KR20150076240A - Suspended metal mask for printing and method for producing same - Google Patents

Suspended metal mask for printing and method for producing same Download PDF

Info

Publication number
KR20150076240A
KR20150076240A KR1020157013787A KR20157013787A KR20150076240A KR 20150076240 A KR20150076240 A KR 20150076240A KR 1020157013787 A KR1020157013787 A KR 1020157013787A KR 20157013787 A KR20157013787 A KR 20157013787A KR 20150076240 A KR20150076240 A KR 20150076240A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
metal
printing
mesh
base metal
opening pattern
Prior art date
Application number
KR1020157013787A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101723320B1 (en
Inventor
히데키 니시나
Original Assignee
가부시키가이샤 본 마크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 본 마크 filed Critical 가부시키가이샤 본 마크
Publication of KR20150076240A publication Critical patent/KR20150076240A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101723320B1 publication Critical patent/KR101723320B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41N—PRINTING PLATES OR FOILS; MATERIALS FOR SURFACES USED IN PRINTING MACHINES FOR PRINTING, INKING, DAMPING, OR THE LIKE; PREPARING SUCH SURFACES FOR USE AND CONSERVING THEM
    • B41N1/00—Printing plates or foils; Materials therefor
    • B41N1/24—Stencils; Stencil materials; Carriers therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41C—PROCESSES FOR THE MANUFACTURE OR REPRODUCTION OF PRINTING SURFACES
    • B41C1/00—Forme preparation
    • B41C1/14—Forme preparation for stencil-printing or silk-screen printing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41N—PRINTING PLATES OR FOILS; MATERIALS FOR SURFACES USED IN PRINTING MACHINES FOR PRINTING, INKING, DAMPING, OR THE LIKE; PREPARING SUCH SURFACES FOR USE AND CONSERVING THEM
    • B41N1/00—Printing plates or foils; Materials therefor
    • B41N1/24—Stencils; Stencil materials; Carriers therefor
    • B41N1/247—Meshes, gauzes, woven or similar screen materials; Preparation thereof, e.g. by plasma treatment

Abstract

인쇄용 서스펜드 메탈 마스크에 있어서는, 판 프레임(3)과, 판 프레임의 내측에 외주를 접착 고정하여 펴서 마련되며, 적어도 중앙부에 통전성이 있는 금속제 메쉬(1)를 가지는 메쉬와, 금속제 메쉬(1)에 밀착하여 서로 겹쳐서 접합 도금에 의해 일체 접합되며, 인쇄용의 개구 패턴(5b)이 마련된 베이스 메탈(5)을 구비한다. 베이스 메탈(5)은, 인쇄용 개구 패턴(5b)이 형성되는 부분의 주위의 금속 부분은 남기고, 그 이외의 인쇄에 관계가 없는 부분의 금속 부분은 가능한 한 제거하는 것에 의해, 베이스 메탈(5)의 금속 부분의 면적을 축소한다. 베이스 메탈의 인쇄에 관계가 없는 부분의 금속 부분에는 다수의 금속 면적 축소용 구멍(5d)을 형성하고, 금속 면적 축소용 구멍에 유제(14)를 충전하여 구멍을 폐색한다. The suspension metal mask for printing includes a plate frame 3, a mesh which is formed by spreading and fixing the outer periphery to the inside of the plate frame and has a metal mesh 1 having conductivity at least at the central portion, And a base metal 5 which is closely adhered to each other and joined together by bonding plating and provided with an opening pattern 5b for printing. The base metal 5 is formed by removing the metal portion around the portion where the printing opening pattern 5b is formed and by removing the metal portion of the portion other than the printing other than the printing metal pattern 5 as much as possible, Thereby reducing the area of the metal portion. A large number of metal area reducing holes 5d are formed in the metal portion of the portion of the base metal not related to printing and the holes are closed by filling the metal area reducing hole with the oil agent 14. [

Description

인쇄용 서스펜드 메탈 마스크 및 그 제조 방법{SUSPENDED METAL MASK FOR PRINTING AND METHOD FOR PRODUCING SAME}Technical Field [0001] The present invention relates to a suspension metal mask for printing,

본 발명은, 인쇄용 서스펜드(suspend) 메탈 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a suspend metal mask for printing and a method of manufacturing the same.

공지의 패터닝·마스크의 대표적인 구조를 도 15 ~ 도 17에 나타낸다. 이 패터닝·마스크의 구조는, 일본특허 제3560042호 공보의 도 1 ~ 도 3에 기재되어 있는 것과 동일한 것이다. 패터닝·마스크(26)는, 금속제 와이어로 이루어지는 메쉬층(mesh層)(21)을 구비한다. 메쉬층(21)은, 고체 요소에 의해서 분리된 2차원의 규칙적인 패턴의 개구(28)를 가진다. 메쉬층(21)을 부분적으로 둘러싸서 패턴화 인쇄층(22)을 배치한다. 인쇄층(22)은, 스텐실층(stencil層)(23)과 씰층(seal層)(24)의 2개의 부분으로 형성되어 있고, 양쪽 모두의 부분(23, 24)도 패턴화되며, 동일 패턴이다. 스텐실층(23)은, 리소그래피에서 이용되는 표준적인 포토레지스트 재료로 이루어지며, 스텐실층(23)의 패터닝은, 표준적인 리소그래피·프로세스로 행한다. 인쇄층(22)의 씰층(24)은, 스텐실층(23)과 완전히 동일 패턴을 가지지만, 실질상 탄성적인 점이 다르다. 씰층(24)은 스텐실층(23)에 접착되어, 이 층과 함께 인쇄층(22)을 형성하고 있다. 그리고 인쇄층(22)은, 메쉬층(21)에 기계적으로 고정되어 있다. 스텐실층(23)의 재료는, 예를 들면 니켈을 전기 도금하여 스텐실층(23)을 형성해도 좋다. 또, 메쉬층(21)은, 금속 또는 폴리머와 같은 재료를 사용할 수 있다. 스텐실층(23)에는, 폴리머, 레지스트(resist) 또는 금속과 같은 재료를 사용할 수 있다. 2개의 부분으로 이루어지는 인쇄층(22) 및 메쉬층(21)을 구비하는 패터닝·마스크(26)는, 도 16에 나타낸 인쇄공정용의 패터닝·씰로서 사용할 수 있다. 이 때문에, 기판(25)의 실질상 평평한 표면 상에 패터닝·마스크(26)를 내린다. 그 후, 잉크(27)를 인쇄층(22)에 주입하면, 잉크(27)는, 메쉬층(21)의 개구를 통과하여 인쇄층(22)의 오리피스(orifice) 내로 흘러 들어간다. 패턴화 인쇄층(22)은, 기판(25)과 접촉하고 있는 경우, 기판(25)과 인쇄층(22)과의 계면(界面)에, 패턴화 인쇄층(22)의 오리피스(29)를 충전할 수 있어 기판(25)에 도달하는 잉크(27)에 대한 씰을 제공한다. 잉크(27)는, 각각의 오리피스(29)의 영역에 갇힌다. A typical structure of a known patterning mask is shown in Figs. 15 to 17. Fig. The structure of the patterning mask is the same as that described in Figs. 1 to 3 of Japanese Patent No. 3560042. The patterning mask 26 has a mesh layer 21 made of a metal wire. The mesh layer 21 has a two-dimensional regular pattern of openings 28 separated by solid elements. The patterned print layer 22 is partially surrounded by the mesh layer 21. The printed layer 22 is formed of two portions, that is, a stencil layer 23 and a seal layer 24, both portions 23 and 24 are also patterned, to be. The stencil layer 23 is made of a standard photoresist material used in lithography and the patterning of the stencil layer 23 is done by a standard lithography process. The seal layer 24 of the print layer 22 has exactly the same pattern as the stencil layer 23, but differs substantially in its elasticity. The seal layer 24 is adhered to the stencil layer 23 to form the print layer 22 with this layer. The print layer 22 is mechanically fixed to the mesh layer 21. As the material of the stencil layer 23, for example, nickel may be electroplated to form the stencil layer 23. As the mesh layer 21, a material such as a metal or a polymer may be used. As the stencil layer 23, a material such as polymer, resist, or metal may be used. The patterning mask 26 having the printing layer 22 composed of two parts and the mesh layer 21 can be used as the patterning seal for the printing process shown in Fig. For this reason, the patterning mask 26 is lowered on the substantially flat surface of the substrate 25. Thereafter, when the ink 27 is injected into the print layer 22, the ink 27 flows into the orifice of the print layer 22 through the opening of the mesh layer 21. When the patterned print layer 22 is in contact with the substrate 25, an orifice 29 of the patterned print layer 22 is formed on the interface between the substrate 25 and the print layer 22 To provide a seal for the ink 27 reaching the substrate 25. The ink 27 is trapped in the area of each orifice 29.

