に接続されている1
つ又は複数の水平方向センサー回路構成要素102、204の垂直方向センサー回路構成
要素境界縁部が、垂直方向センサー回路構成要素103をZ軸に沿って支持することにな
る。出来上がったセンサーパッケージは、直交整列している感知軸の間の整列の歪みに対
して、耐久性及び抵抗性がある。垂直方向センサー回路構成要素103は、1つ又は複数
の面にI/Oパッドを備えることができる。PCB101上に垂直方向に取り付けられて
いる1つ又は複数のセンサー回路構成要素103と、望ましくは1つ又は複数の水平方向
センサー回路構成要素102、204は、縁部が面に実質的に垂直になるように、賽の目
に切断されているのが望ましい。
構成要素であり、別の実施形態では、1つ又は複数の水平方向1次元センサー回路構成要
素である。垂直方向磁界感知回路構成要素は、磁界感知回路構成要素に非導電的に接続し
、非導電性接続は、非導電性エポキシのような接着剤を使って形成することができる。
チャートである。上面、PCB取り付け面、垂直方向磁気センサー回路構成要素境界縁部
、及び2つ又はそれ以上の他の縁部を備えた1つ又は複数の磁界感知回路構成要素102
、204は、ボックス1に示しているように、それらのPCB取り付け面によってPCB
101に取り付けられている。ボックス2は、第1面、第2面、底縁部、上縁部、2つの
側縁部、入/出力(I/O)パッド、及び感受方向を備えた磁気センサー回路構成要素1
03を、PCB101に取り付ける段階を示しており、I/Oパッドは、センサー回路構
成要素103の第2面に配置されており、この代表的な事例では、感受方向は、底縁部に
近接して配置されたI/Oパッドに垂直である。図7も参照されたい。先に述べたように
、垂直方向センサー回路構成要素の感受方向は、Z軸に沿っている必要はない。更に、垂
直方向センサー回路構成要素は、2つ以上の軸に沿って力を感知できてもよい。この方法
では、垂直に取り付けられている磁気センサー回路構成要素103は、水平方向に取り付
けられている磁界感知回路構成要素102、204に取り付けられており、それによって
支持されている。垂直方向に取り付けられている磁気感知回路構成要素103は、1つ又
は複数の磁界感知回路構成要素102、204に、接着剤、望ましくは非導電性エポキシ
で非導電的に接続することができる。
構成要素(即ち、X、Y及び/又はZ軸の内の何れか2軸に沿って力を感知する2次元セ
ンサー)であり、別の実施形態では、1つの軸に沿って力を感知する1つ又は複数の水平
方向1次元センサー回路構成要素である。垂直方向磁気感知回路構成要素は、磁界感知回
路構成要素に非導電的に接続することができ、非導電性接続は、非導電性エポキシのよう
な接着剤で形成することができる。
ッドを備えていてもよく、1つ又は複数の磁界感知回路構成要素102、204は、例え
ば、それらの上面にI/Oパッドを備えており、垂直方向磁気感知回路構成要素と1つ又
は複数の磁界感知回路構成要素は、I/Oパッドによって導電的に接続することができる
。図6も参照されたい。垂直方向磁気感知回路構成要素と1つ又は複数の磁界感知回路構
成要素の間の導電性接続は、例えば、ワイヤボンディング、フリップチップ、はんだバン
ピング、スタッドバンピング、導電性エポキシ、及びテープボンディング(TAB)のよ
うな可撓性相互接続ボンディング技法によって形成することができる。
で、即ち、高さが約1.1mm以下である。更に、各図は、代表的な実施形態を示してお
り、本発明の垂直方向ダイ・チップオンボードセンサーパッケージ法及びセンサーパッケ
ージを磁気センサーに限定するわけではない。各図の磁気センサーに置き換えることので
きる別のセンサー型式は、例えば、傾斜センサーか、又は、PCB工程で使用でき、小型
で、望ましくは高さが約1.1mm以下の何らかの他のセンサーである。本発明の垂直方
向ダイ・チップオンボードセンサーパッケージと、前記垂直方向ダイ・チップオンボード
センサーパッケージを作る方法は、携帯電話のような持ち運び可能で、手で持てるサイズ
の装置を含む電子装置に組み込むことができる。
とができる。磁気センサーは、この量を様々な方法で測定する。或る種の磁力計は、磁界
の合計強さを測定するが、方向は測定しない(スカラーセンサー)。他の磁力計は、磁化
の成分のその感知軸に沿う強さを測定する(全方向性センサー)。この測定は、方向も含
んでいる(二方向センサー)。ベクトル磁気センサーは、2つ又は3つの二方向センサー
を有していてもよい。或る種の磁気センサーは、ビルトインされた閾値を有しており、そ
の閾値を上回ったときだけに出力を生成する。本発明で使用できる磁気センサーの型式に
は、リードスイッチ、可変磁気抵抗センサー、磁束ゲート磁力計、磁気誘導センサー、及
びホール装置を含む旧式技法が含まれているが、異方性磁気抵抗(AMR)センサーのよ
うな比較的新しい半導体センサーが、PCB工程に適応性があり、小型であるため、好適
である。本発明は、先に述べたセンサー、望ましくはAMRセンサーを任意に組み合わせ
て作られた垂直方向ダイ・チップオンボードセンサーパッケージと関係している。前記セ
ンサーパッケージは、製造時に、ここに記載している垂直方向ダイ・チップオンボード法
を利用する。
ス方位及びヨーレートを判定するのに利用することができる。AMRセンサーは、DC静
止磁界、並びに磁界の強さと方向を感知することができるので、地球の磁界内の直線方向
及び角度方向の位置と変位を測定する優れた手段を提供する。AMRセンサーは、一般的
に、シリコンウェーハ上に蒸着されたニッケル鉄(パーマロイ)の薄膜で作られ、抵抗性
の条片としてパターン化されている。AMRの薄膜の特性は、磁界が存在しているところ
では、薄膜の抵抗を2−3%変化させる。通常、これら抵抗器4個がホイートストンブリ
ッジ構成に接続され、1つの軸に沿って磁界の強さと方向の両方を測定できるようになっ
ている。典型的なAMRセンサーでは、帯域幅は、1−5MHzの範囲にある。磁気抵抗
