JP5954726B2 - 多層構造において層を評価するための装置および方法 - Google Patents
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Description
また、本願は以下に記載する態様を含む。
(態様1)
軸を横切って略整列した複数の縁部を呈する多層構造の層間ギャップを評価するための装置であって、
(a)少なくとも1つのパラメータを検知するように構成された検知ユニット、
(b)前記検知ユニットと結合されて、前記検知ユニットを前記軸に略沿って移動させるように構成された位置決めユニット、ならびに
(c)前記位置決めユニットおよび前記検知ユニットの少なくとも1つと結合された制御ユニット
を備え、前記制御ユニットが、前記検知ユニットに電気信号を供給し、前記検知ユニットが前記複数の縁部を過ぎて移動するときに前記少なくとも1つのパラメータの変化を監視し、かつ前記少なくとも1つのパラメータの前記変化を使用して前記評価を行う装置。
(態様2)
前記複数の縁部が、前記軸と略平行な前記多層構造の少なくとも一部を横断する開口部を実質的に囲んでいる、態様1に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
(態様3)
前記位置決めユニットが、前記位置決めユニットによる前記検知ユニットの変位を示すように構成されており、前記変位が、前記評価の際に前記制御ユニットによって使用される、態様1に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
(態様4)
前記位置決めユニットがマイクロメータユニットとして実現されている、態様1に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
(態様5)
前記検知ユニットが渦電流コイルユニットを含んでいる、態様1に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
(態様6)
前記少なくとも1つのパラメータが、前記渦電流コイルユニットが受けるインピーダンスである、態様5に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
(態様7)
前記位置決めユニットが、前記位置決めユニットによる前記検知ユニットの変位を示すように構成されており、前記変位が、前記評価の際に前記制御ユニットによって使用される、態様2に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
(態様8)
前記検知ユニットが渦電流コイルユニットを含んでいる、態様7に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
(態様9)
前記少なくとも1つのパラメータが、前記渦電流コイルユニットが受けるインピーダンスである、態様8に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
(態様10)
多層構造の軸に略沿って異なる材料層の厚さを決定するためのシステムであって、前記厚さが、実質的に前記軸と交差するように位置合わせされた複数の縁部によって画定されるシステムにおいて、
(a)少なくとも1つの電磁パラメータを検知するように構成された電磁センサユニット、
(b)前記センサユニットと結合されて、前記センサユニットを前記軸に略沿って移動させる位置決めユニット、ならびに
(c)前記センサユニットおよび前記位置決めユニットの少なくとも1つと結合された監視ユニットであって、前記センサユニットに電気入力信号を供給し、前記センサユニットが前記軸に沿って前記複数の縁部を過ぎて移動するときに前記センサユニットから前記少なくとも1つの電磁パラメータの変化の示度を受け取り、前記少なくとも1つの電磁パラメータの前記変化を使用して前記決定を行う監視ユニット
を備えるシステム。
(態様11)
前記複数の縁部が、前記軸と略平行な前記多層構造の少なくとも一部を横断する開口部を実質的に囲んでいる、態様10に記載の多層構造の軸に略沿って異なる材料層の厚さを決定するためのシステム。
(態様12)
前記位置決めユニットが、前記位置決めユニットによる前記検知ユニットの変位を示すように構成されており、前記変位が、前記決定の際に前記監視ユニットによって使用される、態様11に記載の多層構造の軸に略沿って異なる材料層の厚さを決定するためのシステム。
(態様13)
前記位置決めユニットがマイクロメータユニットとして実現される、態様12に記載の多層構造の軸に略沿って異なる材料層の厚さを決定するためのシステム。
(態様14)
前記センサユニットが渦電流コイルユニットを含んでいる、態様13に記載の多層構造の軸に略沿って異なる材料層の厚さを決定するためのシステム。
(態様15)
前記少なくとも1つの電磁パラメータが、前記渦電流コイルユニットが受けるインピーダンスである、態様14に記載の多層構造の軸に略沿って異なる材料層の厚さを決定するためのシステム。
(態様16)
軸を横切って略整列した複数の縁部を呈する多層構造において層間ギャップを評価し、前記評価を表すマップを生成するための方法であって、
(a)順不同で、
(1)少なくとも1つのパラメータを検知するように構成された検知ユニットを提供し、
(2)前記検知ユニットと結合されて、前記検知ユニットを前記軸に略平行に移動させるように構成された位置決めユニットを提供し、
(3)前記位置決めユニットおよび前記検知ユニットの少なくとも1つと結合された制御ユニットを提供することと
(b)前記制御ユニットを、前記検知ユニットに電気信号を供給するように動作させることと、
(c)前記検知ユニットが前記複数の縁部を過ぎて移動するとき、前記制御ユニットを、前記少なくとも1つのパラメータの変化を監視するように動作させることと、
(d)前記制御ユニットを、前記少なくとも1つのパラメータの前記変化を使用して前記評価を行うように動作させることと、
(e)前記評価を使用して前記マップを生成することと
を含む方法。
(態様17)
前記複数の縁部が、前記軸と略平行な前記多層構造の少なくとも一部を横断する開口部を実質的に囲む、態様16に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための方法。
(態様18)
前記位置決めユニットが、前記位置決めユニットによる前記検知ユニットの変位を示すように配置されたマイクロメータユニットであり、前記変位を、前記評価の際に前記制御ユニットが使用する、態様17に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための方法。