도 17에 패터닝·마스크(26)의 다른 실시예를 나타낸다. 여기에서는, 인쇄층(22)은, 부분적으로도 메쉬층(21)을 둘러싸지 않고, 메쉬층(21)의 하측에 장착되어 있을 뿐이라는 점이, 도 15 ~ 도 16의 실시예와 다르다. 스텐실층과 메쉬층 보다 얇게 할 수 있다. 게다가, 여기에서는 오리피스(29)는 메쉬층(21)의 개구(28)보다 작다. Another embodiment of the patterning mask 26 is shown in Fig. The printed layer 22 differs from the embodiment shown in Figs. 15 to 16 in that the printed layer 22 is only partially mounted on the underside of the mesh layer 21 without surrounding the mesh layer 21 partially. It can be made thinner than the stencil layer and the mesh layer. In addition, the orifice 29 here is smaller than the opening 28 in the mesh layer 21.

또, 공지의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 구조를 도 18에 나타낸다. 이 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 구조는, 일본특허공개 평11－157042호 공보의 도 3에 기재되어 있는 것과 동일한 것이다. 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크는, 판(版) 프레임(도시하지 않음)에 외주(外周)를 접착 고정한 스크린 메쉬(31)의 인쇄면 중앙부에 메탈 마스크(32)를 접착 고정하고, 스크린 메쉬(31)의 스퀴지면(squeegee面)측에 수지(33)를 도포 고체화하며, 메탈 마스크(32)의 화상(畵像) 투공부(透孔部)(32a)에 맞추어 감광(感光) 유제(乳劑)(33)에 인화 등에 의해 투공(透孔)(33a)을 형성한다. 이 투공(33a)은 어떤 수단에 의해서 형성해도 좋고, 메탈 마스크(32)의 화상 투공부(32a)보다 약간 폭을 넓게 형성하고 있다. 18 shows the structure of a known suspending metal mask for printing. The structure of the suspended metal mask for printing is the same as that described in Fig. 3 of Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-157042. The suspending metal mask for printing has a structure in which a metal mask 32 is adhered and fixed to the central portion of a printing surface of a screen mesh 31 to which an outer circumference is adhered and fixed to a plate frame A resin 33 is applied and solidified on the side of the squeegee surface and the photosensitive agent emulsion 33 is formed by aligning the image of the metal mask 32 with the through hole 32a of the metal mask 32. [ Through-holes 33a are formed by printing or the like. The through hole 33a may be formed by any means and is slightly wider than the image projecting 32a of the metal mask 32. [

특허 문헌 1 : 일본특허 제3560042호 공보Patent Document 1: Japanese Patent No. 3560042 특허 문헌 2 : 일본특허공개 평11－157042호 공보Patent Document 2: JP-A-11-157042

종래, 금속제 와이어로 이루어지는 메쉬층에 인쇄 패턴 형성용의 감광 유제를 도포하여 이루어지는, 유제판(乳劑版)으로 불리는 것은, 유연성이 있고, 스퀴징(squeegeeing)시에 기판에 선접촉하기 때문에, 메탈 마스크판(mask版)에 비해 스퀴징에 의한 공기 머무름이 적어, 판 분리는 양호하지만, 메쉬층의 금속제 와이어가 가늘기 때문에, 내구성이 부족한 것이었다. 한편, 메탈 마스크판은, 금속 부분이 많기 때문에, 마스크 전체가 단단하고, 스퀴징시에 기판에 면접촉 하기 때문에, 유제판에 비해 스퀴징에 의한 공기 머무름이 많아, 판 분리가 좋지 않았다. Conventionally, an emulsion plate, which is formed by applying a photosensitive emulsion for forming a print pattern to a mesh layer made of a metal wire, has flexibility and comes into line contact with the substrate at the time of squeegeeing, Compared with the mask plate, air retention by squeegee is small and plate separation is good. However, since the metal wire of the mesh layer is thin, durability is insufficient. On the other hand, since the metal mask plate has many metal parts, the entire mask is hard and the surface contact with the substrate at the time of squeegee, so that air retention due to squeegee is greater than that of the emulsion plate.

또, 사각형의 판 프레임에 콤비네이션 메쉬를 펴고, 이 콤비네이션 메쉬의 중앙부에 마련한 스테인리스 메쉬에 니켈 등으로 이루어지는 베이스 메탈을 접합 도금에 의해 접합한 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크에서는, 베이스 메탈의 금속 부분의 면적이 커서 유연성이 부족하기 때문에, 터치 패널 패턴 등의 인쇄를 행할 때에, 판 분리의 지연에 의해 인쇄 흠이 발생하고 있다. 특히 판 분리의 지연에 의한 인쇄 흠은 패턴의 대면적부(大面積部)에 현저하게 발생한다. 또, 패턴에 세선부(細線部)와 대면적부가 있기 때문에, 도금시에 판 두께의 편차가 발생하기 쉬워진다고 하는 문제가 있었다. Further, in a printing suspend metal mask in which a combination mesh is spread on a square plate frame, and a base metal made of nickel or the like is bonded to a stainless steel mesh provided at the center of the combination mesh by bonding plating, the metal area of the base metal is large The flexibility is not sufficient. Therefore, when printing is performed on a touch panel pattern or the like, printing flaws occur due to delays in plate separation. In particular, a printed flaw due to the delay in plate separation occurs remarkably in the large-area portion of the pattern. Further, since the pattern has a fine line portion and a large-area portion, there is a problem that the plate thickness tends to be varied at the time of plating.

본 발명은, 상술과 같은 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 베이스 메탈의 금속 부분의 면적을 작게 하여 유연성을 갖게 하는 것에 의해, 판 분리를 개선한 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and it is an object of the present invention to provide a suspend metal mask for printing improved in plate separation by making the area of the metal portion of the base metal small and having flexibility.

본 발명에 관한 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크에 있어서는, 판(版) 프레임과, 판 프레임의 내측에 외주(外周)를 접착 고정하여 펴서 마련되며, 중앙부에 금속제 메쉬가 마련된 콤비네이션 메쉬와, 금속제 메쉬에 밀착하여 서로 겹쳐서 접합 도금에 의해 일체로 접합되며, 인쇄용의 개구 패턴이 마련된 베이스 메탈을 구비한 것에 있어서, 베이스 메탈은, 인쇄용의 개구 패턴이 형성되는 부분의 주위의 금속 부분은 남기고, 그 이외의 인쇄에 관계가 없는 부분의 금속 부분은 가능한 한 제거하는 것에 의해, 베이스 메탈의 금속 부분의 면적을 축소한 것이다. In the suspend metal mask for printing according to the present invention, there is a combination of a plate frame, a combination mesh which is formed by sticking and fixing the outer periphery to the inside of the plate frame by tightly bonding and having a metal mesh at the center, And a base metal provided with an opening pattern for printing, wherein the base metal has a metal portion around the portion where the opening pattern for printing is formed, The area of the metal portion of the base metal is reduced by removing as much as possible the metal portion of the unrelated portion.

또, 인쇄에 관계가 없는 부분의 금속 부분은, 제거하는 금속 부분의 비율이 10 ~ 90%이다. The metal portion of the portion not related to printing is 10 to 90% of the metal portion to be removed.

또, 베이스 메탈의 금속 부분의 면적을 축소하여, 인쇄 기판과 선접촉하도록 한 것이다. In addition, the area of the metal portion of the base metal is reduced to make line contact with the printed substrate.

또, 베이스 메탈은, 인쇄용의 개구 패턴이 형성되는 부분의 주위의 금속 부분은 남기고, 그 이외의 인쇄에 관계가 없는 부분의 금속 부분에는 다수의 금속 면적 축소용 더미(dummy) 구멍을 형성하고, 상기 금속 면적 축소용 더미 구멍에 유제(乳劑)를 충전하여 구멍을 폐색(閉塞)하는 것에 의해, 인쇄되지 않도록 한 것이다. In the base metal, a metal portion around the portion where the opening pattern for printing is formed is left, and a plurality of dummy holes for reducing the area of the metal are formed in the metal portion of the portion which is not related to the other printing, The dummy hole for reducing the metal area is filled with an emulsion to block the hole to prevent printing.

또, 금속 면적 축소용 더미 구멍은, 원형 구멍이다. The dummy hole for metal area reduction is a circular hole.

또, 베이스 메탈은, 인쇄용의 개구 패턴이 형성되는 부분의 주위의 금속 부분은 남기고, 그 이외의 인쇄에 관계가 없는 부분의 금속 부분은 모두 없애며, 베이스 메탈의 금속 부분이 존재하지 않는 부분의 금속제 메쉬는, 메쉬의 개구에 유제를 충전하여 개구를 폐색하는 것에 의해, 인쇄되지 않도록 한 것이다. In the base metal, the metal portion around the portion where the opening pattern for printing is formed is left, and the metal portion of the portion not related to the other printing is removed, and the metal portion of the base metal The mesh is formed by filling the opening of the mesh with an emulsion to block the opening, thereby preventing printing.

