JP6557670B2 - シャッタ装置及び駆動装置 - Google Patents

Description

ここに開示された技術は、シャッタ装置及び駆動装置に関するものである。

従来より、所定の光路を遮断及び開通させるシャッタ装置が知られている。

例えば、特許文献１に記載のシャッタ装置は、移動体と、該移動体を駆動するアクチュエータとを備えた駆動装置を含んでいる。具体的には、該シャッタ装置は、アクチュエータと、アクチュエータにより駆動される、移動体としてのブレードとを備えている。アクチュエータは、静電力により傾動するように構成されている。ブレードは、アクチュエータの先端部に取り付けられている。アクチュエータに通電していないときには、ブレードは、光路を遮断している。アクチュエータに通電することによって、アクチュエータが傾動し、ブレードが光路を遮断している位置から光路を開通させる位置へ移動する。

特開２００４−３３８０４４号公報

ところで、特許文献１のシャッタ装置は、１つのブレードを１つのアクチュエータで駆動している。そのため、光路を遮断及び開通させる際のブレードの移動量、即ち、アクチュエータの駆動量が大きくなる。

そこで、ブレード及びアクチュエータをそれぞれ２つずつにすることによって、各ブレードの移動量を小さくすることが考えられる。しかしながら、ブレード及びアクチュエータが１つから２つに増えるため、シャッタ装置の構成が複雑になってしまう。

ここに開示された技術は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、２組のブレード及びアクチュエータを有するシャッタ装置を簡単な構成で実現することにある。

ここに開示された技術は、所定の光路を遮断及び開通させるシャッタ装置であって、第１ブレード、及び該第１ブレードを駆動する第１アクチュエータを有する第１ユニットと、第２ブレード、及び該第２ブレードを駆動する第２アクチュエータを有する第２ユニットとを備え、前記第１アクチュエータ及び第２アクチュエータはそれぞれ、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有し、前記複数のビームは、前記平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビームと、湾曲しないか又は該第１ビームよりも湾曲が小さい第２ビームとを含み、前記第１ユニットと前記第２ユニットとは、前記平面と交差する方向に並んで配置されており、前記第１ブレードは、前記第１アクチュエータにおいて、前記第１ビームが湾曲するときに前記第２ユニットの方へ移動するように前記第１ビーム又は前記第２ビームに連結され、前記第２ブレードは、前記第２アクチュエータにおいて、前記第１ビームが湾曲するときに前記第１ユニットの方へ移動するように前記第１ビーム又は前記第２ビームに連結され、前記第１ブレード及び前記第２ブレードは、前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータが前記第１ビームを湾曲させないときには互いに離間して前記光路を開通させる開通位置に位置する一方、前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータが前記第１ビームを湾曲させるときには互いに接近して前記光路を遮断する遮断位置へ移動するものとする。

この構成によれば、第１ブレードと第２ブレードとで光路を遮断するため、第１ブレードを駆動する第１アクチュエータの駆動量及び第２ブレードを駆動する第２アクチュエータの駆動量を、１つのブレードで光路を遮断する場合と比べてそれぞれ低減することができる。

また、前記の構成とすることによって、第１ブレードと第２ブレードとを互いに接近する方向に、即ち、互いに反対向きに移動させる構成を容易に実現することができる。

詳しくは、第１ビームと第２ビームとは互いに折り返すように連結されている。そして、第１ビームは湾曲する一方、第２ビームは、湾曲しないか又は第１ビームよりも湾曲が小さく、実質的に直線状に延びている。そのため、第１ビーム及び第２ビームそれぞれの、連結部とは反対側の端部は、互いに離間した状態となる。

このように、第１ビームと第２ビームとが折り返す構成においては、ブレードを第１ビーム及び第２ビームに対してどのように連結するかによって、第１ビームが湾曲したときにブレードを前記平面に対してどちら側に移動させるかを切り替えることができる。

例えば、第１ビームから第２ビームが折り返し、第２ビームにブレードが連結されている場合、第１ビームは、所定の平面に対して一方側に湾曲するため、第１ビームと第２ビームとの折り返し部分は、該平面よりも一方側に位置するようになる。そして、第２ビームは、第１ビームから折り返し、第１ビームの折り返し部近傍の傾きと同じ傾きで実質的に直線状に延びているため、第２ビームの先端部は、該平面よりも他方側に位置することになる。そのため、第２ビームの先端部にブレードを連結しておけば、第１ビームが湾曲するときに、ブレードは、該平面よりも他方側へ移動することになる。一方、第２ビームから第１ビームが折り返し、第１ビームにブレードが連結されている場合、第２ビームは、所定の平面内で実質的に直線状に延びている。そして、第１ビームは、第２ビームから折り返し、該平面の一方側へ湾曲するため、第１ビームの先端部は、該平面よりも一方側に位置することになる。そのため、第１ビームの先端部にブレードを連結しておけば、第１ビームが湾曲するときに、ブレードは、該平面よりも一方側へ移動することになる。

このように、ブレードを第１ビーム及び第２ビームに対してどのように連結するかによって、ブレードを所定の平面に対してどちらの側に移動させるかを切り替えることができる。その結果、第１ブレードと第２ブレードとで光路を遮断する構成を、同じようなアクチュエータを用いて容易に実現することができる。

また、ここに開示された技術は、移動体と、前記移動体を駆動する２つのアクチュエータとを備えた駆動装置であって、前記アクチュエータは、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有すると共に、折り返す２本のビームを１単位として該折り返す２本のビームを複数単位含んでおり、前記複数のビームは、前記平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビームと、湾曲しないか又は該第１ビームよりも湾曲が小さい第２ビームとを含み、前記アクチュエータのうち前記折り返すように連結された複数のビームの先端部には、所定の回転軸回りに湾曲する連結部を介して前記移動体が連結されており、一方の前記連結部の前記回転軸と他方の前記連結部の前記回転軸とは、一直線上に並ばないように配置されているものとする。

この構成によれば、２つのアクチュエータには、連結部を介して移動体が連結されており、該２つのアクチュエータによって移動体が駆動される。アクチュエータは、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有しており、複数のビームのうちの第１ビームが湾曲することによって移動体が駆動される。このとき、移動体がビームに直接連結されている場合には、移動体は、ビームのうち該移動体が連結された部分と同様の傾動角で傾動する（すなわち、一体的に傾動する）。しかしながら、前記の構成では、ビームと移動体とが連結部を介して連結され、該連結部が所定の回転軸回りに湾曲する。そのため、ビームの傾動の一部は連結部の湾曲により吸収され、移動体は、ビームのうち該移動体が連結された部分とは必ずしも同様には傾動しない。

それに加え、一方のアクチュエータと移動体とを連結する連結部の回転軸と、他方のアクチュエータと移動体とを連結する連結部の回転軸とが一直線上に並ばないように配置されている。そのため、移動体が一方の連結部の回転軸回りに回転しようとしても、他方の連結部が移動体のうち一方の連結部の回転軸上にはない部分を支持しており、一方の連結部の回転軸回りの移動体の回転を規制する。同様に、移動体が他方の連結部の回転軸回りに回転しようとする場合には、一方の連結部が移動体の回転を規制する。こうして、移動体は、一方の連結部の回転軸回りにも、他方の連結部の回転軸回りにも回転し難くなる。これらの結果、移動体を２つのアクチュエータで駆動する際に平行移動させ易くなる（即ち、移動体の姿勢を維持したまま移動させ易くなる）。

前記シャッタ装置によれば、２組のブレード及びアクチュエータを有するシャッタ装置を簡単な構成で実現することができる。

実施形態１に係るシャッタ装置の、一部を切断した斜視図である。 第１ユニットの平面図である。 第１ユニットを部分的に拡大した平面図である。 図３のIV−IV線における第１ユニット及び第２ユニットの断面図である。 第１ビームを湾曲させたときのシャッタ装置の斜視図である。 第２ユニットの平面図である。 第２ユニットを部分的に拡大した平面図である。 実施形態２に係るシャッタ装置の第１ユニットの平面図である。 第１ユニットを部分的に拡大した平面図である。 図９のＸ−Ｘ線における第１ユニット及び第２ユニットの断面図である。 フレームを省略した第１ユニットの斜視図である。 第２ユニットの平面図である。 第２ユニットを部分的に拡大した平面図である。 第１ビームを湾曲させたときの第１ユニットの斜視図である。 変形例に係る上部電極を有するアクチュエータの平面図である。 別の変形例に係る上部電極を有するアクチュエータの平面図である。

以下、例示的な実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

《発明の実施形態１》
図１は、実施形態１に係るシャッタ装置１０００の、一部を切断した斜視図を示す。

シャッタ装置１０００は、第１ユニット１００と、第２ユニット２００と、第１ユニット１００と第２ユニット２００との間に介設されたスペーサ３００，３００と、第２ユニット２００を支持するベース４００とを備えている。シャッタ装置１０００は、第１ユニット１００と第２ユニット２００との間を通過する光路Ｌを遮断及び開通させる。

図２は、第１ユニット１００の平面図であり、図３は、第１ユニット１００を部分的に拡大した平面図であり、図４は、図３のIV−IV線における第１ユニット１００及び第２ユニット２００の断面図である。

第１ユニット１００は、ＳＯＩ（Silicon on Insulator）基板Ｓを用いて製造されている（図４参照）。ＳＯＩ基板Ｓは、単結晶シリコンで形成された第１シリコン層ｓ１と、ＳｉＯ_２で形成された酸化膜層ｓ２と、単結晶シリコンで形成された第２シリコン層ｓ３とがこの順で積層されて構成されている。

第１ユニット１００は、フレーム１０１と、フレーム１０１に連結された２つの第１アクチュエータ１０２，１０２と、２つの第１アクチュエータ１０２，１０２にそれぞれヒンジ１０３，１０３を介して連結された第１ブレード１０４とを有している。尚、２つの第１アクチュエータ１０２，１０２を区別するときには、符号を変えて、それぞれ第１アクチュエータ１０２Ａ、第１アクチュエータ１０２Ｂと称する。図２，３において、第１アクチュエータ１０２Ａが下方に位置し、第１アクチュエータ１０２Ｂが上方に位置している。第１ユニット１００は、駆動装置の一例である。

フレーム１０１は、概略長方形の枠状に形成されている。ただし、フレーム１０１は、完全に閉じた枠状ではなく、一部が切り欠かれて、開いた形状をしている。フレーム１０１は、第１シリコン層ｓ１、酸化膜層ｓ２及び第２シリコン層ｓ３で形成されている。尚、フレーム１０１の第１シリコン層ｓ１側の表面には、ＳｉＯ_２膜１２８が成膜されている。このＳｉＯ_２膜１２８は、後述する第１アクチュエータ１０２のＳｉＯ_２膜１２８と同じ膜である。

以下、説明の便宜上、フレーム１０１の長手方向をＸ方向、フレーム１０１の短手方向をＹ方向、フレーム１０１の厚み方向をＺ方向と称する。尚、Ｘ方向において、図２，３における左側を左側、図２，３における右側を右側と称することもある。Ｙ方向において、図２、３における上側を前側、図２，３における下側を後側と称することもある。Ｚ方向において、第１シリコン層ｓ１側を上側、第２シリコン層ｓ３側を下側と称することもある。

２つの第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂは、フレーム１０１内において、第１ブレード１０４を挟んでＹ方向に並んで配置されている。各第１アクチュエータ１０２は、基端部がフレーム１０１に連結され、先端部が自由端となるカンチレバー構造をしている。自由端となる先端部に、第１ブレード１０４が連結されている。各第１アクチュエータ１０２は、ＳＯＩ基板Ｓの主面（例えば、第１シリコン層ｓ１の表面）内で折り返すように連結された４本のビームを有している。４本のビームは、主面に対して一方の側へ湾曲する２本の第１ビーム１２１ａ，１２１ｃと、湾曲しないか又は該第１ビーム１２１ａ，１２１ｃよりも湾曲が小さい２本の第２ビーム１２２ｂ，１２２ｄとを含んでいる。第１ビーム１２１ａ，１２１ｃと第２ビーム１２２ｂ，１２２ｄとは、交互に連結されている。第１ビーム１２１ａ，１２１ｃ及び第２ビーム１２２ｂ，１２２ｄは、互いに平行に配列されている。尚、第１ビーム１２１ａと第１ビーム１２１ｃとを区別しないときには、単に第１ビーム１２１と称する。また、第２ビーム１２２ｂと第２ビーム１２２ｄとを区別しないときには、単に第２ビーム１２２と称する。

詳しくは、第１アクチュエータ１０２Ａにおいて、第１ビーム１２１ａの基端部がフレーム１０１のＸ方向の右端部に固定され、第１ビーム１２１ａは、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム１２１ａの先端部には、第２ビーム１２２ｂが連結されている。第２ビーム１２２ｂは、第１ビーム１２１ａから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム１２２ｂの先端部には、第１ビーム１２１ｃが連結されている。第１ビーム１２１ｃは、第２ビーム１２２ｂから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム１２１ｃの先端部には、第２ビーム１２２ｄが連結されている。第２ビーム１２２ｄは、第１ビーム１２１ｃから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム１２２ｄの先端部には、ヒンジ１０３を介して第１ブレード１０４が連結されている。

一方、第１アクチュエータ１０２Ｂにおいて、第１ビーム１２１ａの基端部がフレーム１０１のＸ方向の左端部に固定され、第１ビーム１２１ａは、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第１ビーム１２１ａの先端部には、第２ビーム１２２ｂが連結されている。第２ビーム１２２ｂは、第１ビーム１２１ａから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第２ビーム１２２ｂの先端部には、第１ビーム１２１ｃが連結されている。第１ビーム１２１ｃは、第２ビーム１２２ｂから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第１ビーム１２１ｃの先端部には、第２ビーム１２２ｄが連結されている。第２ビーム１２２ｄは、第１ビーム１２１ｃから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第２ビーム１２２ｄの先端部には、ヒンジ１０３を介して第１ブレード１０４が連結されている。

つまり、第１アクチュエータ１０２Ａ及び第１アクチュエータ１０２Ｂは、フレーム１０１に連結されているビームは第１ビーム１２１であり、そこから交互に、第２ビーム１２２、第１ビーム１２１が連結され、最終的に第２ビーム１２２ｄの先端部に第１ブレード１０４が連結されている点で共通する。一方、第１アクチュエータ１０２Ａ及び第１アクチュエータ１０２Ｂは、第１ビーム１２１ａの基端部がＸ方向において反対の位置でそれぞれフレーム１０１に固定されている点、及び、第２ビーム１２２ｄの先端部がＸ方向において反対の位置にそれぞれ位置する点で異なっている。

続いて、各ビームの構成について説明する。第１アクチュエータ１０２Ａと第１アクチュエータ１０２Ｂとで各ビームの構成は同様である。例えば、第１アクチュエータ１０２Ａの第１ビーム１２１ａと第１アクチュエータ１０２Ｂの第１ビーム１２１ａの構成は同様である。

第１ビーム１２１ａ，１２１ｃは、ビーム本体１２３と、ビーム本体１２３の表面に積層された圧電素子１２４とを有している。

ビーム本体１２３は、断面方形の棒状に形成されている。ビーム本体１２３は、第１シリコン層ｓ１で形成されている。

圧電素子１２４は、ビーム本体１２３の一方の表面に設けられている。ビーム本体１２３の表面にはＳｉＯ_２膜１２８が積層されており、圧電素子１２４は、ＳｉＯ_２膜１２８上に積層されている。圧電素子１２４は、下部電極１２５と、上部電極１２７と、これらに挟持された圧電体層１２６とを有する。下部電極１２５、圧電体層１２６、上部電極１２７は、ＳｉＯ_２膜１２８上にこの順で積層されている。圧電素子１２４は、ＳＯＩ基板Ｓとは別の部材で形成されている。詳しくは、下部電極１２５は、Ｐｔ／Ｔｉ膜又はＩｒ／Ｔｉ膜で形成されている。圧電体層１２６は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）で形成されている。上部電極１２７は、Ａｕ／Ｔｉ膜で形成されている。

圧電素子１２４の上部電極１２７及び下部電極１２５に電圧が印加されると、ビーム本体１２３のうち圧電素子１２４が積層された表面が伸縮し、ビーム本体１２３は、圧電素子１２４を内側にして湾曲する。

第２ビーム１２２ｂ，１２２ｄは、ビーム本体１２３と、ダミー膜１２９とを有している。ビーム本体１２３の表面には、ＳｉＯ_２膜１２８が成膜されており、ＳｉＯ_２膜１２８上にダミー膜１２９が積層されている。ダミー膜１２９には、下部電極１２５、圧電体層１２６及び上部電極１２７が含まれている。つまり、ダミー膜１２９は、圧電素子１２４と同様の構成をしている。しかし、ダミー膜１２９は、電圧が印加されることはなく、圧電素子としては機能しない。これらの薄膜は、複数のビームの初期反り及び温度変化による反りをキャンセルするためのものである。詳しくは、第１ビーム１２１ａ，１２１ｃは、第１シリコン層ｓ１で形成されたビーム本体１２３の表面に、ＳｉＯ_２膜１２８、下部電極１２５、圧電体層１２６及び上部電極１２７をスパッタリング等の方法により成膜されており、その成膜過程の温度変動等によって成膜後にビームに反りが生じ得る。例えば、ビーム本体１２３のうち薄膜が成膜された側の表面が収縮して、該表面を内側にして反り上がる場合がある。しかしながら、例えば第１ビーム１２１ａには、第２ビーム１２２ｂが折り返すように連結され、第２ビーム１２２ｂのビーム本体１２３にも圧電素子１２４と同様のダミー膜１２９が成膜されている。つまり、第１ビーム１２１ａと第２ビーム１２２ｂとが、互いに略平行な状態で反る。その結果、第１ビーム１２１ａの先端部及び第２ビーム１２２ｂの基端部は、浮き上がった状態となるものの、第２ビーム１２２ｂの先端部は、第１ビーム１２１ａの基端部と同じ高さに戻ってくる。こうして、第２ビーム１２２ｂの先端部においては、初期反りによるＳＯＩ基板Ｓの厚み方向の変位をキャンセルすることができる。第１ビーム１２１ｃ及び第２ビーム１２２ｄにおいても同様である。また、第１ビーム１２１ａ，１２１ｃは、シリコン、ＳｉＯ_２、Ｐｔ／Ｔｉ等の熱膨張率が異なる材料を積層させているので、温度が変化したときに、各膜がその熱膨張率に応じて様々に収縮する。そのため、第１ビーム１２１ａ，１２１ｃが反る場合がある。しかしながら、第２ビーム１２２ｂ，１２２ｄも、第１ビーム１２１ａ，１２１ｃと同様の積層構造をしているので、第１ビーム１２１ａ，１２１ｃと同様の反りが生じる。その結果、初期反りの場合と同様に、第１ビーム１２１ａの反りを第２ビーム１２２ｂがキャンセルし、第１ビーム１２１ｃの反りを第２ビーム１２２ｄがキャンセルする。

ここで、第２ビーム１２２ｂ，１２２ｄのＳｉＯ_２膜１２８は、第１ビーム１２１ａ，１２１ｃのＳｉＯ_２膜１２８と一体的に形成されている。また、ダミー膜１２９の下部電極１２５及び圧電体層１２６は、圧電素子１２４の下部電極１２５及び圧電体層１２６と一体的に形成されている。しかし、ダミー膜１２９の上部電極１２７と圧電素子１２４の上部電極１２７とは、基本的には絶縁されている。

ただし、第２ビーム１２２ｂのダミー膜１２９において、上部電極１２７は、第１ビーム１２１ａの上部電極１２７と第１ビーム１２１ｃの上部電極１２７とを導通させるための配線パターン１２７ｂを含んでいる。詳しくは、ダミー膜１２９の上部電極１２７は、第１ビーム１２１ａの上部電極１２７及び第１ビーム１２１ｃの上部電極１２７と絶縁された、ダミー上部電極１２７ａ，１２７ｃと、第１ビーム１２１ａの上部電極１２７及び第１ビーム１２１ｃの上部電極１２７と導通する配線パターン１２７ｂとを有している。ダミー上部電極１２７ａ，１２７ｃと配線パターン１２７ｂとは、互いに絶縁されている。この構成により、第１ビーム１２１ａの上部電極１２７に電圧が印加されると、第２ビーム１２２ｂの配線パターン１２７ｂを介して第１ビーム１２１ｃの上部電極１２７にも電圧が印加される。このとき、第２ビーム１２２ｂのダミー上部電極１２７ａ，１２７ｃには電圧が印加されない。

尚、配線パターン１２７ｂに通電することによって、第２ビーム１２２ｂにおいて、配線パターン１２７ｂと下部電極１２５との間に電圧が印加されることになるが、配線パターン１２７ｂは十分に細いため、第２ビーム１２２ｂの圧電体層１２６には歪みがほとんど生じない。仮に該圧電体層１２６に歪みが生じたとしても、その歪みは十分に小さいので、第２ビーム１２２ｂは僅かに湾曲するだけで、その湾曲量は第１ビーム１２１ａ，１２１ｃに比べて十分に小さい。

一方、第２ビーム１２２ｄには配線パターンを設ける必要が無いので、第２ビーム１２２ｄの上部電極１２７は、圧電素子１２４の上部電極１２７と同様の構成をしている。

第１ブレード１０４は、ブレード本体１４１と、ヒンジ１０３，１０３を介して第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂに連結される連結ビーム１４２，１４２とを有している。ブレード本体１４１は、略方形の板状に形成されている。第１ブレード１０４は、移動体の一例である。

ブレード本体１４１は、フレーム１０１内のＸ方向略中央において、その厚み方向がＹ方向に一致するように配置されている。ブレード本体１４１は、第１シリコン層ｓ１、酸化膜層ｓ２及び第２シリコン層ｓ３で形成されている。ブレード本体１４１の一方の表面（Ｙ方向前側を向く面であり、光路の入射側を向く面）には、Ａｕ膜１４３が成膜されている。

連結ビーム１４２は、Ｘ方向に延びる棒状に形成されている。連結ビーム１４２，１４２は、ブレード本体１４１のＺ方向の一方の端縁の両端部からＸ方向に延びている。連結ビーム１４２は、第１シリコン層ｓ１で形成されている。ここで、各連結ビーム１４２の先端部は、Ｘ方向において、第１アクチュエータ１０２の第２ビーム１２２ｄの先端部よりも外側まで延びている。

ヒンジ１０３は、弾性的に変形可能に構成されている。具体的には、ヒンジ１０３は、複数の直線部と、隣り合う直線部の端部同士を連結する折り返し部とを有し、全体として蛇行した形状をしている。直線部は、Ｙ方向に延びており、ヒンジ１０３は、Ｙ方向に延びる軸、即ち、回転軸１０３ａ回りに湾曲しやすくなっている。ヒンジ１０３の一端部は、第１アクチュエータ１０２の第２ビーム１２２ｄの先端部に連結され、ヒンジ１０３の他端部は、連結ビーム１４２の先端部に連結されている。第２ビーム１２２ｄに連結される一端部より、連結ビーム１４２に連結される他端部の方がＸ方向の外側に位置している。ヒンジ１０３は、連結部の一例である。

フレーム１０１には、第１アクチュエータ１０２の第１ビーム１２１ａ，１２１ｃの上部電極１２７，１２７に電気的に接続された第１上部給電端子１１１と、アクチュエータ１０２の第１ビーム１２１ａ，１２１ｃの下部電極１２５，１２５に電気的に接続された第１下部給電端子１１２と、配線を介して第１上部給電端子１１１と電気的に接続された上部接続端子１１３と、配線を介して第１下部給電端子１１２と電気的に接続された下部接続端子１１４とが設けられている。第１上部給電端子１１１からは、第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂの第１ビーム１２１ａ，１２１ａの上部電極１２７，１２７まで配線が延びている。フレーム１０１のＳｉＯ_２膜１２８上には、部分的に、下部電極１２５及び圧電体層１２６が積層され、圧電体層１２６上に第１上部給電端子１１１、第１下部給電端子１１２、上部接続端子１１３、下部接続端子１１４及び配線が設けられている。ただし、下部接続端子１１４が設けられている圧電体層１２６には、下部電極１２５に達する開口（図２において破線で図示）が形成されている。下部接続端子１１４は、この開口を覆うように設けられており、下部電極１２５と電気的に接続されている。これにより、第１下部給電端子１１２は、下部電極１２５と電気的に接続されている。これら第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２は、第１端子の一例である。

続いて、このように構成された第１ユニット１００の動作について説明する。図５に、第１ビームを湾曲させたときのシャッタ装置の斜視図を示す。

第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２に電圧を印加すると、各第１アクチュエータ１０２の第１ビーム１２１ａ，１２１ｃの圧電素子１２４，１２４に電圧が印加される。これにより、第１ビーム１２１ａ，１２１ｃは、圧電素子１２４を内側にして、ＳＯＩ基板Ｓの表面に対して上側に湾曲する。一方、第２ビーム１２２ｂ，１２２ｄは、実質的に湾曲せず、略直線状に延びた状態のままである。つまり、図５に示すように、フレーム１０１から第１ビーム１２１ａが上側へ反り上がるように延び、第１ビーム１２１ａの先端部から第２ビーム１２２ｂが折り返して、略直線状に延び、第２ビーム１２２ｂの先端部から第１ビーム１２１ｃが折り返して、上側へ反り上がるように延び、第１ビーム１２１ｃの先端部から第２ビーム１２２ｄが折り返して、略直線状に延びた状態となる。

さらに詳しくは、第１ビーム１２１ａの先端部は、斜め上方へ向かって傾斜している。第１ビーム１２１ａの先端部から折り返す第２ビーム１２２ｂは、第１ビーム１２１ａの先端部と同じ傾きとなっている。つまり、第２ビーム１２２ｂは、斜め下方へ向かって、略直線状に延び、第２ビーム１２２ｂの先端部は、第１ビーム１２１ａの基端部よりも下方、即ち、ＳＯＩ基板Ｓの表面よりも下方に位置する。第１ビーム１２１ｃの基端部は、第２ビーム１２２ｂと同じ傾きで、第２ビーム１２２ｂの先端部から折り返す。ここで、第１ビーム１２１ｃの曲率は、第１ビーム１２１ａの曲率と略同じであるが、第１ビーム１２１ａの基端部が、ＳＯＩ基板Ｓの表面と略平行であるのに対し、第１ビーム１２１ｃの基端部は、先端側へ向かって斜め上方に傾斜しているので、第１ビーム１２１ｃの先端部は、第１ビーム１２１ａの先端部よりもさらに上方へ浮き上がる。さらに、第１ビーム１２１ｃの先端部は、第１ビーム１２１ａの先端部よりもさらに斜め上方へ傾いた状態となる（即ち、ＳＯＩ基板Ｓの表面に対する傾斜角が大きくなる）。そして、第２ビーム１２２ｄは、第１ビーム１２１ｃの先端部と同じ傾きで第１ビーム１２１ｃの先端部から折り返す。その結果、第２ビーム１２２ｄは、第２ビーム１２２ｂよりも大きな傾斜角で斜め下方へ延び、第２ビーム１２２ｄの先端部は、第２ビーム１２２ｂの先端部よりも下方に位置する。

ここで、第１アクチュエータ１０２Ａと第１アクチュエータ１０２Ｂには同じ電圧が印加されているので、第１アクチュエータ１０２Ａの第２ビーム１２２ｄの先端部と、第１アクチュエータ１０２Ｂの第２ビーム１２２ｄの先端部とは、ＳＯＩ基板Ｓの表面から略同じ量だけ下降した位置に位置している。その結果、第１ブレード１０４は、連結ビーム１４２，１４２が略同じ量だけ下降するので、ブレード本体１４１が下方へ平行移動する。

尚、第２ビーム１２２ｄの先端部は、電圧印加前と比べて、Ｘ方向の内側に少しだけ変位するが、この変位はヒンジ１０３がＸ方向へ伸びることによって吸収される。

続いて、第２ユニット２００について説明する。第２ユニット２００の基本的な構成は、第１ユニット１００と同様である。第１ユニット１００の要素には、１００番台の符号を付しているのに対し、第２ユニット２００の要素には、２００番台の符号を付している。第１ユニット１００の要素と第２ユニット２００の要素とで、十の位以下の符号が同じ要素は同様の機能を有する。以下では、第２ユニット２００のうち、第１ユニット１００と異なる部分を中心に説明する。図６に、第２ユニット２００の平面図を示し、図７に、第２ユニット２００を部分的に拡大した平面図を示す。

