JP5919391B2 - Suspended metal mask for printing and manufacturing method thereof - Google Patents
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Description
この発明は、印刷用サスペンドメタルマスク及びその製造方法に関するものである。 The present invention relates to a suspend metal mask for printing and a method for manufacturing the same.
公知のパターニング・マスクの代表的な構造を図15〜図17に示す。このパターニング・マスクの構造は、日本特許第3560042号公報の図1〜図3に記載されているものと同一のものである。パターニング・マスク26は、金属製ワイヤからなるメッシュ層21を備える。メッシュ層21は、固体要素によって分離された2次元の規則的なパターンの開口28を有する。メッシュ層21を部分的に取り囲んでパターン化印刷層22を配置する。印刷層22は、ステンシル層23とシール層24の2つの部分から形成されており、両方の部分23、24ともパターン化され、同じパターンである。ステンシル層23は、リソグラフィで用いられる標準的なフォトレジスト材料からなり、ステンシル層23のパターニングは、標準的なリソグラフィ・プロセスで行う。印刷層22のシール層24は、ステンシル層23とまったく同じパターンを有するが、実質上弾性的である点が異なる。シール層24はステンシル層23に接着されて、この層とともに印刷層22を形成している。そして印刷層22は、メッシュ層21に機械的に固定されている。ステンシル層23の材料は、例えばニッケルを電気めっきしてステンシル層23を形成しても良い。また、メッシュ層21は、金属またはポリマーのような材料を使用することができる。ステンシル層23には、ポリマー、レジストまたは金属のような材料を使用することができる。2つの部分からなる印刷層22およびメッシュ層21を備えるパターニング・マスク26は、図16に示した印刷工程用のパターニング・ツールとして使用することができる。このために、基板25の実質上平らな表面上にパターニング・マスク26を下ろす。その後、インク27を印刷層22に注入すると、インク27は、メッシュ層21の開口を通って印刷層22のオリフィス内に流れ込む。パターン化印刷層22は、基板25と接触している場合、基板25と印刷層22との界面に、パターン化印刷層22のオリフィス29を充填することができ基板25に到達するインク27に対するシールを提供する。インク27は、それぞれのオリフィス29の領域に閉じ込められる。
A typical structure of a known patterning mask is shown in FIGS. The structure of this patterning mask is the same as that described in FIGS. 1 to 3 of Japanese Patent No. 3560042. The
図17にパターニング・マスク26の他の実施例を示す。ここでは、印刷層22は、部分的にもメッシュ層21を取り囲んでおらず、メッシュ層21の下側に取り付けられているだけであるという点が、図15〜図16の実施例と異なる。ステンシル層とメッシュ層より薄くすることができる。さらに、ここではオリフィス29はメッシュ層21の開口28より小さい。
FIG. 17 shows another embodiment of the
また、公知の印刷用サスペンドメタルマスクの構造を図18に示す。この印刷用サスペンドメタルマスクの構造は、日本特開平11−157042号公報の図3に記載されているものと同一のものである。印刷用サスペンドメタルマスクは、版枠(図示せず)に外周を接着固定したスクリーンメッシュ31の印刷面中央部にメタルマスク32を接着固定し、スクリーンメッシュ31のスキージ面側に樹脂33を塗布固化し、メタルマスク32の画像透孔部32aに合わせて感光乳剤33に焼付等により透孔33aを形成する。この透孔33aはどのような手段によって形成しても良く、メタルマスク32の画像透孔部32aより僅かに幅広に形成している。
FIG. 18 shows the structure of a known printing suspend metal mask. The structure of the suspending metal mask for printing is the same as that shown in FIG. 3 of Japanese Patent Laid-Open No. 11-157042. In the suspend metal mask for printing, the
従来、金属製ワイヤからなるメッシュ層に印刷パターン形成用の感光乳剤を塗布してなる、乳剤版と呼ばれるものは、柔軟性があり、スキージング時に基板へ線接触するため、メタルマスク版に比べてスキージングによる空気溜まりが少なく、版離れは良好であるが、メッシュ層の金属製ワイヤが細いため、耐久性に乏しいものであった。一方、メタルマスク版は、金属部分が多いため、マスク全体が硬く、スキージング時に基板へ面接触するため、乳剤版に比べてスキージングによる空気溜まりが多く、版離れが悪かった。 Conventionally, a so-called emulsion plate, in which a photosensitive emulsion for forming a printing pattern is applied to a mesh layer made of metal wire, is flexible and comes in line contact with the substrate during squeezing. Air retention due to squeezing is small and the plate separation is good, but the metal wire of the mesh layer is thin, so the durability is poor. On the other hand, since the metal mask plate has many metal parts, the entire mask is hard, and the surface comes into contact with the substrate during squeezing, so that there is more air accumulation due to squeezing than the emulsion plate, and the plate separation is poor.
