JPH0285785A - 磁束密度自動計測装置および磁束密度自動計測方法 - Google Patents

磁束密度自動計測装置および磁束密度自動計測方法

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JPH0285785A
JPH0285785A JP63236269A JP23626988A JPH0285785A JP H0285785 A JPH0285785 A JP H0285785A JP 63236269 A JP63236269 A JP 63236269A JP 23626988 A JP23626988 A JP 23626988A JP H0285785 A JPH0285785 A JP H0285785A
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JP
Japan
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axis
flux density
magnetic flux
probe
measurement
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JP63236269A
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English (en)
Inventor
Kimisumi Yamamoto
山元 公純
Yoshito Kamatani
鎌谷 吉人
Tadaaki Higuchi
樋口 忠明
Tetsuo Okita
沖田 哲雄
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Ube Corp
Original Assignee
Ube Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は電磁石および永久磁石などの磁場発生部品を組
込んだ機器の磁界測定、磁界分布の測定。
ならびに検査用に適用する磁束密度自動計測装置および
磁束密度自動計測方法に関するものである。
[従来の技術] 第6図は従来公知の磁束密度検知器(以下単軸用プロー
ブという)の1例を示す斜視図であって、第6図(a)
は単軸用プローブの測定前の状態、第6図(b)は単軸
用プローブの測定時の状態をそれぞれ示し、第6図(a
)と第6図(b)を用いて従来技術を説明する。
ホール素子2は、半導体ホール素子2a、エボキシ樹脂
2b、4本のリード端子2Cから成り、ホール素子2は
、半導体ホール素子2a全体を周囲よりエポキシ樹脂?
bなどで薄く保護マウントするとともに平板状に仕上げ
られ、半導体ホール素子2aから伸びる4本のリード端
子2Cを介してリード線2dに接続されている。さらに
、単軸用プローブ1は、ホール素子2.保護管3かも成
り、非磁性体のパイプ状の保護管3の先端部に、平板状
のホール素子2の広域平面と保護管3の軸心とが略平行
になるように挿入されている。また、保護管3の他端は
、リード線2dを介して増幅器など(図示せず)に接続
されていて、アナログ測定、アナログ表示をしている。
このような単軸用プローブlを用いて所望の磁場におけ
る磁束密度のベクトル(または磁界の強さという)を測
定する場合、まず、予め第6図(b)に示すように単軸
用プローブ1の先端からホール素子2を引出し。
保護管3を手で保持したままホール素子2のみを、形成
されている磁場にホール素子2面を磁場に垂直になるよ
うに向けることで、ホール効果を応用した、それぞれの
−次元方向の磁束密度のみの測定が可能であった。
前記したようなホール素子2は、近年民生用ならびに産
業用に大量に使用されるものであって、作り方は、化合
物の半導体薄膜を形成し、これにホットエツチングなど
の精密可能をして機能を備えたあと、プラスチックで封
止して市場に出荷されている。また、従来、ガウス・メ
ータの測定原理は、半導体ホール素子2aに電流を流し
、同時に電流と直角に磁界を印加すれば、電流および磁
界と直角方向に、磁界と電流に比例し、半導体ホール素
子の厚さに反比例した大きさのホール起電圧が発生する
という、いわゆる半導体ホール素子2aのホール効果を
応用したものである。また、半導体ホール素子2aには
、ゲルマニウムホール素子、シリコンホール素子など各
種あって目的に応じて使い分けされている。
[発明が解決しようとする課題] ところが、上述した従来の一次元方向のみのホール素子
を用いた単軸用プローブで、各点でのX、Yおよびz軸
方向の磁場における磁束密度ベクトルを求める場合、x
、Yおよびz軸方向の各成分の磁束密度をそれぞれ個別
に測定し、これら測定データを、逐次合成計算により磁
