JP5932327B2 - インプリント装置、検出方法、物品の製造方法及び異物検出装置 - Google Patents
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Claims (11)
- 基板上の樹脂とモールドとを接触させた状態で当該樹脂を硬化させ、硬化した樹脂から前記モールドを剥離することで前記基板上にパターンを転写するインプリント処理を行うインプリント装置であって、
前記基板上に存在する異物を検出する検出部を有し、
前記検出部は、
前記基板の表面に対して斜入射で光を照射して、前記基板上に形成された複数のショット領域の複数のマーク又は複数のパターンからの散乱光と、前記基板上に存在する異物からの散乱光と、を取得する取得部と、
前記取得部で取得された散乱光に基づいて、前記異物が存在するショット領域を特定する特定部と、
を含み、
前記特定部は、前記取得部で取得された前記複数のマーク又は前記複数のパターンからの散乱光に基づいて前記基板上に形成された複数のショット領域の配列を特定し、前記取得部で取得された前記異物からの散乱光に基づいて前記特定した複数のショット領域のうち前記異物が存在するショット領域を特定することを特徴とするインプリント装置。 - 前記検出部は、前記基板上の複数のショット領域の配列を表すレイアウト情報を記憶する記憶部を有し、
前記特定部は、前記複数のマーク又は前記複数のパターンからの散乱光の分布に前記記憶部に記憶されたレイアウト情報をフィッティングさせることで前記基板上に形成された複数のショット領域の配列を特定することを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記マークは、前記基板上に形成された複数のショット領域のスクライブラインに形成されているマークであることを特徴とする請求項1又は2に記載のインプリント装置。
- 前記マークは、アライメントマークを含むことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記検出部の検出結果に基づいて前記インプリント処理を制御する制御部を更に有し、
前記制御部は、前記基板上に形成された複数のショット領域のうち前記特定部によって前記異物が存在すると特定されたショット領域には前記インプリント処理を行わないことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記インプリント処理を行う際に前記基板上に形成された複数のショット領域のそれぞれに樹脂を供給する供給部を更に有し、
前記制御部は、前記特定部によって前記異物が存在すると特定されたショット領域にも樹脂を供給するように前記供給部を制御することを特徴とする請求項5に記載のインプリント装置。 - 前記取得部は、前記基板の外周部に光を照射して前記外周部からの光を取得することによって、前記基板の回転角度を検出可能であることを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記パターンの転写時に前記基板を保持する基板ステージを備え、
前記検出部は、前記パターンを転写すべき基板を前記基板ステージ上に搬送している間において、当該基板上の異物を検出可能に構成されていることを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 基板にパターンを転写するリソグラフィ装置の内部において前記基板に存在する異物を検出する検出方法であって、
前記基板の表面に対して斜入射で光を照射して、前記基板上に形成された複数のショット領域の複数のマーク又は複数のパターンからの散乱光と、前記基板上に存在する異物からの散乱光と、を取得する取得ステップと、
前記取得ステップで取得された散乱光に基づいて、前記異物が存在するショット領域を特定する特定ステップと、
を有し、
前記特定ステップでは、取得された前記複数のマーク又は前記複数のパターンからの散乱光に基づいて前記基板上に形成された複数のショット領域の配列を特定し、取得された前記異物からの光に基づいて前記特定した複数のショット領域のうち前記異物が存在するショット領域を特定することを特徴とする検出方法。 - 請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載のインプリント装置を用いて樹脂のパターンを基板に形成するステップと、
前記パターンが形成された基板を加工するステップと、
を有することを特徴とする物品の製造方法。 - 複数のショット領域が形成された基板上に存在する異物を検出する異物検出装置であって、
前記基板上に存在する異物を検出する検出部を有し、
前記検出部は、
前記基板の表面に対して斜入射で光を照射して、前記基板上に形成された複数のショット領域の複数のマーク又は複数のパターンからの散乱光と、前記基板上に存在する異物からの散乱光と、を取得する取得部と、
前記取得部で取得された散乱光に基づいて、前記異物が存在するショット領域を特定する特定部と、
を含み、
前記特定部は、前記取得部で取得された前記複数のマーク又は前記複数のパターンからの散乱光に基づいて前記基板上に形成された複数のショット領域の配列を特定し、前記異物からの散乱光に基づいて前記特定した複数のショット領域のうち前記異物が存在するショット領域を特定することを特徴とする異物検出装置。
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