JP5937398B2 - 半導体装置製造用接着シート及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
常温接着型の接着シートは、リードフレームへの貼着作業が容易であるものの、その後の封止工程で、樹脂漏れ(モールドフラッシュ)を生じやすいという問題がある。
加熱接着型の接着シートは、リードフレームとの接着強度が高く、モールドフラッシュを生じにくい。
加熱接着型の接着シートとしては、例えば、フッ素樹脂及び反応性エラストマーを含有する接着剤層を有する半導体装置製造用接着シートが提案されている(例えば、特許文献1)。特許文献1の発明によれば、モールドフラッシュの防止が図られている。
加えて、加熱接着型の接着シートは、リードフレームや配線基板と熱膨張率が大きく異なるため、加熱された際にリードフレームや配線基板に反りを生じさせることがある。
近年、電子機器のさらなる小型化、高性能化に対応するために、半導体装置の小型化、高性能化が進められている。半導体装置の小型化、高性能化に伴い、リードフレームや配線基板は、より薄いものとされたり、単位面積当たりの穿孔面積が大きいものとされたりして、剛性の低いものとなっている。このため、低い剛性のリードフレームや配線基板等に加熱接着型の接着シートを貼着するための加熱処理を施すと、リードフレームや配線基板に反りが生じやすいという問題がある。貼着工程でリードフレームや配線基板に大きな反りが生じると、ダイアタッチ工程やワイヤボンディング工程での位置決めが困難になり、半導体装置の生産性が損なわれるおそれがある。
例えば、引用文献1の発明では、モールドフラッシュを良好に抑制できるものの、近年の薄型化したリードフレームに生じる反りを十分に抑制できるものではなかった。
そこで、本発明は、モールドフラッシュを良好に抑制でき、かつ半導体装置の生産性を高められる半導体装置製造用接着シートを目的とする。
<剥離試験A>
・表面に金メッキ層が設けられた銅板を被貼着板とする。
・半導体装置製造用接着シート(20mm幅)を25℃、圧力0.37N/mmで、前記被貼着板に貼着して加熱前試料とする。
・前記加熱前試料の半導体装置製造用接着シートを測定温度25℃、剥離角度90°、剥離速度50mm/minで剥離して最大応力を求め、これを加熱前接着強度aとする。
<剥離試験B>
・前記剥離試験Aで用いた加熱前試料に対し、175℃で1時間の加熱処理を施して加熱後試料とする。
・前記加熱後試料の半導体装置製造用接着シートを測定温度175℃、剥離角度90°、剥離速度10mm/minで剥離して最大応力を求め、これを加熱後接着強度bとする。
<剥離試験C>
・前記剥離試験Bで用いた加熱後試料の半導体装置製造用接着シートを測定温度175℃、剥離角度90°、剥離速度500mm/minで剥離して最大応力を求め、これを加熱後接着強度cとする。
リードフレームとは、金属板をエッチング又はプレス等により導体パターンを形成したものであり、配線基板とは、電気絶縁性基板の表面(又は内面を含むことがある)に、導体パターンを導電性材料で形成したもののことである。
基材としては、耐熱性のあるもの、例えば、耐熱性樹脂フィルムや金属箔等が挙げられる。
接着シートを用いてQFNパッケージ等の半導体装置を製造する際に、接着シートは、ダイアタッチ工程、ワイヤボンディング工程、封止工程において、150〜250℃の高温に曝される。基材として耐熱性樹脂フィルムを用いる場合、該耐熱性フィルムの熱膨張係数はガラス転移温度(Tg)以上になると急激に増加し、金属製のリードフレームとの熱膨張差が大きくなる。このため、室温に戻した際に、耐熱性フィルムとリードフレームに反りが発生する恐れがある。そして、耐熱性フィルムとリードフレームに反りが発生した場合には、封止工程において、金型の位置決めピンにリードフレームを装着することができず、位置ずれ不良を起こす恐れがある。
従って、基材として耐熱性フィルムを用いる場合、ガラス転移温度が150℃以上の耐熱性フィルムであることが好ましく、さらに180℃以上であることがより好ましい。