束密度ベクトルを計算しなければならず、測定とデータ
解析に多大な手間がかかっていた。
[課題を解決するための手段] そのため、本発明では、2個以上の半導体ホール素子を
互いに直角な3方向のX、Y、Z軸に対して、それぞれ
直角に配した多軸同時計測用プローブを用い、得られた
データをA/D変換し、通常パソコン30と呼ばれてい
るパーソナルコンピュータなどの電子計算機により、合
成ベクトルの計算および2次元または3次元座標上の合
成ベクトルとして画面表示させうるように構成したもの
である。
[作用] ホール素子をX、Y、Z軸に直交させるように隣接させ
て接着剤で接着したものを保護管の先端に装填した多軸
同時計測用プローブを形成し、これをX、Y、Z軸方向
に移動可能な2または3軸方向プローブ移動用アクチユ
エータ(以下アクチュエータという)の一端に取付ける
ことで、簡易な形状の被検査物近傍の所定の空間位置で
の磁束密度の計測ができ、さらに、ティーチング機能を
有した産業用の多軸多関節型小型ロボットの電動ハンド
の先端に保持すれば、回転および揺動が自由自在なため
複雑な形状の被検査物の測定範囲をあらかじめトレース
するだけで自動測定へ移行することができる。多軸同時
計測プローブを使用しているため、従来のような単軸用
プローブと違って感応軸方向を変えることなく、X、Y
、Z3軸方向のうち少なくとも2方向同時に、あらかじ
め指定された空間の各座標における磁束密度の計測を逐
次行なうことが可能で、さらに得られたデータはA/D
変換され、パソコンにて合成ベクトル計算の解析、磁束
密度分布、磁力線分布曲線、磁束密度の等高線図処理な
どの表示2部分拡大などが自由自在に短時間のうちにで
きる。
[実施例] 以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する
第1図〜第4図は本発明の1実施例を示す磁束密度自動
計測装置の図であり、第1図は磁束密度自動計測装置シ
ステムの全体図、第2図(a)は多軸同時計測プローブ
の正面図、第2図(b)は第2図(a)の右側側面図、
第3図は非磁性の絶縁体を立方体状に成形した後、その
表面に3個の半導体ホール素子を互いにX、Y、Z軸に
隣接して配した場合の多軸用ホール素子の斜視図、第4
図は磁場自動計測装置の正面図、第5図は本発明の他の
実施例を示す多軸多関節型小型ロボットを使用した場合
の磁束密度自動計測装置システム全体図を示す。
第1図における磁束密度自動計測装置の場合の機構につ
いて説明する。まず、第1図中2次元と3次元のパルス
ステージ図は通常同時に使用するのではなく必要に応じ
て使用されるべきものである。符号10はパルスモータ
を使用したパルスステージであって、X軸、Y軸および
Z軸方向に進退自在に可能なように組合わされている。
それぞれのX、YおよびZの各軸成分のパルスステージ
中心部軸心方向に細長いコ字状の溝を刻設し、ざらにコ
字状の溝の中に細長いねじ棒を配設し、前記ねじ棒の一
端は回転自在に簡易軸受などで軸支され、他端はパルス
モータボックス12内に内蔵したパルスモータに軸着さ
れて、ねじ棒の両端は進退不可能な状態下で回転するよ
うに構成されている。パルスステージ装置において、最
下部にはX軸成分のパルスステージlOcが水平に設置
され、X軸成分のパルスステージ10cに垂直にX軸成
分のパルスステージ10aが上下可動に配設され、さら
にX軸成分のパルスステージ10aと交差する形でX軸
成分のパルスステージ10bが前後可動に水平に配設さ
れている。X軸成分のパルスステージ10cの溝部に配
設されたねじ棒は、X軸成分のパルスステージ10aの
軸方向端部に、X軸成分のパルスステージ10cの溝部
に摺動可能に突設して設けられたステイ中心部にねじ穴
を設けた後、前後に揺動しないように貫通して十分噛合
されており、同様に、X軸成分のパルスステージ10b
の溝部に配設されたねじ棒は。
X軸成分のパルスステージ10aの軸方向中央部域に、
X軸成分のパルスステージ10bの溝部に摺動可能に突
設して設けられたステイ中心部にねじ穴を設けた後、前
後に揺動しないように貫通して十分噛合している。符号
100は磁束密度測定のための多軸同時計測用プローブ
であって、多軸同時計測用プローブ100を保有してい
る保護管3は、X軸成分のパルスステージtabの軸方
向に着脱自在に装着されて、X軸成分のパルスステージ
lobとともに上下9前後、左右移動可能なようになっ
ている。多軸同時計測用プローブ100は、第2図に示
すように、−旦非磁性の絶縁体を立方体状2bに成形さ
れたものの表面に半導体ホール素子2aをX、Y、Z軸
方向に直角に隣接させて配設した多軸用ホール素子5を
、非磁性を有した保護管3の先端部に装着してエポキシ
樹脂4をモールドして形成したものとなっている。また