効果の応答は迅速で、コイル又は振動周波数によって制限されない。AMRセンサーの他
の利点は、低コスト、高感度、小型で、信頼性が高く、十分なノイズ免疫性を有しており
、シリコンウェーハ上に大量に製作して、商業ベースの集積回路パッケージに取り付ける
ことができることである。これによって、磁気センサーを、他の回路及びシステムの構成
要素と共に自動的に組み立てることができるようになる。AMRセンサーは、例えば、ハ
ネウェル社から入手可能である。
に、本発明の垂直方向ダイ・チップオンボードパッケージ法によって、追加的型式のセン
サー(磁気センサー以外)を利用することにも関する。例えば、航行及び輸送機姿勢情報
を提供するために、傾斜センサーを磁気センサーと組み合わせて使うことができる。航空
機協定は、ヘディング、ピッチ及びロールという3つの角度に関して姿勢パラメータを定
義している。3つの角度は、局所的水平面を基準にしている。つまり、この面は地球の重
力ベクトルに垂直である。ヘディングは、局所的水平面上の、真北(地球の極軸)から時
計回りに測定した角度と定義される。ピッチは、航空機の長手方向軸と局所的水平面の間
の角度と定義される(機首が上がっているのが正)。ロールは、局所的水平面と実際の飛
行方位の間の長手方向軸回りの角度と定義される(右翼が下がっているのが正)。傾斜セ
ンサー出力からヘディング、ピッチ及びロールを求める方法は、当該技術分野では周知で
ある。
付機械構造体を含んでいる。局所的水平面を求める別の方法は、既知の慣性座標方位を常
時維持するためにジャイロスコープを使用することである。PCB工程で使用するように
適合させることができ小型にすることのできる傾斜センサー、例えば加速度計と電解質セ
ンサーは、好適な傾斜センサーである。前記傾斜センサーは、本発明によってPCBに取
り付けることができる。
を直接測定する。ガラス製の「シンブル」に似ている液体充填式電解質傾斜センサーは、
センサーが角度を変えたときの流体の運動を監視する電極を使用する。半導体の加速度計
傾斜センサーは、電子機械回路によって地球の重力場を測定する。これらのセンサーは、
局所的水平面からの角度の偏りを測定する2つの単軸構成要素を有している点で同様であ
る。信号調整回路は、傾斜角度に比例する出力信号を生成するのに用いられる。これらの
センサーの型式は、動くか又は振動する部品を有していないので、ストラップダウン装置
と考えられる。ヘディングを何れの方位にでも出力するためにストラップダウンコンパス
が必要な場合、最低でも、コンパスシステムは、3軸磁気センサーと2軸傾斜を有してい
なければならない。ヘディングの計算は、3つ全ての磁気構成要素(X、Y、Z)に依存
しているので、コンパスの方位を水平面まで数学的に回転させることができる。従って、
Xh及びYh(地球の磁界の水平方向成分)成分を、ヘディング値を求めるために計算す
ることができる。
して直交方向に取り付けるための需要を満たしており、前記直交方向に取り付けられるセ
ンサーは、Z軸上の力又は磁界を測定する。具体的に、本発明は、直交方向のセンサーを
、例えば、携帯電話及び他の消費者用及び商業用製品に、薄型方式で取り付けるための方
法を提供しており、その方法は、コストに敏感で、大量生産され、普通のPCBアッセン
ブリ工程に容易に適用することができる。
のではない。請求項は、記載されている順序又は要素に、その効果について述べていない
限り、限定されるものではない。従って、特許請求の範囲に述べる範囲及び精神に含まれ
る全ての実施形態と、その等価物を、本発明として請求する。
Claims (9)
- センサーパッケージにおいて、
a)入/出力(I/O)パッドと垂直方向センサーチップとを備えた垂直方向センサー回路構成要素であって、前記垂直方向センサーチップは、第1面、第2面、底縁部、上縁部、2つの側縁部、及び、垂直方向の感受方向を有し、前記入/出力(I/O)パッドは、前記垂直方向センサーチップの前記第1面と前記第2面の少なくとも一方の上において前記垂直方向の感受方向に直交して一列に配置され、前記入/出力(I/O)パッドは、前記垂直方向の感受方向に平行な感知された力に対応する信号を伝送するように構成されている、垂直方向センサー回路構成要素と、
b)上面、印刷回路板(PCB)取り付け面、第1の垂直方向センサーチップ境界縁部、少なくとも2つ又はそれ以上の他の縁部、及び前記垂直方向センサーチップの垂直の感受方向に直交する第1の感受方向を備えた第1の水平方向センサーチップと、
c)上面、印刷回路板(PCB)取り付け面、第2の垂直方向センサーチップ境界縁部、少なくとも2つ又はそれ以上の他の縁部、及び、前記垂直方向センサーチップの垂直の感受方向と直交し、且つ、前記第1の水平方向センサーチップの第1の感受方向と直交する第2の感受方向を備えた第2の水平方向センサーチップと、
を備えており、
前記第1及び第2の水平方向センサーチップがPCBに接続されており、
前記第1及び第2の各々の水平方向センサーチップの前記第1及び第2の垂直方向センサーチップ境界縁部の少なくとも1つが、前記垂直方向センサーチップの前記第2面を垂直の感受方向と平行な軸線に沿って接続的に支持している、ことを特徴とするセンサーパッケージ。 - 前記垂直方向センサーチップは、前記第1の水平方向センサーチップ及び前記第2の水平方向センサーチップの少なくとも1つに非導電的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載のセンサーパッケージ。
- 前記非導電性接続は接着剤で形成されている、請求項2に記載のセンサーパッケージ。
- 前記接着剤は非導電性エポキシである、請求項3に記載のセンサーパッケージ。
- 前記垂直方向センサーチップは、前記第1の水平方向センサーチップ及び前記第2の水平方向センサーチップの少なくとも1つに導電的に接続されている、請求項1に記載のセンサーパッケージ。
- 前記垂直方向センサーチップの前記底縁部と前記上縁部の間の距離は、1.1mm以下である、請求項1に記載のセンサーパッケージ。
