JP5938871B2 - GaN系膜の製造方法 - Google Patents
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Description
図1(A)を参照して、本実施形態のGaN系膜の製造方法は、主面11m内の熱膨張係数が、GaN結晶のa軸方向の熱膨脹係数に比べて、0.8倍より大きく1.2倍より小さい支持基板11と、支持基板11の主面11m側に配置されている単結晶膜13と、を含み、単結晶膜13が単結晶膜13の主面13mに垂直な軸に対して3回対称性を有する複合基板10を準備する工程を含む。
図1(B)を参照して、本実施形態のGaN系膜の製造方法は、複合基板10における単結晶膜13の主面13m上にGaN系膜20を成膜する工程を含む。
1.GaN結晶の熱膨張係数の測定
HVPE法により成長させた、転位密度が1×106cm-2、Si濃度が1×1018cm-2、酸素濃度が1×1017cm-2、炭素濃度が1×1016cm-2のGaN単結晶から、サイズが2×2×20mm(長手方向がa軸、長手方向に平行な面がc面およびm面のいずれかで構成され、面方位の精度は±0.1°以内)の評価用サンプルを切り出した。
(1)支持基板を準備するサブ工程
図2(A)を参照して、支持基板11の材料として、Al2O3とSiO2との所定のモル比の混合物をアルゴンガス雰囲気下一軸方向に50MPaの圧力をかけて1700℃で1時間焼結させた市販の13種類のAl2O3−SiO2系焼結体A〜Mを準備した。かかる13種類のAl2O3−SiO2系焼結体A〜Mには、X線回折により確認したところ、いずれについても、Al6O13Si2(ムライト)、Al2O3およびSiO2が存在していた。また、上記13種類のAl2O3−SiO2系焼結体のそれぞれからサイズが2×2×20mm(長手方向は焼結体から切り出される支持基板の主面に実質的に平行な方向)の測定用サンプルを切り出した。ここで、Al2O3−SiO2系焼結体は方向特異性がないため、切り出し方向は任意とした。それらの測定用サンプルについて、上記と同様にして、室温(25℃)から800℃まで昇温下時の平均熱膨張係数αSを測定した。
図2(B)を参照して、下地基板30として、鏡面に研磨された(111)面の主面30nを有する直径5インチ(127mm)で厚さ0.5mmのSi基板を準備した。
図2(C)中の(C1)を参照して、図2(A)の支持基板A〜M(支持基板11)のそれぞれの主面11m上に厚さ2μmのSiO2膜をCVD法により成膜した。次いで、支持基板A〜M(支持基板11)のそれぞれの主面11m上の厚さ2μmのSiO2膜を、CeO2スラリーを用いて研磨することにより、厚さ0.2μmのSiO2層だけ残存させて、接着層12aとした。これにより、支持基板A〜M(支持基板11)のそれぞれの主面11mの空隙が埋められ、平坦な主面12amを有する厚さ0.2μmのSiO2層(接着層12a)が得られた。
図2(D)を参照して、支持基板A〜M(支持基板11)の裏側(単結晶膜13が貼り合わされていない側)の主面および側面をワックス40で覆って保護した後、フッ化水素酸(フッ酸)および硝酸の混酸水溶液を用いて、エッチングによりSi基板(下地基板30)を除去した。こうして、支持基板A〜M(支持基板11)のそれぞれの主面11m側にSiC膜(単結晶膜13)が配置された複合基板A〜Mが得られた。
図1(B)を参照して、複合基板A〜M(複合基板10)のSiC膜(単結晶膜13)の主面13m(かかる主面は(0001)面、(000−1)面またはそれらの面が混在したものである。)上および直径4インチ(101.6mm)で厚さ1mmのサファイア基板の主面(かかる主面は(0001)面である)上に、それぞれMOCVD法によりGaN膜(GaN系膜20)を成膜した。GaN膜(GaN系膜20)の成膜においては、原料ガスとしてTMG(トリメチルガリウム)ガスおよびNH3ガスを使用し、キャリアガスとしてH2ガスを使用し、500℃で厚さ0.1μmのGaNバッファ層(GaN系バッファ層21)を成長させ、次いで1050℃で厚さ5μmのGaN単結晶層(GaN系単結晶層23)を成長させた。ここで、GaN単結晶層の成長速度は1μm/hrであった。その後、複合基板A〜Mおよびサファイア基板のそれぞれにGaN膜が成膜されたウエハA〜MおよびRを10℃/minの速度で室温(25℃)まで冷却した。
1.GaN結晶の熱膨張係数の測定
参考例1と同様にして測定したところ、GaN結晶のa軸方向の25℃から800℃までにおける平均熱膨張係数αGaN-aは、5.84×10-6/℃であった。
(1)支持基板を準備するサブ工程
