JP5967351B2

JP5967351B2 - 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置

Info

Publication number: JP5967351B2
Application number: JP2012017355A
Authority: JP
Inventors: 中尾　元; 元中尾
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2012-01-30
Filing date: 2012-01-30
Publication date: 2016-08-10
Anticipated expiration: 2032-01-30
Also published as: US8678559B2; JP2013154555A; US20130194360A1; CN103223775A; CN103223775B

Description

本発明は液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関し、特に流路部材の途中に気泡室を有するものに適用して有用なものである。

液滴を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、インク滴をノズル開口から吐出するヘッド本体（ヘッドケース、流路ユニット及び振動子ユニットで構成されたヘッド本体）と、ヘッド本体に固定されてインクが貯留された液体貯留部であるインクカートリッジからのインクを各ヘッド本体に供給する共通の流路部材とを具備するものが提案されている。

かかるインクジェット式記録ヘッドでは、インクカートリッジ内のインクが流路部材のインク流路を介してヘッド本体に供給される。流路部材には、インクに含まれる気泡を貯留する気泡室と、気泡室の下流側のフィルターとが設けられており、気泡室に気泡をトラップすることで、気泡がフィルターを塞いでフィルターの有効面積を減少させる等の不具合などを抑制している（例えば、特許文献１参照）。

しかしながら、気泡室内の気泡は、次第に成長して大きくなるので、過度に成長した気泡はヘッドクリーニングにより定期的に除去している。

一方、気泡室内で成長して体積が増大する気泡は、周囲温度の変化による気体膨脹、飽和水蒸気圧の変化、インクに対する空気の溶解度の変化等が原因となってさらに膨張する。この結果、インク流路内のインクの圧力が上昇し、インク流路内の圧力がノズル開口におけるインクのメニスカス耐圧を超えた場合にはメニスカスを破壊してしまう。

なお、ノズル開口を介しての液滴の吐出時には、上記のようなメニスカス破壊は問題とならない。吐出の度に液体流路内の圧力が負圧になり、気泡室内の気泡の体積増加による流路内の圧力上昇が抑制されるからである。また、周辺温度の低下により気泡室内の気泡の体積が減少したときには、インクカートリッジよりインクが供給されるため流路内の圧力低下によるメニスカス破壊は生じない。したがって、吐出を停止した状態での放置時間内における周囲温度の変化がメニスカス破壊の原因となる。

特開２００７−２６０９４８号公報

上述の如き原因によりメニスカスが破壊された場合には、ノズル開口からのインク漏れにより記録媒体を汚損してしまったり、良好な印字結果が得られない等の問題を生起する。

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在し、また、液体噴射ヘッド以外の用いられる流路部材においても同様に存在する。

本発明は、上記従来技術に鑑み、気泡室内の気泡の体積増加により上昇する液体流路内の圧力上昇を吸収してノズル開口におけるメニスカスの破壊を未然に防止することができる液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、圧力発生室に発生する圧力によりノズル開口を介して液滴を吐出するヘッド本体と、液体貯留部から供給される液体を一方の開口から他方の開口に向けて流通させるとともに、他方の開口を介して前記液体を前記ヘッド本体に供給する液体流路と、該液体流路の途中に形成されて気泡が滞留される気泡室とを有する流路部材とを備えた液体噴射ヘッドであって、前記気泡室の上流側に前記気泡室内の気泡の体積変化に応じて変位するコンプライアンス部を形成するとともに、該コンプライアンス部の変位によるコンプライアンス部における体積の変化量が、周囲温度変化による前記気泡の体積の変化量よりも大きくなるように形成したことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
本態様によれば、環境温度の変化に伴う空気の体積変化、飽和水蒸気圧の変化および空気の溶解度の変化に伴う気泡室内の気泡の体積の増加分をコンプライアンス部における体積変化により吸収することができる。この結果、ノズル開口のメニスカスに作用する圧力をその耐圧以下に維持することができ、その破壊を未然に防止することができる。したがって、メニスカス破壊に伴うノズル開口からのインク漏れも防止することができる。
さらに、本態様によれば、従来、メニスカス耐圧との関係で最大容積が規定されていた気泡バッファー室の容積を大きくすることができる。このため、気泡バッファー室で成長した気泡を抜くため定期的に必要とされるヘッドクリーニングの間隔を長くすることもできる。

ここで、前記コンプライアンス部の変位量は、第１の温度から、前記第１の温度よりも高温の第２の温度へ変化した場合における前記液体流路内の圧力が、前記ノズル開口に形成される液体のメニスカスの耐圧よりも小さくなるように設定するのが望ましい。このことにより、確実にメニスカスの破壊を防止することができる。

また、前記コンプライアンス部は、前記流路部材における前記液体流路の途中に配設することができる。これにより、流路部材の内部で気泡の体積増大による圧力変化を吸収し得る。この場合、前記液体流路の開閉を前記液体流路内の圧力変動を利用して行う自己封止弁を前記流路部材における前記気泡室の上流側に配設するとともに、一方の面に大気圧を作用させ、他方の面に液体流路内の圧力を作用させることにより前記自己封止弁が開閉するように変位するフィルムを利用して前記コンプライアンス部を形成するのが望ましい。この場合には、自己封止弁を開閉するための前記フィルムを気泡室の気泡の体積増大による圧力変動の吸収要素としても兼用し得るので、その分合理的な構造とすることができ、流路部材の小型化に資することができる。

一方、前記コンプライアンス部は、前記液体貯留部または該液体貯留部から前記流路部材に至る供給路の途中に配設されていても良い。この場合でも気泡室の上流側で気泡室における気泡の体積変化を吸収し得るからである。

本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを有することを特徴とする液体噴射装置にある。
本態様によれば、周囲温度の変化に伴う気泡室内の気泡の体積上昇の影響を除去して当該液体噴射ヘッドにより作成されるメディアの品質向上を図ることができる。かかる効果は、吐出動作を停止して長期間放置し、周囲温度の変化に伴う気泡の体積上昇が大きい場合に特に顕著に発揮される。
また、流路部材における気泡バッファーの容積を大きくすることができるため、気泡バッファー室で成長した気泡を抜くため定期的に必要とされるヘッドクリーニングの間隔を長くすることもでき、その分印刷等の所定の作業の作業効率を向上させることができる。

本発明の実施の形態に係る記録ヘッドの断面図である。気泡体積と放置後温度との関係を示す特性図である。本発明の実施の形態におけるヘッド本体の一例を示す断面図である。本発明の実施の形態に係る記録装置の概略斜視図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
図１は本発明の実施の形態に係る記録ヘッドを概念的に示す説明図である。同図に示すように、本形態に係るインクジェット式記録ヘッド１０（以下、記録ヘッドともいう）は、インクが貯留されたタンクからなる貯留手段（図１には図示せず）からインク供給チューブ１００を介してインクが供給される流路部材２００と、流路部材２００を介して供給されたインクをノズル開口１３を介して吐出するヘッド本体３００とを具備する。

流路部材２００は、それぞれ薄板状に形成された定形性を有する流路形成体としての圧力室部品２１０、第１の流路部品２２０、第２の流路部品２３０及び略矩形板状をなす保護板２４０を備えている。そして、流路部材２００は、図中下から上へ順次に、第２の流路部品２３０、第１の流路部品２２０、圧力室部品２１０となるように積層され、さらに圧力室部品２１０の上に保護板２４０が重ね合わせられることにより一体的に構成されている。

これらのうち、保護板２４０は、圧力室部品２１０の上面に当接させて固定されており、圧力室部品２１０側に開口する凹部となっている空間２４１を有しており、空間２４１が大気開放されている。また、保護板２４０の開口には空間２４１を覆うように可撓性を有する薄膜状のフィルム部材である封止フィルム２４２が熱溶着されて空間２４１を閉塞している。また、封止フィルム２４２は内方側（図中下方側）へ最初から少しドーム状に撓んだ形態となるように加圧成形を施されて保護板２４０に固着されている。