- 前記垂直センサーチップの前記入/出力(I/O)パッドは、ワイヤボンディング、フリップチップ、はんだバンピング、スタッドバンピング、導電性エポキシ、可撓性相互接続ボンディング、及びテープボンディング(TAB)技法から成るグループから選択された方法によるものである、請求項1に記載のセンサーパッケージ。
- 前記垂直方向センサーチップと、前記第1の水平方向センサーチップと、前記第2の水平方向センサーチップとのうちの少なくとも1つが、半導体センサーであることを特徴とする請求項1に記載のセンサーパッケージ。
- 前記垂直方向センサーチップと、前記第1の水平方向センサーチップと、前記第2の水平方向センサーチップとのうちの少なくとも1つが、磁気センサーであることを特徴とする請求項1に記載のセンサーパッケージ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/789,682 US7095226B2 (en) | 2003-12-04 | 2004-02-27 | Vertical die chip-on-board |
US10/789,682 | 2004-02-27 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011117187A Division JP2011242400A (ja) | 2004-02-27 | 2011-05-25 | 垂直ダイ・チップオンボード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014139583A JP2014139583A (ja) | 2014-07-31 |
JP5977780B2 true JP5977780B2 (ja) | 2016-08-24 |
Family
ID=34919713
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007500980A Withdrawn JP2007525676A (ja) | 2004-02-27 | 2005-02-25 | 垂直ダイ・チップオンボード |
JP2011117187A Pending JP2011242400A (ja) | 2004-02-27 | 2011-05-25 | 垂直ダイ・チップオンボード |
JP2014075306A Active JP5977780B2 (ja) | 2004-02-27 | 2014-04-01 | 垂直ダイ・チップオンボード |
Family Applications Before (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007500980A Withdrawn JP2007525676A (ja) | 2004-02-27 | 2005-02-25 | 垂直ダイ・チップオンボード |
JP2011117187A Pending JP2011242400A (ja) | 2004-02-27 | 2011-05-25 | 垂直ダイ・チップオンボード |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7095226B2 (ja) |
EP (1) | EP1718984B1 (ja) |
JP (3) | JP2007525676A (ja) |
KR (1) | KR20060121248A (ja) |
CN (1) | CN1922503B (ja) |
HK (1) | HK1101429A1 (ja) |
TW (1) | TWI364244B (ja) |
WO (1) | WO2005085891A1 (ja) |
Families Citing this family (65)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006008799A1 (ja) * | 2004-07-16 | 2006-01-26 | C & N Inc | 磁気センサ組立体、地磁気検出装置、素子組立体および携帯端末装置 |
US7671478B2 (en) * | 2005-09-02 | 2010-03-02 | Honeywell International Inc. | Low height vertical sensor packaging |
US8438957B2 (en) * | 2005-10-19 | 2013-05-14 | Brown Line Metal Works, Llc | Digital beam torque wrench with an electronic sensor |
JP4904052B2 (ja) * | 2005-12-27 | 2012-03-28 | アルプス電気株式会社 | 磁気方位検出装置 |
US7536909B2 (en) | 2006-01-20 | 2009-05-26 | Memsic, Inc. | Three-dimensional multi-chips and tri-axial sensors and methods of manufacturing the same |
KR101306158B1 (ko) * | 2006-01-24 | 2013-09-10 | 삼성전자주식회사 | 3축 지자기 센서 패키지 및 그 제조방법 |
US7836587B2 (en) * | 2006-09-21 | 2010-11-23 | Formfactor, Inc. | Method of repairing a contactor apparatus |
JP4495240B2 (ja) * | 2007-02-14 | 2010-06-30 | アルプス電気株式会社 | 検出装置および検出装置の製造方法 |
US20090072823A1 (en) * | 2007-09-17 | 2009-03-19 | Honeywell International Inc. | 3d integrated compass package |
US7564237B2 (en) | 2007-10-23 | 2009-07-21 | Honeywell International Inc. | Integrated 3-axis field sensor and fabrication methods |
US7952348B2 (en) * | 2007-11-05 | 2011-05-31 | General Electric Company | Flexible eddy current array probe and methods of assembling the same |
US7790502B2 (en) * | 2007-12-10 | 2010-09-07 | Honeywell International Inc. | Method of manufacturing flexible semiconductor assemblies |
US20090315554A1 (en) * | 2008-06-20 | 2009-12-24 | Honeywell International Inc. | Integrated three-dimensional magnetic sensing device and method to fabricate an integrated three-dimensional magnetic sensing device |
US8053891B2 (en) * | 2008-06-30 | 2011-11-08 | Alpha And Omega Semiconductor Incorporated | Standing chip scale package |
US8928602B1 (en) | 2009-03-03 | 2015-01-06 | MCube Inc. | Methods and apparatus for object tracking on a hand-held device |
US8797279B2 (en) | 2010-05-25 | 2014-08-05 | MCube Inc. | Analog touchscreen methods and apparatus |
US8823007B2 (en) | 2009-10-28 | 2014-09-02 | MCube Inc. | Integrated system on chip using multiple MEMS and CMOS devices |
US8477473B1 (en) | 2010-08-19 | 2013-07-02 | MCube Inc. | Transducer structure and method for MEMS devices |
US8421082B1 (en) | 2010-01-19 | 2013-04-16 | Mcube, Inc. | Integrated CMOS and MEMS with air dielectric method and system |
US8476129B1 (en) | 2010-05-24 | 2013-07-02 | MCube Inc. | Method and structure of sensors and MEMS devices using vertical mounting with interconnections |
US8553389B1 (en) | 2010-08-19 | 2013-10-08 | MCube Inc. | Anchor design and method for MEMS transducer apparatuses |
US8710597B1 (en) | 2010-04-21 | 2014-04-29 | MCube Inc. | Method and structure for adding mass with stress isolation to MEMS structures |
US20110006763A1 (en) * | 2009-07-07 | 2011-01-13 | Anthonius Bakker | Hall effect current sensor system and associated flip-chip packaging |
US8703543B2 (en) * | 2009-07-14 | 2014-04-22 | Honeywell International Inc. | Vertical sensor assembly method |
US9709509B1 (en) | 2009-11-13 | 2017-07-18 | MCube Inc. | System configured for integrated communication, MEMS, Processor, and applications using a foundry compatible semiconductor process |
US8794065B1 (en) | 2010-02-27 | 2014-08-05 | MCube Inc. | Integrated inertial sensing apparatus using MEMS and quartz configured on crystallographic planes |
US8936959B1 (en) | 2010-02-27 | 2015-01-20 | MCube Inc. | Integrated rf MEMS, control systems and methods |
US8367522B1 (en) | 2010-04-08 | 2013-02-05 | MCube Inc. | Method and structure of integrated micro electro-mechanical systems and electronic devices using edge bond pads |
US8476084B1 (en) * | 2010-05-24 | 2013-07-02 | MCube Inc. | Method and structure of sensors or electronic devices using vertical mounting |
US8928696B1 (en) | 2010-05-25 | 2015-01-06 | MCube Inc. | Methods and apparatus for operating hysteresis on a hand held device |
US8869616B1 (en) | 2010-06-18 | 2014-10-28 | MCube Inc. | Method and structure of an inertial sensor using tilt conversion |
US8652961B1 (en) | 2010-06-18 | 2014-02-18 | MCube Inc. | Methods and structure for adapting MEMS structures to form electrical interconnections for integrated circuits |
US8993362B1 (en) | 2010-07-23 | 2015-03-31 | MCube Inc. | Oxide retainer method for MEMS devices |
US8609672B2 (en) | 2010-08-27 | 2013-12-17 | University Of The Pacific | Piperazinylpyrimidine analogues as protein kinase inhibitors |
US20120074131A1 (en) * | 2010-09-29 | 2012-03-29 | Seagate Technology Llc | Integrated resistive heaters for microelectronic devices and methods utilizing the same |
US20120105058A1 (en) * | 2010-10-29 | 2012-05-03 | Iakov Veniaminovitch Kopelevitch | Magnetic field sensing |
US8723986B1 (en) | 2010-11-04 | 2014-05-13 | MCube Inc. | Methods and apparatus for initiating image capture on a hand-held device |
US20120119345A1 (en) * | 2010-11-15 | 2012-05-17 | Cho Sungwon | Integrated circuit packaging system with device mount and method of manufacture thereof |
DE102010061770A1 (de) | 2010-11-23 | 2012-05-24 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Halbleiter-Chips, Montageverfahren und Halbleiter-Chip für senkrechte Montage auf Schaltungsträger |
US8316552B1 (en) * | 2011-05-05 | 2012-11-27 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for three-axis sensor chip packages |
US8459112B2 (en) | 2011-06-09 | 2013-06-11 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for three dimensional sensors |
US8969101B1 (en) | 2011-08-17 | 2015-03-03 | MCube Inc. | Three axis magnetic sensor device and method using flex cables |
US8853839B2 (en) | 2011-10-07 | 2014-10-07 | Analog Devices, Inc. | Air-release features in cavity packages |
JP5797852B2 (ja) * | 2011-11-18 | 2015-10-21 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 三次元プリント基板構造の製作 |
ITTO20111072A1 (it) * | 2011-11-22 | 2013-05-23 | St Microelectronics Srl | Sensore di campo magnetico includente un sensore magnetico magnetoresistivo anisotropo ed un sensore magnetico hall |
ITTO20120174A1 (it) * | 2012-02-27 | 2013-08-28 | St Microelectronics Srl | Dispositivo elettronico incapsulato comprendente circuiti elettronici integrati dotati di antenne di ricetrasmissione |
US9488699B2 (en) * | 2012-04-26 | 2016-11-08 | Honeywell International Inc. | Devices for sensing current |