본 발명에 의하면, 베이스 메탈의 인쇄용 개구 패턴이 형성되는 부분의 주위의 금속 부분은 남기고, 그 이외의 인쇄에 관계가 없는 부분의 금속 부분은 가능한 한 제거하는 것에 의해, 베이스 메탈의 금속 부분의 면적을 축소했으므로, 베이스 메탈의 유연성이 좋아지고, 공기 빠짐성이 향상하여 판 분리를 좋게 할 수 있다. According to the present invention, by removing as much as possible the metal portion of the portion around the portion where the opening pattern for printing of the base metal is to be formed and the other portions of the metal portion not related to the printing, The flexibility of the base metal is improved, the air venting property is improved, and the plate separation can be improved.

도 1은 본 발명의 실시 형태 1에서의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 제조 방법에 필요한 각 구성요소를 분리하여 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태 1에서의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 제조 방법의 접합 도금 공정을 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태 1에서의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 제조 방법의 접합 도금이 종료한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태 1에서의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 제조 방법의 접합 상태로부터 세트를 해제한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시 형태 1에서의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 제조 방법의 베이스 메탈로부터 SUS 모재(母材)를 박리하고 있는 상태를 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태 1에서의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 제조 방법의 베이스 메탈의 개구 레지스트(resist)를 박리하기 전의 상태를 나타내는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시 형태 1에서의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 제조 방법의 베이스 메탈의 개구 레지스트를 박리하여 완성한 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크를 나타내는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시 형태 1에서의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 9는 본 발명의 실시 형태 1에서의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈의 요부 구성을 나타내는 확대 평면도이다.
도 10은 종래의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 11은 본 발명의 실시 형태 1에서의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈을 이용한 경우(점접촉)와 종래의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈을 이용한 경우(면접촉)의 판 분리 상태를 비교하여 나타내는 설명도이다.
도 12는 본 발명의 실시 형태 2에서의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 13은 본 발명의 실시 형태 3에서의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈용 SUS 모재 표면을 비즈 블라스트(beads blast) 등으로 거칠게 한 상태를 나타내는 현미경 사진이다.
도 14는 본 발명의 실시 형태 3에서의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈용 SUS 모재 표면을 비즈 블라스트 등으로 거칠게 한 상태를 더욱 확대하여 나타내는 현미경 사진이다.
도 15는 종래의 패터닝·마스크를 나타내는 횡단면도 및 평면도이다.
도 16은 종래의 인쇄 스텝에서의 기판 상의 패터닝·마스크를 나타내는 횡단면도이다.
도 17은 종래의 패터닝·마스크의 다른 예를 나타내는 단면도이다.
도 18은 종래의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크를 나타내는 단면도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a perspective view of the respective elements necessary for the method of manufacturing a suspend-for-printing metal mask according to Embodiment 1 of the present invention. Fig.
Fig. 2 is a cross-sectional view showing a bonding plating process of a manufacturing method of a suspended metal mask for printing in Embodiment 1 of the present invention. Fig.
3 is a cross-sectional view showing a state in which the bonding plating of the method of manufacturing a suspended metal mask for printing in Embodiment 1 of the present invention is completed.
4 is a cross-sectional view showing a state in which the set is released from the bonded state of the method for manufacturing a suspend-for-printing metal mask according to the first embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view showing a state in which an SUS parent material (base material) is peeled off from a base metal in a method of manufacturing a suspended metal mask for printing according to Embodiment 1 of the present invention.
6 is a cross-sectional view showing a state before the opening resist of the base metal of the method of manufacturing a suspension metal mask for printing according to Embodiment 1 of the present invention is peeled off.
Fig. 7 is a cross-sectional view showing a suspending metal mask for printing completed by peeling off an opening resist of a base metal in the method for manufacturing a suspending metal mask for printing in Embodiment 1 of the present invention. Fig.
8 is a plan view showing a configuration of a base metal of a suspend-for-printing metal mask according to Embodiment 1 of the present invention.
Fig. 9 is an enlarged plan view showing the essential part of the base metal of the printing suspended metal mask according to the first embodiment of the present invention. Fig.
10 is a plan view showing a configuration of a base metal of a conventional suspend metal mask for printing.
11 is a graph showing a comparison between the case of using the base metal of the suspending metal mask for printing according to the first embodiment of the present invention (point contact) and the state of plate separation when using the base metal of the conventional suspending metal mask for printing (surface contact) Fig.
12 is a plan view showing a configuration of a base metal of a suspend-for-printing metal mask according to Embodiment 2 of the present invention.
13 is a micrograph showing a state in which the surface of an SUS parent material for a base metal of a suspend-for-printing metal mask according to Embodiment 3 of the present invention is roughened by beads blast or the like.
14 is a micrograph showing a further enlarged state of the surface of an SUS parent material for a base metal of a suspend-for-printing metal mask according to Embodiment 3 of the present invention roughened with a bead blast or the like.
15 is a cross-sectional view and a plan view showing a conventional patterning mask.
16 is a cross-sectional view showing a patterning mask on a substrate in a conventional printing step.
17 is a cross-sectional view showing another example of a conventional patterning mask.
18 is a cross-sectional view showing a conventional suspend metal mask for printing.

본 발명을 보다 상세하게 설명하기 위해, 첨부의 도면에 따라서 이것을 설명한다. 또, 각 도면 중, 동일 또는 상당하는 부분에는 동일한 부호를 부여하고 있으며, 그 중복 설명은 적당히 간략화 내지 생략한다. In order to explain the present invention in more detail, this will be described with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same or equivalent parts are denoted by the same reference numerals, and redundant description thereof will be simplified or omitted as appropriate.

실시 형태 1.Embodiment 1

도 1은 본 발명의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 제조 방법에 필요한 각 구성요소를 분리하여 나타내는 사시도, 도 2 ~ 도 7은 본 발명의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 제조 방법의 제조 공정을 나타내는 단면도이다. 도 8은 본 발명의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈의 구성을 나타내는 평면도, 도 9는 본 발명의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈의 요부 구성을 나타내는 확대 평면도, 도 10은 종래의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈의 구성을 나타내는 평면도, 도 11은 본 발명의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈을 이용한 경우(점접촉)와 종래의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈을 이용한 경우(면접촉)의 판 분리 상태를 비교하여 나타내는 설명도이다. FIG. 1 is a perspective view showing the components of a suspended metal mask for printing according to the present invention, and FIGS. 2 to 7 are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of the method for manufacturing a suspending metal mask for printing according to the present invention. FIG. 8 is a plan view showing the constitution of a base metal of a suspending metal mask for printing according to the present invention, FIG. 9 is an enlarged plan view showing a main constitution of a base metal of a suspending metal mask for printing according to the present invention, 11 is a plan view showing the configuration of the base metal. Fig. 11 is a plan view showing the configuration of the base metal of the printing suspended metal mask of the present invention (point contact) and the state of plate separation of the base metal of the conventional printing suspended metal mask Fig.

