JP5939664B2 - クリセン化合物を使用した有機半導体デバイス。 - Google Patents
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Description
前記アルコキシル基は特に限定されず、例えばメチルオキシ基、エチルオキシ基、プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、n−ブチルオキシ基、s−ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、t−ブチルオキシ基、n−ペンチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、n−ヘキシルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、n−ヘプチルオキシ基、n−オクチルオキシ基、n−ノニルオキシ基、n−デシルオキシ基、n−ウンデシルオキシ基、n−ドデシルオキシ基、n−トリデシルオキシ基などが挙げられる。
疎水性絶縁材料とは、電気絶縁性を有し薄膜を形成できるものであり、ハロゲン原子を含むものとしたのは、疎水性絶縁体材料の中でもハロゲン原子を含む材料をゲート絶縁体層とした時にトランジスタ特性が向上する傾向があるため、この材料に限定したものである。ハロゲン原子のなかでもフッ素、塩素原子が好ましく、例えばフッ化バリウムマグネシウム、フッ素酸化物、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)、ポリビニリデンフルオライド(PVDF)、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテルコポリマー(PFA)、エチレン−テトラフルオロエチレンコポリマー(ETFE)、ポリ塩化ビニル(PVC)、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、ポリ塩化ビニリデン(PVDC)、ポリパーフルオロ−3−オキサ−1,6−ヘプタジエンなどが挙げられ、上記絶縁体材料を二種類以上使用した二層以上の絶縁体層や、公知の絶縁体材料と上記絶縁体材料を組み合わせた二層以上の絶縁体層、上記絶縁体材料を二種類以上混合した絶縁体層、公知の絶縁体材料と上記絶縁体材料を二種類以上混合した絶縁体層でもよい。
上記公知の絶縁体材料とは、電気絶縁性を有し薄膜を形成できるものであるなら特に限定されず、例えば酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化タンタル、酸化チタン、酸化スズ、酸化バナジウム、チタン酸バリウムストロンチウム、ジルコニウム酸チタン酸バリウム、ジルコニウム酸チタン酸鉛、チタン酸鉛ランタン、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウム、ランタン酸化物、マグネシウム酸化物、ビスマス酸化物、チタン酸ビスマス、ニオブ酸化物、チタン酸ストロンチウムビスマス、タンタル酸ストロンチウムビスマス、五酸化タンタル、タンタル酸ニオブ酸ビスマス、トリオキサイドイットリウム、ポリイミド(PI)、ポリアミド(PA)、ポリエステル、ポリアリレート(PAR)、光ラジカル重合系、光カチオン重合系の光硬化性樹脂、アクリロニトリルを含む共重合体、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、ポリスチレン(PS)、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリカーボネート(PC)、ポリサルホン(PSF)、ポリビニルホルマール、6−ナイロン、6,6−ナイロン、ポリアニリン、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)、エポキシ樹脂(EP)、ポリ酢酸ビニル(PVAC)、酢酸セルロース、ポリエチレンテレフタレート(PET)、フラン樹脂、メラミン樹脂(MF)などが挙げられ、これらの材料を二種類以上組み合わせて使用してもよい。
またこれらの絶縁体層の表面に撥水化処理を施してもよく、撥水化処理剤として、例えばヘキサメチルジシラザン(HMDS)、オクタデシルトリクロロシラン、トリクロロメチルシラザンなどのシランカップリング剤などが挙げられる。
〔合成経路〕
上記合成経路は、前記特許文献1に記載の合成経路に従って合成した。なお、化合物Fのマススペクトルを図1に示す。
上記のクリセン化合物Fを用い、真空蒸着法を用いてトップコンタクト型のトランジスタ素子の作製を行った。まずPMMAの1wt%トルエン溶液、PSの0.3wt%トルエン溶液、CYTOP溶液をそれぞれSi/SiO2基板にスピンコート法によって塗布し、これらの基板をそれぞれ120℃にて4時間保持して乾燥、90℃にて30分保持して乾燥、90℃にて10分保持した後200℃にて1時間保持して乾燥し、二層絶縁体層とした基盤を作製した。これらの基板およびSi/SiO2基板をそれぞれ用い、有機半導体層となる化合物Fを真空蒸着装置を用いて50nm蒸着し、その上にソース、ドレイン電極となる金を電子ビーム法を用いて80nm蒸着しトップコンタクト型素子(L=50μm、W=0.15cm)を作製した。また、ポリマー絶縁体層の膜厚は、それぞれPMMA:42nm、PS:13nm、CYTOP:28nmとして計算を行っている。またCYTOPとはAGC旭硝子の製品であり、アモルファスフッ素樹脂の商品名である。
積層基板として熱処理によって膜厚210nmのSiO2層を形成したn+ドープシリコンウェハー基板を用い、PMMAやCYTOPといった高分子絶縁体層の薄膜(30nm)を作製した。高分子絶縁体層は2000rpmでスピンコートし、70℃で乾燥させた後、PMMAでは100℃で3時間アニールもしくは、90℃で乾燥させ、CYTOPでは窒素雰囲気下、ホットプレート200℃で1時間焼成して作製した。輝きがあり、薄く、欠陥のないクリセン単結晶を選んで基板の上に乗せ、その両端にソース、ドレイン電極としてカーボンペーストを塗った。なお、整理のため真空蒸着により作製したOFETデバイスを蒸着FETとし、単結晶を選んで基板の上に乗せ、その両端にソース、ドレイン電極としてカーボンペーストを塗ったものを単結晶FETとする。
さらに図4にクリセン化合物F単結晶のX線構造解析の結果を示す。ヘリングボーン構造を示し、単結晶構造解析が行われたことからも単結晶が得られたことが確認できる。
図5の蒸着FETと単結晶FETのトランジスタ特性の比較表から、単結晶FETに比較し、蒸着FETのトランジスタ特性が同等以上の性能を有することが判る。
Claims (3)
- フッ素原子を含む疎水性絶縁材料のゲート絶縁膜上に下記化学式[化1]で示されるクリセン骨格を有する有機化合物の多結晶の薄膜層が形成されていることを特徴とする有機半導体デバイス。
化学式[化1]の中のR2とR8は同一のアリール基であって、アリール基とはフェニル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基、ビフェニル基、ターフェニル基であり、これらは置換基を有していてもよい。 - 請求項1に記載の有機半導体デバイスのクリセン骨格を有する有機化合物の多結晶の薄膜層をドライプロセスにより作製する生産方法。
- 請求項1に記載の有機半導体デバイスのクリセン骨格を有する有機化合物の多結晶の薄膜層をウエットプロセスにより作製する生産方法。
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