また、四角形の版枠にコンビネーションメッシュを紗張りし、このコンビネーションメッシュの中央部に設けたステンレスメッシュにニッケル等からなるベースメタルを接合めっきにより接合した印刷用サスペンドメタルマスクでは、ベースメタルの金属部分の面積が大きく柔軟性に欠けるため、タッチパネルパターン等の印刷を行う際に、版離れの遅れにより印刷擦れが発生している。特に版離れの遅れによる印刷擦れはパターンの大面積部に顕著に発生する。また、パターンに細線部と大面積部とがあるため、めっき時に板厚のばらつきが発生し易くなるという問題があった。 In the case of a suspend metal mask for printing, in which a combination mesh is stretched on a square plate frame, and a base metal made of nickel or the like is joined to the stainless steel mesh provided at the center of the combination mesh by joint plating, the metal portion of the base metal Therefore, when the touch panel pattern or the like is printed, printing rubbing occurs due to a delay in the separation of the plate. In particular, printing rubbing due to a delay in plate separation occurs remarkably in a large area of the pattern. Further, since the pattern includes a thin line portion and a large area portion, there is a problem that variation in plate thickness is likely to occur during plating.
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、ベースメタルの金属部分の面積を小さくして柔軟性を持たせることにより、版離れを改善した印刷用サスペンドメタルマスク及びその製造方法を提供するものである。 The present invention has been made in order to solve the above-described problems. A suspending metal mask for printing which has improved plate separation by reducing the area of the metal portion of the base metal and making it flexible, and its A manufacturing method is provided.
この発明に係る印刷用サスペンドメタルマスクにおいては、版枠と、版枠の内側に外周が張設されている少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、
金属製メッシュに密着した状態で接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備えたものにおいて、ベースメタルは、印刷開口パターンが形成される印刷に関係がある部分の金属部分と、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分とに分けられ、印刷に関係がある部分の金属部分は、印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分として存在し、印刷に関係がない部分の金属部分は、全体に多数の金属面積縮小用ダミー孔が形成されて金属部分の面積が縮小された状態で柔軟性が付与されており、金属面積縮小用ダミー孔は、乳剤が充填された状態で全て閉塞されているものである。
In the suspending metal mask for printing according to the present invention, a plate frame, and a mesh having a conductive metal mesh at least in the central portion where the outer periphery is stretched inside the plate frame ,
The base metal is bonded in a state of being in close contact with the metal mesh and provided with a printing opening pattern , and the base metal is a portion of the metal related to printing on which the printing opening pattern is formed, and It is divided into other metal parts that are not related to printing, and the metal parts that are related to printing exist as metal parts around the part where the opening pattern for printing is formed and are related to printing. The metal part of the non-existing part has a large number of dummy holes for reducing the metal area formed on the whole, and the flexibility is given in a state where the area of the metal part is reduced, and the dummy hole for reducing the metal area is filled with emulsion Are all blocked in the closed state .
また、印刷に関係がない部分の金属部分は、除去する金属部分の比率が10〜90%である。 Moreover, the ratio of the metal part to remove the metal part of the part which is not related to printing is 10 to 90%.
また、金属面積縮小用ダミー孔は、円形孔である。 The metal area reducing dummy hole is a circular hole.
また、ベースメタルは、印刷開口パターンが形成される印刷に関係がある部分の金属部分と、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分が存在しない部分とに分けられ、印刷に関係がある部分の金属部分は、印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分として存在し、印刷に関係がない部分の金属部分が存在しない部分に存在する金属製メッシュの開口は、乳剤が充填された状態で全て閉塞されているものである。
In addition, the base metal is divided into a metal part that is related to printing on which a printing opening pattern is formed and a part that does not have a metal part that is not related to printing other than that, and is related to printing. The metal part of the part exists as a metal part around the part where the printing opening pattern is formed, and the opening of the metal mesh present in the part where the metal part of the part not related to printing does not exist is filled with the emulsion Are all blocked in the closed state .