また、耐熱性フィルムの150〜250℃における熱膨張係数が5〜50ppm/℃であることが好ましく、さらに10〜30ppm/℃であることがより好ましい。かかる特性を有する耐熱性フィルムとしては、ポリイミド、ポリアミド、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、トリアセチルセルロース、ポリエーテルイミド等からなるフィルムを例示することができる。
熱硬化型の接着剤層としては、例えば、反応性エラストマー及び/又は熱硬化型樹脂を含有し、硬化剤が配合されたものが挙げられ、中でも、反応性エラストマーを含有し、硬化剤が配合されたものが好ましい。反応性エラストマーを用いることで、後述する加熱前接着強度a、加熱後接着強度b及び加熱後接着強度cをより適切なものとできる。
なお、熱可塑性樹脂として、フッ素を含有する熱可塑性樹脂(フッ素含有熱可塑性樹脂)を用いてもよい。
また、熱硬化性樹脂として、フッ素を含有する熱硬化性樹脂(フッ素含有熱硬化性樹脂)を用いてもよい。
熱可塑性樹脂としては、ポリブタジエン、ポリアクリロニトリル、ポリビニルブチラール、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリエステル、ポリウレタン、アクリルゴム等が挙げられる。
なお、熱可塑性樹脂として、フッ素を含有する熱可塑性樹脂(フッ素含有熱可塑性樹脂)を用いてもよい。
樹脂中の反応性エラストマーの含有量は、例えば、50質量%以上が好ましく、80質量%以上が好ましい。
接着剤層中の硬化剤の含有量は、硬化剤、反応性エラストマーや熱硬化性樹脂の種類を勘案して適宜決定され、例えば、樹脂100質量部に対し、0.5〜10質量部が好ましい。
含フッ素添加剤としては、例えば、パーフルオロアルキル基を含有するスルホン酸塩、パーフルオロアルキル基を含有するカルボン酸塩等のアニオン界面活性剤、パーフルオロアルキルアルキレンオキシド付加物、含フッ素基・親油性基含有オリゴマー、含フッ素基・親水性基含有オリゴマー、含フッ素基・親水性基・親油性基含有オリゴマー等のノニオン界面活性剤等のフッ素含有界面活性剤等が挙げられ、中でも、ノニオン界面活性剤が好ましく、含フッ素基・親油性基含有オリゴマーがより好ましい。アニオン界面活性剤は、イオン化する官能基が樹脂中で静電気的な相互作用を受けることで、界面活性剤の自由度が下がって表面に出にくくなる。親油性基の例としては、アルキル基、アリル基、ビニル基、アルキルエーテル基、アルキルエステル基、アクリレート基等が挙げられる。これらの含フッ素添加剤は、1種単独で用いられてもよいし、2種以上が組み合わされて用いられてもよい。
樹脂として反応性エラストマーを用いる場合、反応性エラストマー100質量部に対する含フッ素添加剤の含有量は、0.5〜20質量%が好ましく、1〜10質量%がより好ましく、2.5〜5.0質量%がさらに好ましい。上記下限値未満では、剥離性が低下するおそれがあり、上記上限値超では、接着強度が不十分となってモールドフラッシュ特性が低下したり、後述する加熱前接着強度aが不十分になるおそれがある。
なお、加熱前接着強度aは、加熱接着型の接着シートにおいて、硬化前の接着剤層の貼着性を示す指標である。
・表面に金メッキ層が設けられた銅板を被貼着板とする。
・半導体装置製造用接着シート(20mm幅)を25℃、圧力0.37N/mmで、前記被貼着板に貼着して加熱前試料とする。
・前記加熱前試料の半導体装置製造用接着シートを測定温度25℃、剥離角度90°、剥離速度50mm/minで剥離して最大応力を求め、これを加熱前接着強度aとする。
・前記の<剥離試験A>で用いた加熱前試料に対し、175℃で1時間の加熱処理を施して加熱後試料とする。
・前記加熱後試料の接着シートを測定温度175℃、剥離角度90°、剥離角度90°、剥離速度10mm/minで剥離して最大応力を求め、これを加熱後接着強度bとする
・前記の<剥離試験B>で用いた加熱後試料の接着シートを測定温度175℃、剥離角度90°、剥離速度500mm/minで剥離して最大応力を求め、これを加熱後接着強度cとする。
なお、表面フッ素復元率は、含フッ素添加剤の種類や量、樹脂の種類や量を組み合わせることで調節される。
[(I)式中、復元後表面フッ素含有率αは、接着剤層にアルゴンガス雰囲気下、出力450Wの条件で1分間のプラズマ処理を施し、次いで、接着剤層を220℃で15分間加熱した後の接着剤層の表面のフッ素含有率(atom%)である。初期表面フッ素含有率βは、前記プラズマ処理を施す前の接着剤層の表面のフッ素含有率(atom%)である。]
X線源:単色化AlKα
X線出力:25.0W
X線照射径:φ100μm
測定領域:Point100μm
光電子取り込み角:45deg
WideScan:280.0e;1.000eV/Step
なお、以下の説明では、含フッ素添加剤と反応性エラストマーと硬化剤とを含有する接着剤層を備える接着シートを用い、リードフレームを貼着対象としてQFNパッケージを製造する場合を例にして説明する。
リードフレーム20の材質としては、従来公知のものが挙げられ、例えば、銅板の表面に、ニッケルメッキ層とパラジウムメッキ層と金メッキ層とがこの順に設けられたものが挙げられる。
なお、本工程でリードフレーム20に反りが生じると、ダイアタッチ工程やワイヤボンディング工程での位置決めが困難になり、QFNパッケージの生産性を低下させるおそれがある。
プラズマ処理が施されると、接着剤層は、含フッ素添加剤が偏在していた表面層が切削されて、接着剤層の表面の含フッ素添加剤の量が減少する。この時点で、接着剤層の表面においては、剥離性を高めるための含フッ素添加剤の量が不十分となり、接着シート10の剥離性が低下する。
ワイヤボンディング工程で仕掛品が加熱されると、接着剤層中に分散している含フッ素添加剤が接着剤層の表面に移行する。ここで、接着剤層の表面フッ素復元率が70%以上であれば、接着剤層の表面の含フッ素添加剤の量は、剥離性を高めるのに十分な量となる。そして、後述の剥離工程において接着シート10は、リードフレーム20及び封止樹脂40から剥離しやすくなる。
封止樹脂としては、従来公知のものが用いられ、例えば、エポキシ樹脂及び無機フィラー等の混合物が挙げられる。
<反応性エラストマー>
タフテックM−1943:無水マレイン酸含有SEBS、S/EB比=20/80、酸価=10mgCH3ONa/g、旭化成ケミカルズ株式会社製。
タフテックM−1913:無水マレイン酸含有SEBS、S/EB比=30/70、酸価=10mgCH3ONa/g、旭化成ケミカルズ株式会社製。
シリコーン系粘着剤:SD−4587L、貯蔵弾性率1.1×104N/cm2、東レ・ダウコーニング株式会社製。
ブチルアクリレート(BA):アクリル酸ブチルエステル、三菱化学株式会社製。
アクリル酸(AA):和光特級試薬。
グリシジルメタアクリレート(GMA):ニッサン ブレンマーG、日油株式会社製。
メガファックF−554:含フッ素基・親油基含有オリゴマーであるノニオン界面活性剤、25℃で液体、DIC株式会社製。
デュラネートTSA−100:イソシアネート、旭化成ケミカルズ株式会社製。
<酸化防止剤>
IRGANOX1010FF:BASF社製。
表1の組成に従い、各原料を適量のトルエンに分散して接着剤塗布液を調製した。
次に、耐熱性基材としてポリイミド樹脂フィルム(東レ・デュポン株式会社製、商品名:カプトン100EN、厚さ25μm、ガラス転移温度300℃以上、熱膨張係数16ppm/℃)を用い、その上に乾燥後の厚さが5μmになるように、上記接着剤塗布液を塗布した。接着剤塗布液を塗布した後、150℃で3分間乾燥させ、各例の接着シートを得た。得られた接着シートについて、加熱前接着強度a、加熱後接着強度b、加熱後接着強度c、反り量、樹脂漏れ数を測定し、その結果を表1に示す。
接着剤層を、シリコーン系粘着剤を用いた厚さ5μmのものとした以外は、実施例1と同様にして接着シートを得た。得られた接着シートについて、加熱前接着強度a、加熱後接着強度b、加熱後接着強度c、反り量、樹脂漏れ数を測定し、その結果を表1に示す。
なお、本例の接着シートは、常温接着型のものである。
BA94.28質量部とAA1.92質量部とGMA3.80質量部とを酢酸エチルに分散して、固形分30質量%の分散液を調製した。この分散液に開始剤としてV−65(和光特級試薬)をモノマーに対して0.25質量%使用して、窒素置換後に50℃の湯浴中で20時間重合して、アクリル系粘着剤が分散された前駆体液を得た。
表1の組成に従い、前記の前駆体液に、酸化防止剤を加え、さらにメチルエチルケトンを加えて、固形分20質量%のアクリル系粘着剤塗布液を得た。
接着剤塗布液をアクリル系粘着剤塗布液に代えた以外は、実施例1と同様にして接着シートを得た。得られた接着シートについて、加熱前接着強度a、加熱後接着強度b、加熱後接着強度c、反り量、樹脂漏れ数を測定し、その結果を表1に示す。
なお、本例の接着シートは、常温接着型のものである。
<加熱前接着強度aの測定(剥離試験A)>
被貼着板として、Pd−PPF板(銅ストライクメッキ板ELA601、銅板にニッケルメッキ層とパラジウムメッキ層と金メッキ層とをこの順で設けたもの、長さ100mm×幅25mm×厚さ125μm、新光電気工業株式会社製)を用意した。卓上ラミネータ(MAII−700、大成ラミネータ株式会社製)を用いて、被貼着板に各例の接着シート(20mm×100mm)を貼着して、加熱前試料とした。貼着条件は、25℃、圧力0.37N/mm、速度1.0mm/minであった。
万能引張試験機(AGS−100B、株式会社島津製作所製)を用い、加熱前試料の接着シートを測定温度25℃、剥離角度90°、剥離速度50mm/minで剥離して最大応力を測定した。
なお、比較例1については、上記の貼着条件では貼着できなかったため、加熱前接着強度aを測定しなかった。また、比較例1については、100℃に加熱しながら卓上ラミネーターで貼着し、その後の試験に供した。
上述の<剥離試験A>で用いた加熱前試料に対し、175℃で1時間の加熱処理を施して加熱後試料とした。加熱処理には、恒温器(パーフェクトオーブン PHH−201、エスペック株式会社製)を用いた。
加熱後試料を、175℃に調整したホットプレート(EC−1200、井内盛栄堂製)に載せ、万能引張試験機(AGS−100B、株式会社島津製作所製)を用い、加熱後試料の接着シートを測定温度175℃、剥離角度90°、剥離速度10mm/minで剥離して最大応力を測定した。
剥離速度を500mm/minとした以外は、上述の<剥離試験B>と同様して最大応力を測定した。
リードフレームとして、銅板にニッケルメッキ層とパラジウムメッキ層と金メッキ層とをこの順で設けた下記仕様のもの(32QFN(CD194、メッキ;PD2L+Au)32LQFNPADSIZE3.0SQMM、新光電気工業株式会社製)を用いた。卓上ラミネーター(大成ラミネーター株式会社製)を用いて、25℃、速度1.0m/min、圧力0.37N/mm、の条件でリードフレームに接着シート(50mm×60mm)を貼着した(貼着工程)。なお、比較例1については、上記の貼着条件では貼着できなかったため、100℃に加熱しながら卓上ラミネーターで貼着し、その後の試験に供した。
接着シートが貼着されたリードフレームを恒温器(パーフェクトオーブン PHH−201、エスペック株式会社製)に入れ、175℃で1時間加熱して、接着剤層を硬化させた(ダイアタッチ工程におけるダイアタッチ剤硬化処理に相当)。
接着シートを下側にし、接着シートが貼着されたリードフレームをホットプレート(EC−1200、井内盛栄堂製)に載せ、220℃で15分間加熱した(ワイヤボンディング工程に相当)。
ワイヤボンディング工程終了後、トランスファーモールディングプレス(TEP12−16、藤和精機株式会社製)を用い、加熱温度175℃、トランスファー圧力69MPa、クランプ圧力14MPaの条件で、接着シートが貼着されたリードフレームを封止樹脂(KMC−3520L、信越化学工業株式会社製)で封止した(封止工程)。封止工程後、25℃で24時間静置した後、万能引張試験機(AGS−100B、株式会社島津製作所製)を用い、加熱後試料の接着シートを25℃、剥離角度90°、剥離速度50mm/minで剥離した。
