JP5956534B2 - 光学結像系の心合わせのための方法及び装置 - Google Patents
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Description
第1ダイアフラムエレメントを少なくとも利用して心合わせ軸を規定するステップであって,心合わせ軸は第1ダイアフラムエレメントのアパーチャと,第1ダイアフラムエレメントの後ろから一定の距離を隔てて配置された標的とを結ぶ,ステップと,
心合わせ軸に沿って結像系に放射されたビームの放射光が,結像系を通過した後,第1ダイアフラムエレメントのアパーチャを通って標的に当たるまで,心合わせ軸に対して光学結像系を心合わせするステップと,
少なくとも,第1ダイアフラムエレメントのアパーチャ及び/又は標的の範囲のビームの放射に関して,第1センサによる放射光の検出を行うステップと,
信号処理ユニットに,放射光検出の際に発生されたセンサ信号を供給するステップと,
を有する方法が提供される。
ダイアフラムアパーチャを有する第1ダイアフラムエレメントと,
第1ダイアフラムエレメントの後ろの一定の距離に配置され,標的位置を規定する標的エレメントと,
放射ビームの放射源であって,第1ダイアフラムエレメントのアパーチャと,標的位置とを結ぶ心合わせ軸に沿って,放射ビームを第1ダイアフラムエレメントに放射できるようになっているか,放射するようにできる放射源と,
結像系の心合わせ支柱であって,結像系を通過した後,放射ビームの放射光が第1ダイアフラムエレメントのアパーチャを通って標的位置に当たるまで,心合わせ軸に対して結像系の心合わせを可能にする,支柱と,
少なくとも,第1ダイアフラムエレメントのアパーチャ及び/又は標的位置の領域において,放射ビームの放射に関して放射光検出するセンサ装置と,
センサ装置のセンサ信号を処理するための信号処理ユニットと,
を備える装置が提供される。
Claims (19)
- 光学結像系の心合わせの方法であって,
第1ダイアフラムエレメントを少なくとも利用して心合わせ軸を規定するステップであって,前記心合わせ軸は,前記第1ダイアフラムエレメントのダイアフラムアパーチャと,該第1ダイアフラムエレメントの後ろの一定の距離に配置された標的とを結ぶ,ステップと,
前記心合わせ軸にそって,前記結像系に放射されたビームの放射光が,前記結像系を通過した後,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャを通って,前記標的に当たるまで,前記心合わせ軸に対して前記光学結像系を心合わせするステップと,
少なくとも,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャ及び/又は前記標的の範囲において,前記ビームの前記放射光に関して,放射光の第1のセンサ検出を実行するステップと,
前記放射光検出の際に発生されたセンサ信号を信号処理ユニットに供給するステップと,
を有し,
前記センサ放射光検出は,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャの領域においてだけ行われる方法。 - 光学結像系の心合わせの方法であって,
第1ダイアフラムエレメントを少なくとも利用して心合わせ軸を規定するステップであって,前記心合わせ軸は,前記第1ダイアフラムエレメントのダイアフラムアパーチャと,該第1ダイアフラムエレメントの後ろの一定の距離に配置された標的とを結ぶ,ステップと,
前記心合わせ軸にそって,前記結像系に放射されたビームの放射光が,前記結像系を通過した後,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャを通って,前記標的に当たるまで,前記心合わせ軸に対して前記光学結像系を心合わせするステップと,
少なくとも,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャ及び/又は前記標的の範囲において,前記ビームの前記放射光に関して,放射光の第1のセンサ検出を実行するステップと,
前記放射光検出の際に発生されたセンサ信号を信号処理ユニットに供給するステップと,
を有し,
一つのダイアフラムアパーチャの標的は第2ダイアフラムエレメントによって形成され,前記第2ダイアフラムエレメントに関する前記センサ放射光検出は,前記第2ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャの領域においてだけ行われる方法。 - 光学結像系の心合わせの方法であって,
第1ダイアフラムエレメントを少なくとも利用して心合わせ軸を規定するステップであって,前記心合わせ軸は,前記第1ダイアフラムエレメントのダイアフラムアパーチャと,該第1ダイアフラムエレメントの後ろの一定の距離に配置された標的とを結ぶ,ステップと,
前記心合わせ軸にそって,前記結像系に放射されたビームの放射光が,前記結像系を通過した後,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャを通って,前記標的に当たるまで,前記心合わせ軸に対して前記光学結像系を心合わせするステップと,
少なくとも,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャ及び/又は前記標的の範囲において,前記ビームの前記放射光に関して,放射光の第1のセンサ検出を実行するステップと,
前記放射光検出の際に発生されたセンサ信号を信号処理ユニットに供給するステップと,
を有し,
一つのダイアフラムアパーチャの標的は第2ダイアフラムエレメントによって形成され,前記第2ダイアフラムエレメントに関する前記センサ放射光検出は,前記第2ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャの外側でも行われる方法。 - 前記第1ダイアフラムエレメントに関する前記センサ放射光検出は,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャの外側でも行われる,請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 表示画像用の画像データは,前記センサ信号に基づいて,前記信号処理ユニットが発生する,請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 制御信号は,前記光学結像系の少なくとも一部の心合わせのためのアクチュエータ用の前記センサ信号に基づいて,前記信号処理ユニットが発生する,請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 光学結像系(12)の心合わせのための装置であって,
ダイアフラムアパーチャ(34)を有する第1ダイアフラムエレメント(24)と,