圧力室部品２１０は、平面視矩形状をなす樹脂製板材であり、その表面側には保護板２４０と対応する溝状流路２１１が長手方向へ伸びるように形成されている。この溝状流路２１１は、圧力室部品２１０上に保護板２４０が積層方向に接合された場合、保護板２４０に固着された封止フィルム２４２によって上方の開口部が封止されることにより、封止フィルム２４２との間に圧力室を形成するようになっている。かかる溝状流路２１１の一端側（図では左端側）には小径の流入口２１４が貫通形成されるとともに、他端側（図では右端側）には流出口２１５が貫通形成されている。さらに、圧力室部品２１０の図中左端部には、インク供給チューブ１００の下流端が接続される液体入口２１６が貫通形成されている。

圧力室部品２１０の表面側には、作動レバーを構成する弾性片２５０が溝状流路２１１に対応するように装着されている。ここで、弾性片２５０は図中左端部が圧力室部品２１０に固着してある。すなわち、作動レバーとして機能する弾性片２５０が溝状流路２１１内の上方位置で片持ち梁状をなす取付態様となって圧力室部品２１０に組み付けられている。

一方、圧力室部品２１０の図中下面側において流入口２１４と対応する位置には、上部バルブ収容部２１７Ａが対応する流入口２１４を中心に位置させるようにして形成されている。

第１の流路部品２２０には、液体入口２１６を介して流入したインク中の異物を除去するフィルター２５１が配設されており、さらにフィルター２５１を通過したインクを、上部バルブ収容部２１７Ａと一体となってバルブ収容部２１７を形成する下部バルブ収容部２１７Ｂを介して溝状流路２１１に導入する流路２２１が形成されている。また、第１の流路部品２２０の流出口２１５に対応する位置には気泡室２２３の上部となる上部気泡室２２３Ａが形成してある。

第２の流路部品２３０には気泡室２２３の下部となる下部気泡室２２３Ｂが形成してあり、その下流側にフィルター２５２が配設してある。フィルター２５２は上流側のフィルター２５１で捕捉できなかった異物を捕捉する。すなわち、フィルター２５２の目の粗さはヘッド本体３００のノズル開口１３の径よりも小さな異物を捕捉できるように設定されており、流路部材２００から下流側に供給されたインクがノズル開口１３の上流端を閉塞するという弊害を未然に防止する。ちなみに、フィルター２５２を通過したインクは流路２３１を介してヘッド本体３００の流路２４に導入される。

かくして流路部材２００には、液体貯留手段から供給されるインクを一方の開口を形成する液体入口２１６から他方の開口を形成する流路２３１に向けてインクを流通させる液体入口２１６、流路２２１、バルブ収容部２１７、流入口２１４、溝状流路２１１、流出口２１５、気泡室２２３および流路２３１でインク流通路を形成している。

バルブ収容部２１７には弁体２５３およびバネ２５５が収納されている。ここで、弁体２５３はバネ２５５で図中上方向に付勢されている。この結果、通常時は弁体２５３で流路２２１と溝状流路２１１との間の流入口２１４が弁体２５３で閉塞されている。弁体２５３の中央部には図中上方に伸びて先端部が弾性片２５０に下方から当接しているロッド２５４が一体的に固着してある。

かくして、弁体２５３で流入口２１４を閉塞した状態でノズル開口１３を介してインク滴を吐出させると弁体２５３よりも下流側の溝状流路２１１等の内圧が負圧になる。この結果、空間２４１を介して封止フィルム２４２に作用する大気圧により封止フィルム２４２が弾性片２５０を溝状流路２１１側に押圧する。このように、片持ち梁状の弾性片２５０がバネ２５５のバネ力に抗して図中下方に押圧されることにより流入口２１４が開口され、上流側から流入口２１４を介して溝状流路２１１およびその下流のインク流路内にインクが充填される結果、溝状流路２１１内の内圧が上昇する。この結果、バネ２５５のバネ力により封止フィルム２４２と一体的に弁体２５３が押し上げられ、流入口２１４を再度閉塞する。以下、インク滴の吐出ごとに同様の動作を繰り返す。すなわち、弁体２５３、ロッド２５４、バネ２５５、弾性片２５０、封止フィルム２４２でインク滴の吐出ごとに自動的に弁体２５３で流入口２１４を開閉させる自己封止弁を構成している。

