JP2004037105A - 物理量検出器及び物理量検出器の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】物理量検出器(例えば、静電容量型加速度センサ1)において、被測定体の一方向の変位、速度、加速度の何れかの物理量を検出するセンサチップ(例えば、センサチップ100)と、互いに直交する2つ以上の壁部200a〜cを有し、各々の壁部に前記センサチップが直接取り付けられる取付部材(例えば、ブロック200)と、前記センサチップに接続される配線部材(例えば、フレキシブル基板300)と、を備えた。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、加速度、変位、圧力その他の物理量を検出する物理量検出器および物理量検出器の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、物理量検出器には様々なものが提供されており、例えば、特開平9−243654号公報に記載された静電容量型の加速度センサが知られている。かかる加速度センサ1000は、例えば、図4に示すように、シリコン基盤1001の下面に、第1のガラス基盤1002が接合され、シリコン基盤1001の上面に第2のガラス基盤1003が接合されている。シリコン基盤1001はエッチング加工により平面がロ字状に形成された支持枠1001aに重り部1001bが梁部1001cを介して片持ち支持されて連結されている。更に、重り部1001bの上下両面と、対向する両ガラス基盤1002、1003の対向面との間には、所定の隙間を形成している。これにより、加速度を受けると梁部1001cが撓み、重り部1001bが変位し、前記隙間の距離が変化するようになっている。
【0003】
そして、重り部1001bの両表面に可動電極1004が形成され、この可動電極1004と対向するように、第1のガラス基盤1002と第2のガラス基盤1003の内側面にそれぞれ第1の固定電極1005と第2の固定電極1006が形成される。従って、重り部1001bが変位して隙間の距離が変化すると、可動電極1004と第1の固定電極1005間に第1のキャパシタが形成され、可動電極1004と第2の固定電極1006間に第2のキャパシタが形成され、可動電極1004の移動に伴って第1のキャパシタ及び第2のキャパシタの静電容量も変化する。この静電容量の変化を検出することにより、重り部1001bの変位に基づく加速度を検出することができるようになる。
【0004】
ところで、従来、このような加速度センサ1000はパッケージングされた後、基盤に実装されて使用される。
そして、このような加速度センサ1000を用いて、例えば、三軸方向の加速度を検出しようとする場合、パッケージングされた加速度センサ1000の三軸方向の静電容量変化を検出可能なようにそれぞれ配置して使用している。
また、上記加速度センサ1000とは異なり、一つのセンサで三軸方向の加速度等を測定する加速度センサも知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、パッケージングされた加速度センサ1000を基盤に実装した場合、パッケージングにおける加速度センサ1000の検出方向とパッケージングの外周面との平行度のずれや、基盤に半田付け等により実装した際の基盤と加速度センサ1000の検出方向との平行度のずれがあった。
従って、このような加速度センサ1000を組みあわせて三軸方向の測定を行う場合、上記のようなずれが足し合わさることとなってセンシングが起こり、正確な測定を行うことが困難であるという問題があった。
また、一つのセンサで三軸方向の加速度等を測定する加速度センサは分解能が低く、高精度な測定を行うことが困難であった。
【0006】
本発明の課題は、多軸方向の物理量測定をより精度良く行うことが可能な物理量検出器、およびその製造方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、以下の手段を提供する。なお、括弧の数字は、実施の形態において対応する構成の符号を示す。
請求項1記載の発明は、物理量検出器(例えば、静電容量型加速度センサ1)において、
被測定体の一方向の変位、速度、加速度の何れかの物理量を検出するセンサチップ100と、
互いに直交する2つ以上の壁部200a〜cを有し、各々の壁部に前記センサチップが取り付けられる取付部材(例えば、ブロック200)と、
前記センサチップに接続される配線部材(例えば、フレキシブル基板300)と、
を備えることを特徴とする。
【0008】
請求項1記載の発明によれば、センサチップがパッケージングされることなく、且つ基盤に実装されることなく取付部材の互いに直交する各々の壁部に取り付けられるので、パッケージングにおけるセンサチップの検出方向とパッケージングの外周面との平行度のずれや、基盤に実装した際の基盤とセンサチップの検出方向との平行度のずれによるセンシングの問題がなく、互いに直交する二方向以上の物理量を精度よく測定することができる。
【0009】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の物理量検出器において、
前記センサチップは、弾性部22によって変位自在に支持された可動極板21と、前記可動極板と対面する位置に配置された固定極板11、31とで形成されるキャパシタの静電容量に基づいて被測定体の変位、速度、加速度の何れかの物理量を検出することを特徴とする。
【0010】
請求項2記載の発明によれば、請求項1記載の発明と同様に、静電容量型のセンサチップにおいて物理量を精度よく測定することができる。
【0011】
請求項3記載の発明は、請求項1または2記載の物理量検出器において、
前記配線部材は、フレキシブル基板300であることを特徴とする。
【0012】
請求項3記載の発明によれば、請求項1または2記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特に、配線部材がフレキシブル基板により構成されているので、個々の配線部材同士が干渉して測定精度に影響を与えることを排除することができ、立体配線が容易となる。
【0013】
請求項4記載の発明は、請求項1〜3の何れかに記載の物理量検出器において、
前記センサチップは、前記取付部材の壁部(210a〜210c)の内壁に取り付けられていることを特徴とする。
【0014】
請求項4記載の発明によれば、請求項1〜3の何れかに記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特に、センサチップが取付部材の壁部の内壁に取り付けられているので、センサチップが保護される。
【0015】
請求項5記載の発明は、請求項2〜4の何れかに記載の物理量検出器を製造するための製造方法であって、
前記センサチップを製造する工程と、
前記取付部材の前記壁部に、前記センサチップを取り付ける工程と、
前記センサチップに前記配線部材を接続する工程と、
を備えることを特徴とする。
【0016】
請求項5記載の発明によれば、センサチップを取付部材に直接取り付けるため、センサチップがパッケージングされることなく、且つ基盤に実装されることなく取付部材の各々の壁部に取り付けられるので、パッケージングにおけるセンサチップの検出方向とパッケージングの外周面との平行度のずれや、基盤に実装した際の基盤とセンサチップの検出方向との平行度のずれによるセンシングの問題がなく、互いに直交する二軸以上の方向の物理量を精度よく測定することができる物理量検出器を製造することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態において、物理量検出器として、静電容量型加速度センサを例に、図1〜図3を参照しながら説明する。
静電容量型加速度センサ(物理量検出器)1は、図1に示すように、3個のセンサチップ100・・・と、取付部材としてのブロック200と、各センサチップ100に接続される配線部材としてのフレキシブル基板300・・・と、を含んで構成され、各フレキシブル基板300は図示しない他の基盤等に接続される。
【0018】
センサチップ100は、図2に示す様に、中央に配置されたシリコン基盤102と、このシリコン基盤102を上下両側から挟む2つのガラス基盤101及びガラス基盤103と、をそれぞれ陽極接合する事により構成されたセンサチップである。シリコン基盤102の大部分は、シリコン製の本体部20によって構成されており、当該本体部20には、弾性部22と、この弾性部22によって厚さ方向に変位自在に支持された平面視円形の可動極板21とがエッチングによって一体的に設けられている。
【0019】
上側のガラス基盤101に於いて、可動極板21と対面する位置には、これと数ミクロンのギャップ(隙間)を確保して、第1の固定極板11が蒸着やスパッタリング等の方法によって成膜されている。
この第1の固定極板11は、投影視において可動極板21及び弾性部22が占める領域に一致している。この第1の固定極板11と可動極板21とにより、第1のキャパシタが形成される。
第1の固定極板11からは、チタンと白金の合金から成る平面L字状の第1の検出用電極12が、シリコン基盤102の島4の投影領域に向かって延設されている。
【0020】
更に、上側のガラス基盤101に於いて、第1の固定極板11の周囲には、貫通孔である穴部13,14、15が所定位置に設けられている。当該各穴部13,14は、夫々島4,島5に向かって連通する様配置されている。
【0021】
一方、下側のガラス基盤103に於いて、可動極板21と対面する位置には、これと数ミクロンのギャップを確保して、第2の固定極板31が蒸着やスパッタリング等の方法によって成膜されている。
この第2の固定極板31は、投影視において可動極板21及び弾性部22が占める領域に一致している。この第2の固定極板31と可動極板21とにより、第2のキャパシタが形成される。
第2の固定極板31からは、チタンと白金の合金から成る平面L字状の第2の検出用電極32が、島5の投影領域に向かって延設されている。
【0022】
また、シリコン基盤102に於いて可動極板21の周囲には、所定位置に電極取出用のシリコン製の島4、5が設けられている。当該各島4、5は、他の島及び本体部20と接触せぬ様に隔離されて配置されており、従って他の島及び本体部20とは電気的に絶縁されている。
これ等の内、島4は平面方向からの投影視に於いて穴部13と重なる位置に配置されており、島5は同じく投影視に於いて穴部14と重なる位置に配置されている。
【0023】
ガラス基盤101に設けた穴部13,14、15は、金属膜メッキされ、穴部13,14、15の周囲には同金属膜のパッド13a、14a、15aが形成される。
パッド13aは、第1の固定極板11と電気的に接続され、パッド14aは、第2の固定極板31と電気的に接続され、パッド15aは、本体部20を介して可動極板21と電気的に接続される。
また、パッド13a、14a、15aは、フレキシブル基板300に電気的に接続される。
【0024】
即ち、ガラス基盤101上にスパッタ法や蒸着により金属薄膜が形成された後、無電解メッキが施され、これによりSi面と硝子面との間が導通される。より具体的には、まず、例えば、EB蒸着によりCr−Ni(Cr層の上にNi層をつくる)をガラス−Si上に蒸着する。次いで、Ni層をメッキの下地とし、Niの無電解メッキを施す。そして、金線によるワイヤボンディングが行えるようにNiメッキの上に金メッキを施す。なお、このとき、ステンシルマスクに回路パターンを構成し、このステンシルマスク用いて、ガラス基盤101にパタンニングすることにより、ガラス基盤101に電気回路(図示省略)を形成することができる。
そして、このガラス基盤101に形成された電気回路に抵抗、コンデンサ等の電子部品(図示省略)を取り付けることができる。
【0025】
また、シリコン基盤102の所定位置にはガス吸着剤としてのゲッタGを受け入れる収容部23が設けて有る。
このセンサチップ100を製造する過程に於いては、先ず収容部23にソルダガラス(図示省略)とともにゲッタGを収容し、次いで、ガラス基盤101、シリコン基盤102、及びガラス基盤103を陽極接合する。これにより、可動極板21、各固定極板11,31と、ゲッタGとが密封されるとともに、陽極接合時の熱により、ソルダガラスが溶融し、再び固化することによってゲッタGが収容部23に固定される。
【0026】
なお、陽極接合時には、板バネを可動極板21の表面より下側にくぼみを設けて配置したり、可動極板21にストッパ(図示省略)を設けたり、或いは極板間を等電位にするためショート配線にして、可動極板21の張り付きを防止する。
【0027】
次いで、ガラス基盤101或いはガラス基盤103を介してゲッタGにYAGレーザを照射する。これにより、ゲッタGが加熱され活性化されて、当該ゲッタGは、可動極板21、各固定極板11,31等を取り巻くガス(大気)を吸収する。かくして、可動極板21、固定極板11,31等が真空中に配置されることとなる。ここで、YAGレーザを用いてゲッタGを活性化することは、単にゲッタGを加熱して活性化する場合に比べて、ゲッタGを局部的に高温にすることができるので、より高い真空度を得ることができる。
尚、このゲッタGは、一旦ガスを吸収した後に於いては、常温に戻されても当該吸収したガスを放出する事は無い。
【0028】
ブロック200は、例えば、樹脂や金属などからできていて、立方体形状をなしている。ブロック200の各壁部(例えば、200a、200b、200c)の外面は、外面同士が互いに直交するように、高精度に製造されている。
そして、互いに直交する3つの壁部(例えば、壁部200a〜200c)の外面に、センサチップ100がそれぞれ取り付けられている。
【0029】
フレキシブル基板300は、その一端がセンサチップ200の各パッド13a、14a、15aと電気的に接続されて取り付けられ、他端は図示しない基盤等に接続されている。
【0030】
次いで、上記静電容量型加速度センサ1の製造方法について以下に説明する。まず、予め、製造したセンサチップ100を、ブロック200の壁部200a〜cに貼り付けて固定する。この際、センサチップ100のガラス基盤103の下面と壁部200a〜200cの壁面との間の接着層の厚みを均一にする。
次いで、センサチップ100の各々センサチップ200の各パッド13a、14a、15aとフレキシブル基板300の一端とを接続して取り付け、他端は図示しない基盤等に接続する。
【0031】
なお、フレキシブル基板300は、センサチップ100をブロック200に固定する前にセンサチップ100に取り付けても良い。
【0032】
(変形例)
図3に、静電容量型加速度センサ10の変形例を示す。
なお、静電容量型加速度センサ1と同一の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
【0033】
図3に示す静電容量型加速度センサ10は、センサチップ100と、ブロック210と、フレキシブル基板300を備えて構成される。
ブロック210は、互いに直交した3つの壁部210a〜cから構成され、壁部210a〜cの内壁にセンサチップ100がそれぞれ取り付けられている。
ブロック210をこのような形状にすることで、センサチップ100が壁部210a〜cに保護されることとなる。
【0034】
なお、ブロック210の内側にモールド剤を充填して成形体を形成することにより、センサチップ100をモールド剤で覆うようにしても良い。
ここで、モールド剤としては、例えば熱硬化性のエポキシ樹脂を使用する。
このように、モールド剤によってセンサチップ100を覆うことにより、より安定した物理量の検出が可能となる。
また、モールド剤により実装体の各面を固定すると、振動の伝達も良好になり、より高精度な測定が可能となる。この場合、静電容量加速度センサ1を基板上に設置する際には底面を接着剤などで固定すると、更に高精度な測定が可能となる。
また、例えば、図4に示すように、センサチップ100と、フレキシブル基板300は、異方性導電性接着剤により接着し、配線310と電気回路は、コネクタ400を用いて接続してもよい。
【0035】
以上の如くして構成された静電容量型加速度センサ1、10による加速度測定の動作は次の通りである。
静電容量型加速度センサ1、10を被測定物に取り付けた状態に於いて、3つの各センサチップ100に対して外部から加速度が印加されると、各センサチップ100は、当該加速度に起因して、弾性部22によって平衡位置に支持された可動極板21が当該弾性部22に拘束されながら板厚方向に変位する。これにより、第1のキャパシタの静電容量と、第2のキャパシタの静電容量とが相互に増減し、これに伴って両者の容量差が変動する。この容量差により、被測定物の加速度を算出する。従って、3つのセンサチップ100により測定された加速度により、被測定物の3軸方向の加速度を測定することができる。
【0036】
以上の如くして構成され、作用する静電容量加速度センサ1によれば、3つのセンサチップ100を配置してもセンシングの問題がなく、互いに直交する3軸方向の物理量を精度よく測定することができる。
【0037】
また、配線部材がフレキシブル基板により構成されているので、個々の配線部材同士が干渉して測定精度に影響を与えることを排除することができる。
【0038】
以上、本発明が適用された静電容量型加速度センサについて説明したが、本発明の技術思想はこれに限られるものではない。例えば、次の事等は本発明と均等であると云うことができる。
例えば、加速度以外にも、圧力その他の物理量を検出する様に設計変更する事が可能である。この事は、外部からの圧力その他の物理量に起因して可動極板21が変位する様に構成することで容易に実現できる。
また、物理量検出器は、静電容量以外のものを利用した物理量検出器であってもよい。
本実施例では、3軸方向の物理量(加速度)を測定する構成としたが、2軸方向の物理量を測定する構成のものであってもよい。
配線部材は、フレキシブル基板を用いたが、例えば、リード線などでもよい。また、可動極板21、固定極板11,31等が真空中に配置されて封止される構成としたが、常圧で封止される構成であってもよい。
また、本発明にかかる静電容量型物理量センサ1は、傾斜計にも適用可能である。
【0039】
【発明の効果】
請求項1記載の発明によれば、センサチップがパッケージングされることなく、且つ基盤に実装されることなく取付部材の互いに直交する各々の壁部に取り付けられるので、パッケージングにおけるセンサチップの検出方向とパッケージングの外周面との平行度のずれや、基盤に実装した際の基盤とセンサチップの検出方向との平行度のずれによるセンシングの問題がなく、互いに直交する二方向以上の物理量を精度よく測定することができる。
【0040】
請求項2記載の発明によれば、請求項1記載の発明と同様に、静電容量型のセンサチップにおいて物理量を精度よく測定することができる。
【0041】
請求項3記載の発明によれば、請求項1または2記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特に、配線部材がフレキシブル基板により構成されているので、個々の配線部材同士が干渉して測定精度に影響を与えることを排除することができ、立体配線が容易となる。
【0042】
請求項4記載の発明によれば、請求項1〜3の何れかに記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特に、センサチップが取付部材の壁部の内壁に取り付けられているので、センサチップが保護される。
【0043】
請求項5記載の発明によれば、センサチップを取付部材に直接取り付けるため、センサチップがパッケージングされることなく、且つ基盤に実装されることなく取付部材の各々の壁部に取り付けられるので、パッケージングにおけるセンサチップの検出方向とパッケージングの外周面との平行度のずれや、基盤に実装した際の基盤とセンサチップの検出方向との平行度のずれによるセンシングの問題がなく、互いに直交する二軸以上の方向の物理量を精度よく測定することができる物理量検出器を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】静電容量型加速度センサの概略構成を模式的に示す斜視図である。
【図2】静電容量型加速度センサのセンサチップの構成を模式的に示す分解斜視概略図である。
【図3】静電容量型加速度センサの変形例を模式的に示す斜視図である。
【図4】静電容量型加速度センサへのフレキシブル基板配線を説明するための図である。
【図5】従来技術に於ける静電容量型加速度センサを示す断面図である。
【符号の説明】
1 静電容量型加速度センサ(物理量検出器)
11 第1の固定極板(固定極板)
20 本体部
21 可動極板(可動極板)
31 第2の固定極板(固定極板)
100 センサチップ(センサチップ)
101 ガラス基盤
102 シリコン基盤
103 ガラス基盤
200 ブロック(取付部材)
210 ブロック(取付部材)
300 フレキシブル基板(配線部材)
Claims (5)
- 被測定体の一方向の変位、速度、加速度の何れかの物理量を検出するセンサチップと、
互いに直交する2つ以上の壁部を有し、各々の前記壁部に前記センサチップが取り付けられる取付部材と、
前記センサチップに接続される配線部材と、
を備えることを特徴とする物理量検出器。 - 請求項1記載の物理量検出器において、
前記センサチップは、弾性部によって変位自在に支持された可動極板と、前記可動極板と対面する位置に配置された固定極板とで形成されるキャパシタの静電容量に基づいて被測定体の変位、速度、加速度の何れかの物理量を検出することを特徴とする物理量検出器。 - 請求項1又は2記載の物理量検出器において、
前記配線部材は、フレキシブル基板であることを特徴とする物理量検出器。 - 請求項1〜3の何れか一項に記載の物理量検出器において、
前記センサチップは、前記取付部材の壁部の内壁に取り付けられていることを特徴とする物理量検出器。 - 請求項2〜4の何れか一項に記載の物理量検出器を製造するための製造方法であって、
前記センサチップを製造する工程と、
前記取付部材の前記壁部に、前記センサチップを取り付ける工程と、
前記センサチップに前記配線部材を接続する工程と、
を備えることを特徴とする物理量検出器の製造方法。
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