接着シートを剥離した後、リードフレームの表面、接着シートの接着剤層面をデジタルマイクロスコープ(VHX−500、透過光、100倍、株式会社キーエンス製)で観察し、樹脂漏れの有無を確認した。表中、1つのリードフレーム(64個のQFNパッケージ)中で、樹脂漏れの認められたQFNパッケージの数を記載した。
外寸:55mm×58mm
厚さ:125μm
用途:QFN用
QFNの配列:8×8個(計64個)のマトリックス配列
パッケージサイズ:5mm×5mm
ピン数:32
上述の<樹脂漏れ数の測定方法>と同様にして、各例の接着シートをリードフレームに貼着した。比較例1については、上記の貼着条件では貼着できなかったため、100℃に加熱しながら卓上ラミネーターで貼着した。
25℃、湿度60%RHの環境下で、接着シートが貼着されたリードフレームを水平面上に置き、該水平面とリードフレームの周縁との離間の程度を観察し、水平面とリードフレームの周縁との最大距離を反り量とした。なお、観察には、測定顕微鏡(STM6−LM、オリンパス株式会社製)を用いた。
一方、常温での貼着性がない比較例1は、反り量が著しく大きかった。加熱後接着強度b及びcが本発明の範囲外である比較例2〜3は、樹脂漏れが認められるものであった。
これらの結果から、本発明を適用することで、モールドフラッシュを防止し、かつリードフレームの反りを抑制できることが確認された。
20 リードフレーム
30 半導体素子
31 ボンディングワイヤ
40 封止樹脂
50 QFNパッケージ
Claims (2)
- 基材と、該基材の一方の面に設けられた熱硬化型の接着剤層とを備え、前記接着剤層がスチレン−エチレン−ブチレン−スチレン共重合体を含有し、前記スチレン−エチレン−ブチレン−スチレン共重合体のスチレン/エチレン・ブチレンで表される質量比が10/90以上30/70未満であり、半導体装置のリードフレーム又は配線基板に剥離可能に貼着される半導体装置製造用接着シートであって、
前記接着剤層は、下記剥離試験Aで測定される加熱前接着強度aが0.07N/20mm以上、下記剥離試験Bで測定される加熱後接着強度bが0.58N/20mm以上、下記剥離試験Cで測定される加熱後接着強度cが1.17N/20mm以上であることを特徴とする半導体装置製造用接着シート。
<剥離試験A>
・表面に金メッキ層が設けられた銅板を被貼着板とする。
・半導体装置製造用接着シート(20mm幅)を25℃、圧力0.37N/mmで、前記被貼着板に貼着して加熱前試料とする。
・前記加熱前試料の半導体装置製造用接着シートを測定温度25℃、剥離角度90°、剥離速度50mm/minで剥離して最大応力を求め、これを加熱前接着強度aとする。
<剥離試験B>
・前記剥離試験Aで用いた加熱前試料に対し、175℃で1時間の加熱処理を施して加熱後試料とする。
・前記加熱後試料の半導体装置製造用接着シートを測定温度175℃、剥離角度90°、剥離速度10mm/minで剥離して最大応力を求め、これを加熱後接着強度bとする。
<剥離試験C>
・前記剥離試験Bで用いた加熱後試料の半導体装置製造用接着シートを測定温度175℃、剥離角度90°、剥離速度500mm/minで剥離して最大応力を求め、これを加熱後接着強度cとする。 - 請求項1に記載の半導体装置製造用接着シートを用いた半導体装置の製造方法であって、
前記リードフレーム又は前記配線基板に前記半導体装置製造用接着シートを貼着する貼着工程と、
前記リードフレーム又は前記配線基板に半導体素子を搭載するダイアタッチ工程と、
前記半導体素子を封止樹脂で封止する封止工程と、
前記封止工程の後、前記半導体装置製造用接着シートを前記リードフレーム又は前記配線基板から剥離する剥離工程と、を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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