JP5943738B2 - 深紫外レーザ光源 - Google Patents
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Description
銅蒸気イオンレーザ光源、波長226.4nmの金蒸気イオンレーザ光源で代表される金属蒸気イオンレーザ光源がある。
t1≧a・E3
但し、Eは電子線EBのエネルギー(keV)
aは1μm/(keV)3
である。すなわち、制動幅射によって発生するX線の最も高いエネルギーは電子線EBのエネルギーと同一である。従って、たとえば、E=6keVのときに、サファイア(0001)基板1の厚さt1は216μm以上、E=10keVのときに、サファイア(0001)基板の厚さt1は1000μm以上である。このように、サファイア(0001)基板1の厚さt1を上述の式に基づいて設定することにより漏洩X線の強度を法定規定値以下とすることができる。
また、DUVレーザ発振方向と漏洩X線発生方向は90°角度が異なるので、これを考慮した漏洩防止策を施すことも可能である。例えば、DUVレーザ発振方向に穴開け加工を施した鉛等の重金属蓋をX線漏洩個所に被せる等の工夫を取ることが考えられる。
サファイア(0001)基板1について、
屈折率n1=1.84
消衰係数k1=0
AlN層2,3,4について、
屈折率n2=1.87
消衰係数k2=0
アルミニウムメタルバック層6について、
屈折率n6=0.172
消衰係数k6=2.79
RFパワー:100-1000W
圧力:133-13300Pa (1-100Torr)
水素流量:5-500sccm
エッチング時間:1-100分
尚、上記において、電源11、12、14に、直流電源を例にとって説明を行っているが、適宜、交流電源並びにパルス電源を使用することにより、電子線を時間的に変調することが可能となり、DUVレーザ光も、電子線の変調に応じて連続発振のみならず、パルス発振等をおこなうことが可能となる。
Γ=1−exp(-C・Δn・t5)
但し、Cは半導体材料に応じた定数であって、AlGaAlの場合、
2.5×10−3Å−1、
ΔnはAl0.7Ga0.3N/AlN多重量子井戸層5の屈折率nAlGaN=2.6とAlN/AlGaN超格子クラッド層及び/またはAlN光ガイド層の屈折率nAlN=2.3との屈折率差0.3、
で表わせる。たとえば、Al0.7Ga0.3N/AlN多重量子井戸層5の厚さt5を60nmとすれば、Γ=0.36であり、通常のレーザ発振の目安とされるΓ=0.01よりも大きく、非常に高い光閉じ込め効率を実現できる。
2、32:AlNバッファ層
3、33:グレーティングAlN層
4:AlN層
5、35:Al0.7Ga0.3N/AlN多重量子井戸層
6、37:アルミニウムメタルバック層
7、38:電子放出源
8:ガラス管
9:陽極電極
10:静電レンズ
11、12:直流電源
13:引出電極
14:直流電源
34,36:AlN共振層
EB:電子線
DUV:深紫外レーザ光
RS1、RS2、RS31、RS32:反射構造
Claims (7)
- 基板と、
該基板上に設けられたワイドバンドギャップ半導体層と、
前記ワイドバンドギャップ半導体層上に設けられたアルミニウムメタルバック層と、
前記ワイドバンドギャップ半導体層から発生した深紫外光を共振させるための共振器構造と
を具備し、
前記アルミニウムメタルバック層側より電子線を照射して前記ワイドバンドギャップ半導体層を励起して該励起されたワイドバンドギャップ半導体層から発生した深紫外光を前記共振器構造によりレーザ共振させるようにし、
前記ワイドバンドギャップ半導体層がAl x Ga 1-x N井戸層(0.1≦x≦0.9)及びAlN障壁層よりなるAl x Ga 1-x N/AlN多重量子井戸層を具備し、
前記Al x Ga 1-x N/AlN多重量子井戸層の厚さは約6nmから60nmである深紫外レーザ装置。 - 前記アルミニウムメタルバック層の厚さは約30〜100nmである請求項1に記載の深紫外レーザ光源。
- さらに、前記電子線をアルミニウムメタルバック層に照射するためのグラファイトナノ針状ロッドにより構成される電子線源を具備する請求項1に記載の深紫外レーザ光源。
- 前記基板の厚さt1は、
t1≧a・E3
但し、Eは前記電子線のエネルギー、
aは前記基板の材料によって定める定数
である請求項1に記載の深紫外レーザ光源。 - さらに、前記電子線を前記ワイドバンドギャップ半導体層上にフォーカスさせるための静電レンズを具備する請求項1に記載の深紫外レーザ光源。
- さらに、内部が真空であるガラス管を具備し、
前記電子線源は前記ガラス管内に設置され、
前記アルミニウムメタルバック層は前記ガラス管に密着されている請求項3に記載の深紫外レーザ光源。 - さらに、前記ワイドバンドギャップ半導体層の両側に設けられた端面反射型の反射構造を具備する請求項1に記載の深紫外レーザ光源。
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