JP2012127948A5 - - Google Patents

Description

示された詳細な図面および特定の例は、本開示の好ましい実施形態を記述するが、説明のためのものにすぎず、本開示の装置および方法は、開示されたとおりの細部および条件に限定されず、以下の特許請求の範囲によって定められる本開示の趣旨から逸脱することなく、細部および条件に様々な変更を加えることが可能であることを理解されたい。
また、本願は以下に記載する態様を含む。
（態様１）
軸を横切って略整列した複数の縁部を呈する多層構造の層間ギャップを評価するための装置であって、
（ａ）少なくとも１つのパラメータを検知するように構成された検知ユニット、
（ｂ）前記検知ユニットと結合されて、前記検知ユニットを前記軸に略沿って移動させるように構成された位置決めユニット、ならびに
（ｃ）前記位置決めユニットおよび前記検知ユニットの少なくとも１つと結合された制御ユニット
を備え、前記制御ユニットが、前記検知ユニットに電気信号を供給し、前記検知ユニットが前記複数の縁部を過ぎて移動するときに前記少なくとも１つのパラメータの変化を監視し、かつ前記少なくとも１つのパラメータの前記変化を使用して前記評価を行う装置。
（態様２）
前記複数の縁部が、前記軸と略平行な前記多層構造の少なくとも一部を横断する開口部を実質的に囲んでいる、態様１に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
（態様３）
前記位置決めユニットが、前記位置決めユニットによる前記検知ユニットの変位を示すように構成されており、前記変位が、前記評価の際に前記制御ユニットによって使用される、態様１に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
（態様４）
前記位置決めユニットがマイクロメータユニットとして実現されている、態様１に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
（態様５）
前記検知ユニットが渦電流コイルユニットを含んでいる、態様１に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
（態様６）
前記少なくとも１つのパラメータが、前記渦電流コイルユニットが受けるインピーダンスである、態様５に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
（態様７）
前記位置決めユニットが、前記位置決めユニットによる前記検知ユニットの変位を示すように構成されており、前記変位が、前記評価の際に前記制御ユニットによって使用される、態様２に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
（態様８）
前記検知ユニットが渦電流コイルユニットを含んでいる、態様７に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
（態様９）
前記少なくとも１つのパラメータが、前記渦電流コイルユニットが受けるインピーダンスである、態様８に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
（態様１０）
多層構造の軸に略沿って異なる材料層の厚さを決定するためのシステムであって、前記厚さが、実質的に前記軸と交差するように位置合わせされた複数の縁部によって画定されるシステムにおいて、
（ａ）少なくとも１つの電磁パラメータを検知するように構成された電磁センサユニット、
（ｂ）前記センサユニットと結合されて、前記センサユニットを前記軸に略沿って移動させる位置決めユニット、ならびに
（ｃ）前記センサユニットおよび前記位置決めユニットの少なくとも１つと結合された監視ユニットであって、前記センサユニットに電気入力信号を供給し、前記センサユニットが前記軸に沿って前記複数の縁部を過ぎて移動するときに前記センサユニットから前記少なくとも１つの電磁パラメータの変化の示度を受け取り、前記少なくとも１つの電磁パラメータの前記変化を使用して前記決定を行う監視ユニット
を備えるシステム。
（態様１１）
前記複数の縁部が、前記軸と略平行な前記多層構造の少なくとも一部を横断する開口部を実質的に囲んでいる、態様１０に記載の多層構造の軸に略沿って異なる材料層の厚さを決定するためのシステム。
（態様１２）
前記位置決めユニットが、前記位置決めユニットによる前記検知ユニットの変位を示すように構成されており、前記変位が、前記決定の際に前記監視ユニットによって使用される、態様１１に記載の多層構造の軸に略沿って異なる材料層の厚さを決定するためのシステム。
（態様１３）
前記位置決めユニットがマイクロメータユニットとして実現される、態様１２に記載の多層構造の軸に略沿って異なる材料層の厚さを決定するためのシステム。
（態様１４）
前記センサユニットが渦電流コイルユニットを含んでいる、態様１３に記載の多層構造の軸に略沿って異なる材料層の厚さを決定するためのシステム。
（態様１５）
前記少なくとも１つの電磁パラメータが、前記渦電流コイルユニットが受けるインピーダンスである、態様１４に記載の多層構造の軸に略沿って異なる材料層の厚さを決定するためのシステム。
（態様１６）
軸を横切って略整列した複数の縁部を呈する多層構造において層間ギャップを評価し、前記評価を表すマップを生成するための方法であって、
（ａ）順不同で、
（１）少なくとも１つのパラメータを検知するように構成された検知ユニットを提供し、
（２）前記検知ユニットと結合されて、前記検知ユニットを前記軸に略平行に移動させるように構成された位置決めユニットを提供し、
（３）前記位置決めユニットおよび前記検知ユニットの少なくとも１つと結合された制御ユニットを提供することと
（ｂ）前記制御ユニットを、前記検知ユニットに電気信号を供給するように動作させることと、
（ｃ）前記検知ユニットが前記複数の縁部を過ぎて移動するとき、前記制御ユニットを、前記少なくとも１つのパラメータの変化を監視するように動作させることと、
（ｄ）前記制御ユニットを、前記少なくとも１つのパラメータの前記変化を使用して前記評価を行うように動作させることと、
（ｅ）前記評価を使用して前記マップを生成することと
を含む方法。
（態様１７）
前記複数の縁部が、前記軸と略平行な前記多層構造の少なくとも一部を横断する開口部を実質的に囲む、態様１６に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための方法。
（態様１８）
前記位置決めユニットが、前記位置決めユニットによる前記検知ユニットの変位を示すように配置されたマイクロメータユニットであり、前記変位を、前記評価の際に前記制御ユニットが使用する、態様１７に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための方法。
（態様１９）
前記検知ユニットが渦電流コイルユニットを含む、態様１８に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための方法。
（態様２０）
前記少なくとも１つのパラメータが、前記渦電流コイルユニットが受けるインピーダンスである、態様１９に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための方法。