본 발명의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 제조 방법에 필요한 구성요소는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 중앙부에 마련된 통전성(通電性)을 가지는 스테인리스 메쉬 또는 니켈 메쉬로 이루어지는 금속제 메쉬(1) 및 이 금속제 메쉬(1)의 외측에 마련된 테토론(Tetoron) 메쉬(2)로 이루어지는 콤비네이션 메쉬가 내측에 펴서 마련된 사각 형상의 금속제 판(版) 프레임(3)과, 베이스 메탈용 SUS 모재(母材)(4) 상에 마련되며, 인쇄용 개구 패턴이 형성되는 부분에 인쇄 개구 패턴 형성용 레지스트(5a)가 실시된 베이스 메탈(5)과, 테토론 메쉬(6)가 펴서 마련된 사각 형상의 접합 보조용 금속제 판 프레임(7)과, 이 접합 보조용 금속제 판 프레임(7)의 테토론 메쉬(6)와 베이스 메탈용 SUS 모재(4)와의 사이에 개재되는 스펀지(8)로 구성된다. 또, 사각 형상의 금속제 판 프레임(3)에 펴서 마련되는 메쉬는, 중앙부의 금속제 메쉬(1)와 외측의 테토론 메쉬(2)로 이루어지는 콤비네이션 메쉬가 바람직하지만, 콤비네이션 메쉬가 아니라, 통전성을 가지는 금속제 메쉬(1)의 단체(單體)로 이루어지는 1매(枚)의 물건이라도 괜찮다. 또, 상기 베이스 메탈(5)에는, 인쇄 개구 패턴 형성용 레지스트(5a) 외에, 금속 부분의 면적을 축소하기 위한 더미(dummy) 구멍을 다수 형성하기 위해서, 다수의 금속 면적 축소 더미 구멍 형성용 레지스트(도시하지 않음)를 실시하여 둔다. 이 금속 면적 축소용 더미 구멍(도시하지 않음)을 베이스 메탈(5)에 다수 형성하는 것에 의해, 금속 부분의 면적이 축소되어, 베이스 메탈(5)의 유연성을 향상시킬 수 있다. 또, 베이스 메탈(5)은, 도금 성장측이 스퀴지면(squeegee面)이 되고, 베이스 메탈용 SUS 모재(4)측이 인쇄면과 접촉하는 면이 된다. 예를 들면, 필름 모양의 인쇄 기판에 인쇄하는 경우, 베이스 메탈(5)의 인쇄면과 접촉하는 면에 거칠기가 없이 매끄러우면(경면(鏡面)에 가까우면), 공기의 통로가 생기지 않아 밀착해 버릴 우려가 있다. 따라서, 베이스 메탈용 SUS 모재(4)의 표면을 경면 마무리로 한 경우는, 베이스 메탈(5)의 인쇄면과 접촉하는 면을 나중에 샌드페이퍼(sandpaper)나 연마제가 들어 있는 부직포로 연마하는 것에 의해, 거칠게 하는 것이 생각되어진다. 한편, 베이스 메탈용 SUS 모재(4)의 표면을 미리 비즈 블라스트(bedas blast), 버프(buff) 연마 등으로 거칠게 한 경우는, 베이스 메탈(5)의 인쇄면과 접촉하는 면을 나중에 샌드페이퍼나 연마제가 들어 있는 부직포로 연마하는 것에 의해, 거칠게 할 필요는 없다. As shown in Fig. 1, the elements necessary for the method of manufacturing a suspending metal mask for printing according to the present invention include a metal mesh 1 made of a stainless steel mesh or a nickel mesh having conductivity at a central portion thereof, A square metal plate frame 3 provided with a combination mesh made of a Tetoron mesh 2 provided outside of the base metal SUS base material 4, A base metal 5 provided with a resist 5a for forming a printing opening pattern on a portion where the opening pattern for printing is formed, and a metal plate frame 4 for joining auxiliary use, which is formed by spreading the Tetoron mesh 6, And a sponge 8 interposed between the Tetoron mesh 6 of the metal plate frame 7 for joining auxiliary and the SUS base material 4 for base metal. It is preferable that the mesh provided on the square metal plate frame 3 is a combination mesh composed of the metal mesh 1 at the center portion and the outer tethered mesh 2 but is not a combination mesh, A single piece of metal mesh 1 may be used. In order to form many dummy holes for reducing the area of the metal portion in addition to the resist 5a for forming the printed opening pattern, the base metal 5 is provided with a plurality of metal area reducing dummy hole forming resist (Not shown) is carried out. By forming a large number of dummy holes (not shown) for reducing the metal area on the base metal 5, the area of the metal part can be reduced and the flexibility of the base metal 5 can be improved. The base metal 5 has a squeegee plane on the plating growth side and a surface on which the base metal SUS base material 4 is in contact with the printed surface. For example, when printing on a film-shaped printed substrate, the surface of the base metal 5 that is in contact with the printed surface is smooth and smooth (closer to a mirror surface) There is a risk of discarding. Therefore, when the surface of the base metal SUS parent material 4 is mirror finished, the surface of the base metal 5 in contact with the printed surface is polished with a nonwoven fabric containing sandpaper or abrasive material, It is thought to be roughened. On the other hand, in the case where the surface of the base metal SUS base material 4 is roughened in advance by bed-blasting, buff polishing or the like, the surface of the base metal 5, which is in contact with the printing surface, It is not necessary to roughen it by polishing with a nonwoven fabric containing

인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 제조 방법의 접합 도금 공정에 있어서는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 우측에 사각 형상의 금속제 판 프레임(3)을 배치하고, 좌측에 사각 형상의 접합 보조용 금속제 판 프레임(7)을 배치한다. 그리고, 금속제 판 프레임(3)의 금속제 메쉬(1)와 서로 겹쳐서 위치하도록 베이스 메탈(5)을 배치하고, 금속제 판 프레임(3)과 접합 보조용 금속제 판 프레임(7)을 서로 겹쳐서 점착 테이프(9) 등으로 체결 고정하며, 베이스 메탈용 SUS 모재(4) 및 스펀지(8)를 매개로 하여 베이스 메탈(5)과 금속제 메쉬(1)가 서로 밀착 상태가 되도록 셋팅한다. 이 밀착 상태로 셋팅한 것을 음극(10)에 접속함과 아울러 전기적으로 도통(導通)시켜, 설파민산(Sulfamin酸) 니켈욕(Nikel浴)이 들어간 도금조(槽)(11) 내에 수용하고, 니켈(12)을 양극(13)에 접속하는 것에 의해, 베이스 메탈(5)과 금속제 메쉬(1)의 사이에서 접합 도금을 행하여, 양자를 일체적으로 접합한다. 이 접합 도금량은, 통상 편측 2㎛로 하고, 전기 주형 도금과 동일 도금법을 이용한다. 또, 양·음 전류 밀도는 약 0.5A/dm2의 저전류를 이용하는 것에 의해, 접합 도금량의 균일성 향상과 금속제 메쉬(1)의 단선을 방지할 수 있다. As shown in Fig. 2, a metal plate frame 3 having a rectangular shape is arranged on the right side of the joint plating process of the method for producing a suspension metal mask for printing, and a rectangular metal plate frame 7 for joining auxiliary is formed on the left side. . The base metal 5 is placed so as to overlap with the metal mesh 1 of the metal plate frame 3 and the metal plate frame 3 and the metal plate frame for bonding assisting 7 are superimposed on each other to form an adhesive tape 9 and the like so that the base metal 5 and the metal mesh 1 are brought into close contact with each other via the base metal SUS base material 4 and the sponge 8. Is placed in a plating bath 11 containing a sulfamic acid nickel bath so as to be connected to the cathode 10 and electrically connected to the cathode 10, By bonding the nickel 12 to the anode 13, joint plating is performed between the base metal 5 and the metal mesh 1 so that they are integrally bonded. The amount of the bonding plating is usually 2 m on one side, and the same plating method as that of the electroforming is used. In addition, by using a low current of about 0.5 A / dm 2 for the positive and negative current densities, it is possible to improve the uniformity of the amount of bonding plating and to prevent disconnection of the metal mesh 1.

다음으로, 접합 도금 공정이 종료하면, 상기 밀착 상태로 세팅한 것을 도금조(11)로부터 취출하고(도 3 참조), 점착 테이프(9)를 떼어내어 밀착 상태로 셋팅한 것을 해제한다(도 4 참조). 다음으로, 베이스 메탈(5)로부터 베이스 메탈용 SUS 모재(4)를 박리한다(도 5 및 도 6 참조). 베이스 메탈(5)은, 도금 성장측이 스퀴지면이 되고, 베이스 메탈용 SUS 모재(4)측이 인쇄면과 접촉하는 면이 된다. 예를 들면, 필름 모양의 인쇄 기판에 인쇄하는 경우, 베이스 메탈(5)의 인쇄면과 접촉하는 면에 거칠기가 없이 매끄러우면(경면에 가까우면), 공기의 통로가 생기지 않아 밀착해 버릴 우려가 있다. 따라서, 베이스 메탈용 SUS 모재(4)의 표면을 경면 마무리로 한 경우는, 베이스 메탈(5)의 인쇄면과 접촉하는 면을 나중에 샌드페이퍼나 연마제가 들어 있는 부직포로 연마하는 것에 의해, 거칠게 하는 것이 생각되어진다. 또, 베이스 메탈용 SUS 모재(4)의 표면을 미리 비즈 블라스트, 버프 연마 등으로 거칠게 하여, 베이스 메탈(5)의 인쇄면과 접촉하는 면을 나중에 샌드페이퍼나 연마제가 들어 있는 부직포로 연마하는 것을 생략해도 좋다. 그 후, 베이스 메탈(5)과 금속제 메쉬(1)의 접합부가 도금에 의해 일체적으로 접합되어 있는 금속제 판 프레임(3)의 베이스 메탈(5)로부터 인쇄 개구 패턴 형성용 레지스트(5a) 및 금속 면적 축소 더미 구멍 형성용 레지스트(도시하지 않음)를 박리하는 것에 의해, 인쇄용 개구 패턴(5b) 및 금속 면적 축소용 더미 구멍(도시하지 않음)이 형성된다. 이것에 의해, 본 발명의 실시 형태 1의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크가 완성된다(도 7 참조). 또, 도 1 ~ 도 7에서는, 베이스 메탈(5)의 인쇄 개구 패턴 형성용 레지스트(5a) 및 인쇄용 개구 패턴(5b)은, 간략화하여 이미지만을 나타낸 것이다. 또, 다수의 금속 면적 축소 더미 구멍 형성용 레지스트 및 금속 면적 축소용 더미 구멍은 모두 도시하고 있지 않다. Next, when the bonding plating process is completed, the setting in the close contact state is taken out from the plating tank 11 (see Fig. 3), and the adhesive tape 9 is removed to release the setting in the close contact state Reference). Next, the base metal SUS base material 4 is peeled off from the base metal 5 (see Figs. 5 and 6). In the base metal 5, the plating growth side becomes the squeegee side, and the side of the base metal SUS base material 4 comes into contact with the printed surface. For example, in the case of printing on a film-shaped printed substrate, there is a possibility that a surface in contact with the printed surface of the base metal 5 does not have roughness and is smooth (close to a mirror surface) have. Therefore, when the surface of the SUS parent material 4 for base metal is mirror finished, the surface of the base metal 5 in contact with the printed surface is polished with a non-woven fabric containing sandpaper or an abrasive agent, It is thought. The surface of the base metal SUS base material 4 is roughened by bead blasting, buff polishing or the like in advance to abrade the surface of the base metal 5, which is in contact with the printed surface, with a nonwoven fabric containing sandpaper or abrasive Maybe. Thereafter, from the base metal 5 of the metal plate frame 3 in which the joint portions of the base metal 5 and the metal mesh 1 are integrally joined by plating, the resist pattern 5a for forming the printed opening pattern and the metal Area Reduction By removing a dummy hole forming resist (not shown), a printing opening pattern 5b and a metal area reducing dummy hole (not shown) are formed. This completes the printing suspended metal mask of Embodiment 1 of the present invention (see Fig. 7). In Fig. 1 to Fig. 7, the resist 5a for forming the printing opening pattern and the opening pattern 5b for printing of the base metal 5 are simplified and only the image is shown. In addition, a large number of metal area reduction dummy hole forming resists and metal area reducing dummy holes are not shown.