図2(A)を参照して、支持基板11の材料として、1気圧、1700℃で10時間焼結する常圧焼結および2000気圧、1700℃で1時間焼結するHIP(熱間等方位圧プレス)により製造された57種類のYSZ(イットリア安定化ジルコニア)−ムライト系焼結体A0、B1〜B8、C1〜C8、D1〜D8、E1〜E8、F1〜F8、G1〜G8およびH1〜H8のそれぞれのX線回折によりY2O3、ZrO2およびムライト(3Al2O3・2SiO2〜2Al2O3・2SiO2、具体的にはAl6O13Si2)の存在の有無および比率を確認した。また、上記57種類のYSZ−ムライト系焼結体のそれぞれから、サイズが2×2×20mm(長手方向は焼結体から切り出される支持基板の主面に実質的に平行な方向)の測定用サンプルを切り出した。ここで、YSZ−ムライト系焼結体は方向特異性がないため、切り出し方向は任意とした。それらの測定用サンプルについて、上記と同様にして、室温(25℃)から800℃まで昇温下時の平均熱膨張係数αSを測定した。
図2(B)を参照して、下地基板30として、鏡面に研磨された(111)面の主面30nを有する直径5インチ(127mm)で厚さ0.5mmのSi基板を準備した。
図2(C)中の(C1)を参照して、図3(A)の57種類の支持基板A0、B1〜B8、C1〜C8、D1〜D8、E1〜E8、F1〜F8、G1〜G8、H1〜H8(支持基板11)のそれぞれの主面11m上に厚さ300nmのSiO2膜をCVD(化学気相堆積)法により成膜した。次いで、上記57種類の支持基板(支持基板11)のそれぞれの主面11m上の厚さ300nmのSiO2膜を、CeO2スラリーを用いて研磨することにより、厚さ270nmのSiO2層を残存させて、接着層12aとした。これにより、上記57種類の支持基板(支持基板11)のそれぞれの主面11mの空隙が埋められ、平坦な主面12amを有する厚さ270nmのSiO2層(接着層12a)が得られた。
図2(D)を参照して、上記57種類の支持基板(支持基板11)の裏側(単結晶膜13が貼り合わされていない側)の主面および側面をワックス40で覆って保護した後、10質量%のフッ化水素酸(フッ酸)および5質量%の硝酸を含む混酸水溶液を用いて、エッチングによりSi基板(下地基板30)を除去した。こうして、上記57種類の支持基板(支持基板11)のそれぞれの主面11m側にGaN膜(単結晶膜13)が配置された57種類の複合基板A、B1〜B8、C1〜C8、D1〜D8、E1〜E8、F1〜F8、G1〜G8、H1〜H8(複合基板10)が得られた。
図1(B)を参照して、上記57種類の複合基板(複合基板10)のGaN膜(単結晶膜13)の主面13m(かかる主面は(0001)面である。)上および直径4インチ(101.6mm)で厚さ1mmのサファイア基板の主面(かかる主面は(0001)面である。)上に、それぞれMOCVD法によりGaN膜(GaN系膜20)を成膜した。GaN膜(GaN系膜20)の成膜においては、原料ガスとしてTMG(トリメチルガリウム)ガスおよびNH3ガスを使用し、キャリアガスとしてH2ガスを使用し、500℃で厚さ50nmのGaNバッファ層(GaN系バッファ層21)を成長させ、次いで1050℃で厚さ50nmのGaN単結晶層(GaN系単結晶層23)を成長させた。ここで、GaN単結晶層の成長速度は1μm/hrであった。その後、上記57種類の複合基板のそれぞれにGaN膜が成膜された57種類のウエハA0、B1〜B8、C1〜C8、D1〜D8、E1〜E8、F1〜F8、G1〜G8およびH1〜H8を10℃/minの速度で室温(25℃)まで冷却した。
Claims (5)
- 主面内の熱膨張係数が、GaN結晶のa軸方向の熱膨脹係数に比べて、0.8倍より大きく1.2倍より小さい支持基板と、前記支持基板の主面側に配置されている単結晶膜と、を含み、前記支持基板が酸化物を含む焼結体であり、前記単結晶膜がGaN膜である複合基板を準備する工程と、
前記複合基板における前記単結晶膜の主面上にGaN系膜を成膜する工程と、を含むGaN系膜の製造方法。 - 前記複合基板における前記支持基板は、アルミナとシリカとで形成されるAl2O3−SiO2複合酸化物と、イットリア安定化ジルコニアと、を含む請求項1に記載のGaN系膜の製造方法。
- 前記Al2O3−SiO2複合酸化物および前記イットリア安定化ジルコニアの全体に対する前記イットリア安定化ジルコニアの含有率は、20質量%以上40質量%以下である請求項2に記載のGaN系膜の製造方法。
- 前記イットリア安定化ジルコニアに対するイットリアの含有率は、5モル%以上である請求項3に記載のGaN系膜の製造方法。
- 前記GaN系膜を成膜する工程は、前記単結晶膜の主面上にGaN系バッファ層を形成するサブ工程と、前記GaN系バッファ層の主面上にGaN系単結晶層を形成するサブ工程と、を含む請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のGaN系膜の製造方法。
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