この発明によれば、ベースメタルの印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分は残し、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分は可能な限り除去することにより、ベースメタルの金属部分の面積を縮小したので、ベースメタルの柔軟性が良くなり、空気抜け性が向上して版離れを良くすることができる。 According to the present invention, the metal portion around the portion where the opening pattern for printing of the base metal is formed is left, and the metal portion other than the portion not related to printing is removed as much as possible. Since the area of the metal portion is reduced, the flexibility of the base metal is improved, the air release property is improved, and the separation of the plate can be improved.
この発明をより詳細に説明するため、添付の図面に従ってこれを説明する。なお、各図中、同一又は相当する部分には同一の符号を付しており、その重複説明は適宜に簡略化ないし省略する。 In order to explain the present invention in more detail, it will be described with reference to the accompanying drawings. In addition, in each figure, the same code | symbol is attached | subjected to the part which is the same or it corresponds, The duplication description is simplified or abbreviate | omitted suitably.
実施の形態1.
図1はこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に必要な各構成要素を分離して示す斜視図、図2〜図7はこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法の製造工程を示す断面図である。図8はこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの構成を示す平面図、図9はこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの要部構成を示す拡大平面図、図10は従来の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの構成を示す平面図、図11はこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルを用いた場合(点接触)と従来の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルを用いた場合(面接触)の版離れ状態を比較して示す説明図である。
FIG. 1 is a perspective view showing components necessary for the method for manufacturing a suspending metal mask for printing according to the present invention, and FIGS. 2 to 7 show the manufacturing steps of the method for manufacturing a suspending metal mask for printing according to the present invention. It is sectional drawing. FIG. 8 is a plan view showing the structure of the base metal of the suspending metal mask for printing according to the present invention, FIG. 9 is an enlarged plan view showing the structure of the main part of the base metal of the suspending metal mask for printing according to the present invention, and FIG. FIG. 11 is a plan view showing the structure of the base metal of the suspending metal mask for printing. FIG. 11 shows the case where the base metal of the suspending metal mask for printing of the present invention is used (point contact) and the base metal of the conventional suspending metal mask for printing. It is explanatory drawing which compares and shows the plate separation state when there exists (surface contact).