第２ユニット２００は、ＳＯＩ基板Ｓを用いて製造されている。第２ユニット２００は、フレーム２０１と、フレーム２０１に連結された２つの第２アクチュエータ２０２，２０２と、２つの第２アクチュエータ２０２，２０２にそれぞれヒンジ２０３，２０３を介して連結された第２ブレード２０４とを有している。尚、２つの第２アクチュエータ２０２，２０２を区別するときには、符号を変えて、それぞれ第２アクチュエータ２０２Ａ、第２アクチュエータ２０２Ｂと称する。図６，７において、第２アクチュエータ２０２Ａが下方に位置し、第２アクチュエータ２０２Ｂが上方に位置している。第２ユニット２００は、駆動装置の一例である。

フレーム２０１は、概略長方形の枠状に形成されている。フレーム２０１は、フレーム１０１とは異なり、完全に閉じた枠状に形成されている。以下、説明の便宜上、フレーム２０１の長手方向をＸ方向、フレーム２０１の短手方向をＹ方向、フレーム２０１の厚み方向をＺ方向と称する。尚、Ｘ方向において、図６，７における左側を左側、図６，７における右側を右側と称することもある。Ｙ方向において、図６，７における上側を前側、図６，７における下側を後側と称することもある。Ｚ方向において、第１シリコン層ｓ１側を上側、第２シリコン層ｓ３側を下側と称することもある。

２つの第２アクチュエータ２０２Ａ，２０２Ｂは、フレーム２０１内において、第２ブレード２０４を挟んでＹ軸方向に並んで配置されている。各第２アクチュエータ２０２は、基端部がフレーム２０１に連結され、先端部が自由端となるカンチレバー構造をしている。自由端となる先端部に、第２ブレード２０４が連結されている。各第２アクチュエータ２０２は、ＳＯＩ基板Ｓの主面内で折り返すように連結された４本のビームを有している。４本のビームは、主面に対して一方の側へ湾曲する２本の第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄと、湾曲しないか又は該第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄよりも湾曲が小さい２本の第２ビーム２２２ａ，２２２ｃとを含んでいる。第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄと第２ビーム２２２ａ，２２２ｃとは、交互に連結されている。第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄ及び第２ビーム２２２ａ，２２２ｃは、互いに平行に配列されている。尚、第１ビーム２２１ｂと第１ビーム２２１ｄとを区別しないときには、単に第１ビーム２２１と称する。また、第２ビーム２２２ａと第２ビーム２２２ｃとを区別しないときには、単に第２ビーム２２２と称する。

詳しくは、第２アクチュエータ２０２Ａにおいて、第２ビーム２２２ａの基端部がフレーム２０１のＸ方向の左端部に固定され、第２ビーム２２２ａは、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム２２２ａの先端部には、第１ビーム２２１ｂが連結されている。第１ビーム２２１ｂは、第２ビーム２２２ａから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム２２１ｂの先端部には、第２ビーム２２２ｃが連結されている。第２ビーム２２２ｃは、第１ビーム２２１ｂから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム２２２ｃの先端部には、第１ビーム２２１ｄが連結されている。第１ビーム２２１ｄは、第２ビーム２２２ｃから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム２２１ｄの先端部には、ヒンジ２０３を介して第２ブレード２０４が連結されている。

一方、第２アクチュエータ２０２Ｂにおいて、第２ビーム２２２ａの基端部がフレーム２０１のＸ方向の右端部に固定され、第２ビーム２２２ａは、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第２ビーム２２２ａの先端部には、第１ビーム２２１ｂが連結されている。第１ビーム２２１ｂは、第２ビーム２２２ａから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第１ビーム２２１ｂの先端部には、第２ビーム２２２ｃが連結されている。第２ビーム２２２ｃは、第１ビーム２２１ｂから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第２ビーム２２２ｃの先端部には、第１ビーム２２１ｄが連結されている。第１ビーム２２１ｄは、第２ビーム２２２ｃから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第１ビーム２２１ｄの先端部には、ヒンジ２０３を介して第２ブレード２０４が連結されている。

つまり、第２アクチュエータ２０２Ａ及び第２アクチュエータ２０２Ｂは、フレーム２０１に連結されているビームが第２ビーム２２２であり、そこから交互に、第１ビーム２２１、第２ビーム２２２が連結され、最終的に第１ビーム２２１ｄの先端部に第２ブレード２０４が連結されている点で共通する。一方、第２アクチュエータ２０２Ａ及び第２アクチュエータ２０２Ｂは、第２ビーム２２２ａの基端部がＸ方向において反対の位置でそれぞれフレーム２０１に固定されている点、及び、第１ビーム２２１ｄの先端部がＸ方向において反対の位置にそれぞれ位置する点で異なっている。

続いて、各ビームの構成について説明する。第２アクチュエータ２０２Ａと第２アクチュエータ２０２Ｂとで各ビームの構成は同様である。例えば、第２アクチュエータ２０２Ａの第１ビーム２２１ｂと第２アクチュエータ２０２Ｂの第１ビーム２２１ｂの構成は同様である。

第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄは、ビーム本体２２３と、ビーム本体２２３の表面に積層された圧電素子２２４とを有している。ビーム本体２２３は、第１アクチュエータ１０２のビーム本体１２３と同様の構成であり、圧電素子２２４は、第１アクチュエータ１０２の圧電素子１２４と同様の構成である。すなわち、ビーム本体２２３の表面にはＳｉＯ_２膜１２８が積層されており、ＳｉＯ_２膜１２８上に圧電素子２２４が積層されている。圧電素子２２４は、下部電極２２５と、上部電極２２７と、これらに挟持された圧電体層２２６とを有する。圧電素子２２４の上部電極２２７及び下部電極２２５に電圧が印加されると、ビーム本体２２３のうち圧電素子２２４が積層された表面が伸縮し、ビーム本体２２３は、圧電素子２２４を内側にして湾曲する。

第２ビーム２２２ａ，２２２ｃは、ビーム本体２２３と、ダミー膜２２９とを有している。ビーム本体２２３の表面には、ＳｉＯ_２膜２２８が成膜されており、ＳｉＯ_２膜２２８上にダミー膜２２９が積層されている。ダミー膜２２９には、下部電極２２５、圧電体層２２６及び上部電極２２７が含まれている。つまり、ダミー膜２２９は、圧電素子２２４と同様の構成をしている。しかし、ダミー膜２２９は、電圧が印加されることはなく、圧電素子としては機能しない。ダミー膜２２９は、第１アクチュエータ１０２のダミー膜１２９と同様に、ビームの初期反り及び温度変化による反りをキャンセルするためのものである。

尚、第２ビーム２２２ａ，２２２ｃのダミー膜２２９は何れも、第２ビーム１２２ｂのダミー膜１２９と同じタイプである。つまり、ダミー膜２２９の上部電極２２７は、第１ビーム２２１ｂの上部電極２２７及び第１ビーム２２１ｄの上部電極２２７と絶縁された、ダミー上部電極２２７ａ，２２７ｃと、第１ビーム２２１ｂの上部電極２２７及び第１ビーム２２１ｄの上部電極２２７と導通する配線パターン２２７ｂとを有している。

第２ブレード２０４は、ブレード本体２４１と、ヒンジ２０３，２０３を介して第２アクチュエータ２０２Ａ，２０２Ｂに連結される連結ビーム２４２，２４２とを有している。第２ブレード２０４は、第１ブレード１０４とＹ方向位置がずれている。第２ブレード２０４は、移動体の一例である。

ブレード本体２４１は、略方形の板状に形成されている。ブレード本体２４１は、フレーム２０１内のＸ方向略中央において、その厚み方向がＹ方向に一致するように配置されている。ブレード本体２４１の一方の表面（Ｙ方向前側を向く面であり、光路の入射側を向く面）には、Ａｕ膜２４３が成膜されている。

連結ビーム２４２は、Ｘ方向に延びる棒状に形成されている。連結ビーム２４２，２４２は、ブレード本体２４１のＺ方向の一方の端縁の両端部からＸ方向に延びている。ここで、各連結ビーム２４２の先端部は、Ｘ方向において、第２アクチュエータ２０２の第１ビーム２２１ｄの先端部よりも外側まで延びている。

ヒンジ２０３は、第１アクチュエータ１０２のヒンジ１０３と同様の構成をしている。ヒンジ２０３は、直線部に沿ってＹ方向に延びる回転軸２０３ａ回りに湾曲しやすくなっている。ヒンジ２０３は、連結部の一例である。

フレーム２０１には、第２アクチュエータ２０２の第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄの上部電極２２７，２２７に電気的に接続された第２上部給電端子２１１と、第２アクチュエータ２０２の第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄの下部電極２２５，２２５に電気的に接続された第２下部給電端子２１２とが設けられている。第２上部給電端子２１１からは、第２アクチュエータ２０２Ａ，２０２Ｂの第２ビーム２２２ａ，２２２ａの配線パターン２２７ｂ，２２７ｂまで配線が延びている。フレーム２０１のＳｉＯ_２膜２２８上には、部分的に、下部電極２２５及び圧電体層２２６が積層され、圧電体層２２６上に第２上部給電端子２１１、第２下部給電端子２１２及び配線が設けられている。ただし、第２下部給電端子２１２が設けられている圧電体層２２６には、下部電極２２５に達する開口（図６において破線で図示）が形成されている。第２下部給電端子２１２は、この開口を覆うように設けられており、下部電極２２５と電気的に接続されている。これら第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２は、第２端子の一例である。

続いて、このように構成された第２ユニット２００の動作について説明する。

第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２に電圧を印加すると、各第２アクチュエータ２０２の第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄの圧電素子２２４，２２４に電圧が印加される。これにより、第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄは、圧電素子２２４を内側にして、ＳＯＩ基板Ｓの表面に対して上側に湾曲する。一方、第２ビーム２２２ａ，２２２ｃは、実質的に湾曲せず、略直線状に延びた状態のままである。つまり、図５に示すように、フレーム２０１から第２ビーム２２２ａがＳＯＩ基板Ｓの表面と平行に略直線状に延び、第１ビーム２２１ｂが第２ビーム２２２ａの先端部からが折り返して、上側へ反り上がるように延び、第１ビーム２２１ｂの先端部から第２ビーム２２２ｃが折り返して、略直線状に延び、第２ビーム２２２ｃの先端部から第１ビーム２２１ｄが折り返して、上側へ反り上がるように延びた状態となる。

さらに詳しくは、第１ビーム２２１ｂの先端部は、斜め上方へ向かって傾斜している。第１ビーム２２１ｂの先端部から折り返す第２ビーム２２２ｃは、第１ビーム２２１ｂの先端部と同じ傾きとなっている。つまり、第２ビーム２２２ｃは、斜め下方へ向かって、略直線状に延び、第２ビーム２２２ｃの先端部は、第１ビーム２２１ｂの基端部よりも下方、即ち、ＳＯＩ基板Ｓの表面よりも下方に位置する。第１ビーム２２１ｄの基端部は、第２ビーム２２２ｃと同じ傾きで、第２ビーム２２２ｃの先端部から折り返す。ここで、第１ビーム２２１ｄの曲率は、第１ビーム２２１ｂの曲率と略同じであるが、第１ビーム２２１ｂの基端部が、ＳＯＩ基板Ｓの表面と略平行であるのに対し、第１ビーム２２１ｄの基端部は、先端側へ向かって斜め上方に傾斜しているので、第１ビーム２２１ｄの先端部は、第１ビーム２２１ｂの先端部よりもさらに上方へ浮き上がる。

ここで、第２アクチュエータ２０２Ａと第２アクチュエータ２０２Ｂには同じ電圧が印加されているので、第２アクチュエータ２０２Ａの第１ビーム２２１ｄの先端部と、第２アクチュエータ２０２Ｂの第１ビーム２２１ｄの先端部とは、ＳＯＩ基板Ｓの表面から略同じ量だけ上昇した位置に位置している。その結果、第２ブレード２０４は、連結ビーム２４２，２４２が略同じ量だけ上昇するので、ブレード本体２４１が上方へ平行移動する。

尚、第１ビーム２２１ｄの先端部は、電圧印加前と比べて、Ｘ方向の内側に少しだけ変位するが、この変位はヒンジ２０３がＸ方向へ伸びることによって吸収される。

また、第２アクチュエータ２０２の第２ビーム２２２ａは、第２ブレード２０４の上昇にほとんど寄与しないため省略してもよいが、第２ビーム２２２ａが第１ビーム２２１ｂと対をなすことによって、前述の如く、第１ビーム２２１ｂの初期反り及び温度変化による反りをキャンセルする機能を有する。

このように構成された第１ユニット１００及び第２ユニット２００は、スペーサ３００，３００を介して重ね合わされている。スペーサ３００は、ガラスで形成されている。スペーサ３００は、図２，３に示すように、フレーム１０１の短辺及び長辺に沿って、平面視Ｌ字状に形成されている。ただし、一方のスペーサ３００の、フレーム１０１の長辺に沿う部分と、他方のスペーサ３００の、フレーム１０１の長辺に沿う部分とは、つながっておらず、間隔を空けて配置されている。

スペーサ３００，３００を設けることにより、図１，４に示すように、第１ユニット１００と第２ユニット２００との間にはそれらの積層方向において間隔が形成される。このとき、フレーム１０１とフレーム２０１との間には、フレーム１０１、フレーム２０１及び２つのスペーサ３００，３００により区画される開口３１０が形成される。この開口３１０を通過するように光路Ｌが設定される。

また、第２ユニット２００のうち、スペーサ３００，３００と反対の面にはベース４００が接合されている。ベース４００は、ガラスで形成されている。ベース４００は、概略長方形の枠状に形成されている。

こうして、第１ユニット１００と第２ユニット２００とを積層させた状態において、第１ユニット１００の第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２は、フレーム１０１のＺ方向上向きの面に配設され、第２ユニット２００の第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２は、フレーム２０１のＺ方向上向きの面に配設されている。また、第２ユニット２００の第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２が設けられている部分は、第１ユニット１００のフレーム１０１が切り欠かれて、第２ユニット２００のフレーム２０１が露出している部分である。そのため、第１ユニット１００と第２ユニット２００とを積層させた状態において、第２ユニット２００の第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２は、上方へ露出している。上部接続端子１１３と第２上部給電端子２１１とは、ワイヤボンディングにより接続される。下部接続端子１１４と第２下部給電端子２１２とは、ワイヤボンディングにより接続される。

第１ユニット１００の第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２に駆動電圧が給電されていないときには、第１ブレード１０４は、Ｚ方向においてフレーム１０１と略同じ位置に位置し、光路Ｌを遮断していない。同様に、第２ブレード２０４は、Ｚ方向においてフレーム２０１と略同じ位置に位置し、光路Ｌを遮断していない。このときの第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４の位置を、開通位置と称する。すなわち、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４が開通位置に位置するときには、光路Ｌが開通しており、第１ユニット１００と第２ユニット２００との間の光路Ｌを光が通過することができる。

一方、第１ユニット１００の第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２に駆動電圧が給電されると、第１ユニット１００の第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂ及び第２ユニット２００の第２アクチュエータ２０２Ａ，２０２Ｂに駆動電圧が印加される。第１ブレード１０４は、Ｚ方向下側、即ち、第２ユニット２００の方へ移動し、第２ブレード２０４は、Ｚ方向上側、即ち、第１ユニット１００の方へ移動する。最終的に、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４は、ブレード本体１４１とブレード本体２４１がオーバーラップする位置まで移動する。このときの第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４の位置を、遮断位置と称する。遮断位置においては、ブレード本体１４１の下端縁がブレード本体２４１の上端縁よりも下方に位置している。すなわち、Ｙ方向を向いて見たときに（光路Ｌの方向を向いて見たときに）ブレード本体１４１の下端部とブレード本体２４１の上端部とが重なり合っている。その結果、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４により光路Ｌが遮断される。尚、ブレード本体１４１の下端部とブレード本体２４１の上端部とは、Ｙ方向に隙間を有しており、干渉していない。

以上のように、シャッタ装置１０００は、第１ブレード１０４、及び第１ブレード１０４を駆動する第１アクチュエータ１０２，１０２を有する第１ユニット１００と、第２ブレード２０４、及び第２ブレード２０４を駆動する第２アクチュエータ２０２，２０２を有する第２ユニット２００とを備え、第１アクチュエータ１０２，１０２及び第２アクチュエータ２０２，２０２はそれぞれ、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有し、複数のビームは、該平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビーム１２１，２２１と、湾曲しないか又は第１ビーム１２１，２２１よりも湾曲が小さい第２ビーム１２２，２２２とを含み、第１ユニット１００と第２ユニット２００とは、前記平面と交差する方向に並んで配置されており、第１ブレード１０４は、第１アクチュエータ１０２において、第１ビーム１２１が湾曲するときに第２ユニット２００の方へ移動するように第１ビーム１２１又は第２ビーム１２２に連結され、第２ブレード２０４は、第２アクチュエータ２０２において、第１ビーム２２１が湾曲するときに第１ユニット１００の方へ移動するように第１ビーム２２１又は第２ビーム２２２に連結され、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４は、第１アクチュエータ１０２，１０２及び第２アクチュエータ２０２，２０２が第１ビーム１２１，２２１を湾曲させないときには互いに離間して光路Ｌを開通させる開通位置に位置する一方、第１アクチュエータ１０２，１０２及び第２アクチュエータ２０２，２０２が第１ビーム１２１，２２１を湾曲させるときには互いに接近して光路Ｌを遮断する遮断位置へ移動する。

この構成によれば、第１ブレード１０４と第２ブレード２０４とで光路Ｌを遮断するため、第１ブレード１０４を駆動する第１アクチュエータ１０２，１０２の駆動量及び第２ブレード２０４を駆動する第２アクチュエータ２０２，２０２の駆動量を、１つのブレードで光路Ｌを遮断する場合と比べてそれぞれ低減することができる。

この場合、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４を互いに接近する方向、即ち、反対向きに移動させる必要がある。前記の構成とすることで、第１アクチュエータ１０２と第２アクチュエータ２０２とを概ね同様の構成としつつ、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４を互いに反対向きに移動させることができる。

詳しくは、第１アクチュエータ１０２は、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有し、複数のビームは、該平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビーム１２１と、湾曲しないか又は第１ビーム１２１よりも湾曲が小さい第２ビーム１２２とを含む。第２アクチュエータ２０２は、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有し、複数のビームは、該平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビーム２２１と、湾曲しないか又は第１ビーム２２１よりも湾曲が小さい第２ビーム２２２とを含む。第１ユニット１００及び第２ユニット２００は、これらの点で構成が共通する。

第１ビーム１２１（２２１）と第２ビーム１２２（２２２）とが互いに折り返すように連結された構成においては、第１ビーム１２１（２２１）は湾曲する一方、第２ビーム１２２（２２２）は、湾曲しないか又は第１ビーム１２１（２２１）よりも湾曲が小さく、実質的に直線状に延びているので、第１ビーム１２１（２２１）及び第２ビーム１２２（２２２）それぞれの、連結部とは反対側の端部は、互いに離間した状態となる。

ここで、第１ビーム１２１を基準として、第１ビーム１２１から第２ビーム１２２が折り返している構成を見ると、第１ビーム１２１が所定の平面に対して一方の側へ湾曲すると、第１ビーム１２１と第２ビーム１２２との折り返し部分は、該平面よりも一方側に位置する。そして、第２ビーム１２２は、第１ビーム１２１から折り返し、第１ビーム１２１の折り返し部近傍の傾きと同じ傾きで実質的に直線状に延びている。そのため、第２ビーム１２２の先端部（連結部とは反対側の端部）は、該平面よりも他方側に位置する。つまり、第１ビーム１２１が湾曲することによって、第２ビーム１２２の先端部は、所定の平面よりも他方側に位置することになる。

一方、第２ビーム２２２を基準として、第２ビーム２２２から第１ビーム２２１が折り返している構成を見ると、第２ビーム２２２は、所定の平面内で実質的に直線状に延びている。そして、第２ビーム２２２から折り返す第１ビーム２２１が、該平面の一方側へ湾曲すると、第１ビーム２２１の先端部は、該平面よりも一方側に位置する。つまり、第１ビーム２２１が湾曲することによって、第１ビーム２２１の先端部は、所定の平面よりも一方側へ移動することになる。

このように、第１アクチュエータ１０２と第２アクチュエータ２０２を同様の構成とした場合であっても、第１ビーム１２１，２２１を湾曲させたときに、第１ビーム１２１，２２１と第２ビーム１２２，２２２とをそれぞれ、前記平面に対して反対側に移動させることができる。そこで、第１ユニット１００においては、第１ビーム１２１を湾曲させたときに第１ブレード１０４が第２ユニット２００の方へ移動するように第１ブレード１０４を第１ビーム１２１及び第２ビーム１２２に適宜、連結し、第２ユニット２００においては、第１ビーム２２１を湾曲させたときに第２ブレード２０４が第１ユニット１００の方へ移動するように第２ブレード２０４を第１ビーム２２１及び第２ビーム２２２に適宜、連結することによって、第１ブレード１０４と第２ブレード２０４とが互いに接近する方向に移動する構成を容易に実現することができる。

具体的には、第１ブレード１０４は、第１アクチュエータ１０２，１０２において第２ビーム１２２，１２２に連結され、第２ブレード２０４は、第２アクチュエータ２０２，２０２において第１ビーム２２１，２２１に連結されている。

この構成によれば、第１アクチュエータ１０２においては、第１ビーム１２１から第２ビーム１２２が折り返し、第２ビーム１２２に第１ブレード１０４が連結されている。そのため、第１ブレード１０４は、第１ビーム１２１が湾曲することによって、所定の平面よりも他方側に位置することになる。

一方、第２アクチュエータ２０２においては、第２ビーム２２２から第１ビーム２２１が折り返し、第１ビーム２２１に第２ブレード２０４が連結されている。そのため、第２ブレード２０４は、第１ビーム２２１が湾曲することによって、所定の平面よりも一方側に位置することになる。

こうして、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４を互いに反対向きに移動させることができる。この反対向きの移動が、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４が互いに接近する方向の移動となるように、第１ユニット１００と第２ユニット２００とを配置することによって、第１ブレード１０４と第２ブレード２０４とが互いに接近する方向に移動する構成を容易に実現することができる。

尚、第２ビーム１２２の先端から第１ビーム１２１と同様の構成のビームを折り返し、そのビームの先端に第１ブレード１０４を連結する構成であっても、該ビームの長さが短ければ、第１ビーム１２１が湾曲したときに第１ブレード１０４は所定の平面よりも他方側（第１ブレード１０４を第２ビーム１２２に直接連結する場合と同じ側）に移動する。このような場合、第２ビーム１２２の先端から折り返すビームは、第１ブレード１０４と第２ビーム１２２とを連結する連結部とみなすことができる。同様に、第１ビーム２２１の先端から第２ビーム２２２と同様の構成のビームを折り返し、そのビームの先端に第２ブレード２０４を連結する構成であっても、該ビームの長さが短ければ、第１ビーム２２１が湾曲したときに第２ブレード２０４は所定の平面よりも一方側（第２ブレード２０４を第１ビーム２２１に直接連結する場合と同じ側）に移動する。このような場合、第１ビーム２２１の先端から折り返すビームは、第２ブレード２０４と第１ビーム２２１とを連結する連結部とみなすことができる。つまり、ここで言う第１ビーム１２１、２２１は、第１ビーム１２１，２２１を湾曲させることによって第１ブレード１０４又は第２ブレード２０４を所定の平面よりも一方側へ移動させることができるビームであり、ここで言う第２ビーム１２２、２２２は、第１ビーム１２１，２２１を湾曲させることによって第１ブレード１０４又は第２ブレード２０４を所定の平面よりも他方側へ移動させることができるビームである。第１ブレード１０４又は第２ブレード２０４が所定の平面に対して移動する側を切り替えることに寄与しないビームは、単に第１ブレード１０４又は第２ブレード２０４の連結部に過ぎない。

また、第１アクチュエータ１０２及び第２アクチュエータ２０２のそれぞれにおいて、第１ビーム１２１，２２１と第２ビーム１２２，２２２とは、交互に連結されている。

すなわち、第１アクチュエータ１０２においては、第１ビーム１２１と第２ビーム１２２とが交互に連結され、第２アクチュエータ２０２においては、第１ビーム２２１と第２ビーム２２２とが交互に連結されている。

例えば、第１ビーム１２１，１２１同士が折り返している場合、両者は平行な状態のまま湾曲するので、一方の第１ビーム１２１から折り返した第１ビーム１２１の先端部は、一方の第１ビーム１２１の基端部と同じ位置に戻ってくる。つまり、アクチュエータの中に種類が同じビームが折り返す構成が含まれていてもよいが、そのような構成は、ブレードの移動にはほとんど寄与しない。それに対し、第１ビーム１２１（２２１）と第２ビーム１２２（２２２）とを折り返すように連結すると、前述の如く、第１ビーム１２１（２２１）及び第２ビーム１２２（２２２）の折り返し部とは反対側の端部は、互いに離間するようになる。つまり、ブレードの移動という観点では、各ビームを有効に活用することができる。

さらに、第１アクチュエータ１０２及び第２アクチュエータ２０２のそれぞれは、偶数本のビームを含んでいる。

折り返すように連結された２本のビームは、前述の如く、初期反り及び温度変化による反りを互いにキャンセルすることができる。各アクチュエータに含まれるビームの本数が偶数であれば、ビームは２本で１組の対ができあがるので、初期反り及び温度変化による反りを低減することができる。

尚、各アクチュエータに含まれるビームが偶数本の場合、第１ブレード１０４を第１ビーム１２１及び第２ビーム１２２の一方に連結し、第２ブレード２０４を第１ビーム２２１及び第２ビーム２２２の他方に連結するためには、第１アクチュエータ１０２及び第２アクチュエータ２０２の一方においては、ブレードから数えて偶数番目のビームが第１ビームであり、第１アクチュエータ１０２及び第２アクチュエータ２０２の他方においては、ブレードから数えて奇数番目のビームが第１ビームとなる。

また、第１ユニット１００及び第２ユニット２００は、互いに重ね合わせられている。ここで、重ね合わせられているとは、直接的に重ね合わせられていてもよいし、間接的に重ね合わせられていてもよい。

それに加えて、第１アクチュエータ１０２及び第２アクチュエータ２０２は、圧電効果により湾曲する圧電型アクチュエータであり、第１ユニット１００は、第１アクチュエータ１０２に印加する電圧が供給される第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２を有し、第２ユニット２００は、第２アクチュエータ２０２に印加する電圧が供給される第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２を有し、第１ユニット１００及び第２ユニット２００は、それぞれＳＯＩ基板Ｓから形成され、第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２は、第１ユニット１００のＳＯＩ基板Ｓの一の表面に設けられ、第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２は、第２ユニット２００のＳＯＩ基板Ｓのうち、前記第１ユニット１００の前記一の表面と同じ方向を向く表面に設けられている。

この構成によれば、第１ユニット１００の第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２と、第２ユニット２００の第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２が、それぞれのＳＯＩ基板Ｓにおいて同じ方向を向く面に設けられているので、配線の引き回しが容易になる。

さらに、第１アクチュエータ１０２及び２アクチュエータ２０２は、ＳＯＩ基板Ｓ上に圧電素子１２４，２２４を積層させた圧電型アクチュエータであり、第１アクチュエータ１０２の圧電素子１２４は、第１ユニット１００のＳＯＩ基板Ｓにおいて第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２が設けられた表面と同じ方向を向く表面に設けられ、第２アクチュエータ２０２の圧電素子２２４は、第２ユニット２００のＳＯＩ基板Ｓにおいて第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２が設けられた表面と同じ方向を向く表面に設けられている。

この構成によれば、第１ユニット１００において、圧電素子１２４と第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２とはＳＯＩ基板Ｓの同じ方向を向く表面に設けられているので、圧電素子１２４と第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２の成膜を容易に行うことができる。つまり、スパッタリング等によって成膜を行う場合、ＳＯＩ基板Ｓの向き等を変える必要がないので、成膜工程を簡易にすることができる。尚、本実施形態では、圧電素子１２４と第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２とはＳＯＩ基板Ｓの同じ表面に設けられている。

同様に、第２ユニット２００において、圧電素子２２４と第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２とはＳＯＩ基板Ｓの同じ方向を向く表面に設けられているので、圧電素子２２４と第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２の成膜を容易に行うことができる。つまり、スパッタリング等によって成膜を行う場合、ＳＯＩ基板Ｓの向き等を変える必要がないので、成膜工程を簡易にすることができる。尚、本実施形態では、圧電素子２２４と第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２とはＳＯＩ基板Ｓの同じ表面に設けられている。

このように、各ユニットにおいて圧電素子と端子とをＳＯＩ基板Ｓの同じ方向を向く面に設けると共に、第１ユニット１００と第２ユニット２００とを両方の端子が同じ方向を向くように重ね合わせる構成においては、第１ユニット１００において圧電素子１２４が設けられた面と、第２ユニット２００において圧電素子２２４が設けられた面とは、同じ方向を向くようになる。これにより、第１ユニット１００の第１ビーム１２１と、第２ユニット２００の第１ビーム２２１とは、同じ側に湾曲する。そのため、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４をそれぞれの第１ビーム１２１，２２１に連結すると、第１ビーム１２１，１２２を湾曲させても、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４は同じ側にしか移動しない。つまり、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４を互いに接近させて光路Ｌを遮断することができない。それに対し、前記の構成においては、第１ブレード１０４を第２ビーム１２２に連結し、第２ブレード２０４を第１ビーム２２１に連結することによって、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４を互いに接近する方向に移動させることができる。こうすることで、成膜及び配線の引き回しを容易にしつつ、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４を互いに接近する方向に移動させる構成を容易に実現することができる。

尚、第１ブレード１０４を第１ビーム１２１に連結し、第２ブレード２０４を第２ビーム２２２に連結するようにしてもよい。その場合には、第１ユニット１００に対して、第１ビーム１２１が湾曲する側に第２ユニット２００が配置される。

また、第１ユニット１００は、第１ブレード１０４と、第１ブレード１０４を駆動する第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂとを備え、第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂは、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有すると共に、折り返す２本のビームを１単位として該折り返す２本のビームを複数単位含んでおり、複数のビームは、前記平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビーム１２１と、湾曲しないか又は該第１ビーム１２１よりも湾曲が小さい第２ビーム１２２とを含み、第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂのうち折り返すように連結された複数のビームの先端部には、所定の回転軸１０３ａ回りに湾曲するヒンジ１０３を介して第１ブレード１０４が連結されており、一方のヒンジ１０３の回転軸１０３ａと他方のヒンジの回転軸１０３ａとは、一直線上に並ばないように配置されている。

この構成によれば、２つの第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂには、ヒンジ１０３，１０３を介して第１ブレード１０４が連結されており、２つの第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂによって第１ブレード１０４が駆動される。アクチュエータ１０２は、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有しており、複数のビームのうちの第１ビーム１２１が湾曲することによって第１ブレード１０４が駆動される。このとき、第１ブレード１０４がビーム１２１，１２２に直接連結されている場合には、第１ブレード１０４は、ビームのうち該第１ブレード１０４が連結された部分と同様の傾動角で傾動する（すなわち、一体的に傾動する）。しかしながら、前記の構成では、ビーム１２１，１２２と第１ブレード１０４とがヒンジ１０３を介して連結され、ヒンジ１０３が回転軸１０３ａ回りに湾曲する。そのため、ビームの傾動の一部はヒンジ１０３ａの湾曲により吸収され、第１ブレード１０４は、ビームのうち第１ブレード１０４が連結された部分とは必ずしも同様には傾動しない。

それに加え、第１アクチュエータ１０２Ａと第１ブレード１０４とを連結するヒンジ１０３の回転軸１０３ａと、第１アクチュエータ１０２Ｂと第１ブレード１０４とを連結するヒンジ１０３の回転軸１０３ａとが一直線上に並ばないように配置されている。そのため、第１ブレード１０４が一方のヒンジ１０３の回転軸１０３ａ回りに回転しようとしても、他方のヒンジ１０３が第１ブレード１０４のうち一方のヒンジ１０３の回転軸１０３ａ上にはない部分を支持しており、一方のヒンジ１０３の回転軸１０３ａ回りの第１ブレード１０４の回転を規制する。同様に、第１ブレード１０４が他方のヒンジ１０３の回転軸１３０ａ回りに回転しようとする場合には、一方のヒンジ１０３が第１ブレード１０４の回転を規制する。こうして、第１ブレード１０４は、一方のヒンジ１０３の回転軸１０３ａ回りにも、他方のヒンジ１０３の回転軸１０３ａ回りにも回転し難くなる。これらの結果、第１ブレード１０４を２つの第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂで駆動する際に平行移動させ易くなる（即ち、第１ブレード１０４の姿勢を維持したまま移動させ易くなる）。

尚、第２ユニット２００、第１ユニット５００及び第２ユニット６００も同様の構成をしており、同様の作用効果を奏する。

《発明の実施形態２》
続いて、実施形態２に係るシャッタ装置２０００について説明する。

シャッタ装置２０００は、第１ユニット５００と、第２ユニット６００と、第１ユニット５００と第２ユニット６００との間に介設されたスペーサ７００，７００と、第２ユニット６００を支持するベース８００とを備えている。シャッタ装置２０００は、第１ユニット５００と第２ユニット６００との間を通過する光路Ｌを遮断及び開通させる。シャッタ装置２０００は、第１ユニット５００及び第２ユニット６００のそれぞれにおいて、２つのアクチュエータが長方形のフレーム内で長手方向に並列されている点で、２つのアクチュエータが長方形のフレーム内で短手方向に並列されているシャッタ装置１０００と異なる。シャッタ装置２０００の各要素の基本的な構成は、シャッタ装置１０００と同様である。

図８は、第１ユニット５００の平面図であり、図９は、第１ユニット５００を部分的に拡大した平面図であり、図１０は、図９のＸ−Ｘ線における第１ユニット５００及び第２ユニット６００の断面図である。図１１は、フレームを省略した第１ユニット５００の斜視図である。

第１ユニット５００は、ＳＯＩ基板Ｓを用いて製造されている。第１ユニット５００は、フレーム５０１と、フレーム５０１に連結された２つの第１アクチュエータ５０２，５０２と、２つの第１アクチュエータ５０２，５０２にそれぞれヒンジ５０３，５０３を介して連結された第１ブレード５０４とを有している。尚、２つの第１アクチュエータ５０２，５０２を区別するときには、符号を変えて、それぞれ第１アクチュエータ５０２Ａ、第１アクチュエータ５０２Ｂと称する。図８，９において、第１アクチュエータ５０２Ａが右側に位置し、第１アクチュエータ５０２Ｂが左側に位置している。第１ユニット５００は、駆動装置の一例である。

フレーム５０１は、概略長方形の枠状に形成されている。ただし、フレーム５０１は、完全に閉じた枠状ではなく、一部が切り欠かれて、開いた形状をしている。以下、説明の便宜上、フレーム５０１の長手方向をＸ方向、フレーム５０１の短手方向をＹ方向、フレーム５０１の厚み方向をＺ方向と称する。尚、Ｘ方向において、図８，９における左側を左側、図８，９における右側を右側と称することもある。Ｙ方向において、図８、９における上側を前側、図８，９における下側を後側と称することもある。Ｚ方向において、第１シリコン層ｓ１側を上側、第２シリコン層ｓ３側を下側と称することもある。

２つの第１アクチュエータ５０２Ａ，５０２Ｂは、フレーム５０１内において、Ｘ方向に並んで配置されている。各第１アクチュエータ５０２は、基端部がフレーム５０１に連結され、先端部が自由端となるカンチレバー構造をしている。自由端となる先端部に、第１ブレード５０４が連結されている。各第１アクチュエータ５０２は、ＳＯＩ基板Ｓの主面内で折り返すように連結された６本のビームを有している。６本のビームは、主面に対して一方の側へ湾曲する３本の第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅと、湾曲しないか又は該第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅよりも湾曲が小さい３本の第２ビーム５２２ｂ，５２２ｄ，５２２ｆとを含んでいる。第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅと第２ビーム５２２ｂ，５２２ｄ，５２２ｆとは、交互に連結されている。第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅ及び第２ビーム５２２ｂ，５２２ｄ，５２２ｆは、互いに平行に配列されている。尚、第１ビーム５２１ａと第１ビーム５２１ｃと第１ビーム５２１ｅとを区別しないときには、単に第１ビーム５２１と称する。また、第２ビーム５２２ｂと第２ビーム５２２ｄと第２ビーム５２２ｆとを区別しないときには、単に第２ビーム５２２と称する。

詳しくは、第１アクチュエータ５０２Ａにおいて、第１ビーム５２１ａの基端部がフレーム５０１のＸ方向の右端部に固定され、第１ビーム５２１ａは、Ｘ方向の左側へ向かってフレーム５０１のＸ方向略中央まで延びている。第１ビーム５２１ａの先端部には、第２ビーム５２２ｂが連結されている。第２ビーム５２２ｂは、第１ビーム５２１ａから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム５２２ｂの先端部には、第１ビーム５２１ｃが連結されている。第１ビーム５２１ｃは、第２ビーム５２２ｂから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かってフレーム５０１のＸ方向略中央まで延びている。第１ビーム５２１ｃの先端部には、第２ビーム５２２ｄが連結されている。第２ビーム５２２ｄは、第１ビーム５２１ｃから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム５２２ｄの先端部には、第１ビーム５２１ｅが連結されている。第１ビーム５２１ｅは、第２ビーム５２２ｄから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かってフレーム５０１のＸ方向略中央まで延びている。第１ビーム５２１ｅの先端部には、第２ビーム５２２ｆが連結されている。第２ビーム５２２ｆは、第１ビーム５２１ｅから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム５２２ｆの先端部には、ヒンジ５０３を介して第１ブレード５０４が連結されている。

一方、第１アクチュエータ５０２Ｂにおいて、第１ビーム５２１ａの基端部がフレーム５０１のＸ方向略中央部に固定され、第１ビーム５２１ａは、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム５２１ａの先端部には、第２ビーム５２２ｂが連結されている。第２ビーム５２２ｂは、第１ビーム５２１ａから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かってフレーム５０１のＸ方向略中央まで延びている。第２ビーム５２２ｂの先端部には、第１ビーム５２１ｃが連結されている。第１ビーム５２１ｃは、第２ビーム５２２ｂから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム５２１ｃの先端部には、第２ビーム５２２ｄが連結されている。第２ビーム５２２ｄは、第１ビーム５２１ｃから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かってフレーム５０１のＸ方向略中央まで延びている。第２ビーム５２２ｄの先端部には、第１ビーム５２１ｅが連結されている。第１ビーム５２１ｅは、第２ビーム５２２ｄから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム５２１ｅの先端部には、第２ビーム５２２ｆが連結されている。第２ビーム５２２ｆは、第１ビーム５２１ｅから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かってフレーム５０１のＸ方向略中央まで延びている。第２ビーム５２２ｆの先端部には、ヒンジ５０３を介して第１ブレード５０４が連結されている。

第１ビーム５２１は、シャッタ装置１０００の第１ビーム１２１と同様の構成をしている。すなわち、第１ビーム５２１は、ビーム本体５２３と、ＳｉＯ_２膜５２８を介してビーム本体５２３の表面に積層された圧電素子５２４とを有している。

また、第２ビーム５２２は、シャッタ装置１０００の第２ビーム１２２と同様の構成をしている。すなわち、第２ビーム５２２は、ビーム本体５２３と、ＳｉＯ_２膜５２８を介してビーム本体５２３の表面に積層されたダミー膜５２９とを有している。尚、第２ビーム５２２ｂ，５２２ｄのダミー膜５２９は、シャッタ装置１０００の第２ビーム１２２ｂと同じタイプである。つまり、ダミー膜５２９の上部電極５２７は、ダミー上部電極５２７ａ，５２７ｃと、第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅの上部電極５２７と導通する配線パターン５２７ｂとを有している。一方、第２ビーム５２２ｆのダミー膜５２９は、シャッタ装置１０００の第２ビーム１２２ｄと同じタイプである。つまり、ダミー膜５２９の上部電極５２７は、圧電素子５２４の上部電極５２７と同様の構成をしている。

第１ブレード５０４は、ブレード本体５４１と、ヒンジ５０３，５０３を介して第１アクチュエータ５０２Ａ，５０２Ｂに連結される連結ビーム５４２，５４２とを有している。第１ブレード５０４は、移動体の一例である。

ブレード本体５４１は、フレーム５０１内のＸ方向略中央において、その厚み方向がＹ方向に一致するように配置されている。ブレード本体５４１の一方の表面（Ｙ方向前側を向く面であり、光路の入射側を向く面）には、Ａｕ膜５４３が成膜されている。

連結ビーム５４２は、Ｘ方向に延びる棒状に形成されている。連結ビーム５４２，５４２は、ブレード本体５４１のＺ方向の一方の端縁の両端部からＸ方向に延びている。ここで、第１アクチュエータ５０２Ａの第２ビーム５２２ｆの先端部は、Ｘ方向の右端部に位置するのに対し、第２アクチュエータ５０２Ｂの第２ビーム５２２ｆの先端部は、Ｘ方向略中央部に位置する。そのため、第１アクチュエータ５０２Ａの第２ビーム５２２ｆに連結される連結ビーム５４２は長く、第１アクチュエータ５０２Ｂの第２ビーム５２２ｆに連結される連結ビーム５４２は短くなっている。

ヒンジ５０３は、シャッタ装置１０００のヒンジ１０３と同様の構成をしている。ヒンジ５０３は、直線部に沿ってＹ方向に延びる回転軸５０３ａ回りに湾曲しやすくなっている。ヒンジ５０３は、連結部の一例である。

フレーム５０１には、第１アクチュエータ５０２の第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅの上部電極５２７に電気的に接続された第１上部給電端子５１１と、第１アクチュエータ５０２の第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅの下部電極５２５に電気的に接続された第１下部給電端子５１２と、配線を介して第１上部給電端子５１１と電気的に接続された上部接続端子５１３と、配線を介して第１下部給電端子５１２と電気的に接続された下部接続端子５１４とが設けられている。第１上部給電端子５１１からは、第１アクチュエータ５０２Ａ，５０２Ｂの第１ビーム５２１ａ，５２１ａまで配線が延びている。フレーム５０１のＳｉＯ_２膜５２８上には、部分的に、下部電極５２５及び圧電体層５２６が積層され、圧電体層５２６上に第１上部給電端子５１１、第１下部給電端子５１２、上部接続端子５１３、下部接続端子５１４及び配線が設けられている。ただし、下部接続端子５１４が設けられている圧電体層５２６には、下部電極５２５に達する開口（図８において破線で図示）が形成されている。下部接続端子５１４は、この開口を覆うように設けられており、下部電極５２５と電気的に接続されている。これら第１上部給電端子５１１及び第１下部給電端子５１２は、第１端子の一例である。

続いて、このように構成された第１ユニット５００の動作について説明する。図１４に、第１ビームを湾曲させたときの第１ユニットの斜視図を示す。

第１上部給電端子５１１及び第１下部給電端子５１２に電圧を印加すると、各第１アクチュエータ５０２の第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅの圧電素子５２４，５２４，５２４に電圧が印加される。これにより、第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅは、圧電素子５２４を内側にして、ＳＯＩ基板Ｓの表面に対して上側に湾曲する。一方、第２ビーム５２２ｂ，５２２ｄ，５２２ｆは、実質的に湾曲せず、略直線状に延びた状態のままである。つまり、フレーム５０１から第１ビーム５２１ａが上側へ反り上がるように延び、第１ビーム５２１ａの先端部から第２ビーム５２２ｂが折り返して、略直線状に延び、第２ビーム５２２ｂの先端部から第１ビーム５２１ｃが折り返して、上側へ反り上がるように延び、第１ビーム５２１ｃの先端部から第２ビーム５２２ｄが折り返して、略直線状に延び、第２ビーム５２２ｄの先端部から第１ビーム５２１ｅが折り返して、上側へ反り上がるように延び、第１ビーム５２１ｅの先端部から第２ビーム５２２ｆが折り返して、略直線状に延びた状態となる。

さらに詳しくは、第１ビーム５２１ａの先端部は、斜め上方へ向かって傾斜している。第１ビーム５２１ａの先端部から折り返す第２ビーム５２２ｂは、第１ビーム５２１ａの先端部と同じ傾きとなっている。つまり、第２ビーム５２２ｂは、斜め下方へ向かって、略直線状に延び、第２ビーム５２２ｂの先端部は、第１ビーム５２１ａの基端部よりも下方、即ち、ＳＯＩ基板Ｓの表面よりも下方に位置する。第１ビーム５２１ｃの基端部は、第２ビーム５２２ｂと同じ傾きで、第２ビーム５２２ｂの先端部から折り返す。ここで、第１ビーム５２１ｃの曲率は、第１ビーム５２１ａの曲率と略同じであるが、第１ビーム５２１ａの基端部が、ＳＯＩ基板Ｓの表面と略平行であるのに対し、第１ビーム５２１ｃの基端部は、先端側へ向かって斜め上方に傾斜しているので、第１ビーム５２１ｃの先端部は、第１ビーム５２１ａの先端部よりもさらに上方へ浮き上がる。さらに、第１ビーム５２１ｃの先端部は、第１ビーム５２１ａの先端部よりもさらに斜め上方へ傾いた状態となる（即ち、ＳＯＩ基板Ｓの表面に対する傾斜角が大きくなる）。そして、第２ビーム５２２ｄは、第１ビーム５２１ｃの先端部と同じ傾きで第１ビーム５２１ｃの先端部から折り返す。その結果、第２ビーム５２２ｄは、第２ビーム５２２ｂよりも大きな傾斜角で斜め下方へ延び、第２ビーム５２２ｄの先端部は、第２ビーム５２２ｂの先端部よりも下方に位置する。第１ビーム５２１ｅの基端部は、第２ビーム５２２ｄと同じ傾きで、第２ビーム５２２ｄの先端部から折り返す。ここで、第１ビーム５２１ｅの曲率は、第１ビーム５２１ｃの曲率と略同じであるが、第１ビーム５２１ｅの基端部は、第１ビーム５２１ｃの基端部よりも傾斜がきついので、第１ビーム５２１ｅの先端部は、第１ビーム５２１ｃの先端部よりもさらに上方へ浮き上がる。さらに、第１ビーム５２１ｅの先端部は、第１ビーム５２１ｃの先端部よりもさらに斜め上方へ傾いた状態となる（即ち、ＳＯＩ基板Ｓの表面に対する傾斜角が大きくなる）。そして、第２ビーム５２２ｆは、第１ビーム５２１ｅの先端部と同じ傾きで第１ビーム５２１ｅの先端部から折り返す。その結果、第２ビーム５２２ｆは、第２ビーム５２２ｄよりも大きな傾斜角で斜め下方へ延び、第２ビーム５２２ｆの先端部は、第２ビーム５２２ｄの先端部よりも下方に位置する。

ここで、第１アクチュエータ５０２Ａと第１アクチュエータ５０２Ｂには同じ電圧が印加されているので、第１アクチュエータ５０２Ａの第２ビーム５２２ｆの先端部と、第１アクチュエータ５０２Ｂの第２ビーム５２２ｆの先端部とは、ＳＯＩ基板Ｓの表面から略同じ量だけ下降した位置に位置している。その結果、第１ブレード５０４は、連結ビーム５４２，５４２が略同じ量だけ下降するので、ブレード本体５４１が下方へ平行移動する。

続いて、第２ユニット６００について説明する。第２ユニット６００の基本的な構成は、第１ユニット５００と同様である。第１ユニット５００の要素には、５００番台の符号を付しているのに対し、第２ユニット６００の要素には、６００番台の符号を付している。第１ユニット５００の要素と第２ユニット６００の要素とで、十の位以下の符号が同じ要素は同様の機能を有する。以下では、第２ユニット６００のうち、第１ユニット５００と異なる部分を中心に説明する。図１２に、第２ユニット６００の平面図を示し、図１３に、第２ユニット６００を部分的に拡大した平面図を示す。

第２ユニット６００は、ＳＯＩ基板Ｓを用いて製造されている。第２ユニット６００は、フレーム６０１と、フレーム６０１に連結された２つの第２アクチュエータ６０２，６０２と、２つの第２アクチュエータ６０２，６０２にそれぞれヒンジ６０３，６０３を介して連結された第２ブレード６０４とを有している。尚、２つの第２アクチュエータ６０２，６０２を区別するときには、符号を変えて、それぞれ第２アクチュエータ６０２Ａ、第２アクチュエータ６０２Ｂと称する。図１２，１３において、第２アクチュエータ６０２Ａが右側に位置し、第２アクチュエータ６０２Ｂが左側に位置している。第２ユニット６００は、駆動装置の一例である。

フレーム６０１は、概略長方形の枠状に形成されている。フレーム６０１は、フレーム５０１とは異なり、完全に閉じた枠状に形成されている。以下、説明の便宜上、フレーム６０１の長手方向をＸ方向、フレーム６０１の短手方向をＹ方向、フレーム６０１の厚み方向をＺ方向と称する。尚、Ｘ方向において、図１２，１３における左側を左側、図１２，１３における右側を右側と称することもある。Ｙ方向において、図１２，１３における上側を前側、図１２，１３における下側を後側と称することもある。Ｚ方向において、第１シリコン層ｓ１側を上側、第２シリコン層ｓ３側を下側と称することもある。

２つの第２アクチュエータ６０２Ａ，６０２Ｂは、フレーム６０１内において、Ｘ方向に並んで配置されている。各第２アクチュエータ６０２は、基端部がフレーム６０１に連結され、先端部が自由端となるカンチレバー構造をしている。自由端となる先端部に、第２ブレード６０４が連結されている。各第２アクチュエータ６０２は、ＳＯＩ基板Ｓの主面内で折り返すように連結された６本のビームを有している。６本のビームは、主面に対して一方の側へ湾曲する３本の第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆと、湾曲しないか又は該第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆよりも湾曲が小さい３本の第２ビーム６２２ａ，６２２ｃ，６２２ｅとを含んでいる。第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆと第２ビーム６２２ａ，６２２ｃ，６２２ｅとは、交互に連結されている。第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆ及び第２ビーム６２２ａ，６２２ｃ，６２２ｅは、互いに平行に配列されている。尚、第１ビーム６２１ｂと第１ビーム６２１ｄと第１ビーム６２１ｆとを区別しないときには、単に第１ビーム６２１と称する。また、第２ビーム６２２ａと第２ビーム６２２ｃ第２ビーム６２２ｅとを区別しないときには、単に第２ビーム６２２と称する。

詳しくは、第２アクチュエータ６０２Ａにおいて、第２ビーム６２２ａの基端部がフレーム６０１のＸ方向の略中央に固定され、第２ビーム６２２ａは、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム６２２ａの先端部には、第１ビーム６２１ｂが連結されている。第１ビーム６２１ｂは、第２ビーム６２２ａから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かってフレーム６０１のＸ方向略中央まで延びている。第１ビーム６２１ｂの先端部には、第２ビーム６２２ｃが連結されている。第２ビーム６２２ｃは、第１ビーム６２１ｂから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム６２２ｃの先端部には、第１ビーム６２１ｄが連結されている。第１ビーム６２１ｄは、第２ビーム６２２ｃから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かってフレーム６０１のＸ方向略中央まで延びている。第１ビーム６２１ｄの先端部には、第２ビーム６２２ｅが連結されている。第２ビーム６２２ｅは、第１ビーム６２１ｄから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム６２２ｅの先端部には、第１ビーム６２１ｆが連結されている。第１ビーム６２１ｆは、第２ビーム６２２ｅから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かってフレーム６０１のＸ方向略中央まで延びている。第１ビーム６２１ｆの先端部には、ヒンジ６０３を介して第２ブレード６０４が連結されている。

一方、第２アクチュエータ６０２Ｂにおいて、第２ビーム６２２ａの基端部がフレーム６０１のＸ方向の左端部に固定され、第２ビーム６２２ａは、Ｘ方向の右側へ向かってフレーム６０１のＸ方向略中央まで延びている。第２ビーム６２２ａの先端部には、第１ビーム６２１ｂが連結されている。第１ビーム６２１ｂは、第２ビーム６２２ａから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム６２１ｂの先端部には、第２ビーム６２２ｃが連結されている。第２ビーム６２２ｃは、第１ビーム６２１ｂから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かってフレーム６０１のＸ方向略中央まで延びている。第２ビーム６２２ｃの先端部には、第１ビーム６２１ｄが連結されている。第１ビーム６２１ｄは、第２ビーム６２２ｃから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム６２１ｄの先端部には、第２ビーム６２２ｅが連結されている。第２ビーム６２２ｅは、第１ビーム６２１ｄから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かってフレーム６０１のＸ方向略中央まで延びている。第２ビーム６２２ｅの先端部には、第１ビーム６２１ｆが連結されている。第１ビーム６２１ｆは、第２ビーム６２２ｅから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム６２１ｆの先端部には、ヒンジ６０３を介して第２ブレード６０４が連結されている。

第１ビーム６２１は、シャッタ装置１０００の第１ビーム１２１と同様の構成をしている。すなわち、第１ビーム６２１は、ビーム本体６２３と、ＳｉＯ_２膜６２８を介してビーム本体６２３の表面に積層された圧電素子６２４とを有している。

また、第２ビーム６２２は、シャッタ装置１０００の第２ビーム１２２と同様の構成をしている。すなわち、第２ビーム６２２は、ビーム本体６２３と、ＳｉＯ_２膜６２８を介してビーム本体６２３の表面に積層されたダミー膜６２９とを有している。ダミー膜６２９は、シャッタ装置１０００の第２ビーム１２２ｂと同じタイプである。つまり、ダミー膜６２９の上部電極６２７は、ダミー上部電極６２７ａ，６２７ｃと、第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆの上部電極６２７と導通する配線パターン６２７ｂとを有している。

第２ブレード６０４は、ブレード本体６４１と、ヒンジ６０３，６０３を介して第２アクチュエータ６０２Ａ，６０２Ｂに連結される連結ビーム６４２，６４２とを有している。第２ブレード６０４は、移動体の一例である。

ブレード本体６４１は、フレーム６０１内のＸ方向略中央において、その厚み方向がＹ方向に一致するように配置されている。ブレード本体６４１の一方の表面（Ｙ方向前側を向く面であり、光路の入射側を向く面）には、Ａｕ膜６４３が成膜されている。

連結ビーム６４２は、Ｘ方向に延びる棒状に形成されている。連結ビーム６４２，６４２は、ブレード本体６４１のＺ方向の一方の端縁の両端部からＸ方向に延びている。ここで、第２アクチュエータ６０２Ａの第１ビーム６２１ｆの先端部は、Ｘ方向略中央部に位置するのに対し、第２アクチュエータ６０２Ｂの第１ビーム６２１ｆの先端部は、Ｘ方向の左端部に位置する。そのため、第２アクチュエータ６０２Ａの第１ビーム６２１ｆに連結される連結ビーム６４２は短く、第２アクチュエータ６０２Ｂの第１ビーム６２１ｆに連結される連結ビーム６４２は長くなっている。

ヒンジ６０３は、シャッタ装置１０００のヒンジ１０３と同様の構成をしている。ヒンジ６０３は、直線部に沿ってＹ方向に延びる回転軸６０３ａ回りに湾曲しやすくなっている。ヒンジ６０３は、連結部の一例である。

フレーム６０１には、第２アクチュエータ６０２の第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆの上部電極６２７に電気的に接続された第２上部給電端子６１１と、第２アクチュエータ６０２の第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆの下部電極６２５に電気的に接続された第２下部給電端子６１２とが設けられている。第２上部給電端子６１１からは、第２アクチュエータ６０２Ａ，６０２Ｂの第２ビーム６２２ａ，６２２ａの配線パターン６２７ｂ，６２７ｂまで配線が延びている。フレーム６０１のＳｉＯ_２膜６２８上には、部分的に、下部電極６２５及び圧電体層６２６が積層され、圧電体層６２６上に第２上部給電端子６１１、第２下部給電端子６１２及び配線が設けられている。ただし、第２下部給電端子６１２が設けられている圧電体層６２６には、下部電極６２５に達する開口（図１２において破線で図示）が形成されている。第２下部給電端子６１２は、この開口を覆うように設けられており、下部電極６２５と電気的に接続されている。これら第２上部給電端子６１１及び第２下部給電端子６１２は、第２端子の一例である。

続いて、このように構成された第２ユニット６００の動作について説明する。

第２上部給電端子６１１及び第２下部給電端子６１２に電圧を印加すると、各第２アクチュエータ６０２の第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆの圧電素子６２４，６２４，６２４に電圧が印加される。これにより、第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆは、圧電素子６２４を内側にして、ＳＯＩ基板Ｓの表面に対して上側に湾曲する。一方、第２ビーム６２２ａ，６２２ｃ，６２２ｅは、実質的に湾曲せず、略直線状に延びた状態のままである。つまり、フレーム６０１から第２ビーム６２２ａがＳＯＩ基板Ｓの表面と平行に略直線状に延び、第１ビーム６２１ｂが第２ビーム６２２ａの先端部からが折り返して、上側へ反り上がるように延び、第１ビーム６２１ｂの先端部から第２ビーム６２２ｃが折り返して、略直線状に延び、第２ビーム６２２ｃの先端部から第１ビーム６２１ｄが折り返して、上側へ反り上がるように延び、第１ビーム６２１ｄの先端部から第２ビーム６２２ｅが折り返して、略直線状に延び、第２ビーム６２２ｅの先端部から第１ビーム６２１ｆが折り返して、上側へ反り上がるように延びた状態となる。

さらに詳しくは、第１ビーム６２１ｂの先端部は、斜め上方へ向かって傾斜している。第１ビーム６２１ｂの先端部から折り返す第２ビーム６２２ｃは、第１ビーム６２１ｂの先端部と同じ傾きとなっている。つまり、第２ビーム６２２ｃは、斜め下方へ向かって、略直線状に延び、第２ビーム６２２ｃの先端部は、第１ビーム６２１ｂの基端部よりも下方、即ち、ＳＯＩ基板Ｓの表面よりも下方に位置する。第１ビーム６２１ｄの基端部は、第２ビーム６２２ｃと同じ傾きで、第２ビーム６２２ｃの先端部から折り返す。ここで、第１ビーム６２１ｄの曲率は、第１ビーム６２１ｂの曲率と略同じであるが、第１ビーム６２１ｂの基端部が、ＳＯＩ基板Ｓの表面と略平行であるのに対し、第１ビーム６２１ｄの基端部は、先端側へ向かって斜め上方に傾斜しているので、第１ビーム６２１ｄの先端部は、第１ビーム６２１ｂの先端部よりもさらに上方へ浮き上がる。さらに、第１ビーム６２１ｄの先端部は、第１ビーム６２１ｂの先端部よりもさらに斜め上方へ傾いた状態となる（即ち、ＳＯＩ基板Ｓの表面に対する傾斜角が大きくなる）。そして、第２ビーム６２２ｅは、第１ビーム６２１ｄの先端部と同じ傾きで第１ビーム６２１ｄの先端部から折り返す。その結果、第２ビーム６２２ｅは、第２ビーム６２２ｃよりも大きな傾斜角で斜め下方へ延び、第２ビーム６２２ｅの先端部は、第２ビーム６２２ｃの先端部よりも下方に位置する。第１ビーム６２１ｆの基端部は、第２ビーム６２２ｅと同じ傾きで、第２ビーム６２２ｅの先端部から折り返す。ここで、第１ビーム６２１ｆの曲率は、第１ビーム６２１ｄの曲率と略同じであるが、第１ビーム６２１ｆの基端部は、第１ビーム６２１ｄの基端部よりも傾斜がきついので、第１ビーム６２１ｆの先端部は、第１ビーム６２１ｄの先端部よりもさらに上方へ浮き上がる。

ここで、第２アクチュエータ６０２Ａと第２アクチュエータ６０２Ｂには同じ電圧が印加されているので、第２アクチュエータ６０２Ａの第１ビーム６２１ｆの先端部と、第２アクチュエータ６０２Ｂの第１ビーム６２１ｆの先端部とは、ＳＯＩ基板Ｓの表面から略同じ量だけ上昇した位置に位置している。その結果、第２ブレード６０４は、連結ビーム６４２，６４２が略同じ量だけ上昇するので、ブレード本体６４１が上方へ平行移動する。

尚、第２アクチュエータ６０２の第２ビーム６２２ａは、第２ブレード６０４の上昇にほとんど寄与しないため省略してもよいが、第２ビーム６２２ａが第１ビーム６２１ｂと対をなすことによって、前述の如く、第１ビーム６２１ｂの初期反り及び温度変化による反りをキャンセルする機能を有する。

このように構成された第１ユニット５００及び第２ユニット６００は、スペーサ７００，７００を介して重ね合わされている。スペーサ７００は、ガラスで形成されている。スペーサ７００は、図８，１２に示すように、フレーム６０１の短辺から両方の長辺に亘って延び、平面視略Ｃ字状に形成されている。ただし、２つのスペーサ７００，７００は、つながっておらず、フレーム６０１の長辺においては、一方のスペーサ７００と他方のスペーサ７００との間に間隔が形成されている。

スペーサ７００，７００を設けることにより、第１ユニット５００と第２ユニット６００との間にはそれらの積層方向において間隔が形成される。このとき、フレーム５０１とフレーム６０１との間には、フレーム５０１、フレーム６０１及び２つのスペーサ７００，７００により区画される開口７１０が形成される。この開口７１０を通過するように光路Ｌが設定される。

また、第２ユニット６００のうち、スペーサ７００，７００と反対の面にはベース８００が接合されている。ベース８００は、ガラスで形成されている。ベース８００は、概略長方形の枠状に形成されている。

こうして、第１ユニット５００と第２ユニット６００とを積層させた状態において、第１ユニット５００の第１上部給電端子５１１及び第１下部給電端子５１２は、フレーム５０１のＺ方向上向きの面に配設され、第２ユニット６００の第２上部給電端子６１１及び第２下部給電端子６１２は、フレーム６０１のＺ方向上向きの面に配設されている。また、第２ユニット６００の第２上部給電端子６１１及び第２下部給電端子６１２が設けられている部分は、第１ユニット５００のフレーム５０１が切り欠かれて、第２ユニット６００のフレーム６０１が露出している部分である。そのため、第１ユニット５００と第２ユニット６００とを積層させた状態において、第２ユニット６００の第２上部給電端子６１１及び第２下部給電端子６１２は、上方へ露出している。上部接続端子５１３と第２上部給電端子６１１とは、ワイヤボンディングにより接続される。下部接続端子５１４と第２下部給電端子６１２とは、ワイヤボンディングにより接続される。

第１ユニット５００の第１上部給電端子５１１及び第１下部給電端子５１２に駆動電圧が給電されていないときには、第１ブレード５０４は、Ｚ方向においてフレーム５０１と略同じ位置に位置し、光路Ｌを遮断していない。同様に、第２ブレード６０４は、Ｚ方向においてフレーム６０１と略同じ位置に位置し、光路Ｌを遮断していない。このときの第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４の位置を、開通位置と称する。すなわち、第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４が開通位置に位置するときには、光路Ｌが開通しており、第１ユニット５００と第２ユニット６００との間の光路Ｌを光が通過することができる。

一方、第１ユニット５００の第１上部給電端子５１１及び第１下部給電端子５１２に駆動電圧が給電されると、第１ユニット５００の第１アクチュエータ５０２Ａ，５０２Ｂ及び第２ユニット６００の第２アクチュエータ６０２Ａ，６０２Ｂに駆動電圧が印加される。第１ブレード５０４は、Ｚ方向下側、即ち、第２ユニット６００の方へ移動し、第２ブレード６０４は、Ｚ方向上側、即ち、第１ユニット５００の方へ移動する。最終的に、第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４は、ブレード本体５４１とブレード本体６４１がオーバーラップする位置まで移動する。このときの第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４の位置を、遮断位置と称する。遮断位置においては、ブレード本体５４１の下端縁がブレード本体６４１の上端縁よりも下方に位置している。すなわち、Ｙ方向を向いて見たときに（光路Ｌの方向を向いて見たときに）ブレード本体５４１の下端部とブレード本体６４１の上端部とが重なり合っている。その結果、第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４により光路Ｌが遮断される。尚、ブレード本体５４１とブレード本体６４１とは、Ｙ方向に隙間を有しており、干渉していない。

以上のように、シャッタ装置２０００は、第１ブレード５０４、及び第１ブレード５０４を駆動する第１アクチュエータ５０２，５０２を有する第１ユニット５００と、第２ブレード６０４、及び第２ブレード６０４を駆動する第２アクチュエータ６０２，６０２を有する第２ユニット６００とを備え、第１アクチュエータ５０２，５０２及び第２アクチュエータ６０２，６０２はそれぞれ、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有し、複数のビームは、該平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビーム５２１，６２１と、湾曲しないか又は第１ビーム５２１，６２１よりも湾曲が小さい第２ビーム５２２，６２２とを含み、第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４は、第１アクチュエータ５０２，５０２及び第２アクチュエータ６０２，６０２が第１ビーム５２１，６２１を湾曲させないときには互いに離間して光路Ｌを開通させる開通位置に位置する一方、第１アクチュエータ５０２，５０２及び第２アクチュエータ６０２，６０２が第１ビーム５２１，６２１を湾曲させるときには互いに接近して光路Ｌを遮断する遮断位置へ移動し、第１ブレード５０４は、第１アクチュエータ５０２，５０２において第２ビーム５２２，５２２に連結され、第２ブレード６０４は、第２アクチュエータ６０２，６０２において第１ビーム６２１，６２１に連結されている。

この構成によれば、第１ブレード５０４と第２ブレード６０４とで光路Ｌを遮断するため、第１ブレード５０４を駆動する第１アクチュエータ５０２，５０２の駆動量及び第２ブレード６０４を駆動する第２アクチュエータ６０２，６０２の駆動量を、１つのブレードで光路Ｌを遮断する場合と比べてそれぞれ低減することができる。

そして、第１アクチュエータ５０２と第２アクチュエータ６０２を同様の構成とした場合であっても、第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４を連結するビームを、第２ビーム５２２と第１ビーム６２１とで異ならせることによって、第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４を互いに反対向きに移動させることができる。この反対向きの移動が互いに接近する方向の移動となるように、第１ユニット５００と第２ユニット６００とを配置することによって、第１ブレード５０４と第２ブレード６０４とが互いに接近する方向に移動する構成を容易に実現することができる。

また、ユニットにおいて圧電素子と端子とをＳＯＩ基板Ｓの同じ方向を向く面に設けると共に、第１ユニット５００と第２ユニット６００とを両方の給電端子が同じ方向を向くように重ね合わせる構成において、第１ブレード５０４を第２ビーム５２２に連結し、第２ブレード６０４を第１ビーム６２１に連結することによって、第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４を互いに接近する方向に移動させることができる。こうすることで、成膜及び配線の引き回しを容易にしつつ、第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４を互いに接近する方向に移動させる構成を容易に実現することができる。

尚、第１ブレード５０４を第１ビーム５２１に連結し、第２ブレード６０４を第２ビーム６２２に連結するようにしてもよい。その場合には、第１ユニット５００に対して、第１ビーム５２１が湾曲する側に第２ユニット６００が配置される。

《その他の実施形態》
以上のように、本出願において開示する技術の例示として、前記実施形態を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、適宜、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用可能である。また、上記実施形態で説明した各構成要素を組み合わせて、新たな実施の形態とすることも可能である。また、添付図面および詳細な説明に記載された構成要素の中には、課題解決のために必須な構成要素だけでなく、上記技術を例示するために、課題解決のためには必須でない構成要素も含まれ得る。そのため、それらの必須ではない構成要素が添付図面や詳細な説明に記載されていることをもって、直ちに、それらの必須ではない構成要素が必須であるとの認定をするべきではない。

前記実施形態について、以下のような構成としてもよい。

前記実施形態における形状、寸法、材質は、例示に過ぎず、これらに限られるものではない。例えば、ブレード本体１４１，２４１，５４１，６４１は、略方形でなくてもよく、略円形や三角形や五角形の多角形であってもよい。また、ブレード本体１４１，２４１，５４１，６４１の表面には、入射側を向く面にＡｕ膜が成膜されているが、対象光を遮光する膜であれば、Ａｕ膜に限られない。また、この遮光性を有する膜は、ブレード本体１４１，２４１，５４１，６４１の表面のうち入射側を向く面ではなく、出射側を向く面に成膜されていてもよく、入射側を向く面と出射側を向く面との両方の面に成膜されていてもよい。

また、各アクチュエータの構成は、前記の構成に限られるものではない。例えば、各アクチュエータに含まれるビームの本数は、第１ビームと第２ビームとを少なくとも１本ずつ含む限り、任意に設定することができる。また、第１ビームと第２ビームとは、交互に配列されているものに限らず、第１ビーム、第２ビーム、第２ビーム、第２ビーム、第１ビームのように、何れかのビームが連続して連結された構成であってもよい。さらに、各アクチュエータに含まれるビームの本数は、奇数であってもよい。さらにまた、第１アクチュエータ１０２と第２アクチュエータ２０２とで、ビームの本数が異なっていてもよい。同様に、第１アクチュエータ５０２と第２アクチュエータ６０２とで、ビームの本数が異なっていてもよい。

また、前記実施形態では、第２ビーム１２２，２２２，５２２，６２２にダミー膜１２９，２２９，５２９，６２９を設けているが、省略してもよい。

また、各アクチュエータは、圧電効果により湾曲する圧電型アクチュエータであるが、これに限られるものではない。例えば、各アクチュエータは、熱膨張率の異なる材料を重ね合わせたビームで構成され、熱膨張率の差によって湾曲する熱型アクチュエータであってもよい。

さらに、スペーサ３００，７００は、ガラスで形成されるものに限られない。スペーサ３００，７００は、シリコンで形成されていてもよい。また、ベース４００，８００は、ガラスで形成されるものに限られない。ベース４００，８００は、シリコンで形成されていてもよい。これらスペーサ３００，７００及びベース４００，８００がシリコンで形成される場合、第１ユニット１００，５００及び第２ユニット２００，６００とスペーサ３００，７００及びベース４００，８００との接合は、接着剤によりなされる。スペーサ３００，７００及びベース４００，８００がガラスで形成されている場合には、第１ユニット１００，５００及び第２ユニット２００，６００とスペーサ３００，７００及びベース４００，８００とは、陽極接合により接合され得る。それに対し、スペーサ３００，７００及びベース４００，８００がシリコンで形成される場合には、第１ユニット１００，５００及び第２ユニット２００，６００とスペーサ３００，７００及びベース４００，８００とは、接着剤により接合することができるので、第１ユニット１００，５００及び第２ユニット２００，６００の第１アクチュエータ１０２，５０２及び第２アクチュエータ２０２，６０２が高電界に晒されることを防止することができる。

《上部電極の変形例》
次に、上部電極の変形例について実施形態１を例に説明する。図３，４に示すように、第２ビーム１２２ｂの上部電極１２７は、他のビーム（第１ビーム１２１ａ，１２１ｃと第２ビーム１２２ｄ）の上部電極１２７とは形状及び表面積が異なっている。このため、第２ビーム１２２ｂの上部電極１２７に他のビームの上部電極１２７とは異なる膜応力が加わって、第２ビーム１２２ｂと他のビームとで初期反り及び温度変化による反りが十分にキャンセルできなくなり、第１ブレード１０４（図１参照）の初期高さの位置合わせ精度が低下してしまうおそれがある。

そこで、以下に例示するように、アクチュエータを構成するすべてのビームで上部電極の形状及び表面積が同じになるようにしてもよい。

図１５は、変形例に係る上部電極を有するアクチュエータの平面図である。上述したように、実施形態１に係る第１アクチュエータ１０２は、第１ビーム１２１ａ、第２ビーム１２２ｂ、第１ビーム１２１ｃ、第２ビーム１２２ｄが基端部を左右に入れ替えながら交互に連結されてなる。

第２ビーム１２２ｂの上部電極１２７は、第１ビーム１２１ａの上部電極１２７及び第１ビーム１２１ｃの上部電極１２７と絶縁された、ダミー上部電極１２７ａと、第１ビーム１２１ａの上部電極１２７及び第１ビーム１２１ｃの上部電極１２７と導通する配線パターン１２７ｂとを有している。ダミー上部電極１２７ａと配線パターン１２７ｂとは、互いに絶縁されている。配線パターン１２７ｂは十分に細く、それに対してダミー上部電極１２７ａは十分に太い。

第１ビーム１２１ａの上部電極１２７及び第１ビーム１２１ｃの上部電極１２７は、いずれも、第１上部電極１２７ｄと、第２上部電極１２７ｅとを有している。第１上部電極１２７ｄと第２上部電極１２７ｅとは一端部で連結されている。第１上部電極１２７ｄは十分に細く、第２ビーム１２２ｂの配線パターン１２７ｂと同じ太さである。これに対して、第２上部電極１２７ｅは十分に太く、第２ビーム１２２ｂのダミー上部電極１２７ａと同じ太さである。

第２ビーム１２２ｄの上部電極１２７は、第１ビーム１２１ａの上部電極１２７及び第１ビーム１２１ｃの上部電極１２７と絶縁された、第１ダミー上部電極１２７ｆ及び第２ダミー上部電極１２７ｇを有している。第１ダミー上部電極１２７ｆと第２ダミー上部電極１２７ｇとは一端部で連結されている。第１ダミー上部電極１２７ｆは十分に細く、第２ビーム１２２ｂの配線パターン１２７ｂと同じ太さである。これに対して、第２ダミー上部電極１２７ｇは十分に太く、第２ビーム１２２ｂのダミー上部電極１２７ａと同じ太さである。

このように前記変形例では、いずれのビームも上位電極１２７の形状が同じ、すなわち、上部電極１２７が細い電極（第１ビーム１２１ａ，１２１ｃでは第１上部電極１２７ｄ、第２ビーム１２２ｂでは配線パターン１２７ｂ、第２ビーム１２２ｄでは第２ダミー上部電極１２７ｆ）と、太い電極（第１ビーム１２１ａ，１２１ｃでは第２上部電極１２７ｅ、第２ビーム１２２ｂではダミー上部電極１２７ａ、第２ビーム１２２ｄでは第１ダミー上部電極１２７ｇ）とが並列に配置されてなる。これにより、すべてのビームで上部電極１２７の形状及び表面積が同じになり、複数のビームの初期反り及び温度変化による反りをキャンセルして、第１ブレード１０４（図１参照）の初期高さの位置合わせ精度を向上させることができる。

なお、第１ビーム１２１ａ，１２１ｃにおいて、第１上部電極１２７ｄと第２上部電極１２７ｅとを中央部で連結してもよいし、両端部の２箇所で連結してもよいし、あるいは第１上部電極１２７ｄと第２上部電極１２７ｅとを連結せずに第１上部電極１２７ｄを第２上部電極１２７ｅと絶縁してもよい。同様に、第２ビーム１２２ｄにおいて、第１ダミー上部電極１２７ｆと第２ダミー上部電極１２７ｇとを中央部で連結してもよいし、両端部の２箇所で連結してもよいし、あるいは第１ダミー上部電極１２７ｆと第２ダミー上部電極１２７ｇとを連結しなくてもよい。

また、各ビームの上部電極１２７を構成する細い電極と太い電極の配置位置は任意である。例えば、第２ビーム１２２ｄにおいて、図１３における上側に第１ダミー上部電極１２７ｆを、下側に第２ダミー上部電極１２７ｇを、それぞれ配置しているが、これを逆にして、上側に第２ダミー上部電極１２７ｇを、下側に第１ダミー上部電極１２７ｆを、それぞれ配置してもよい。

ところで、第２ビーム１２２ｂのダミー上部電極１２７ａ及び第２ビーム１２２ｄの上部電極１２７は他の電極から絶縁されたフロート電極であるため、電荷が蓄積されると電荷の逃げ場がない。特に、第２ビーム１２２ｂのダミー上部電極１２７ａ及び第２ビーム１２２ｄの第２ダミー上部電極１２７ｇの表面積は比較的大きいため、製造時に電荷が蓄積されやすい。そして、これらダミー上部電極に電荷が蓄積されると、ダミー上部電極と下部電極１２５（図４参照）との間で電位差が生じて第１ビーム１２１ａ，１２１ｃと第２ビーム１２２ｂ，１２２ｄとで初期反りが十分にキャンセルできなくなり、第１ブレード１０４（図１参照）の初期高さの位置合わせ精度が低下してしまうおそれがある。

そこで、第２ビーム１２２ｂのダミー上部電極１２７ａ及び第２ビーム１２２ｄの第２ダミー上部電極１２７ｇと下部電極１２５（図４参照）とを電気的に接続して、これらダミー上部電極に電荷が蓄積されない、あるいは蓄積されても放電可能にしてもよい。

図１６は、別の変形例に係る上部電極を有するアクチュエータの平面図である。図１６に示した第１アクチュエータ１０２は、図１５に示した第１アクチュエータ１０２における第２ビーム１２２ｂのダミー上部電極１２７ａ及び第２ビーム１２２ｄの第２ダミー上部電極１２７ｇの中央部分に、下部電極１２５（図４参照）に達する開口（コンタクト１２０）を設けたものである。

コンタクト１２０は、例えば次のようにして形成することができる。まず、圧電体層１２６（図４参照）の成膜後に、ウェットエッチング等の方法により圧電体層１２６の一部に、下部電極１２５（図４参照）に達する孔を空ける。その後、上部電極１２７をスパッタリング等の方法により成膜する。これにより、ダミー上部電極１２７ａ及び第２ダミー上部電極１２７ｇに、下部電極１２５（図４参照）にまで達するコンタクト１２０が形成される。

このように、コンタクト１２０を設けることで、第２ビーム１２２ｂのダミー上部電極１２７ａ及び第２ビーム１２２ｄの第２ダミー上部電極１２７ｇは下部電極１２５（図４参照）と電気的に接続されてグランド電位となる。これにより、製造時や使用時にこれらダミー上部電極に電極が蓄積されなくなり、あるいは蓄積されても放電可能になって、複数のビームの初期反り及び温度変化による反りをキャンセルして、第１ブレード１０４（図１参照）の初期高さの位置合わせ精度を向上させることができる。

なお、コンタクト１２０は、各ダミー上部電極に１個あればよい。また、各ダミー上部電極においてコンタクト１２０の配置箇所は任意である。コンタクト１２０の形状及び大きさも任意である。例えば、コンタクト１２０を円形にしてもよい。

上述した上部電極１２７の変形例は、実施形態１の第１アクチュエータ１０２以外に、実施形態１の第２アクチュエータ２０２（図７参照）及び実施形態２の第１アクチュエータ５０２（図９参照）及び第２アクチュエータ６０２（図１３参照）にも適用可能である。

以上説明したように、ここに開示された技術は、シャッタ装置について有用である。

１０００ シャッタ装置
１００ 第１ユニット
１１１ 第１上部給電端子（第１端子）
１１２ 第１下部給電端子（第２端子）
１０２Ａ，１０２Ｂ 第１アクチュエータ
１２１ａ，１２１ｃ 第１ビーム
１２２ｂ，１２２ｄ 第２ビーム
１２４ 圧電素子
１０４ 第１ブレード
２００ 第２ユニット
２１１ 第２上部給電端子（第１端子）
２１２ 第２下部給電端子（第２端子）
２０２Ａ，２０２Ｂ 第２アクチュエータ
２２１ｂ，２２１ｄ 第１ビーム
２２２ａ，２２２ｃ 第２ビーム
２２４ 圧電素子
２０４ 第２ブレード
２０００ シャッタ装置
５００ 第１ユニット
５１１ 第１上部給電端子（第１端子）
５１２ 第１下部給電端子（第２端子）
５０２Ａ，５０２Ｂ 第１アクチュエータ
５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅ 第１ビーム
５２２ｂ，５２２ｄ，５２２ｆ 第２ビーム
５２４ 圧電素子
５０４ 第１ブレード
６００ 第２ユニット
６１１ 第２上部給電端子（第１端子）
６１２ 第２下部給電端子（第２端子）
６０２Ａ，６０２Ｂ 第２アクチュエータ
６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆ 第１ビーム
６２２ａ，６２２ｃ，６２２ｅ 第２ビーム
６２４ 圧電素子
６０４ 第２ブレード
Ｌ 光路
Ｓ ＳＯＩ基板（基板）

Claims (8)

1. 所定の光路を遮断及び開通させるシャッタ装置であって、
   第１ブレード、及び該第１ブレードを駆動する第１アクチュエータを有する第１ユニットと、
   第２ブレード、及び該第２ブレードを駆動する第２アクチュエータを有する第２ユニットとを備え、
   前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータはそれぞれ、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有し、
   前記複数のビームは、前記平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビームと、湾曲しないか又は該第１ビームよりも湾曲が小さい第２ビームとを含み、
   前記第１ユニットと前記第２ユニットとは、前記平面と交差する方向に並んで配置されており、
   前記第１ブレードは、前記第１アクチュエータにおいて、前記第１ビームが湾曲するときに前記第２ユニットの方へ移動するように前記第１ビーム又は前記第２ビームに連結され、
   前記第２ブレードは、前記第２アクチュエータにおいて、前記第１ビームが湾曲するときに前記第１ユニットの方へ移動するように前記第１ビーム又は前記第２ビームに連結され、
   前記第１ブレード及び前記第２ブレードは、前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータが前記第１ビームを湾曲させないときには互いに離間して前記光路を開通させる開通位置に位置する一方、前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータが前記第１ビームを湾曲させるときには互いに接近して前記光路を遮断する遮断位置へ移動するシャッタ装置。
2. 請求項１に記載のシャッタ装置において、
   前記第１ブレードは、前記第１アクチュエータにおいて前記第１ビーム及び前記第２ビームの一方に連結され、
   前記第２ブレードは、前記第２アクチュエータにおいて前記第１ビーム及び前記第２ビームの他方に連結されているシャッタ装置。
3. 請求項１又は２に記載のシャッタ装置において、
   前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータのそれぞれにおいて、前記第１ビームと前記第２ビームとは、交互に連結されているシャッタ装置。
4. 請求項１乃至３の何れか１つに記載のシャッタ装置において、
   前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータのそれぞれは、偶数本のビームを含むシャッタ装置。
5. 請求項１乃至４の何れか１つに記載のシャッタ装置において、
   前記第１ユニット及び前記第２ユニットは、互いに重ね合わせられているシャッタ装置。
6. 請求項５に記載のシャッタ装置において、
   前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータは、圧電効果により湾曲する圧電型アクチュエータ又は熱膨張率の差によって湾曲する熱型アクチュエータであり、
   前記第１ユニットは、前記第１アクチュエータに印加する電圧が供給される第１端子を有し、
   前記第２ユニットは、前記第２アクチュエータに印加する電圧が供給される第２端子を有し、
   前記第１ユニット及び前記第２ユニットは、それぞれ基板から形成され、
   前記第１端子は、前記第１ユニットの基板の一の表面に設けられ、
   前記第２端子は、前記第２ユニットの基板のうち、前記第１ユニットの前記一の表面と同じ方向を向く表面に設けられているシャッタ装置。
7. 請求項６に記載のシャッタ装置において、
   前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータは、基板上に圧電素子を積層させた圧電型アクチュエータであり、
   前記第１アクチュエータの前記圧電素子は、前記第１ユニットの基板において前記第１端子が設けられた表面と同じ方向を向く表面に設けられ、
   前記第２アクチュエータの前記圧電素子は、前記第２ユニットの基板において前記第２端子が設けられた表面と同じ方向を向く表面に設けられているシャッタ装置。
8. 移動体と、
   前記移動体を駆動する２つのアクチュエータとを備えた駆動装置であって、
   前記アクチュエータは、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有すると共に、折り返す２本のビームを１単位として該折り返す２本のビームを複数単位含んでおり、
   前記複数のビームは、前記平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビームと、湾曲しないか又は該第１ビームよりも湾曲が小さい第２ビームとを含み、
   前記アクチュエータのうち前記折り返すように連結された複数のビームの先端部には、所定の回転軸回りに湾曲する連結部を介して前記移動体が連結されており、
   一方の前記連結部の前記回転軸と他方の前記連結部の前記回転軸とは、一直線上に並ばないように配置されている駆動装置。

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