도 8은 베이스 메탈(5)의 구성을 모식화하여 나타낸 것이며, 실제의 것과는 서로 다르다. 도 9는 베이스 메탈(5)의 구성을 확대하여 나타낸 것이다. 도 8 ~ 도 9에서, 베이스 메탈(5)은, 인쇄용 개구 패턴(5b)이 형성되는 부분의 주위의 금속 부분은 수mm 정도를 남기도록 하고 있다. 또, 그 이외의 인쇄에 관계가 없고 필요하지 않은 부분의 금속 부분은 가능한 한 제거하도록 하고 있다. 즉, 인쇄에 관계가 없고 필요하지 않은 부분의 금속 부분에, 직경 약 30mm 정도의 다수의 금속 면적 축소용 더미 원형 구멍(5d)을, 서로 인접하는 더미 원형 구멍(5d)의 상호간의 간격이 약 5mm가 되도록 형성하는 것에 의해, 베이스 메탈(5)의 금속 부분의 면적을 적게 하고 있다. 이 더미 원형 구멍(5d)은, 수직선에 대해서 약 30°의 각도를 가져 세로 방향으로 1열이 되도록 형성되어 있고, 수평선에 대해서 약 60 ~ 67.5°의 각도를 가져 경사 방향으로 1열이 되도록 형성되어 있다. 이 더미 원형 구멍(5d)은, 각 1개의 더미 원형 구멍(5d)을 보면, 그 좌우에 인접하여 배치되는 더미 원형 구멍(5d)은 동일 수평 위치가 아니라, 세로 방향으로 지그재그 모양으로 어긋나도록 배치되어 있다. 또, 더미 원형 구멍(5d)은, 수직선 및 수평선에 대해서 각도를 부여하지 않고 종횡 방향으로 일직선으로 형성해도 좋다. 또, 더미 원형 구멍(5d)을 형성하는 것에 의해 제거되는 금속 부분의 비율은, 이론상 1 ~ 99%이지만, 실제로는 10 ~ 90%정도가 바람직하고, 20 ~ 80%, 30 ~ 70%, 40 ~ 60%, 50% 전후라도 좋다. 이것에 의해, 금속 부분을 적게 한 만큼, 베이스 메탈(5)의 유연성이 좋아져, 베이스 메탈(5) 자체의 유연성과 공기 빠짐성을 향상시켜, 판 분리를 좋게 할 수 있다. 또, 형성된 금속 면적 축소용 더미 원형 구멍(5d)은, 도 8의 좌측 절반에 나타내는 바와 같이, 당초는 개구하고 있지만, 형성 후에는 도 8의 우측 절반에 나타내는 바와 같이, 금속 면적 축소용 더미 원형 구멍(5d)에 감광 유제(14)를 충전하여 개구를 폐색하는 것에 의해, 인쇄되지 않도록 하고 있다. 또, 금속 면적 축소용 더미 원형 구멍(5d)에 충전된 감광 유제(14)는, 모세관 현상에 의해 표면이 평평하지 않고 오목 형상이 된다. 따라서, 베이스 메탈(5)의 표면과 감광 유제(乳劑)(14)의 표면은 면일(面一)이 되지 않고 단차가 생기므로, 베이스 메탈(5)이 인쇄 기판(15)과 밀착하여 떨어지기 어려워지는 것을 방지할 수 있다. 또, 금속 면적 축소용 더미 원형 구멍(5d)은, 원형 구멍이기 때문에, 도금시의 전류 밀도나, 상하, 좌우 방향의 신장률이 동일하게 되므로, 슬릿(slit) 구멍이나 격자 구멍 보다도 만들기 쉬어, 바람직하지만, 슬릿 구멍이나 격자 구멍이라도 괜찮다. 또, 금속 면적 축소용 더미 원형 구멍(5d)은, 스퀴지의 닿음이 진행 방향으로 어긋나도록 22.5°의 각도를 부여하고 있다. 8 is a schematic representation of the configuration of the base metal 5, and is different from the actual one. Fig. 9 is an enlarged view of the configuration of the base metal 5. Fig. 8 to 9, the base metal 5 has a metal portion around the portion where the opening pattern for printing 5b is formed is left to be about several mm. In addition, the metal parts which are not related to the other printing and are not necessary are removed as much as possible. That is, a large number of metal area reducing dummy circular holes 5d having a diameter of about 30 mm are formed in the metal portion of the portion which is not related to printing and which is not required, and the distance between adjacent dummy circular holes 5d is about 5 mm, the area of the metal portion of the base metal 5 is reduced. The dummy circular holes 5d are formed so as to be one row in the vertical direction with an angle of about 30 degrees with respect to the vertical line and have an angle of about 60 to 67.5 degrees with respect to the horizontal line, . In the dummy circular hole 5d, the dummy circular holes 5d disposed adjacent to the left and right of the dummy circular hole 5d are arranged not to be in the same horizontal position but in a zigzag form in the vertical direction . Further, the dummy circular hole 5d may be formed straight in the vertical and horizontal directions without giving an angle to the vertical and horizontal lines. The proportion of the metal portion removed by forming the dummy circular hole 5d is theoretically 1 to 99%, but it is preferably about 10 to 90%, preferably 20 to 80%, 30 to 70%, 40 ~ 60%, 50%. As a result, the flexibility of the base metal 5 is improved by reducing the number of metal parts, thereby improving the flexibility and the air-leaking property of the base metal 5 itself and improving the plate separation. As shown in the left half of Fig. 8, the formed metal area reducing dummy circular hole 5d is originally opened, but after formation, as shown in the right half of Fig. 8, The hole 5d is filled with the photosensitive emulsion 14 to close the opening, thereby preventing printing. In addition, the photosensitive emulsion 14 filled in the dummy circular hole 5d for reducing the metal area becomes a concave shape due to the capillary phenomenon without the surface being flat. Therefore, the surface of the base metal 5 and the surface of the light emulsifying agent 14 are not flush with each other, and a step is generated, so that the base metal 5 is in close contact with the printed substrate 15 It can be prevented that it becomes difficult. Since the dummy circular hole 5d for reducing the metal area is a circular hole, the current density at the time of plating and the elongation in the vertical direction and the lateral direction are the same, However, a slit hole or a grid hole is also acceptable. The dummy circular hole 5d for reducing the metal area has an angle of 22.5 degrees so that the contact of the squeegee is shifted in the advancing direction.