この発明の印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に必要な構成要素は、図1に示すように、中央部に設けられた通電性を有するステンレスメッシュ又はニッケルメッシュからなる金属製メッシュ1及びこの金属製メッシュ1の外側に設けられたテトロンメッシュ2とからなるコンビネーションメッシュが内側に張設された四角形状の金属製版枠3と、ベースメタル用SUS母材4上に設けられ、印刷用開口パターンが形成される部分に印刷開口パターン形成用レジスト5aが施されたベースメタル5と、テトロンメッシュ6が張設された四角形状の接合補助用金属製版枠7と、この接合補助用金属製版枠7のテトロンメッシュ6とベースメタル用SUS母材4との間に介装されるスポンジ8とから構成される。なお、四角形状の金属製版枠3に張設されるメッシュは、中央部の金属製メッシュ1と外側のテトロンメッシュ2とからなるコンビネーションメッシュが好適であるが、コンビネーションメッシュでなく、通電性を有する金属製メッシュ1の単体からなる一枚物であっても良い。また、上記ベースメタル5には、印刷開口パターン形成用レジスト5aの他に、金属部分の面積を縮小するためのダミー孔を多数形成するために、多数の金属面積縮小ダミー孔形成用レジスト(図示せず)を施しておく。この金属面積縮小用ダミー孔(図示せず)をベースメタル5に多数形成することにより、金属部分の面積が縮小され、ベースメタル5の柔軟性を向上させることができる。また、ベースメタル5は、めっき成長側がスキージ面となり、ベースメタル用SUS母材4側が印刷面と接触する面となる。例えば、フィルム状の印刷基板に印刷する場合、ベースメタル5の印刷面と接触する面に粗さが無く滑らか(鏡面に近い)であると、空気の通り道ができずに密着してしまう恐れがある。したがって、ベースメタル用SUS母材4の表面を鏡面仕上げとした場合は、ベースメタル5の印刷面と接触する面を後でサンドペーパーや研磨剤が入っている不織布で研磨することにより、粗くすることが考えられる。一方、ベースメタル用SUS母材4の表面を予めビーズブラスト、バフ研磨等で粗くした場合は、ベースメタル5の印刷面と接触する面を後でサンドペーパーや研磨剤が入っている不織布で研磨することにより、粗くする必要はない。
As shown in FIG. 1, the constituent elements necessary for the method for producing a suspending metal mask for printing according to the present invention include a
印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法の接合めっき工程に当たっては、図2に示すように、右側に四角形状の金属製版枠3を配置し、左側に四角形状の接合補助用金属製版枠7を配置する。そして、金属製版枠3の金属製メッシュ1と重合位置するようにベースメタル5を配置し、金属製版枠3と接合補助用金属製版枠7を互いに重合させて粘着テープ9等で締結固定し、ベースメタル用SUS母材4及びスポンジ8を介してベースメタル5と金属製メッシュ1が互いに密着状態となるようにセットする。この密着状態にセットしたものを陰極10に接続するとともに電気的に導通させて、スルファミン酸ニッケル浴が入っためっき槽11内に収容し、ニッケル12を陽極13に接続することにより、ベースメタル5と金属製メッシュ1の間で接合めっきを行い、両者を一体的に接合する。この接合めっき量は、通常片側2μmとし、電鋳めっきと同じめっき法を用いる。また、陽・陰極電流密度は約0.5A/dm2の低電流を用いることにより、接合めっき量の均一性向上と金属製メッシュ1の断線を防止することができる。In the bonding plating step of the method for producing a suspending metal mask for printing, as shown in FIG. 2, a rectangular
次に、接合めっき工程が終了したら、上記密着状態にセットしたものをめっき槽11から取り出し(図3参照)、粘着テープ9を取り外して密着状態にセットしたものを解除する(図4参照)。次に、ベースメタル5からベースメタル用SUS母材4を剥離する(図5及び図6参照)。ベースメタル5は、めっき成長側がスキージ面となり、ベースメタル用SUS母材4側が印刷面と接触する面となる。例えば、フィルム状の印刷基板に印刷する場合、ベースメタル5の印刷面と接触する面に粗さが無く滑らか(鏡面に近い)であると、空気の通り道ができずに密着してしまう恐れがある。したがって、ベースメタル用SUS母材4の表面を鏡面仕上げとした場合は、ベースメタル5の印刷面と接触する面を後でサンドペーパーや研磨剤が入っている不織布で研磨することにより、粗くすることが考えられる。なお、ベースメタル用SUS母材4の表面を予めビーズブラスト、バフ研磨等で粗くして、ベースメタル5の印刷面と接触する面を後でサンドペーパーや研磨剤が入っている不織布で研磨することを省略しても良い。その後、ベースメタル5と金属製メッシュ1の接合部がめっきにより一体的に接合されている金属製版枠3のベースメタル5から印刷開口パターン形成用レジスト5a及び金属面積縮小ダミー孔形成用レジスト(図示せず)を剥離することにより、印刷用開口パターン5b及び金属面積縮小用ダミー孔(図示せず)が形成される。これにより、この発明の実施の形態1の印刷用サスペンドメタルマスクが完成する(図7参照)。なお、図1〜図7においては、ベースメタル5の印刷開口パターン形成用レジスト5a及び印刷用開口パターン5bは、簡略化してイメージのみを示したものである。また、多数の金属面積縮小ダミー孔形成用レジスト及び金属面積縮小用ダミー孔はいずれも図示していない。
Next, when the bonding plating step is completed, the one set in the above-mentioned close contact state is taken out from the plating tank 11 (see FIG. 3), and the
図8はベースメタル5の構成を模式化して示したものであり、実際のものとは相違する。図9はベースメタル5の構成を拡大して示したものである。図8〜図9において、ベースメタル5は、印刷用開口パターン5bが形成される部分の周囲の金属部分は数mm程度を残すようにしている。また、それ以外の印刷に関係がなく必要でない部分の金属部分は可能な限り除去するようにしている。すなわち、印刷に関係がなく必要でない部分の金属部分に、直径約30mm程度の多数の金属面積縮小用ダミー円形孔5dを、互いに隣接するダミー円形孔5dの相互間の間隔が約5mmとなるように形成することにより、ベースメタル5の金属部分の面積を少なくしている。このダミー円形孔5dは、垂直線に対して約30°の角度を持って縦方向に1列となるように形成されており、水平線に対して約60〜67.5°の角度を持って斜め方向に1列となるように形成されている。このダミー円形孔5dは、各1個のダミー円形孔5dを見ると、その左右に隣接して配置されるダミー円形孔5dは同じ水平位置ではなく、縦方向に千鳥状にずれるように配置されている。また、ダミー円形孔5dは、垂直線及び水平線に対して角度を付けずに縦横方向に一直線に形成しても良い。なお、ダミー円形孔5dを形成することにより除去する金属部分の比率は、理論上1〜99%であるが、実際には10〜90%程度が好ましく、20〜80%、30〜70%、40〜60%、50%前後であっても良い。これにより、金属部分を少なくした分、ベースメタル5の柔軟性が良くなり、ベースメタル5自体の柔軟性と空気抜け性を向上させて、版離れを良くすることができる。なお、形成された金属面積縮小用ダミー円形孔5dは、図8の左側半分に示すように、当初は開口しているが、形成後は図8の右側半分に示すように、金属面積縮小用ダミー円形孔5dに感光乳剤14を充填して開口を閉塞することにより、印刷されないようにしている。また、金属面積縮小用ダミー円形孔5dに充填された感光乳剤14は、毛細管現象により表面が平らにならずに凹形状となる。したがって、ベースメタル5の表面と感光乳剤14の表面とは面一にならず段差ができるので、ベースメタル5が印刷基板15と密着して離れ難くなることを防止することができる。また、金属面積縮小用ダミー円形孔5dは、円形孔であるため、めっき時の電流密度や、上下、左右方向の伸び率が同じとなるので、スリット孔や格子孔よりも作り易く、好適であるが、スリット孔や格子孔であっても良い。また、金属面積縮小用ダミー円形孔5dは、スキージの当たりが進行方向にずれるように22.5°の角度を付けている。
FIG. 8 schematically shows the configuration of the
図10は従来の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの構成を模式化して示したものであり、実際のものとは異なる。図10において、ベースメタル5は、印刷用開口パターン5bが形成される部分の一部が開口しているだけであり、それ以外の部分は全て金属部分が残っている。したがって、金属部分が多くある分、ベースメタル5自体がハード構成となり、ベースメタル5の柔軟性にも欠けているものである。
FIG. 10 schematically shows the structure of the base metal of a conventional suspend metal mask for printing, which is different from the actual one. In FIG. 10, the
図11はこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルを用いた場合(点接触)と従来の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルを用いた場合(面接触)の版離れ状態を比較して示す説明図である。従来の場合は、ベースメタル5の金属部分が多く残っている分、柔軟性にも欠けるので、図11aに示すように、ベースメタル5が湾曲して印刷基板15と面接触することになり、版離れが悪くなるが、この発明によれば、ベースメタル5の金属部分を少なくして、柔軟性を良くしたので、図11bに示すように、ベースメタル5が湾曲でなく角度を持って折れ曲がるので、印刷基板15と点接触することになり、版離れが良くなる。これにより、例えば特殊形状の基板に対するダメージを小さくすることが可能となる。
FIG. 11 shows a comparison between plate separation states when the base metal of the suspending metal mask for printing of the present invention is used (point contact) and when the base metal of the suspending metal mask for printing is used (surface contact). It is explanatory drawing. In the conventional case, since much metal portion of the
実施の形態2.
図12はこの発明の実施の形態2における印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの構成を示す平面図である。
FIG. 12 is a plan view showing the structure of the base metal of the suspend metal mask for printing in the second embodiment of the present invention.