Claims (8)

1. 軸を横切って略整列した複数の縁部を呈する多層構造の層間ギャップを評価するための装置であって、
   （ａ）少なくとも１つのパラメータを検知するように構成された検知ユニット、
   （ｂ）前記検知ユニットと結合されて、前記検知ユニットを前記軸に略沿って移動させるように構成された位置決めユニット、ならびに
   （ｃ）前記位置決めユニットおよび前記検知ユニットの少なくとも１つと結合された制御ユニット
   を備え、前記制御ユニットが、前記検知ユニットに電気信号を供給し、前記検知ユニットが前記複数の縁部を過ぎて移動するときに前記少なくとも１つのパラメータの変化を監視し、かつ前記少なくとも１つのパラメータの前記変化を使用して前記評価を行う装置。
2. 前記複数の縁部が、前記軸と略平行な前記多層構造の少なくとも一部を横断する開口部を実質的に囲んでいる、請求項１に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
3. 前記位置決めユニットがマイクロメータユニットとして実現されている、請求項１に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
4. 前記位置決めユニットが、前記位置決めユニットによる前記検知ユニットの変位を示すように構成されており、前記変位が、前記評価の際に前記制御ユニットによって使用される、請求項１または２に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
5. 前記検知ユニットが渦電流コイルユニットを含んでいる、請求項１または４に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
6. 前記少なくとも１つのパラメータが、前記渦電流コイルユニットが受けるインピーダンスである、請求項５に記載の多層構造の層間ギャップを評価するための装置。
7. 多層構造の軸に略沿って異なる材料層の厚さを決定するためのシステムであって、前記厚さが、実質的に前記軸と交差するように位置合わせされた複数の縁部によって画定されるシステムにおいて、
   （ａ）少なくとも１つの電磁パラメータを検知するように構成された電磁センサユニット、
   （ｂ）前記センサユニットと結合されて、前記センサユニットを前記軸に略沿って移動させる位置決めユニット、ならびに
   （ｃ）前記センサユニットおよび前記位置決めユニットの少なくとも１つと結合された監視ユニットであって、前記センサユニットに電気入力信号を供給し、前記センサユニットが前記軸に沿って前記複数の縁部を過ぎて移動するときに前記センサユニットから前記少なくとも１つの電磁パラメータの変化の示度を受け取り、前記少なくとも１つの電磁パラメータの前記変化を使用して前記決定を行う監視ユニット
   を備えるシステム。
8. 軸を横切って略整列した複数の縁部を呈する多層構造において層間ギャップを評価し、前記評価を表すマップを生成するための方法であって、
   （ａ）順不同で、
   （１）少なくとも１つのパラメータを検知するように構成された検知ユニットを提供し、
   （２）前記検知ユニットと結合されて、前記検知ユニットを前記軸に略平行に移動させるように構成された位置決めユニットを提供し、
   （３）前記位置決めユニットおよび前記検知ユニットの少なくとも１つと結合された制御ユニットを提供することと
   （ｂ）前記制御ユニットを、前記検知ユニットに電気信号を供給するように動作させることと、
   （ｃ）前記検知ユニットが前記複数の縁部を過ぎて移動するとき、前記制御ユニットを、前記少なくとも１つのパラメータの変化を監視するように動作させることと、
   （ｄ）前記制御ユニットを、前記少なくとも１つのパラメータの前記変化を使用して前記評価を行うように動作させることと、
   （ｅ）前記評価を使用して前記マップを生成することと
   を含む方法。