ITTO20121067A1 (it) | 2012-12-12 | 2014-06-13 | St Microelectronics Srl | Sensore magnetoresistivo integrato in una piastrina per il rilevamento di campi magnetici perpendicolari alla piastrina nonche' suo procedimento di fabbricazione |
JP6331266B2 (ja) * | 2013-05-24 | 2018-05-30 | セイコーエプソン株式会社 | センサーユニット並びに電子機器および運動体 |
WO2015030871A1 (en) | 2013-08-30 | 2015-03-05 | Honeywell International Inc. | Disturbance rejection for current-measurement systems |
US10295371B2 (en) * | 2014-08-08 | 2019-05-21 | Johnson Electric International AG | Electronic device and magnetic sensor integrated circuit |
US10288697B2 (en) | 2015-01-13 | 2019-05-14 | Stmicroelectronics S.R.L. | AMR-type integrated magnetoresistive sensor for detecting magnetic fields perpendicular to the chip |
US10895555B2 (en) | 2015-03-30 | 2021-01-19 | Structural Integrity Associates, Inc. | System for in-line inspection using a dynamic pulsed eddy current probe and method thereof |
US9728510B2 (en) | 2015-04-10 | 2017-08-08 | Analog Devices, Inc. | Cavity package with composite substrate |
US10168184B2 (en) * | 2015-08-12 | 2019-01-01 | Infineon Technologies Ag | Angle sensing in an off-axis configuration |
US9995600B2 (en) | 2015-09-01 | 2018-06-12 | General Electric Company | Multi-axis magneto-resistance sensor package |
JP6610178B2 (ja) * | 2015-11-09 | 2019-11-27 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
US10241081B2 (en) * | 2016-06-20 | 2019-03-26 | Structural Integrity Associates, Inc. | Sensory elements for pulsed eddy current probe |
KR102182095B1 (ko) | 2016-07-12 | 2020-11-24 | 한양대학교 산학협력단 | 3축 자기 센서 |
US10264668B2 (en) | 2016-10-24 | 2019-04-16 | Hamilton Sundstrand Corporation | Component vertical mounting |
JP6809442B2 (ja) * | 2017-11-27 | 2021-01-06 | Tdk株式会社 | センサシステム、センサモジュールおよびセンサシステムの実装方法 |
CN111566495B (zh) * | 2017-12-27 | 2022-06-24 | 旭化成微电子株式会社 | 磁传感器模块和用于该磁传感器模块的ic芯片 |
LT6865B (lt) * | 2020-04-06 | 2021-11-10 | Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras | Skaliarinis magnetinio lauko matavimo zondas |
FR3112392B1 (fr) * | 2020-07-07 | 2022-07-22 | Autovib | Accéléromètre industriel triaxial |
US11493567B2 (en) * | 2021-03-31 | 2022-11-08 | Tdk Corporation | Magnetic sensor device and magnetic sensor system |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3304787A (en) * | 1962-12-29 | 1967-02-21 | Toyoda Chuo Kenkyusho Kk | Three-dimensional accelerometer device |
JPS6130779A (ja) * | 1984-07-23 | 1986-02-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 3軸形磁束検出用コイル |
JPS63158477A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-01 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 三次元磁界ベクトル測定素子 |
JPH0285785A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-27 | Ube Ind Ltd | 磁束密度自動計測装置および磁束密度自動計測方法 |
JPH02192781A (ja) * | 1989-01-20 | 1990-07-30 | Mitsubishi Electric Corp | ホール素子および磁気センサシステム |
JPH03118019A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-20 | Olympus Optical Co Ltd | 内視鏡装置 |
JP2505987Y2 (ja) * | 1989-12-28 | 1996-08-07 | 株式会社ワコー | 加速度センサ |
US5381125A (en) * | 1993-07-20 | 1995-01-10 | At&T Corp. | Spinodally decomposed magnetoresistive devices |
US5558091A (en) * | 1993-10-06 | 1996-09-24 | Biosense, Inc. | Magnetic determination of position and orientation |
KR100369088B1 (ko) * | 1994-02-28 | 2003-03-28 | 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. | 자기장측정장치 |
DE69532396T2 (de) * | 1994-02-28 | 2004-12-09 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Magnetfeldmessgerät |
JPH08240611A (ja) * | 1995-03-02 | 1996-09-17 | Hitachi Building Syst Eng & Service Co Ltd | 3軸加速度計の校正装置 |
US5850624A (en) | 1995-10-18 | 1998-12-15 | The Charles Machine Works, Inc. | Electronic compass |
JPH1164369A (ja) * | 1997-08-26 | 1999-03-05 | Nippon Inter Electronics Corp | 半導体センサ |
GB9721377D0 (en) * | 1997-10-08 | 1997-12-10 | Radiodetection Ltd | Locating objects |
US5953683A (en) * | 1997-10-09 | 1999-09-14 | Ascension Technology Corporation | Sourceless orientation sensor |
JPH11230837A (ja) * | 1998-02-13 | 1999-08-27 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品 |
JP2896374B1 (ja) * | 1998-02-26 | 1999-05-31 | 科学技術庁防災科学技術研究所長 | 地震計 |
GB2345549A (en) | 1998-12-21 | 2000-07-12 | Asea Brown Boveri | Magnetic field sensors |
US6304082B1 (en) | 1999-07-13 | 2001-10-16 | Honeywell International Inc. | Printed circuit boards multi-axis magnetometer |
US6243660B1 (en) * | 1999-10-12 | 2001-06-05 | Precision Navigation, Inc. | Digital compass with multiple sensing and reporting capability |
US6504366B2 (en) * | 2001-03-29 | 2003-01-07 | Honeywell International Inc. | Magnetometer package |
US20020167308A1 (en) * | 2001-05-08 | 2002-11-14 | Davis Larry L. | Miniaturized positional assembly and method of manufacturing |
JP2003028646A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-29 | Canon Inc | 多軸半導体センサ |
JP2004037105A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-02-05 | Akashi Corp | 物理量検出器及び物理量検出器の製造方法 |
US6960912B2 (en) * | 2003-05-12 | 2005-11-01 | Vacuumschmelze Gmbh & Co. Kg | Magnetic field sensor device |
-
2004
- 2004-02-27 US US10/789,682 patent/US7095226B2/en active Active
-
2005
- 2005-02-25 KR KR1020067012910A patent/KR20060121248A/ko not_active Application Discontinuation