上記実施の形態1では、ベースメタル5は、印刷用開口パターン5bが形成される部分の周囲の金属部分は数mm程度を残し、それ以外の印刷に関係がなく必要でない部分の金属部分に、直径約30mm程度の多数の金属面積縮小用ダミー円形孔5dを、互いに隣接するダミー円形孔5dの相互間の間隔が約5mmとなるように形成することにより、ベースメタル5の金属部分の面積を少なくしているが、この実施の形態2においては、図12に示すように、ベースメタル5は、印刷用開口パターン5bが形成される部分の周囲の金属部分は数mm程度を残しているが、それ以外の印刷に関係がなく必要でない部分は、全ての金属部分を無くしている。すなわち、印刷用開口パターン5bが形成される部分の周囲数mm以外には、ベースメタル5の金属部分は存在せず、金属製メッシュ1が存在するのみである。これにより、ベースメタル5の金属部分の多くを無くした分、ベースメタル5の柔軟性が良くなり、ベースメタル5自体の柔軟性と空気抜け性を向上させて、版離れを良くすることができる。なお、印刷用開口パターン5bが形成される部分の周囲数mm以外の部分に位置する金属製メッシュ1は、図12の左側半分に示すように、当初は金属製メッシュ1が開口しているが、印刷に関係がない部分の金属製メッシュ1は、図12の右側半分に示すように、金属製メッシュ1の開口に感光乳剤14を充填してメッシュ開口を閉塞することにより、印刷されないようにしている。この実施の形態2の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルは、上記実施の形態1の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルよりも柔軟性に富んだものとなるが、その分強度の方は弱くなる。
In the first embodiment, the
実施の形態3.
上記実施の形態3においては、ベースメタル用SUS母材4の表面の粗さが少ない場合、ベースメタル5の印刷面と接触する面の粗さが少なく滑らかな鏡面仕上げに近い面となるので、例えば、フィルム状の印刷基板に印刷する場合、空気の通り道ができずに密着してしまう恐れがある。そこで、ベースメタル用SUS母材4の表面の粗さが少ない場合は、ベースメタル5の印刷面と接触する面を後で研磨剤が入っている不織布で研磨することにより、粗くすると、開口不良が発生しにくく、均一性に優れたものとなる。なお、研磨剤が入っている不織布の代わりにサンドペーパーで研磨することもできる。また、ベースメタル用SUS母材4の表面を予めビーズブラスト等で粗くして、ベースメタル5の印刷面と接触する面を後でサンドペーパーや研磨剤が入っている不織布で研磨することを省略しても良い。ブラストに使用する砥剤は、ビーズ以外に鋼球等の球状物を用いることもできる。図13はこの発明の実施の形態3における印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタル用SUS母材表面をビーズブラスト等で粗した状態を示す顕微鏡写真、図14はこの発明の実施の形態3における印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタル用SUS母材表面をビーズブラスト等で粗した状態を更に拡大して示す顕微鏡写真である。ビーズブラストは、ベースメタル5のめっき皮膜が2〜25μmと薄膜であるが、SUS母材4から剥がし易くなる。
In
なお、比較例として、セラミック#1000で研磨したメタルマスクを用意した。このメタルマスクは、算術平均粗さRa:0.072μm、最大高さRmax:1.516μm、十点平均粗さRz:1.004μm、凹凸の平均間隔Sm:92.3μmであり、印刷すると擦れが発生した。これに対し、試験例1は、ベルト#1000で研磨したメタルマスクであり、算術平均粗さRa:0.080μm、最大高さRmax:2.112μm、十点平均粗さRz:0.852μm、凹凸の平均間隔Sm:241.7μmであり、印刷すると擦れが発生しなかった。また、試験例2は、サンドペーパー#400で研磨したメタルマスクであり、算術平均粗さRa:0.060μm、最大高さRmax:1.756μm、十点平均粗さRz:0.812μm、凹凸の平均間隔Sm:286.8μmであり、印刷すると擦れが発生しなかった。また、試験例3は、サンドペーパー#1000で研磨したメタルマスクであり、算術平均粗さRa:0.096μm、最大高さRmax:3.144μm、十点平均粗さRz:1.412μm、凹凸の平均間隔Sm:136.2μmであり、印刷すると擦れが発生しなかった。また、試験例4は、ベースメタル用SUS母材4の表面を予めビーズブラスト2.0で粗くした場合で、算術平均粗さRa:0.132μm、最大高さRmax:2.904μm、十点平均粗さRz:1.480μm、凹凸の平均間隔Sm:174.3μmのメタルマスクであり、印刷すると擦れが発生しなかった。これらの試験例1〜4は、いずれも擦れが無く印刷結果が良好であるが、試験例1は再現性が低く、試験例2〜3はフリーハンド加工であることから、安定性が悪い。しかし、試験例4は擦れが改善されると同時に、細線部の断線もなく印刷結果が良好である。
As a comparative example, a metal mask polished with ceramic # 1000 was prepared. This metal mask has an arithmetic average roughness Ra: 0.072 μm, a maximum height Rmax: 1.516 μm, a ten-point average roughness Rz: 1.004 μm, and an average interval Sm: 92.3 μm. There has occurred. In contrast, Test Example 1 is a metal mask polished by belt # 1000, arithmetic average roughness Ra: 0.080 μm, maximum height Rmax: 2.112 μm, ten-point average roughness Rz: 0.852 μm, The average unevenness spacing Sm was 241.7 μm, and no rubbing occurred when printed. Test example 2 is a metal mask polished with sandpaper # 400, arithmetic average roughness Ra: 0.060 μm, maximum height Rmax: 1.756 μm, ten-point average roughness Rz: 0.812 μm, unevenness The average interval Sm was 286.8 μm, and no rubbing occurred when printed. Test Example 3 is a metal mask polished with sandpaper # 1000, arithmetic average roughness Ra: 0.096 μm, maximum height Rmax: 3.144 μm, ten-point average roughness Rz: 1.412 μm, unevenness The average interval Sm was 136.2 μm, and no rubbing occurred when printed. Test Example 4 is a case where the surface of the
この発明は、ベースメタルの金属部分の面積を小さくして柔軟性を持たせ、版離れを改善する印刷用サスペンドメタルマスクに適用することができる。 The present invention can be applied to a suspending metal mask for printing that reduces the area of the metal portion of the base metal to give flexibility and improve the plate separation.