、本発明では、前記した多軸同時計測用プローブ100
やパルスステージ10のような磁束密度自動計測装置本
体の他に、所望の測定点にパルスステージlOを移動す
るためのパルスステージコントローラ20と、得られた
X、Y、Z軸方向の磁束密度の各成分をアナログ表示す
るための磁場自動計測装置40.さらに得られたX。
Y、Z軸方向の磁束密度成分をA/D変換して合成計算
してベクトルとして表示するためのCRT60、あるい
は測定空間内での各軸方向の測定範囲を決めるためのテ
ィーチング機能などのプログラムを有したパソコン30
およびプリンタ50、パソコン30に命令を入力するた
めのキーボード70などから構成されている。
つぎに、第5図に示すような多軸多関節型小型ロボット
300を用いた場合の機構について説明する。多軸多関
節型小型ロポッ)300は本体部とアーム部およびハン
ド部の3つの部分から構成されている0本体部は固定さ
れて揺動または回転しないベース301と、ベース30
1の上部に配設されて左右に回転自在に軸着されたボデ
ィ部302から成っており、また、アーム部はボディ部
302に上下揺動自在に軸着されたアッパーアーム30
3と、さらにアッパーアーム303に上下揺動自在に軸
着されたフォアアーム305から成り、さらに、ハンド
部は、フォアアーム305に回転自在に軸着された電動
アーム306と電動アーム306の先端に固着され多軸
同時計測用プローブを保持するためのフィンガ307か
ら構成されている。このような多軸多関節型小型ロボッ
ト300を用いて2次元または3次元方向の磁束密度を
測定する場合、測定開始前にティーチング機能を使って
被検査物近傍の所望の測定範囲をトレースしておけばい
かなる複雑な形状の被検査物でも面倒な動作プログラム
を個別につくらなくてもよく、工業上の利用範囲も広く
なる。また、多軸多関節型小型ロポッ)300を操作す
る場合には、パルスステージコントローラ20の代りに
マイクロロボットコントローラ21を用いればよく、パ
ソコン30.磁場自動計測装置40゜プリンタ50 、
CRT60およびキーボード70などはパルスステージ
10を用いて磁束密度を測定する場合と同じシステムで
ある。
つぎに所定の範囲の磁場の強度を自動的に測定したいと
きは、パソコンプログラムが有しているティーチング機
能を利用して、パルスステージコントローラ20の機械
原点と電気原点を一致させた後、パソコン30の画面上
のメニュを見ながら走査(以下スキャンという)エリア
、スキャンピッチおよび各々の相加平物を求めるための
測定回数などを設定する。測定開始命令の信号がパソコ
ン30からパルスステージコントローラ20に発せられ
、これにしたがってX、YおよびZ軸成分のパルスステ
ージ10が前後、左右、上下にそれぞれ移動することに
なる。多軸同時計測用プローブ100はX軸成分のステ
ージコントローラtabに保護管3を介して装着されて
おり、被検査物近傍の所定の空間位置での磁束密度をX
、Y。
23軸方向同時に測定を行なう、これらの得られた測定
データは磁場自動計測装置40でX軸、Y軸、Z軸方向
の磁束密度成分および磁束密度の絶対値の大きさにより
各軸独立に自動レンジ切換を行ない、磁場自動計測装置
40前面の指示計器の読取り易い範囲にアナログ表示す
ることが可能であ・る、さらにパソコン30では、各測
定点におけるX、Y、Z軸のA/D変換されたデータを
各測定点における磁束密度のベクトル表示が行なわれ、
さらに、これらの結果をプリンタ50に印刷することも
容易に行なえる。すなわち、多軸同時計測用プローブ1
00を所望の各測定点にスキャンすることで、多軸同時
計測用プローブ100そのものの方向を変えることなく
行なえる。測定点におけるベクトルの絶対値lBa1は
、X、Y、Z軸の各磁束密度成分BX 、BY 、RZ
をBx2  +BY2  +BZ2  なる式で計算ス
ルコトで即座に算出することができる0本発明において
は、前記したような自動測定でなく、手動測定もパソコ
ン30のメニュを選択するだけで容易に行なえ、さらに
、軸対称磁場測定について、2軸用パルスステージ20
0を使用すれば効率よく測定できる。
また、前記実施例においては、第3図に示すように、例
えば樹脂のような非磁性の絶縁体を立方形状2bに成形
したものの表面上に半導体ホール素子2aをX、Y、Z
軸の3辺を近接して配した後、接着剤で接着して固着さ
せた。いわゆる多軸用ホール素子5状のものとした。こ
のような多軸ホール素子5を製作する場合には、まず、
非磁性の絶縁体2bを立方体状に寸法精度を向上させな
がら作成し、その表面上に半導体ホール素子2aを目で
確認しながら正確に接着剤で接着するため、磁束密度測
定においては信頼度の高い測定値が容易に得られる。
また、第3図に示したような多軸用ホール素子5に限定