도 10은 종래의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈의 구성을 모식화하여 나타낸 것이며, 실제의 것과는 다르다. 도 10에서, 베이스 메탈(5)은, 인쇄용 개구 패턴(5b)이 형성되는 부분의 일부가 개구하고 있을 뿐이며, 그 이외의 부분은 모두 금속 부분이 남아 있다. 따라서, 금속 부분이 많이 있는만큼, 베이스 메탈(5) 자체가 하드(hard) 구성이 되어, 베이스 메탈(5)의 유연성도 부족하다. 10 is a schematic view showing the configuration of a base metal of a conventional suspend metal mask for printing, and is different from the actual one. In Fig. 10, the base metal 5 has only a part of the portion where the opening pattern for printing 5b is formed is open, and all the remaining portions have metal portions. Therefore, the base metal 5 itself has a hard structure because of the large number of metal parts, and the flexibility of the base metal 5 is also insufficient.

도 11은 본 발명의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈을 이용한 경우(점접촉)와 종래의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈을 이용한 경우(면접촉)의 판 분리 상태를 비교하여 나타내는 설명도이다. 종래의 경우는, 베이스 메탈(5)의 금속 부분이 많이 남아 있는 만큼, 유연성도 부족하므로, 도 11의 (a)에 나타내는 바와 같이, 베이스 메탈(5)이 만곡(灣曲)하여 인쇄 기판(15)과 면접촉 하게 되어, 판 분리가 나빠지지만, 본 발명에 의하면, 베이스 메탈(5)의 금속 부분을 적게 하여, 유연성을 좋게 했으므로, 도 11의 (b)에 나타내는 바와 같이, 베이스 메탈(5)이 만곡이 아니라 각도를 가지고 절곡되므로, 인쇄 기판(15)과 점접촉하게 되어, 판 분리가 좋아진다. 이것에 의해, 예를 들면 특수 형상의 기판에 대한 데미지를 작게 하는 것이 가능해진다. Fig. 11 is an explanatory view showing a state in which a base metal of a suspending metal mask for printing according to the present invention (point contact) is compared with a plate separation state in the case of using a base metal of a conventional suspending metal mask for printing (surface contact). In the conventional case, since the metal part of the base metal 5 remains much, the flexibility is also insufficient. Therefore, as shown in FIG. 11A, the base metal 5 curves to form a printed board 15, the plate separation is deteriorated. However, according to the present invention, since the metal portion of the base metal 5 is reduced and flexibility is improved, as shown in Fig. 11 (b) 5 are bent at an angle instead of a curvature, so that they are in point contact with the printed substrate 15, and the plate separation is improved. This makes it possible to reduce damage to, for example, a substrate having a special shape.

실시 형태 2.Embodiment 2 Fig.

도 12는 본 발명의 실시 형태 2에서의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈의 구성을 나타내는 평면도이다. 12 is a plan view showing a configuration of a base metal of a suspend-for-printing metal mask according to Embodiment 2 of the present invention.

상기 실시 형태 1에서는, 베이스 메탈(5)은, 인쇄용 개구 패턴(5b)이 형성되는 부분의 주위의 금속 부분은 수mm 정도를 남기고, 그 이외의 인쇄에 관계가 없고 필요하지 않은 부분의 금속 부분에, 직경 약 30mm 정도의 다수의 금속 면적 축소용 더미 원형 구멍(5d)을, 서로 인접하는 더미 원형 구멍(5d)의 상호간의 간격이 약 5mm가 되도록 형성하는 것에 의해, 베이스 메탈(5)의 금속 부분의 면적을 적게 하고 있지만, 이 실시 형태 2에서는, 도 12에 나타내는 바와 같이, 베이스 메탈(5)은, 인쇄용 개구 패턴(5b)이 형성되는 부분의 주위의 금속 부분은 수mm 정도를 남기고 있지만, 그 이외의 인쇄에 관계가 없고 필요하지 않은 부분은, 모든 금속 부분을 없애고 있다. 즉, 인쇄용 개구 패턴(5b)이 형성되는 부분의 주위 수mm 이외에는, 베이스 메탈(5)의 금속 부분은 존재하지 않고, 금속제 메쉬(1)만이 존재한다. 이것에 의해, 베이스 메탈(5)의 금속 부분의 대부분을 없앤 만큼, 베이스 메탈(5)의 유연성이 좋아져, 베이스 메탈(5) 자체의 유연성과 공기 빠짐성을 향상시켜, 판 분리를 좋게 할 수 있다. 또, 인쇄용 개구 패턴(5b)이 형성되는 부분의 주위 수mm 이외의 부분에 위치하는 금속제 메쉬(1)는, 도 12의 좌측 절반에 나타내는 바와 같이, 당초는 금속제 메쉬(1)가 개구하고 있지만, 인쇄에 관계가 없는 부분의 금속제 메쉬(1)는, 도 12의 우측 절반에 나타내는 바와 같이, 금속제 메쉬(1)의 개구에 감광 유제(14)를 충전하여 메쉬 개구를 폐색하는 것에 의해, 인쇄되지 않도록 하고 있다. 이 실시 형태 2의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈은, 상기 실시 형태 1의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈 보다도 유연성이 충분한 것이 되지만, 그만큼 강도의 쪽은 약해진다. In the first embodiment, in the base metal 5, the metal portion around the portion in which the opening pattern for printing 5b is formed remains about a few millimeters, and irrespective of the other printing, A plurality of dummy circular holes 5d having a diameter of about 30 mm are formed so as to have an interval of about 5 mm between adjacent dummy circular holes 5d, 12, in the base metal 5, the metal portion around the portion where the opening pattern for printing 5b is formed leaves about a few millimeters However, all the metal parts are eliminated in the part which is not related to the other printing and is not necessary. That is, there is no metal portion of the base metal 5 except for the number of millimeters around the portion where the printing opening pattern 5b is formed, and only the metal mesh 1 is present. As a result, the flexibility of the base metal 5 is improved by eliminating most of the metal portion of the base metal 5, thereby improving the flexibility and the air-leaking property of the base metal 5 itself, have. As shown in the left half of Fig. 12, the metal mesh 1 located at a portion other than the periphery of the portion where the printing opening pattern 5b is formed is located at a portion other than the periphery of the metal mesh 1, , The metal mesh 1 in a part irrelevant to the printing is formed by filling the opening of the metal mesh 1 with the photosensitive oil agent 14 to close the mesh opening as shown in the right half of Figure 12, . The base metal of the printing suspended metal mask of Embodiment 2 is more flexible than the base metal of the printing suspended metal mask of Embodiment 1 but weaker in strength.

실시 형태 3.Embodiment 3:

상기 실시 형태 3에서는, 베이스 메탈용 SUS 모재(4)의 표면의 거칠기가 적은 경우, 베이스 메탈(5)의 인쇄면과 접촉하는 면의 거칠기가 적어 매끄러운 경면 마무리에 가까운 면이 되므로, 예를 들면, 필름 모양의 인쇄 기판에 인쇄하는 경우, 공기의 통로가 생기지 않아 밀착해 버릴 우려가 있다. 여기서, 베이스 메탈용 SUS 모재(4)의 표면의 거칠기가 적은 경우는, 베이스 메탈(5)의 인쇄면과 접촉하는 면을 나중에 연마제가 들어 있는 부직포로 연마하는 것에 의해, 거칠게 하면, 개구 불량이 발생하기 어려워, 균일성이 뛰어난 것이 된다. 또, 연마제가 들어 있는 부직포 대신에 샌드페이퍼로 연마할 수도 있다. 또, 베이스 메탈용 SUS 모재(4)의 표면을 미리 비즈 블라스트 등으로 거칠게 하여, 베이스 메탈(5)의 인쇄면과 접촉하는 면을 나중에 샌드페이퍼나 연마제가 들어 있는 부직포로 연마하는 것을 생략해도 좋다. 블라스트에 사용하는 연마제는, 비즈 이외에 강구(鋼救) 등의 구상물(救狀物)을 이용할 수도 있다. 도 13은 본 발명의 실시 형태 3에서의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈용 SUS 모재 표면을 비즈 블라스트 등으로 거칠게 한 상태를 나타내는 현미경 사진, 도 14는 본 발명의 실시 형태 3에서의 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 베이스 메탈용 SUS 모재 표면을 비즈 블라스트 등으로 거칠게 한 상태를 더욱 확대하여 나타내는 현미경 사진이다. 비즈 블라스트는, 베이스 메탈(5)의 도금 피막이 2 ~ 25㎛로 박막이지만, SUS 모재(4)로부터 벗기기 쉬워진다. In the third embodiment, when the roughness of the surface of the base metal SUS parent material 4 is small, the roughness of the surface of the base metal 5 in contact with the printing surface is small and becomes a smooth mirror finish finish. , When printing on a film-shaped printed substrate, there is a possibility that air passages are not formed and are brought into close contact with each other. Here, when the roughness of the surface of the base metal SUS parent material 4 is small, if the surface of the base metal 5 that comes into contact with the printed surface is polished with a nonwoven fabric containing a polishing agent and then roughened, It is difficult to generate and the uniformity is excellent. Instead of the nonwoven fabric containing the abrasive, it may be polished with sandpaper. The surface of the base metal SUS base material 4 may be previously roughened with a bead blast or the like and the surface of the base metal 5 which is in contact with the printing surface may be omitted after polishing with a nonwoven fabric containing sandpaper or abrasive. As the abrasive used in the blast, a spherical material such as a steel ball may be used in addition to the beads. Fig. 13 is a micrograph showing a state in which the surface of an SUS parent material for a base metal of a printing suspended metal mask according to Embodiment 3 of the present invention is roughened with a beads blast or the like, Fig. 14 is a photograph of a suspend metal mask for printing Is a micrograph showing a state in which the surface of the base metal SUS base material is roughened with a beadsblast or the like. In the bead blast, the plating film of the base metal 5 is a thin film having a thickness of 2 to 25 탆, but is easily peeled off from the SUS parent material 4.

