JP5959930B2 - 保持装置及び保持方法 - Google Patents
保持装置及び保持方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5959930B2 JP5959930B2 JP2012114464A JP2012114464A JP5959930B2 JP 5959930 B2 JP5959930 B2 JP 5959930B2 JP 2012114464 A JP2012114464 A JP 2012114464A JP 2012114464 A JP2012114464 A JP 2012114464A JP 5959930 B2 JP5959930 B2 JP 5959930B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding
- held
- contact
- suction force
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Description
特許文献1には、表面に凹凸を有する板状部材(基板)を保持することのできる多孔質のホルダーを含む吸引構造を備えた保持装置が提案されている。
従って、例えば板状部材を薄く研削するような場合、研削後の板状部材に厚みの斑ができてしまう、という不都合を招来する。
本発明の目的は、弾性部材で板状部材を保持しながらも、当該板状部材をその面方向に交差する方向への移動を抑制して保持することのできる保持装置及び保持方法を提供することにある。
また、前記当接面に連続する側面に通気防止手段を設けたことで、閉塞した空間内に当接面を位置させることができ、当接面と被保持面との間から吸引力が漏れるおそれを回避することができる。
更に、加熱手段を設けて当接手段を加熱する構成とすれば、当接手段並びに通気防止手段を変形し易くすることができ、被保持面の形状に難なく追従させることができる。
また、押付手段を備えた構成により、当接面での被保持面の吸引と、当接面がテーブルの保持面と略同一面内に位置する作用とを補助することができる。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図2を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
更に、板状部材は、前記実施形態のように外周に円環状の補強部11が形成されたもの以外に、補強部11が形成されていないフラットなもの、つまり、底面が平坦な面で形成されたものであってもよい。
11A 被保持面
15 保持面
16 テーブル
18 当接面
20 当接手段
22 通気防止手段
24 吸引力付与手段
25 加熱手段
27 押付手段
WF 半導体ウエハ(板状部材)
Claims (3)
- 板状部材の被保持面に当接して当該被保持面を吸引することで前記板状部材を保持する保持装置であって、
前記板状部材を保持する保持面を有するテーブルと、
前記被保持面の表面形状に追従して弾性変形した状態で当該被保持面を吸引可能な当接面を有する弾性部材からなる当接手段と、
前記当接面に吸引力を付与する吸引力付与手段と、
前記当接面に連続する側面に配置された通気防止手段とを含み、
前記当接手段は、前記当接面が前記保持面から突出した位置で前記被保持面に当接可能に設けられ、前記吸引力付与手段によって吸引力が付与されたときに、前記当接面で前記被保持面を吸引するとともに、前記当接面が前記保持面と略同一面内に位置して前記板状部材を前記保持面に引き付けて保持可能に設けられ、
前記通気防止手段は、前記被保持面に密着して当接面に付与した吸引力が漏れることを防止することを特徴とする保持装置。 - 前記板状部材の吸引時に、前記通気防止手段の上端が前記保持面と同一高さとなるように摺動可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載の保持装置。
- 板状部材の被保持面に当接して当該被保持面を吸引することで前記板状部材を保持面に保持する保持方法であって、
前記被保持面の表面形状に追従して弾性変形した状態で当該被保持面を吸引可能な当接面を有する弾性部材からなる当接手段と、前記当接面に連続する側面に配置された通気防止手段とを用い、
前記当接面を前記保持面から突出させた状態とする工程と、
前記被保持面を前記当接面に当接させる工程と、
前記被保持面に密着して前記当接面に付与した吸引力が前記側面から漏れることを防止しつつ前記当接面に吸引力を付与することで前記被保持面を吸引する工程と、
前記当接手段を弾性変形させて前記当接面を前記保持面と略同一面内に位置させて前記板状部材を前記保持面に引き付けて保持する工程とを含むことを特徴とする保持方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012114464A JP5959930B2 (ja) | 2012-05-18 | 2012-05-18 | 保持装置及び保持方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012114464A JP5959930B2 (ja) | 2012-05-18 | 2012-05-18 | 保持装置及び保持方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013243204A JP2013243204A (ja) | 2013-12-05 |
JP5959930B2 true JP5959930B2 (ja) | 2016-08-02 |
Family
ID=49843829
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012114464A Active JP5959930B2 (ja) | 2012-05-18 | 2012-05-18 | 保持装置及び保持方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5959930B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7320940B2 (ja) * | 2018-12-17 | 2023-08-04 | 株式会社東京精密 | ウェハ保持装置及びウェハ搬送保持装置 |
CN115042044B (zh) * | 2022-05-25 | 2023-11-24 | 涡阳县高炉创新包装有限责任公司 | 一种玻璃生产用玻璃侧边打磨装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63148657U (ja) * | 1987-03-20 | 1988-09-30 | ||
JPH0936599A (ja) * | 1995-07-17 | 1997-02-07 | Hitachi Ltd | 基板の保持方法およびその装置 |
JP2003039200A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-12 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 基板プレス装置 |
JP2007276065A (ja) * | 2006-04-07 | 2007-10-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板吸着保持装置及び配線基板ユニットの製造装置 |
-
2012
- 2012-05-18 JP JP2012114464A patent/JP5959930B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013243204A (ja) | 2013-12-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI657727B (zh) | Wafer interval maintaining device | |
US7718925B2 (en) | Substrate heat treatment apparatus | |
US9607868B2 (en) | Substrate heat treatment apparatus | |
JP6348500B2 (ja) | 吸着ステージ、貼合装置、および貼合基板の製造方法 | |
KR102177305B1 (ko) | 본딩 장치 | |
JP5320058B2 (ja) | 樹脂被覆方法および樹脂被覆装置 | |
JP5144434B2 (ja) | 支持装置 | |
JP5886700B2 (ja) | 伝熱シート貼付装置及び伝熱シート貼付方法 | |
KR101805821B1 (ko) | 홀딩 유닛 및 본딩 방법 | |
KR102249339B1 (ko) | 칩 간격 유지 장치 및 칩 간격 유지 방법 | |
KR20130138652A (ko) | 박판 형상 워크의 점착 유지 방법 및 박판 형상 워크의 점착 유지 장치 및 제조 시스템 | |
JP5959930B2 (ja) | 保持装置及び保持方法 | |
JP6436828B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JP2015023137A (ja) | 剥離装置及び剥離方法 | |
JP2015065298A (ja) | 吸着ステージ、貼合装置、および貼合方法 | |
TWI611499B (zh) | 搬送機構 | |
JP5222756B2 (ja) | 剥離装置及び剥離方法 | |
JP2013243203A (ja) | 支持装置 | |
TWM410333U (en) | Loading device | |
JP2013048133A (ja) | 分割装置及び分割方法 | |
JP6513527B2 (ja) | 真空チャックステージ | |
JP2006156612A (ja) | 位置決め装置 | |
CN108074848B (zh) | 垫片、晶圆堆叠结构、吸附式移动装置与晶圆移动方法 | |
TWI629540B (zh) | Holding unit and bonding method | |
JP6027672B2 (ja) | 分割装置および分割方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150128 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151203 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151222 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160621 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160622 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5959930 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |