JP5956534B2 - 光学結像系の心合わせのための方法及び装置 - Google Patents

光学結像系の心合わせのための方法及び装置 Download PDF

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Description

本発明は光学結像系の心合わせ(alignment)に関する。
光学結像系は,診断又は治療にかかわらず眼科の多くの器具に見られる。光学結像系は,例えばレーザ器具のように,目の治療に用いられるレーザ放射光の焦点を目の中又は目の上の点に合わせるために,焦点合わせ機能を有することがある。また,レーザビームを拡大するために多くのレーザ装置で用いられるようなビーム拡大望遠鏡(ビーム拡大器)も,心合わせを必要とする光学結像系であってよい。被写体を画面センサに結像させるレンズも同様に,本発明の観点での光学結像系であってよい。一般に,本発明は,通常眼科医のオフィス又は眼科医院で見られるような眼科器具のレンズに限定されない。このような分野以外の装置における応用も同様に可能である。
本発明の出発点は,所与の軸(以降,心合わせ軸という)に対して正確に光学結像系を心合わせすることがしばしば必要になることであり,例えば,装置の光学部品の少なくとも一部を組み込むために用いられる組立てレールのような,結像系が組み込まれているか,組み込むことが望ましい装置の構造的特徴によって指示される。心合わせは,特定の所望の方法で,通常並列に,結像系の光軸を調整することを含む。このため,心合わせ軸に対して,非常にデリケートに結像系を動かし,所望の終点に到達すると,それを終点にロックすることができる必要がある。
光学結像系の心合わせには,例えば,相互に間隔を空けて配置された二つのダイアフラムエレメントが必要である。ダイアフラムエレメントは,結像系に対する心合わせ軸が,結像系がダイアフラムエレメントの開口部を通って心合わせできるように,装置に固定される。ダイアフラムエレメントは,心合わせ過程のために開口部によって心合わせ軸を規定すると言ってもよい。ダイアフラムエレメントは,心合わせが行われた後,装置の光軸経路から完全に取り除かれるか,少なくとも折りたたまれ,光学系の一端,特に像側に配置される。結像系の他端(被写体側)から,光ビームが心合わせ軸に沿って結像系に放射される。心合わせを実行する人の目視観察だけに基づく手続については,光ビームは可視スペクトラム内に入っていなければならない。心合わせする人は,第1の,近い方のダイアフラムエレメントのアパーチャだけでなく,第2の,遠い方のダイアフラムエレメントのアパーチャも光ビームの光が通過するまで,心合わせ軸に対して(そして,結果として二つのダイアフラムエレメントに対して)結像系を動かす。このように,光ビームは最初に第1のダイアフラムエレメントに当たり,次に光が第2のダイアフラムエレメントにも当たるように結像系の正しい角位置を調整しなければならない。第2ダイアフラムのアパーチャを探している心合わせする人が,再度第2ダイアフラムアパーチャに対する心合わせを逃すことがよくあり,これは心合わせする人にとって困難で,遅く,つまらない過程であり得る。
これに比べて,本発明の一態様による方法によれば,光学結像系の心合わせのための方法であって,
第1ダイアフラムエレメントを少なくとも利用して心合わせ軸を規定するステップであって,心合わせ軸は第1ダイアフラムエレメントのアパーチャと,第1ダイアフラムエレメントの後ろから一定の距離を隔てて配置された標的とを結ぶ,ステップと,
心合わせ軸に沿って結像系に放射されたビームの放射光が,結像系を通過した後,第1ダイアフラムエレメントのアパーチャを通って標的に当たるまで,心合わせ軸に対して光学結像系を心合わせするステップと,
少なくとも,第1ダイアフラムエレメントのアパーチャ及び/又は標的の範囲のビームの放射に関して,第1センサによる放射光の検出を行うステップと,
信号処理ユニットに,放射光検出の際に発生されたセンサ信号を供給するステップと,
を有する方法が提供される。
一つの例示変形物によれば,センサ信号に基づいて信号処理ユニットによって表示画像用の画像データが発生される。表示画像の適切な可視化によって,心合わせを行う人は,例えば第1ダイアフラムエレメントのアパーチャに対する,及び/又は標的に対する(放射光検出がどこで行われるかに応じて)使用されているビームの現在位置を,したがって結像系の現在の心合わせ状態を容易に特定することができる。モニタ上に現在の心合わせ状態を可視化することによって,心合わせを実行している人の心合わせ作業を容易にし,短縮することができる。
代替として,又は追加で,光学結像系の少なくとも一つ部分の心合わせのためのアクチュエータ用のセンサ信号に基づいて,信号処理ユニットによって制御信号を発生させることができる。このようにして,心合わせ過程の少なくとも部分的な自動化が可能になり,心合わせを実行する人の荷が更に軽くなる。
センサ放射光検出は,第1ダイアフラムエレメントに関して,ダイアフラムアパーチャの領域においてだけ行うことができる。しかし,第1ダイアフラムエレメントに関してダイアフラムアパーチャの外側でも,同様にセンサ放射光検出を行うことができる。
本発明の一実施形態において,一つのダイアフラムアパーチャの標的は第2ダイアフラムエレメントによって形成される。この第2ダイアフラムエレメントに関するセンサ放射光検出は,ダイアフラムアパーチャの領域においてだけ行ってもよいし,ダイアフラムアパーチャの外で行なってもよい。標的を形成するために,ダイアフラムエレメントに代えて,標的面に当たる放射光を検出するために,(放射光が第1ダイアフラムエレメントを通過する限り)標的面に配置された1又は複数のセンサによって,ダイアフラムアパーチャ無しで標的面を利用することができる。
心合わせ状態のセンサベースの検出のお陰で,利用するビームは任意選択で可視スペクトラム内又は不可視スペクトラム内の放射光を含んでもよい。特に,紫外(UV)又は赤外(IR)レーザのように,可視スペクトラム内で放射しない場合でも,結像系が目的とする器具内にいずれにしても存在することがある放射源を用いることができる。しかし,もちろん,器具の実際の運転には必要のない別の放射源を利用することもできる。
心合わせされた結像系は,単レンズ又はレンズアセンブリからなるレンズ系であってよい。
本発明の別の態様によれば,光学結像系の心合わせのための装置であって,
ダイアフラムアパーチャを有する第1ダイアフラムエレメントと,
第1ダイアフラムエレメントの後ろの一定の距離に配置され,標的位置を規定する標的エレメントと,
放射ビームの放射源であって,第1ダイアフラムエレメントのアパーチャと,標的位置とを結ぶ心合わせ軸に沿って,放射ビームを第1ダイアフラムエレメントに放射できるようになっているか,放射するようにできる放射源と,
結像系の心合わせ支柱であって,結像系を通過した後,放射ビームの放射光が第1ダイアフラムエレメントのアパーチャを通って標的位置に当たるまで,心合わせ軸に対して結像系の心合わせを可能にする,支柱と,
少なくとも,第1ダイアフラムエレメントのアパーチャ及び/又は標的位置の領域において,放射ビームの放射に関して放射光検出するセンサ装置と,
センサ装置のセンサ信号を処理するための信号処理ユニットと,
を備える装置が提供される。
一つの実施形態によれば,第1ダイアフラムエレメント及び/又はアパーチャが標的位置を形成する第2ダイアフラムエレメント上のセンサ装置は,ダイアフラムアパーチャの領域においてだけ放射光を検出できる。
一つの有利な修正物は,少なくとも一つダイアフラムエレメント内のアパーチャが放射光に対して透明な材料片で覆われることを必要とし,該材料片は放射ビームの放射光を検出する少なくとも一つのセンサ素子を担持する。センサ素子は,ダイアフラムアパーチャの領域において放射光検出ができるように,例えば,ダイアフラムエレメントのアパーチャの領域に配置してもよい。
一つの例示実施形態において,材料片は,相互に間隔を空けて配置された複数のセンサ素子を担持する。これらのセンサ素子の少なくとも一つの部分集合(すなわち,2以上)は,ダイアフラムエレメントのアパーチャの領域内に配置してもよいし,又は,所望であれば,材料片のセンサ素子を全部そのように配置してもよい。センサ素子は,行列形式で規則正しい分布をしていてもよいし,不規則に分布していてもよく,後者は不要な回折効果を減少又は防止することを補助できる。
第1ダイアフラムエレメントは,材料片及びセンサ素子を備えるダイアフラムエレメントによって形成してもよい。代替として,又は追加で,標的を材料片及びセンサ素子を備えるダイアフラムエレメントによって形成してもよい。
信号処理ユニットは表示ユニットに接続してもよく,信号処理ユニットは,センサ信号に基づいて表示画像用の画像データを発生し,表示画像を表示ユニットに表示するようになっている。
代替として,又は追加で,信号処理ユニットは結像系のアクチュエータに接続してもよく,信号処理ユニットは,光学結像系の少なくとも一部の心合わせのためのセンサ信号に基づいて,アクチュエータ用の制御信号を発生するようになっている。
結像系の光軸の外側のビーム経路の調査のような更なる調査のために,標的位置を形成する第1ダイアフラムエレメント及び/又は第2ダイアフラムエレメントのアパーチャのサイズは変更可能であってよい。例えば,手動調整の可能性があってもよいし,更なる自動化のために,ダイアフラムのサイズを信号処理ユニットによって制御してもよい。
以下,添付の簡単な図面を用いて,本発明をより詳しく説明する。
光学結像系の心合わせのための装置の例示実施形態の図である。 ビーム検出用のセンサを備えた,図1の装置のダイアフラムエレメントの拡大図である。
図1に示した心合わせ装置は全体を10で示されている。この装置は,所与の心合わせ軸14に対して,ボックス12で概略を示した光学結像系の心合わせ,すなわち,結像系12の光軸16が,心合わせ軸14に対して,一定の所望の位置及び方向を有するように空間内で結像系12を調整すること,を可能にする。一般に,心合わせの目的は,結像系12の光軸16が,心合わせ軸14に平行,かつ特定の同軸性を以って延びるように,結像系を調整することである。
結像系12は任意の所与の数の光学レンズを有してよく,光学レンズは心合わせ軸14に対して単位として移動させることができる。したがって,結像系12は単レンズとして設計してもよいし,複レンズ系として設計してもよい。純粋に例示のために,図1は単レンズ18を示しているが,これは決して制限としてとらえてはならない。所望であれば,光学結像系12は,代替として,又は追加で,回折素子のような1又は複数のほかの光学素子を備えてもよい。
結像系12は,図1に概略だけ示した取付台22の上の心合わせ支柱20によって指示される。取付台22は,一対のダイアフラムエレメント23,26と,心合わせ軸14に平行,かつ好適には同軸のビーム軸を有する放射ビーム30を放射することができる放射源28とを含む,心合わせ装置10の種々の光学部品を指示する役割をする。放射ビーム30の伝ぱ方向に対して,放射源28の取付位置は,心合わせされる結像系12の前に配置され,一対のダイアフラムエレメント24,26の取付位置は,結像系12の後ろにある。取付台22は,眼科診断又は治療器具の一部である。結像系12を除いて,放射源28,ダイアフラム対24,26及び他の光学部品は取付台22に固定され,又は固定することができ,これらは結像系12の心合わせには必要ないが,診断又は治療器具を機能させるには必要である。例えば,1又は複数の偏向ミラー,スキャナの部品,1又は複数のカメラ,光干渉断層造影装置(OCT)又は光低干渉反射率(OLCR)測定装置の備品,等は,取付台22の上に配置され,又は追加で配置してもよい。このような追加光学部品は当業者には周知であり,ここでは更なる説明は必要ない。
取付台22は,例えばレール形状であってよいが,任意のほかのより複雑な形状を有してもよい。
心合わせ支柱20は,取付台22に対する結像系12の手動及び/又は電気制御による移動を可能にする。心合わせ軸14は取付台22に対して所定の位置及び方向を有し,それによって,取付台22に対する結像系12の心合わせが同時に心合わせ軸14に対する心合わせも伴う。心合わせ支柱20は,例えば,取付台22に対する1又は複数の旋回軸の周りに,結像系12の旋回を可能にする。代替として,又は追加で,心合わせ支柱20は,取付台22に対する1又は複数の移動方向へ,結像系12の平行移動を可能にする。
ダイアフラムエレメント24,26はそれぞれ,ダイアフラム保持台32を介して取付台22に固定されている。ダイアフラムエレメント24,26は,結像系12が組み込まれている器具の実際の診断又は治療のための操作ではなく,心合わせのためだけに必要とされるものであるから,ダイアフラム保持台32は,ダイアフラムエレメント24,26を,心合わせ済み結像系12の光軸16の領域から取り除くことができるようにする。このため,ダイアフラム保持台32は,例えば,ダイアフラムエレメント24,26を取付台22にプラグイン又はねじ込みで着脱可能に固定できるようにしてもよい。代替として,ダイアフラム保持台32がダイアフラムエレメント24,26を旋回又はあるほかの動きをさせて,実際の診断又は治療過程を混乱させないようにすることが考えられる。ダイアフラムエレメント24,26のこのような旋回又はほかの動きは手動で行ってもよいし,ダイアフラムエレメント24,26を電気的に作動させ,適切な駆動手段(例えば,電気モータ)でダイアフラムエレメント24,26を使用位置及び不使用位置に自動配置することを可能にするように設計してもよい。
放射源28は,可視スペクトラム及び/又は不可視スペクトラム内の放射光を放射する。放射源は,眼科器具の診断及び/又は治療操作にも必要な放射源であってよい。代替として,放射源は眼科器具の操作に必要のない補助放射源であってもよく,これは眼科器具の主操作の際は停止したままにするか,又は取付台22から取り外してもよい。所望であれば,放射源28は,ダイアフラムエレメント24,26のように,取付台22の上に使用位置と不使用位置との間を移動(例えば,旋回)できるようにしてもよい。放射光は放射源28自体で発生してもよいし,代替として,放射源28は放射光の単なる送出ヘッドであって,その放射光は心合わせ装置10又は眼科器具(放射源28が眼科器具においても使用される限り)のどこかで発生され,例えば光ファイバ又は放射アームによって送出ヘッドに供給してもよい。
心合わせ軸14の方向におけるダイアフラムエレメント24,26の相互間隔は,例えば,数センチメートル又は数十センチメートルである。結像系12と第1ダイアフラムエレメント24(すなわち,二つのダイアフラムエレメント24,26のうちビーム伝ぱの方向で最初のもの)との間に同程度の間隔が存在してもよい。
二つのダイアフラムエレメント24,26はそれぞれ,例えば,円形ダイアフラム穴34を有する(図2参照)。この図は代表としてダイアフラムエレメント24を示しているが,次の所見は,明示的に差を指摘しない限り,ダイアフラムエレメント26にも同様に適用される。ダイアフラム穴34は,例えば,0.1mm〜2mmの範囲の直径を有する。ダイアフラムエレメント24,26の使用位置において,すなわち,結像系12の心合わせを実行するとき,二つのダイアフラムエレメント24,26のダイアフラム穴34は心合わせ軸14に中心がある。換言すれば,心合わせ軸14は,ダイアフラムアパーチャ34のアパーチャ中心点を通る。ビーム軸が心合わせ軸14と同軸であり,入射側(被写体側)から結像系12に放射される放射ビーム30からの放射光の少なくとも一部が第1ダイアフラムエレメント24のダイアフラム穴34を通過するだけでなく,これらの放射光部分が第2ダイアフラムエレメント26のアパーチャ34の領域にも到達するとき,結像系12は正しく心合わせされている。放射ビーム30は発散してもよいが,その場合は非常にわずかな発散であることが望ましい。代替として,放射ビームは発散しない平行な(collimated)ビームであってもよい。例えば,放射ビーム30をレーザ光によって形成してもよい。
放射ビーム30の放射光が二つのダイアフラムエレメント24,26のアパーチャ34に当たるか否かを検出するために,図示した例示実施形態における二つのダイアフラムエレメントはそれぞれ,特定のダイアフラムアパーチャ34の領域に放射ビーム30の放射光が当たることを検出するための適切なセンサを備えてもよい。ダイアフラムエレメント24の例について図2に示すように,放射ビーム28の放射光を感知できるいくつかのセンサ素子36はダイアフラムアパーチャ34の領域内に配置され,図示した例においては2次元格子パターンで分布する。少なくともダイアフラムエレメント24の場合,センサ素子36はダイアフラムアパーチャ34のアパーチャ全体の断面を満たすのではなく,互いに間隙を残し,またダイアフラムアパーチャ34の端にある。この間隙は,放射ビーム30の放射光がダイアフラムアパーチャ34を通ることを可能にする。代替実施形態においては,ダイアフラムアパーチャ34の周辺にただ一つのセンサ素子36があってもよい。
図2に示した例において,センサ素子34は,ダイアフラムアパーチャ34の円周の外側ではなく内側だけにある。しかし,本発明において,1又は複数のセンサ素子をダイアフラムアパーチャ34の外側に配置することも除外されない。
センサ素子36の担体は,放射源28の放射光に対して少なくとも部分的に透明な材料片38であり,ダイアフラムアパーチャ34を完全に覆い,例えば,接着で又は別様に,ダイアフラムエレメント24に固定される。材料片38は,剛性の,すなわち形状が安定した材料で形成してもよいし,可撓性材料で形成してもよい。材料編の厚みに関しては薄膜のように薄くてもよいし,板又は円盤の形状であってもよい。例えば,材料38は,ガラス状のポリメチルメタクリレート(PMMA),ポリエチレン(PE)又はポリカーボネート(PC)でできていてもよい。もちろん,センサ素子36に所望の位置安定度を与えることができる限り,任意の透明又は半透明の材料で材料片38を形成してもよい。センサ素子36は,例えば,材料片38に接着してもよいし,リトグラフィ法によって付けてもよい。有利には,いくつかのセンサ素子36を材料片38上に分散配置することによって,照射される放射光の強度に関する位置分解情報(position−resolved information)を得ることができる。
もちろん,円形アパーチャの代わりに,ダイアフラムアパーチャ34は長方形又は正方形のアパーチャであってもよい。センサ素子36は,ダイアフラムアパーチャ34の形状によらず,アパーチャの断面全体の上にできる限り均一に分布することが望ましい。
一つの代替実施形態においては,第2ダイアフラムエレメント26を取り除いて,例えば板状の,センサ素子36用の別の担体で置き換えてもよい。この担体はダイアフラムとして作用する開口部を必要としない。この担体は,心合わせ軸14が当たる領域に1又は複数のセンサ素子36を備えていれば十分である。担体の放射ビーム30の放射光に対する透過性は必要ない。この担体が放射光に対して透明でなくても,結像光学系12が正しく心合わせされているか否かについての情報はセンサ素子36から得ることができる。
センサ素子36は,センサ信号を対応する信号線40を介して,センサ信号を処理する電子信号処理ユニット42に伝える。この処理は画像信号を発生することを含んでもよく,画像信号は信号処理ユニット42によって,表示のために表示ユニット(モニタ)44に与えられる。表示された画像は,心合わせ軸14及び/又はダイアフラムアパーチャ34に対する結像系12の現在の心合わせ状態の図形表現を含む。結像系12を手動で心合わせする場合は,このような図形表現は,利用者にとって面倒な心合わせ作業を容易にすることができる。図1において,信号処理ユニット42と表示ユニット44との間の画像信号線46は画像信号を伝送する役割をする。
結像系12の自動化された心合わせのために,信号処理ユニット42は,代替として,又は追加で制御信号を発生してもよく,この制御信号は制御信号線48(図1において点線で示される)を介して,図示していないが,心合わせ支柱20に統合された結像系12のサーボドライブに送られる。所定の基準(nominal)状態と比較することによって,信号処理ユニット42は現在供給されているセンサ信号を用いて,更なる調整の必要性を確認し,それに応じて上述のサーボドライブを作動させることができる。基準状態は,例えば,センサ素子36のセンサ信号の信号強度に関する1又は複数のしきい値によって規定してもよく,しきい値は個々のセンサ素子36及び/又はセンサ素子36の1又は複数のグループごとに明確に設定してもよい。代替として,又は追加で,センサ素子36によって検出された放射光強度の所定の局所分布によって,基準状態を規定してもよい。もちろん,上述の基準は例に過ぎず,所望であれば,基準状態を設定するために別の基準を用いてもよい。一定の状況においては,第1ダイアフラムエレメント24ではなく(図1の例示実施形態において第2ダイアフラムエレメント26のダイアフラムアパーチャ34によって表される)標的位置に関する別の基準を設定してもよい。
画像信号及び制御信号を信号線46によって有線伝送する代わりに,これらの信号の少なくともいくつかを,例えば無線LAN(WLAN),WiFi又はBluetooth(登録商標)によって無線伝送することも考慮できることは言うまでもない。
さらに,第1ダイアフラムエレメント24及び/又は第2ダイアフラムエレメント26のアパーチャ34は,手動で又は信号処理ユニット42による制御で調整可能な大きさであってもよい。ダイアフラムアパーチャ34の断面を拡大することによって,光軸16の外側にある放射経路も測定することができる。もちろん,調整可能な大きさのダイアフラムアパーチャ34によって,センサ素子36に取り付けられた材料片38の領域は,ダイアフラムアパーチャ34の断面が最大のときも,基本的にアパーチャ断面全体に渡って放射光測定を実行できるように十分大きい。そして,センサ素子36の少なくともいくつかは,ダイアフラムアパーチャ34の大きさが縮小されたとき,アパーチャの端の外側になるであろう。例えば,ダイアフラムアパーチャ34が増大したとき,放射ビーム30の強度特性(profile)及び/又は発散に関する測定値を取得することができる。さらに,第1ダイアフラムアパーチャ34の端(すなわち,第1ダイアフラムエレメント24のアパーチャ34)における回折は,第2ダイアフラムエレメント26のセンサ素子36によって形成される第2検出器において回折パターンを生成することがあり,放射ビーム30の一定の特性(property)に関する情報を得るために,この第2検出器のセンサ信号によって,信号処理ユニット42が評価することができる。

Claims (19)

  1. 光学結像系の心合わせの方法であって,
    第1ダイアフラムエレメントを少なくとも利用して心合わせ軸を規定するステップであって,前記心合わせ軸は,前記第1ダイアフラムエレメントのダイアフラムアパーチャと,該第1ダイアフラムエレメントの後ろの一定の距離に配置された標的とを結ぶ,ステップと,
    前記心合わせ軸にそって,前記結像系に放射されたビームの放射光が,前記結像系を通過した後,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャを通って,前記標的に当たるまで,前記心合わせ軸に対して前記光学結像系を心合わせするステップと,
    少なくとも,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャ及び/又は前記標的の範囲において,前記ビームの前記放射光に関して,放射光の第1のセンサ検出を実行するステップと,
    前記放射光検出の際に発生されたセンサ信号を信号処理ユニットに供給するステップと,
    を有し,
    前記センサ放射光検出は,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャの領域においてだけ行われる方法。
  2. 光学結像系の心合わせの方法であって,
    第1ダイアフラムエレメントを少なくとも利用して心合わせ軸を規定するステップであって,前記心合わせ軸は,前記第1ダイアフラムエレメントのダイアフラムアパーチャと,該第1ダイアフラムエレメントの後ろの一定の距離に配置された標的とを結ぶ,ステップと,
    前記心合わせ軸にそって,前記結像系に放射されたビームの放射光が,前記結像系を通過した後,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャを通って,前記標的に当たるまで,前記心合わせ軸に対して前記光学結像系を心合わせするステップと,
    少なくとも,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャ及び/又は前記標的の範囲において,前記ビームの前記放射光に関して,放射光の第1のセンサ検出を実行するステップと,
    前記放射光検出の際に発生されたセンサ信号を信号処理ユニットに供給するステップと,
    を有し,
    一つのダイアフラムアパーチャの標的は第2ダイアフラムエレメントによって形成され,前記第2ダイアフラムエレメントに関する前記センサ放射光検出は,前記第2ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャの領域においてだけ行われる方法。
  3. 光学結像系の心合わせの方法であって,
    第1ダイアフラムエレメントを少なくとも利用して心合わせ軸を規定するステップであって,前記心合わせ軸は,前記第1ダイアフラムエレメントのダイアフラムアパーチャと,該第1ダイアフラムエレメントの後ろの一定の距離に配置された標的とを結ぶ,ステップと,
    前記心合わせ軸にそって,前記結像系に放射されたビームの放射光が,前記結像系を通過した後,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャを通って,前記標的に当たるまで,前記心合わせ軸に対して前記光学結像系を心合わせするステップと,
    少なくとも,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャ及び/又は前記標的の範囲において,前記ビームの前記放射光に関して,放射光の第1のセンサ検出を実行するステップと,
    前記放射光検出の際に発生されたセンサ信号を信号処理ユニットに供給するステップと,
    を有し,
    一つのダイアフラムアパーチャの標的は第2ダイアフラムエレメントによって形成され,前記第2ダイアフラムエレメントに関する前記センサ放射光検出は,前記第2ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャの外側でも行われる方法。
  4. 前記第1ダイアフラムエレメントに関する前記センサ放射光検出は,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャの外側でも行われる,請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
  5. 表示画像用の画像データは,前記センサ信号に基づいて,前記信号処理ユニットが発生する,請求項1〜のいずれか一項に記載の方法。
  6. 制御信号は,前記光学結像系の少なくとも一部の心合わせのためのアクチュエータ用の前記センサ信号に基づいて,前記信号処理ユニットが発生する,請求項1〜のいずれか一項に記載の方法。
  7. 光学結像系(12)の心合わせのための装置であって,
    ダイアフラムアパーチャ(34)を有する第1ダイアフラムエレメント(24)と,
    前記第1ダイアフラムエレメントの後ろの一定の距離に配置され,標的位置を規定する標的エレメント(26)と,
    放射ビーム(30)の放射源(28)であって,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャと前記標的位置とを結ぶ心合わせ軸(14)に沿って,前記放射ビームを前記第1ダイアフラムエレメントに放射できるように配置されているか,又は配置することができる,放射源と,
    前記結像系の心合わせ支柱(20)であって,前記放射ビームの放射光が,前記結像系を通過した後,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャを通って前記標的位置に当たるまで,前記心合わせ軸に対して前記結像系の心合わせができるようにする,心合わせ支柱と,
    少なくとも,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャ及び/又は前記標的位置の領域における,前記放射ビームの放射光に関する放射光検出用のセンサ装置と,
    前記センサ装置のセンサ信号を処理するための信号処理ユニット(42)と,
    を備え
    前記第1ダイアフラムエレメント(244)及び/又はダイアフラムアパーチャ(34)が前記標的位置を形成する第2ダイアフラムエレメント(26)上の前記センサ装置は,前記ダイアフラムアパーチャの領域においてだけ放射光を検出する装置。
  8. 光学結像系(12)の心合わせのための装置であって,
    ダイアフラムアパーチャ(34)を有する第1ダイアフラムエレメント(24)と,
    前記第1ダイアフラムエレメントの後ろの一定の距離に配置され,標的位置を規定する標的エレメント(26)と,
    放射ビーム(30)の放射源(28)であって,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャと前記標的位置とを結ぶ心合わせ軸(14)に沿って,前記放射ビームを前記第1ダイアフラムエレメントに放射できるように配置されているか,又は配置することができる,放射源と,
    前記結像系の心合わせ支柱(20)であって,前記放射ビームの放射光が,前記結像系を通過した後,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャを通って前記標的位置に当たるまで,前記心合わせ軸に対して前記結像系の心合わせができるようにする,心合わせ支柱と,
    少なくとも,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャ及び/又は前記標的位置の領域における,前記放射ビームの放射光に関する放射光検出用のセンサ装置と,
    前記センサ装置のセンサ信号を処理するための信号処理ユニット(42)と,
    を備え,
    前記第1ダイアフラムエレメント(244)及び/又はダイアフラムアパーチャ(34)が前記標的位置を形成する第2ダイアフラムエレメント(26)上の前記センサ装置は,前記ダイアフラムアパーチャの領域及び前記ダイアフラムアパーチャの外側双方において放射光を検出する装置。
  9. 光学結像系(12)の心合わせのための装置であって,
    ダイアフラムアパーチャ(34)を有する第1ダイアフラムエレメント(24)と,
    前記第1ダイアフラムエレメントの後ろの一定の距離に配置され,標的位置を規定する標的エレメント(26)と,
    放射ビーム(30)の放射源(28)であって,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャと前記標的位置とを結ぶ心合わせ軸(14)に沿って,前記放射ビームを前記第1ダイアフラムエレメントに放射できるように配置されているか,又は配置することができる,放射源と,
    前記結像系の心合わせ支柱(20)であって,前記放射ビームの放射光が,前記結像系を通過した後,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャを通って前記標的位置に当たるまで,前記心合わせ軸に対して前記結像系の心合わせができるようにする,心合わせ支柱と,
    少なくとも,前記第1ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャ及び/又は前記標的位置の領域における,前記放射ビームの放射光に関する放射光検出用のセンサ装置と,
    前記センサ装置のセンサ信号を処理するための信号処理ユニット(42)と,
    を備え,
    ダイアフラムアパーチャ(34)を有する少なくとも一つのダイアフラムエレメント(24,26)を備え,前記ダイアフラムエレメントの少なくとも前記ダイアフラムアパーチャが前記放射光に対して透明な材料片(38)によって覆われ,前記材料片は,前記放射ビーム(30)の前記放射光を検出するための少なくとも一つのセンサ素子(36)を担持する装置。
  10. 前記センサ素子(36)は,前記ダイアフラムエレメント(24,26)の前記ダイアフラムアパーチャ(34)領域に配置される,請求項に記載の装置。
  11. 前記材料片(38)は,相互に間隔を置いて配置された複数のセンサ素子(36)を担持する,請求項又は10に記載の装置。
  12. 前記センサ素子(36)の少なくとも一つの部分集合が,前記ダイアフラムエレメントの前記ダイアフラムアパーチャ(34)の領域に配置される,請求項11に記載の装置。
  13. 前記センサ素子(36)は行列様式に配置される,請求項11又は12に記載の装置。
  14. 前記第1ダイアフラムエレメント(24)は,材料片(38)及びセンサ素子(36)が取り付けられたダイアフラムエレメントによって形成される,請求項13のいずれか一項に記載の装置。
  15. 前記標的は,材料片(38)及びセンサ素子(36)が取り付けられたダイアフラムエレメント(26)の上に形成される,請求項14のいずれか一項に記載の装置。
  16. 前記信号処理ユニット(42)に接続された表示ユニット(44)を備え,前記信号処理ユニットは,前記センサ信号に基づいて表示画像用の画像データを発生し,前記表示ユニット上に前記表示画像を表示するようになっている,請求項15のいずれか一項に記載の装置。
  17. 前記信号処理ユニット(42)に接続された前記結像系(12)用のアクチュエータを備え,前記信号処理ユニットは,前記光学結像系の少なくとも一部の心合わせ用の前記センサ信号に基づいて,前記アクチュエータ用の制御信号を発生するようになっている,請求項16のいずれか一項に記載の装置。
  18. 前記第1ダイアフラムエレメント(24)及び/又は前記標的位置を形成する第2ダイアフラムエレメント(26)の前記ダイアフラムアパーチャ(34)の大きさは変更できる,請求項17のいずれか一項に記載の装置。
  19. 前記結像系(12)は集束レンズを備える,請求項18のいずれか一項に記載の装置。
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