前記第1ダイアフラムエレメントの後ろの一定の距離に配置され,標的位置を規定する標的エレメント(26)と,
放射ビーム(30)の放射源(28)であって,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャと前記標的位置とを結ぶ心合わせ軸(14)に沿って,前記放射ビームを前記第1ダイアフラムエレメントに放射できるように配置されているか,又は配置することができる,放射源と,
前記結像系の心合わせ支柱(20)であって,前記放射ビームの放射光が,前記結像系を通過した後,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャを通って前記標的位置に当たるまで,前記心合わせ軸に対して前記結像系の心合わせができるようにする,心合わせ支柱と,
少なくとも,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャ及び/又は前記標的位置の領域における,前記放射ビームの放射光に関する放射光検出用のセンサ装置と,
前記センサ装置のセンサ信号を処理するための信号処理ユニット(42)と,
を備え,
前記第1ダイアフラムエレメント(244)及び/又はダイアフラムアパーチャ(34)が前記標的位置を形成する第2ダイアフラムエレメント(26)上の前記センサ装置は,前記ダイアフラムアパーチャの領域においてだけ放射光を検出する装置。 - 光学結像系(12)の心合わせのための装置であって,
ダイアフラムアパーチャ(34)を有する第1ダイアフラムエレメント(24)と,
前記第1ダイアフラムエレメントの後ろの一定の距離に配置され,標的位置を規定する標的エレメント(26)と,
放射ビーム(30)の放射源(28)であって,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャと前記標的位置とを結ぶ心合わせ軸(14)に沿って,前記放射ビームを前記第1ダイアフラムエレメントに放射できるように配置されているか,又は配置することができる,放射源と,
前記結像系の心合わせ支柱(20)であって,前記放射ビームの放射光が,前記結像系を通過した後,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャを通って前記標的位置に当たるまで,前記心合わせ軸に対して前記結像系の心合わせができるようにする,心合わせ支柱と,
少なくとも,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャ及び/又は前記標的位置の領域における,前記放射ビームの放射光に関する放射光検出用のセンサ装置と,
前記センサ装置のセンサ信号を処理するための信号処理ユニット(42)と,
を備え,
前記第1ダイアフラムエレメント(244)及び/又はダイアフラムアパーチャ(34)が前記標的位置を形成する第2ダイアフラムエレメント(26)上の前記センサ装置は,前記ダイアフラムアパーチャの領域及び前記ダイアフラムアパーチャの外側双方において放射光を検出する装置。 - 光学結像系(12)の心合わせのための装置であって,
ダイアフラムアパーチャ(34)を有する第1ダイアフラムエレメント(24)と,
前記第1ダイアフラムエレメントの後ろの一定の距離に配置され,標的位置を規定する標的エレメント(26)と,
放射ビーム(30)の放射源(28)であって,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャと前記標的位置とを結ぶ心合わせ軸(14)に沿って,前記放射ビームを前記第1ダイアフラムエレメントに放射できるように配置されているか,又は配置することができる,放射源と,
前記結像系の心合わせ支柱(20)であって,前記放射ビームの放射光が,前記結像系を通過した後,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャを通って前記標的位置に当たるまで,前記心合わせ軸に対して前記結像系の心合わせができるようにする,心合わせ支柱と,
少なくとも,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャ及び/又は前記標的位置の領域における,前記放射ビームの放射光に関する放射光検出用のセンサ装置と,
前記センサ装置のセンサ信号を処理するための信号処理ユニット(42)と,
を備え,
ダイアフラムアパーチャ(34)を有する少なくとも一つのダイアフラムエレメント(24,26)を備え,前記ダイアフラムエレメントの少なくとも前記ダイアフラムアパーチャが前記放射光に対して透明な材料片(38)によって覆われ,前記材料片は,前記放射ビーム(30)の前記放射光を検出するための少なくとも一つのセンサ素子(36)を担持する装置。 - 前記センサ素子(36)は,前記ダイアフラムエレメント(24,26)の前記ダイアフラムアパーチャ(34)領域に配置される,請求項9に記載の装置。
- 前記材料片(38)は,相互に間隔を置いて配置された複数のセンサ素子(36)を担持する,請求項9又は10に記載の装置。
- 前記センサ素子(36)の少なくとも一つの部分集合が,前記ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャ(34)の領域に配置される,請求項11に記載の装置。
- 前記センサ素子(36)は行列様式に配置される,請求項11又は12に記載の装置。
- 前記第1ダイアフラムエレメント(24)は,材料片(38)及びセンサ素子(36)が取り付けられたダイアフラムエレメントによって形成される,請求項9〜13のいずれか一項に記載の装置。
- 前記標的は,材料片(38)及びセンサ素子(36)が取り付けられたダイアフラムエレメント(26)の上に形成される,請求項9〜14のいずれか一項に記載の装置。
- 前記信号処理ユニット(42)に接続された表示ユニット(44)を備え,前記信号処理ユニットは,前記センサ信号に基づいて表示画像用の画像データを発生し,前記表示ユニット上に前記表示画像を表示するようになっている,請求項7〜15のいずれか一項に記載の装置。
- 前記信号処理ユニット(42)に接続された前記結像系(12)用のアクチュエータを備え,前記信号処理ユニットは,前記光学結像系の少なくとも一部の心合わせ用の前記センサ信号に基づいて,前記アクチュエータ用の制御信号を発生するようになっている,請求項7〜16のいずれか一項に記載の装置。
- 前記第1ダイアフラムエレメント(24)及び/又は前記標的位置を形成する第2ダイアフラムエレメント(26)の前記ダイアフラムアパーチャ(34)の大きさは変更できる,請求項7〜17のいずれか一項に記載の装置。
- 前記結像系(12)は集束レンズを備える,請求項7〜18のいずれか一項に記載の装置。
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