気泡室２２３は、インク中に溶け込んでいる気泡等に起因して成長する気泡をトラップすることで、フィルター２５２の有効面積を確保し、気泡でフィルター２５２が閉塞されるのを防止するよう、フィルター２５２の上流側に配設されている。ただ、気泡室２２３の気泡の体積が増加した場合には、気泡の体積増加により自己封止弁が閉じられた状態での溝状流路２１１から下流側のインク流路内の内圧が上昇し、この内圧がノズル開口１３におけるメニスカスの耐圧を超えるとメニスカスが破壊されノズル開口１３を介してインクが外部に漏出する。ここで、気泡室２２３にトラップされている気泡の体積は周囲温度により変化する。そこで、本形態では、周囲温度の変化に伴う気泡の体積膨張を封止フィルム２４２の変位により吸収するように構成してある。すなわち、本形態における封止フィルム２４２は、自己封止弁の構成要素として大気圧と溝状流路２１１等、インク流路内の内圧との差圧により流入口２１４の開閉動作を行うばかりでなく、図中に点線で示すように膨張することで、気泡室２２３内の気泡の体積上昇に伴う圧力上昇を吸収するコンプライアンス部としても機能するように構成してある。すなわち、本形態における封止フィルム２４２は、前述の如く、内方側（図中下方側）へ最初から少しドーム状に撓んだ形態となるように加圧成形を施されて保護板２４０に固着されているので、周囲温度の上昇にともない気泡の体積が増加してもインク流路内の内圧を一定に保持することができる。この場合、気泡の体積はシャルルの法則にしたがい周囲温度に比例して増大するが、かかる体積増加は封止フィルム２４２の膨張により吸収される。

圧力一定で気泡の体積上昇を吸収し得る上限の周囲温度を超えて温度が上昇した場合、気泡の体積増加に伴う圧力上昇は封止フィルム２４２の弾性変形に伴う膨張により吸収させることができる。ただ、この場合の弾性変形に伴う反力は溝状流路２１１等のインク流路内のインクに作用するので、この圧力がメニスカス耐圧以下になるように構成しておくことが肝要である。最も、当該記録ヘッド１０の最小動作保証温度から最大動作保証温度まで周囲温度が変化する最も過酷な温度変化を想定して、この間の温度変化に対する気泡の体積増加を封止フィルム２４２が吸収し得るように構成しておけば問題はない。ここで、最小動作保証温度は、例えば０℃〜１０℃程度、最大動作保証温度は、例えば５０℃〜６０℃とすることができる。

要は、本形態では封止フィルム２４２で兼用するコンプライアンス部の変位量が、所定の第１の温度から、第１の温度よりも高温の所定の第２の温度に変化した場合における前記インク流路内の圧力が、ノズル開口１３に形成されるメニスカスの耐圧よりも小さくなるように構成すれば良い。

ここで、封止フィルム２４２で吸収すべき気泡の体積上昇分を具体例に基づき考察する。この場合の入力パラメーターを表１に、出力パラメーターを表２にそれぞれ示す。

表２において気泡膨張体積ΔＶは、封止フィルム２４２（コンプライアンス部）の膨張により吸収し得る範囲では圧力一定として、シャルルの法則を適用した。溶存空気排出は、溶出する気体体積（溶解度差）の体積として算出した。ただし、溶存空気排出の影響は他のパラメーターに対し小さいので、場合によっては無視しても良い。飽和水蒸気差は、飽和水蒸気圧の差分だけ、空気中の水蒸気分圧が上昇することに起因する量である。ここで、空気以外のその他の気体の量は不変であるため、水蒸気分圧が増加した分だけ、体積が上昇する。水蒸気体積増分は、前記分圧差で発生した水蒸気を体積変換した量である。

表２を参照すれば明らかな通り、本例における気体膨張体積ΔＶと溶存空気排出と水蒸気体積増分との和である気体増加は、２５．６ｍｍ^３、この結果、気泡初期体積Ｖ０と気体増加の和である気体体積は、１２５．６ｍｍ^３、気体増加を気体体積で除した増加率は、２０％となる。

同様にして、２５℃から６０℃に至る各温度について同様の計算を行うと表３の結果を得る。

表３の結果を、気泡体積と放置後温度の関係として特性図を作成すれば図２に示す通りとなる。なお、この場合、インクの飽和水蒸気圧は水の８０％として取り扱っている。

本形態に係る記録ヘッド１０によれば、周囲温度の変化に伴う気泡室２２３内の気泡の体積の増加分をコンプライアンス部としても機能する封止フィルム２４２における体積変化により吸収することができる。この結果、ノズル開口１３のメニスカスに作用する圧力をその耐圧以下に維持することができ、その破壊を未然に防止することができる。

さらに、本形態によれば、従来、メニスカス耐圧との関係で最大容積が規定されていた気泡室２２３の容積を大きくすることができるため、気泡室２２３で成長した気泡を抜くため定期的に必要とされるヘッドクリーニングの間隔を長くすることもできる。

図３は流路部材２００に固定されているヘッド本体３００の一例を示す断面図である。同図に示すように、本例のヘッド本体３００は、縦振動型の圧電素子を有するタイプである。かかるヘッド本体３００において、流路基板１１には、複数の圧力発生室１２が並設され、流路基板１１の両側は、各圧力発生室１２に対応してノズル開口１３を有するノズルプレート１４と、振動板１５とにより封止されている。また、流路基板１１には、各圧力発生室１２毎にそれぞれインク供給口１６を介して連通されて複数の圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールド１７が形成されており、マニホールド１７には、図示しないインクカートリッジが接続される。

一方、振動板１５の圧力発生室１２とは反対側には、各圧力発生室１２に対応する領域にそれぞれ圧電アクチュエーター１８の先端が当接されて設けられている。これらの圧電アクチュエーター１８は、圧電材料１９と、電極形成材料２０及び２１とを縦に交互にサンドイッチ状に挟んで積層され、振動に寄与しない不活性領域が固定基板２２に固着されている。

このように構成されたヘッド本体３００では、上述した流路部材２００の流路２３１に連通される流路２４を介してマニホールド１７にインクが供給され、インク供給口１６を介して各圧力発生室１２に分配される。そして、圧電アクチュエーター１８に電圧を印加することにより圧電アクチュエーター１８を収縮させる。これにより、振動板１５が圧電アクチュエーター１８と共に変形されて（図中上方向に引き上げられて）圧力発生室１２の容積が広げられ、圧力発生室１２内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口１３に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路からの記録信号に従い、圧電アクチュエーター１８の電極形成材料２０及び２１に印加していた電圧を解除すると、圧電アクチュエーター１８が伸張されて元の状態に戻る。これにより、振動板１５も変位して元の状態に戻るため圧力発生室１２が収縮され、内部圧力が高まりノズル開口１３からインク滴が吐出される。すなわち、本実施形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として縦振動型の圧電アクチュエーター１８が設けられている。

（他の実施形態）
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに
限定されるものではない。例えば、上述した実施の形態では、自己封止弁の構成要素である封止フィルムを気泡の体積膨張吸収のためのコンプライアンス部と兼用したが、同様の機能を有するコンプライアンス部を独立させて設けても勿論構わない。また、かかるコンプライアンス部は流路部材２００のインク流路の途中に配設する必要は必ずしもなく、気泡室２２３の上流側であれば、その配設位置に特別な限定はない。例えば、液体貯留手段３の内部に配設することも可能である。ここで、液体貯留手段は流路部材２００とはインク供給チューブ１００で連通された、いわゆるオフキャリッジ型のものとしたが、流路部材２００に直接装着するインクカートリッジ等、いわゆるオンキャリッジ型のものであっても勿論構わない。この場合においても、コンプライアンス部はインクカートリッジに配設することもできる。

さらに、上述した実施の形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、縦振動型の圧電アクチュエーター１８を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、下電極、圧電体層及び上電極を成膜及びリソグラフィー法により積層形成した薄膜型の圧電アクチュエーターや、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室１２内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

また、これら上述したインクジェット式記録ヘッド１０は、インクジェット式記録装置に搭載される。図４は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略斜視図である。同図に示すように、本形態のインクジェット式記録装置Ｉでは、インクジェット式記録ヘッド１０がキャリッジ２に搭載されている。そして、インクジェット式記録ヘッド１０が搭載されたキャリッジ２は、装置本体７に取り付けられたキャリッジ軸２ａに軸方向移動可能に設けられている。

また、装置本体７には、インクが貯留されたタンクからなる液体貯留手段３が設けられており、液体貯留手段３からのインクは、キャリッジ２に搭載されたインクジェット式記録ヘッド１０にインク供給チューブ１００を介して供給される。

そして、駆動モーター８の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト８ａを介してキャリッジ２に伝達されることで、インクジェット式記録ヘッド１０を搭載したキャリッジ２はキャリッジ軸２ａに沿って移動される。一方、装置本体７にはキャリッジ軸２ａに沿ってプラテン９が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン９に巻き掛けられて搬送されるようになっている。

このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、キャリッジ２がキャリッジ軸２ａに沿って移動されると共にインクジェット式記録ヘッド１０のヘッド本体３００によってインクが吐出されて記録シートＳに印刷される。

また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、インクジェット式記録ヘッド１０がキャリッジ２に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１０が装置本体７に固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

なお、上記した例では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッド１０を、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置Ｉを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。

Ｉインクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１０インクジェット式記録ヘッド（記録ヘッド）、１３ノズル開口、１００インク供給チューブ、２００流路部材、２１０圧力室部品、２１１溝状流路、２１４流入口、２１５流出口、２１６液体入口、２１７バルブ収納部、２２０第１の流路部品、２２１，２３１流路、２２３気泡室、２３０第２の流路部品、２４０保護板、２４２封止フィルム、２５０弾性片、２５１，２５２フィルター、２５３弁体、２５４ロッド、２５５バネ、３００ヘッド本体

Claims

圧力発生室に発生する圧力によりノズル開口を介して液滴を吐出するヘッド本体と、
液体が貯留される液体貯留手段から供給される液体を一方の開口から他方の開口に向けて流通させるとともに、他方の開口を介して前記液体を前記ヘッド本体に供給する液体流路と、該液体流路の途中に形成されて気泡が滞留される気泡室とを有する流路部材とを備えた液体噴射ヘッドであって、
前記気泡室の上流側に前記気泡室内の気泡の体積変化に応じて変位するコンプライアンス部を形成するとともに、該コンプライアンス部の変位によるコンプライアンス部における体積の変化量が、周囲温度変化による前記気泡の体積の変化量よりも大きくなるように形成したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記コンプライアンス部の変位量は、第１の温度から、前記第１の温度よりも高温の第２の温度に変化した場合における前記液体流路内の圧力が、前記ノズル開口に形成される液体のメニスカスの耐圧よりも小さくなるように設定したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
請求項１または請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記コンプライアンス部は、前記流路部材における前記液体流路の途中に配設したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記液体流路の開閉を前記液体流路内の圧力変動を利用して行う自己封止弁を前記流路部材における前記気泡室の上流側に配設するとともに、一方の面に大気圧を作用させ、他方の面に液体流路内の圧力を作用させることにより前記自己封止弁が開閉するように変位するフィルムを利用して前記コンプライアンス部を形成したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載する液体噴射ヘッドを有することを特徴とする液体噴射装置。