또, 비교예로서, 세라믹 ＃1000으로 연마한 메탈 마스크를 준비했다. 이 메탈 마스크는, 산술 평균 거칠기 Ra：0.072㎛, 최대 높이 Rmax：1.516㎛, 10점 평균 거칠기 Rz：1.004㎛, 요철의 평균 간격 Sm：92.3㎛이며, 인쇄하면 흠이 발생했다. 이것에 대해, 시험예 1은, 벨트(belt) ＃1000으로 연마한 메탈 마스크이며, 산술 평균 거칠기 Ra：0.080㎛, 최대 높이 Rmax：2.112㎛, 10점 평균 거칠기 Rz：0.852㎛, 요철의 평균 간격 Sm：241.7㎛이며, 인쇄하면 흠이 발생하지 않았다. 또, 시험예 2는, 샌드페이퍼 ＃400으로 연마한 메탈 마스크이며, 산술 평균 거칠기 Ra：0.060㎛, 최대 높이 Rmax：1.756㎛, 10점 평균 거칠기 Rz：0.812㎛, 요철의 평균 간격 Sm：286.8㎛이며, 인쇄하면 흠이 발생하지 않았다. 또, 시험예 3은, 샌드페이퍼 ＃1000으로 연마한 메탈 마스크이며, 산술 평균 거칠기 Ra：0.096㎛, 최대 높이 Rmax：3.144㎛, 10점 평균 거칠기 Rz：1.412㎛, 요철의 평균 간격 Sm：136.2㎛이며, 인쇄하면 흠이 발생하지 않았다. 또, 시험예 4는, 베이스 메탈용 SUS 모재(4)의 표면을 미리 비즈 블라스트 2.0으로 거칠게 한 경우로, 산술 평균 거칠기 Ra：0.132㎛, 최대 높이 Rmax：2.904㎛, 10점 평균 거칠기 Rz：1.480㎛, 요철의 평균 간격 Sm：174.3㎛의 메탈 마스크이며, 인쇄하면 흠이 발생하지 않았다. 이들의 시험예 1 ~ 4는, 모두 흠이 없이 인쇄 결과가 양호하지만, 시험예 1은 재현성이 낮고, 시험예 2 ~ 3은 프리핸드(freehand) 가공이기 때문에, 안정성이 나쁘다. 그러나, 시험예 4는 흠이 개선됨과 동시에, 세선부의 단선도 없이 인쇄 결과가 양호하다. As a comparative example, a metal mask polished with ceramic # 1000 was prepared. The metal mask had an arithmetic mean roughness Ra of 0.072 mu m, a maximum height Rmax of 1.516 mu m, a 10-point mean roughness Rz of 1.004 mu m, and an average spacing Sm of roughness of 92.3 mu m. On the other hand, Test Example 1 was a metal mask polished with a belt # 1000, and had an arithmetic mean roughness Ra of 0.080 mu m, a maximum height Rmax of 2.112 mu m, a 10-point mean roughness Rz of 0.852 mu m, Sm: 241.7 占 퐉, and no flaw occurred when printed. Test Example 2 is a metal mask polished with sand paper # 400 and has an arithmetic mean roughness Ra of 0.060 mu m, a maximum height Rmax of 1.756 mu m, a 10-point mean roughness Rz of 0.812 mu m, an average spacing Sm of recesses and protrusions Sm of 286.8 mu m , And no flaw occurred when printed. Test Example 3 is a metal mask polished with sandpaper # 1000, and has an arithmetic mean roughness Ra of 0.096 mu m, a maximum height Rmax of 3.144 mu m, a 10-point mean roughness Rz of 1.412 mu m, , And no flaw occurred when printed. In Test Example 4, the surface of the base metal SUS parent material 4 was roughly roughened with a beads blast 2.0, and the arithmetic mean roughness Ra was 0.132 mu m, the maximum height Rmax was 2.904 mu m, the ten-point mean roughness Rz was 1.480 Mu m, and an average spacing Sm of the concavities and convexities: 174.3 mu m. In each of Test Examples 1 to 4, the printing results were satisfactory without any flaws, but Test 1 was poor in reproducibility, and Test Examples 2 and 3 were poor in stability because they were freehand. However, in Test Example 4, the scratches were improved, and the printed result was satisfactory without breaking the fine line portion.

[산업상의 이용 가능성][Industrial Availability]

본 발명은, 베이스 메탈의 금속 부분의 면적을 작게 하여 유연성을 갖게 하고, 판 분리를 개선하는 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크에 적용할 수 있다. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be applied to a suspend metal mask for printing which reduces the area of the metal portion of the base metal to provide flexibility and improves plate separation.

1 : 금속제 메쉬 2 : 테토론 메쉬
3 : 금속제 판 프레임 4 : 베이스 메탈용 SUS 모재
5 : 베이스 메탈 5a : 인쇄 개구 패턴 형성용 레지스트
5b : 인쇄용 개구 패턴
5d : 금속 면적 축소용 더미 원형 구멍
6 : 테토론 메쉬 7 : 접합 보조용 금속제 판 프레임
8 : 스펀지 9 : 점착 테이프
10 : 음극 11 : 도금조
12 : 니켈 13 : 양극
14 : 감광 유제 15 : 인쇄 기판
21 : 메쉬층 22 : 인쇄층
23 : 스텐실층 24 : 씰층
25 : 기판 26 : 패터닝·마스크
27 : 잉크 28 : 개구
29 : 오리피스 31 : 스크린 메쉬
32 : 메탈 마스크 32a : 화상 투공부
33 : 수지(감광 유제) 33a : 투공1: metal mesh 2: Tetoron mesh
3: metal plate frame 4: SUS base metal for base metal
5: Base metal 5a: Resist for printing opening pattern formation
5b: opening pattern for printing
5d: pile round hole for metal area reduction
6: Tetoron mesh 7: Metal plate frame for joining auxiliary
8: Sponge 9: Adhesive tape
10: cathode 11: plating bath
12: Nickel 13: Anode
14: photosensitive emulsion 15: printed substrate
21: mesh layer 22: printing layer
23: stencil layer 24: seal layer
25: substrate 26: patterning mask
27: ink 28: opening
29: Orifice 31: Screen mesh
32: Metal mask 32a:
33: resin (photosensitive emulsion) 33a:

Claims (8)