(態様19)
前記検知ユニットが渦電流コイルユニットを含む、態様18に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための方法。
(態様20)
前記少なくとも1つのパラメータが、前記渦電流コイルユニットが受けるインピーダンスである、態様19に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための方法。
12 検知ユニット
14 位置決めユニット
16 制御ユニット
20 位置決めフレーム
22 移動ユニット
24 開口部
26 くぼみ
27 軸
30 センサユニット
32 センサ担体
33 肩部
34 ベアリング要素
35 止め部
36 電気接続導体
37 電気接続導体
38 バイアス部材
e 延長部
40 多層構造
41 頂面
42、44、46、48 層
43 エアギャップ
45、47 中間層
50 開口部
52 軸
54 センサユニット
60 多層構造
62、64 材料層
63 エアギャップ
71 開口部
72 軸
72 12時の位置
74 3時の位置
76 8時の位置
Claims (7)
- 軸を横切って略整列した複数の縁部を呈し、多層構造の少なくとも一部を横断する開口部を囲んでいて、前記軸と略平行である前記多層構造の層間ギャップを評価するための装置であって、
(a)少なくとも1つのパラメータを検知するように構成された検知ユニット、
(b)前記検知ユニットと結合されている位置決めユニットであって、
前記多層構造と結合されるときに、位置フレームが実質的に前記開口部を囲み、前記検知ユニットが前記軸に実質的に同軸に整列されるように、前記多層構造と選択的に結合されている位置フレームを含み、前記検知ユニットを前記検知ユニットと前記多層構造との間にすき間がある前記開口部を通して前記軸に略沿って移動させ、前記軸の周りに前記検知ユニットを回転させるように構成された位置決めユニット、ならびに
(c)前記位置決めユニットおよび前記検知ユニットの少なくとも1つと結合された制御ユニットを備え、前記制御ユニットが、前記検知ユニットに電気信号を供給し、前記検知ユニットが前記複数の縁部を過ぎて移動及び前記開口部内での回転するときに前記少なくとも1つのパラメータの変化を監視し、かつ前記少なくとも1つのパラメータの前記変化を使用して前記多層構造の隣接層間の距離及び前記多層構造の層の厚さの前記評価を行う装置。 - 前記位置決めユニットがマイクロメータユニットとして取り入られている、請求項1に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
- 前記位置決めユニットが、前記位置決めユニットによる前記検知ユニットの変位を示すように構成されており、前記変位が、前記評価の際に前記制御ユニットによって使用される、請求項1に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
- 前記検知ユニットが渦電流コイルユニットを含んでいる、請求項1または3に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
- 前記少なくとも1つのパラメータが、前記渦電流コイルユニットが受けるインピーダンスである、請求項4に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
- 多層構造の軸に略沿って異なる材料層の厚さを決定するためのシステムであって、前記厚さが、実質的に前記軸と交差するように位置合わせされ、前記軸と略平行な前記多層構造の少なくとも一部を横断する開口部を実質的に囲んでいる複数の縁部によって画定されるシステムにおいて、
(a)少なくとも1つの電磁パラメータを検知するように構成された電磁センサユニット、
(b)前記センサユニットと結合されている位置決めユニットであって、前記多層構造と結合されるときに、位置フレームが実質的に前記開口部を囲み、前記センサユニットが前記軸に実質的に同軸に整列されるように、前記多層構造と選択的に結合されている位置フレームを含み、前記センサユニットを前記センサユニットと前記多層構造との間にすき間がある前記開口部を通して前記軸に略沿って移動させ、前記軸の周りに前記センサユニットを回転させる位置決めユニット、ならびに
(c)前記センサユニットおよび前記位置決めユニットの少なくとも1つと結合された監視ユニットであって、前記センサユニットに電気入力信号を供給し、前記センサユニットが前記軸に沿って前記複数の縁部を過ぎて移動及び前記開口部内での回転するときに前記センサユニットから前記少なくとも1つの電磁パラメータの変化の示度を受け取り、前記少なくとも1つの電磁パラメータの前記変化を使用して前記多層構造の隣接する異なる材料層間の距離及び前記多層構造の異なる材料層の厚さの前記決定を行う監視ユニットを備えるシステム。 - 軸を横切って、前記軸と略平行な多層構造の少なくとも一部を横断する開口部を実質的に囲んでいる略整列した複数の縁部を呈する前記多層構造において層間ギャップを評価し、前記評価を表すマップを生成するための方法であって、
(a)順不同で、
(1)少なくとも1つのパラメータを検知するように構成された検知ユニットを提供し、
(2)前記検知ユニットと結合されている位置決めユニットであって、前記多層構造と結合される時に、前記位置決めユニットの位置フレームが実質的に前記開口部を囲み、前記検知ユニットが前記軸に実質的に同軸に整列されるように、前記多層構造と選択的に結合され、前記検知ユニットを前記検知ユニットと前記多層構造との間のすき間のある前記開口部を通して前記軸に略平行に移動させ、前記軸の周りに前記検知ユニットを回転させるように構成された位置決めユニットを提供し、
(3)前記位置決めユニットおよび前記検知ユニットの少なくとも1つと結合された制御ユニットを提供することと
(b)前記制御ユニットを、前記検知ユニットに電気信号を供給するように動作させることと、
(c)前記検知ユニットが前記複数の縁部を過ぎて移動及び前記開口部内での回転するとき、前記制御ユニットを、前記少なくとも1つのパラメータの変化を監視するように動作させることと、
(d)前記制御ユニットを、前記少なくとも1つのパラメータの前記変化を使用して前記多層構造の隣接層間の距離と前記多層構造の層の厚さの前記評価を行うように動作させることと、
(e)前記評価を使用して前記マップを生成することと
を含む方法。
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