- 2005-02-25 CN CN2005800058726A patent/CN1922503B/zh active Active
- 2005-02-25 EP EP05723703.4A patent/EP1718984B1/en active Active
- 2005-02-25 TW TW094105866A patent/TWI364244B/zh active
- 2005-02-25 WO PCT/US2005/005946 patent/WO2005085891A1/en active Application Filing
- 2005-02-25 JP JP2007500980A patent/JP2007525676A/ja not_active Withdrawn
-
2007
- 2007-08-27 HK HK07109308.1A patent/HK1101429A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2011
- 2011-05-25 JP JP2011117187A patent/JP2011242400A/ja active Pending
-
2014
- 2014-04-01 JP JP2014075306A patent/JP5977780B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1718984B1 (en) | 2019-05-29 |
US20050122100A1 (en) | 2005-06-09 |
CN1922503B (zh) | 2010-06-23 |
JP2011242400A (ja) | 2011-12-01 |
US7095226B2 (en) | 2006-08-22 |
CN1922503A (zh) | 2007-02-28 |
KR20060121248A (ko) | 2006-11-28 |
HK1101429A1 (en) | 2007-10-18 |
TWI364244B (en) | 2012-05-11 |
JP2007525676A (ja) | 2007-09-06 |
EP1718984A1 (en) | 2006-11-08 |
WO2005085891A1 (en) | 2005-09-15 |
TW200536442A (en) | 2005-11-01 |
JP2014139583A (ja) | 2014-07-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5977780B2 (ja) | 垂直ダイ・チップオンボード | |
EP1839064B1 (en) | Method of manufacturing a 3-axis sensor in a single package | |
JP5140291B2 (ja) | 動きセンサ | |
EP2053415B1 (en) | Integrated 3-axis field sensor and fabrication methods | |
KR101681175B1 (ko) | 접이식 기판 | |
US8459112B2 (en) | Systems and methods for three dimensional sensors | |
WO2004081584A1 (ja) | 加速度センサ及び傾斜検出方法 | |
WO2007074801A1 (ja) | 磁気方位検出装置 | |
JP2012237751A (ja) | 3軸センサ・チップパッケージに関するシステムと方法 | |
KR100950676B1 (ko) | 3축 지자기 센서 및 그 제조 방법 | |
JP2008216181A (ja) | 方位センサ及び電子機器 | |
CN217483543U (zh) | 一种集成传感器芯片 | |
KR101103772B1 (ko) | 일체형 모션 캡처용 6축 센서 및 그 제조 방법 | |
KR100801276B1 (ko) | 하이브리드형 지자기 센서 및 그 제조방법 | |
JP2016138774A (ja) | センサ装置およびセンサ装置の製造方法 | |
KR101090990B1 (ko) | 지자기 센서 및 그의 제조방법 | |
KR101023082B1 (ko) | 플럭스게이트 소자를 갖는 전자 나침반 및 이를 제조하는 방법 | |
KR20100117195A (ko) | 플럭스게이트 소자를 갖는 전자 나침반 패키지 및 이를 제조하는 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141211 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150311 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150610 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150701 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151029 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20151105 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20160129 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160722 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5977780 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |