JP5968767B2 - Mems圧電装置及び製造方法 - Google Patents
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- 隣接して連なるアクチュエータ部と非アクチュエータ部とを備えるMEMS圧電装置であって、
前記アクチュエータ部及び前記非アクチュエータ部は、下から順番に、基板層、絶縁層、下部密着改善層、下部電極層、圧電膜層、上部電極層、及び上部密着改善層を有する積層構造体の第1及び第2部分として構成され、
前記積層構造体は、
前記第1及び第2部分の境界部において、上側より前記上部電極層の下面まで掘り下げられた分断溝と、
前記上部密着改善層と前記分断溝とを上面側から被覆する絶縁被覆膜と、
該絶縁被覆膜の上面において前記境界部をまたがって前記第1及び第2部分を連続して延び、1つは前記第1部分において上部電極層に接続されている複数の配線層とを有することを特徴とするMEMS圧電装置。 - 請求項1記載のMEMS圧電装置において、
前記アクチュエータ部と前記非アクチュエータ部とが前記配線層の延び方向に交互に複数ずつ配設されたアクチュエータを備え、
複数の前記アクチュエータ部は相互に平行に配列され、
前記非アクチュエータ部は、前記アクチュエータ部の端側に配設されて配列方向に隣り合うアクチュエータ部の端部同士を相互に連結する折返し部であることを特徴とするMEMS圧電装置。 - 請求項2記載のMEMS圧電装置において、
前記アクチュエータは、前記MEMS圧電装置としてのMEMS光偏向器に装備されて、先端側に結合しているミラー部を所定の回転軸線の回りに回動させるものであることを特徴とするMEMS圧電装置。 - アクチュエータ部と該アクチュエータ部に連なる非アクチュエータ部とを備えるMEMS圧電装置の製造方法であって、
前記アクチュエータ部と前記非アクチュエータ部を構成する第1及び第2部分をもつ積層構造体を、基板層の上に順番に絶縁層、下部密着改善層、下部電極層、圧電膜層、上部電極層、及び上部密着改善層を積層して製造する工程と、
前記積層構造体の所定部位に上側より前記上部電極層の下面まで掘り下げられた分断溝を、前記アクチュエータ部と前記非アクチュエータ部を構成する第1及び第2部分の境界部に形成する工程と、
前記上部密着改善層と前記分断溝との上面側から被覆する絶縁被覆膜を形成する工程と、
該絶縁被覆膜の上面において前記境界部をまたがって前記第1及び第2部分を連続して延び、1つは前記第1部分おいて上部電極層に接続されている複数の配線層を形成する工程とを備えることを特徴とするMEMS圧電装置の製造方法。
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