1 金属製メッシュ
2 テトロンメッシュ
3 金属製版枠
4 ベースメタル用SUS母材
5 ベースメタル
5a 印刷開口パターン形成用レジスト
5b 印刷用開口パターン
5d 金属面積縮小用ダミー円形孔
6 テトロンメッシュ
7 接合補助用金属製版枠
8 スポンジ
9 粘着テープ
10 陰極
11 めっき槽
12 ニッケル
13 陽極
14 感光乳剤
15 印刷基板
21 メッシュ層
22 印刷層
23 ステンシル層
24 シール層
25 基板
26 パターニング・マスク
27 インク
28 開口
29 オリフィス
31 スクリーンメッシュ
32 メタルマスク
32a 画像透孔部
33 樹脂(感光乳剤)
33a 透孔DESCRIPTION OF
33a Through hole
Claims (6)
前記版枠の内側に外周が張設されている少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、
前記金属製メッシュに密着した状態で接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備えたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクにおいて、
前記ベースメタルは、前記印刷開口パターンが形成される印刷に関係がある部分の金属部分と、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分とに分けられ、
前記印刷に関係がある部分の金属部分は、前記印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分として存在し、
前記印刷に関係がない部分の金属部分は、全体に多数の金属面積縮小用ダミー孔が形成されて金属部分の面積が縮小された状態で柔軟性が付与されており、
前記金属面積縮小用ダミー孔は、乳剤が充填された状態で全て閉塞されていることを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。 Plate frame,
A mesh having an electrically conductive metal mesh in at least the central part of which the outer periphery is stretched inside the plate frame; and
In a suspended metal mask for screen printing comprising a base metal that is bonded in close contact with the metal mesh and provided with a printing opening pattern,
The base metal is divided into a metal part of a part related to printing in which the printing opening pattern is formed and a metal part of a part not related to printing other than that,
The metal part of the part related to the printing exists as a metal part around the part where the printing opening pattern is formed,
A portion of the metal portion not related to the printing is provided with flexibility in a state where a large number of metal area reduction dummy holes are formed and the area of the metal portion is reduced,
The suspending metal mask for screen printing, wherein the dummy holes for reducing the metal area are all closed while being filled with emulsion .
前記版枠の内側に外周が張設されている少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、
前記金属製メッシュに密着した状態で接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備えたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクにおいて、
前記ベースメタルは、前記印刷開口パターンが形成される印刷に関係がある部分の金属部分と、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分が存在しない部分とに分けられ、
前記印刷に関係がある部分の金属部分は、前記印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分として存在し、
前記印刷に関係がない部分の金属部分が存在しない部分に存在する前記金属製メッシュの開口は、乳剤が充填された状態で全て閉塞されていることを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。 Plate frame,
A mesh having an electrically conductive metal mesh in at least the central part of which the outer periphery is stretched inside the plate frame; and
In a suspended metal mask for screen printing comprising a base metal that is bonded in close contact with the metal mesh and provided with a printing opening pattern,
The base metal is divided into a portion of a metal portion related to printing on which the printing opening pattern is formed and a portion where there is no other metal portion of the portion not related to printing,
The metal part of the part related to the printing exists as a metal part around the part where the printing opening pattern is formed,
The suspending metal mask for screen printing is characterized in that all the openings of the metal mesh present in the portion where the metal portion which is not related to the printing is not present are closed while being filled with the emulsion .