するものでなく、前記した多軸用ホール素子5の周辺全
体を適度の厚みで再モールドすることにより完全に半導
体ホール素子2aを固着してもよく、さらに、プラスチ
ックで封止して市場に出荷されているホール素子2を半
導体ホール素子2aの替わりに用いて、X、Y、Z軸の
3辺を近接して配した後、接着剤などで非磁性の絶縁体
を立方体状2bに成形したものの表面上に固着してもよ
い。
さらに、本発明によれば、被検査物との位置決めはパル
スステージにより割出しが行なえるので手で計測する場
合のような目盛板などは全く不要となり、測定範囲が特
殊なものについてもパルスステージを変更するだけで対
応が可能である。
また、パルスステージに限定するものでなく1例えば、
サーボモータステージなどのアクチュエータも利用でき
る。
[発明の効果] 本発明によれば、非磁性を有した絶縁体を用いて隣接す
る面どうしが直角になるような完全立方体形状のものが
容易に製作でき、さらに、こうして製作された立方体状
の表面上に、2個以上の半導体ホール素子を直交座標系
の3方向のX、Y。
Z軸に目で確認しながら隣接して接着剤で容易に固着し
、これを保護管中に装填してモールドにて固設した多軸
同時計測用プローブを用いることによって、被検査物近
傍の所定の空間位置での磁束密度の測定がX、Y、Z3
軸方向同時に計測可能となった。また、前記多軸同時計
測用プローブを用いて得られたデータをパソコンで数値
処理すれば、磁束密度分布、磁力線分布図、磁束密度の
等高線図などの結果の表示などが短時間で得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図から第4図までは本発明の1実施例を示す磁束密
度自動計測装置をものであって、第1図はパルスステー
ジを使用した場合の磁束密度自動計測装置システムの全
体図、第2図(a)は多軸同時計測プローブの正面図、
第2図(b)は第2図(a)の右側側面図、第3図は非
磁性の絶縁体を立方体状に成形した後、その表面に3個
の半導体ホール素子を互いにX、Y、Z軸に隣接して配
した場合の多軸用ホール素子の斜視図、第4図は磁場自
動計測装置の正面図、第5図は本発明の他の実施例を示
す多軸多関節型小型ロボットを使用した場合の磁束密度
自動計測装置システムの全体図、第6図は従来公知の単
軸用プローブの1例を示す斜視図であって、第6図(a
)は単軸用プローブの測定前の状態、第6図(b)は単
軸用プローブの測定時の状態を示す。 l・・・・・・単軸用プローブ、  2・・・・・・ホ
ール素子、2a・・・半導体ホール素子、3・・・・・
・保護管、5・・・・・・多軸用ホール素子 10・・・・・・3次元方向パルスステージ、20・・
・・・・パルスステージコントローラ、21・・・・・
・マイクロロボットコントローラ。 30・・・・・・パソコン、 40・・・・・・磁場自動計測装置、 50・・・・・・プリンタ、    60・・・・・・
CRT。 70・・・・・・キーボード、 100・・・多軸同時計測用プローブ。 200・・・2次元方向パルスステージ。 300・・・多軸多関節型小型ロボット。 特許出願人  宇部興産株式会社 第6図(a)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)非磁性の絶縁体で立方体状に成形したものの表面
    上に、2個以上の半導体ホール素子面を直交座標系の3
    方向X、Y、Z軸の内、いずれか2軸以上に固着して配
    した多軸同時計測用プローブを用いた磁束密度自動計測
    装置。
  2. (2)2または3軸方向に自在に移動可能な駆動装置の
    先端に請求項第1記載の多軸同時計測用プローブを取付
    けた磁束密度自動計測装置。
  3. (3)第2項記載の駆動装置と多軸同時計測用プローブ
    を組合せて、測定対象空間の各位置における磁束密度成
    分を測定し、測定したデータを電子計算機に逐次転送し
    て保存し、測定対象空間の数値処理するとともに磁束密
    度ベクトルの画面表示機能を有した複数次元の磁束密度
    自動計測方法。
  4. (4)請求項第1記載の多軸同時計測用プローブを用い
    て得られたデータをA/D変換し、電子計算機にデータ
    転送することにより合成ベクトルの計算および2次元お
    よび3次元座標上に磁束密度ベクトルの画面表示機能を
    有した複数次元の磁束密度自動計測方法。
JP63236269A 1988-09-22 1988-09-22 磁束密度自動計測装置および磁束密度自動計測方法 Pending JPH0285785A (ja)

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