所定部分に印刷開口パターン形成用レジストが施され、かつそれ以外の部分に多数の金属面積縮小ダミー孔形成用レジストが施された前記ベースメタルと前記金属製メッシュとを一体接合する工程と、
前記ベースメタルから前記印刷開口パターン形成用レジスト及び前記多数の金属面積縮小ダミー孔形成用レジストを剥離することにより、前記ベースメタルの所定部分に印刷用開口パターンを形成するとともに、前記ベースメタルのそれ以外の部分に多数の金属面積縮小用ダミー孔を形成する工程と、
前記ベースメタルの所定部分に形成された印刷用開口パターンは開口したままとし、前記ベースメタルのそれ以外の部分に形成された多数の金属面積縮小用ダミー孔に乳剤を充填して開口を閉塞することにより、印刷されないようにする工程と、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法。 A plate frame, a mesh having an electrically conductive metal mesh at least at the center thereof , the outer periphery of which is stretched on the inside of the plate frame, and a printing opening pattern that is bonded in close contact with the metal mesh A base metal provided, and the base metal is divided into a metal part of a part related to printing on which the printing opening pattern is formed and a metal part of a part not related to printing other than that, The metal part of the part related to the printing exists as a metal part around the part where the printing opening pattern is formed, and the metal part of the part not related to the printing is reduced in many metal areas as a whole. use the dummy hole is formed has flexibility is given in a state in which the area of the metal part is reduced, the metal area reduction dummy holes, subscription of the emulsion is closed all in a state of being filled A method of manufacturing a screen printing for Suspend metal mask,
A step of integrally bonding the base metal and the metal mesh, wherein a resist for forming a printing opening pattern is applied to a predetermined portion and a plurality of metal area reduction dummy hole forming resists are applied to other portions;
By removing the resist for forming a printing opening pattern and the resists for forming a plurality of metal area reduction dummy holes from the base metal, a printing opening pattern is formed in a predetermined portion of the base metal, and that of the base metal. Forming a large number of metal area reduction dummy holes in a portion other than
The opening pattern for printing formed in a predetermined portion of the base metal is left open, and a large number of dummy holes for reducing the metal area formed in other portions of the base metal are filled with emulsion to close the opening. A process of preventing printing,
A method for producing a suspending metal mask for screen printing, comprising:
所定部分に印刷開口パターン形成用レジストが施された前記ベースメタルと前記金属製メッシュとを一体接合する工程と、
前記ベースメタルから前記印刷開口パターン形成用レジストを剥離することにより、前記ベースメタルの所定部分に印刷用開口パターンを形成する工程と、
前記ベースメタルの所定部分に形成された印刷用開口パターンは開口したままとし、前記ベースメタルの金属部分の存在しない部分の金属製メッシュの開口に乳剤を充填して開口を閉塞することにより、印刷されないようにする工程と、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法。 A plate frame, a mesh having an electrically conductive metal mesh at least at the center thereof , the outer periphery of which is stretched on the inside of the plate frame, and a printing opening pattern that is bonded in close contact with the metal mesh A base metal provided, and the base metal includes a portion of a metal portion related to printing on which the printing opening pattern is formed, and a portion where no other metal portion related to printing exists. The metal part of the part related to the printing exists as a metal part around the part where the printing opening pattern is formed, and the part of the metal which is not related to the printing does not exist. The openings of the metal mesh present are a method for producing a suspending metal mask for screen printing in which all the openings are filled with an emulsion ,
A step of integrally joining the base metal and the metal mesh that have been subjected to a resist for forming a printing opening pattern on a predetermined portion;
Forming a printing opening pattern on a predetermined portion of the base metal by peeling the printing opening pattern forming resist from the base metal;
Printing is performed by leaving the opening pattern for printing formed in a predetermined portion of the base metal open, and filling the opening of the metal mesh where the metal portion of the base metal does not exist with an emulsion to close the opening. The process of preventing it,
A method for producing a suspending metal mask for screen printing, comprising:
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