판(版) 프레임과,
상기 판 프레임의 내측에 외주(外周)를 접착 고정하여 펴서 마련되며, 적어도 중앙부에 통전성(通電性)이 있는 금속제 메쉬(mesh)를 가지는 메쉬와,
상기 금속제 메쉬에 밀착하여 서로 겹쳐서 접합 도금에 의해 일체로 접합되며, 인쇄용 개구 패턴이 마련된 베이스 메탈을 구비한 스크린 인쇄용 서스펜드(suspend) 메탈 마스크에 있어서,
상기 베이스 메탈은, 상기 인쇄용 개구 패턴이 형성되는 부분의 주위의 금속 부분은 남기고, 그 이외의 인쇄에 관계가 없는 부분의 금속 부분은 가능한 한 제거하는 것에 의해, 베이스 메탈의 금속 부분의 면적을 축소한 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크.A plate frame,
A mesh having an inner periphery and an outer periphery fixed to the plate frame by spreading and tightening and having a metal mesh having conductivity at least at a central portion thereof,
A suspending metal mask for screen printing having a base metal which is in close contact with the metal mesh and which is integrally joined to each other by bonding plating and is provided with a printing opening pattern,
The base metal leaves the metal portion around the portion where the printing opening pattern is formed and removes the metal portion of the portion that is not related to the other printing as much as possible so that the area of the metal portion of the base metal is reduced Wherein the metal mask is a metal film. 청구항 1에 있어서,
인쇄에 관계가 없는 부분의 금속 부분은, 제거하는 금속 부분의 비율이 10 ~ 90%인 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크.The method according to claim 1,
Wherein the ratio of the metal portion to be removed is 10 to 90% in the metal portion of the portion not related to the printing. 청구항 1에 있어서,
베이스 메탈의 금속 부분의 면적을 축소하여, 인쇄 기판과 선접촉하도록 한 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크.The method according to claim 1,
Characterized in that the area of the metal portion of the base metal is reduced so as to make line contact with the printed substrate. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나에 있어서,
베이스 메탈은, 인쇄용 개구 패턴이 형성되는 부분의 주위의 금속 부분은 남기고, 그 이외의 인쇄에 관계가 없는 부분의 금속 부분에는 다수의 금속 면적 축소용 더미(dummy) 구멍을 형성하며, 상기 금속 면적 축소용 더미 구멍에 유제(乳劑)를 충전하여 구멍을 폐색(閉塞)하는 것에 의해, 인쇄되지 않도록 한 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크.The method according to any one of claims 1 to 3,
The base metal forms a plurality of dummy holes for reducing the area of the metal, leaving a metal portion around the portion where the opening pattern for printing is to be formed and a metal portion of the portion not related to the other printing, Wherein the printing dummy hole is filled with an emulsion to block the hole so as not to be printed. 청구항 4에 있어서,
금속 면적 축소용 더미 구멍은, 원형 구멍인 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크.The method of claim 4,
Wherein the metal area reduction dummy hole is a circular hole. 판 프레임과,
상기 판 프레임의 내측에 외주를 접착 고정하여 펴서 마련되며, 적어도 중앙부에 통전성이 있는 금속제 메쉬를 가지는 메쉬와,
상기 금속제 메쉬에 밀착하여 서로 겹쳐서 접합 도금에 의해 일체로 접합되며, 인쇄용 개구 패턴이 마련된 베이스 메탈을 구비한 스크린 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크에 있어서,
상기 베이스 메탈은, 상기 인쇄용 개구 패턴이 형성되는 부분의 주위의 금속 부분은 남기고, 그 이외의 인쇄에 관계가 없는 부분의 금속 부분은 모두 없애며,
상기 베이스 메탈의 금속 부분이 존재하지 않는 부분의 금속제 메쉬는, 메쉬의 개구에 유제를 충전하여 개구를 폐색하는 것에 의해, 인쇄되지 않도록 한 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크.A plate frame,
A mesh having an inner periphery of the plate frame fixedly attached to the outer periphery thereof and having a metal mesh having conductivity at least at a central portion thereof,
And a base metal which is in contact with the metal mesh and overlapped with each other and joined together by bonding plating and provided with a printing opening pattern, the suspension metal mask for screen printing comprising:
The base metal leaves the metal portion around the portion where the printing opening pattern is formed and removes all the metal portions of the portion other than the printing other than the printing portion,
Wherein the metal mesh of the portion where the metal portion of the base metal does not exist is filled with an emulsion in the opening of the mesh to block the opening to prevent printing. 판 프레임과, 상기 판 프레임의 내측에 외주를 접착 고정하여 펴서 마련되며, 적어도 중앙부에 통전성이 있는 금속제 메쉬를 가지는 메쉬와, 상기 금속제 메쉬에 밀착하여 서로 겹쳐서 접합 도금에 의해 일체로 접합되며, 인쇄용 개구 패턴이 마련된 베이스 메탈을 구비한 스크린 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 제조 방법으로서,
소정 부분에 인쇄 개구 패턴 형성용 레지스트가 실시되고, 또한 그 이외의 부분에 다수의 금속 면적 축소 더미 구멍 형성용 레지스트가 실시된 상기 베이스 메탈과 상기 금속제 메쉬를 일체 접합하는 공정과,
상기 베이스 메탈로부터 상기 인쇄 개구 패턴 형성용 레지스트 및 상기 다수의 금속 면적 축소 더미 구멍 형성용 레지스트를 박리하는 것에 의해, 상기 베이스 메탈의 소정 부분에 인쇄용 개구 패턴을 형성함과 아울러, 상기 베이스 메탈의 그 이외의 부분에 다수의 금속 면적 축소용 더미 구멍을 형성하는 공정과,
상기 베이스 메탈의 소정 부분에 형성된 인쇄용 개구 패턴은 개구한 채로 하고, 상기 베이스 메탈의 그 이외의 부분에 형성된 다수의 금속 면적 축소용 더미 구멍에 유제를 충전하여 개구를 폐색하는 것에 의해, 인쇄되지 않도록 하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 제조 방법.A mesh frame having a plate mesh frame, a mesh frame provided on the inside of the plate frame to extend and fix the mesh mesh, and at least a metal mesh having conductivity at a central portion thereof, and a metal mesh mesh layer stacked on the metal mesh mesh, A method of manufacturing a suspended metal mask for screen printing comprising a base metal provided with an opening pattern,
A step of integrally joining the base metal and the metal mesh in which a resist for forming a printing opening pattern is formed at a predetermined portion and a resist for forming a plurality of metal area reducing dummy holes is applied to the other portion,
Forming an opening pattern for printing on a predetermined portion of the base metal by peeling off the resist for forming the printing opening pattern and the resist for forming a plurality of metal area reduction dummy holes from the base metal, A step of forming a plurality of dummy holes for reducing the area of the metal,
The opening pattern for printing formed on a predetermined portion of the base metal is kept open and a plurality of dummy holes for reducing the area of the metal formed on the other portions of the base metal are filled with the tanning agent to close the opening, And a step of forming a metal film on the surface of the metal mask. 판 프레임과, 상기 판 프레임의 내측에 외주를 접착 고정하여 펴서 마련되며, 적어도 중앙부에 통전성이 있는 금속제 메쉬를 가지는 메쉬와, 상기 금속제 메쉬에 밀착하여 서로 겹쳐서 접합 도금에 의해 일체로 접합되며, 인쇄용 개구 패턴이 마련된 베이스 메탈을 구비하며, 상기 베이스 메탈은, 상기 인쇄용 개구 패턴이 형성되는 부분의 주위의 금속 부분은 남기고, 그 이외의 인쇄에 관계가 없는 부분의 금속 부분은 모두 없앤 스크린 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 제조 방법으로서,
소정 부분에 인쇄 개구 패턴 형성용 레지스트가 실시된 상기 베이스 메탈과 상기 금속제 메쉬를 일체 접합하는 공정과,
상기 베이스 메탈로부터 상기 인쇄 개구 패턴 형성용 레지스트를 박리하는 것에 의해, 상기 베이스 메탈의 소정 부분에 인쇄용 개구 패턴을 형성하는 공정과,
상기 베이스 메탈의 소정 부분에 형성된 인쇄용 개구 패턴은 개구한 채로 하고, 상기 베이스 메탈의 금속 부분이 존재하지 않는 부분의 금속제 메쉬의 개구에 유제를 충전하여 개구를 폐색하는 것에 의해, 인쇄되지 않도록 하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄용 서스펜드 메탈 마스크의 제조 방법.A mesh frame having a plate mesh frame, a mesh frame provided on the inside of the plate frame to extend and fix the mesh mesh, and at least a metal mesh having conductivity at a central portion thereof, and a metal mesh mesh layer stacked on the metal mesh mesh, And a base metal provided with an opening pattern, wherein the base metal has a metal portion around the portion in which the opening pattern for printing is formed and a metal portion in a portion not related to the printing other than the metal portion, A method of manufacturing a mask,
A step of integrally bonding the base metal and the metal mesh to which a resist for forming a printing opening pattern is applied at a predetermined portion,
Forming a printing opening pattern on a predetermined portion of the base metal by peeling off the printing opening pattern forming resist from the base metal;
The printing opening pattern formed on a predetermined portion of the base metal is kept open so that the opening of the metal mesh of the base metal is not filled and the opening is closed by filling the opening of the metal mesh with the oil, And forming a metal film on the surface of the susceptor.
KR1020157013787A 2012-11-13 2012-11-13 Suspended metal mask for printing and method for producing same KR101723320B1 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2012/079384 WO2014076762A1 (en) 2012-11-13 2012-11-13 Suspended metal mask for printing and method for producing same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150076240A true KR20150076240A (en) 2015-07-06
KR101723320B1 KR101723320B1 (en) 2017-04-04

Family

ID=50730708

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020157013787A KR101723320B1 (en) 2012-11-13 2012-11-13 Suspended metal mask for printing and method for producing same

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5919391B2 (en)
KR (1) KR101723320B1 (en)
CN (1) CN104822534B (en)
WO (1) WO2014076762A1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6369242B2 (en) * 2014-09-08 2018-08-08 日本電気株式会社 Paste material printing apparatus, mask, squeegee, and paste material printing method

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04347695A (en) * 1991-05-24 1992-12-02 Olympus Optical Co Ltd Metal printing plate and its manufacture
JPH08183151A (en) * 1994-12-28 1996-07-16 Kyushu Hitachi Maxell Ltd Manufacture of mesh-integrated metal mask
JPH11157042A (en) 1997-11-28 1999-06-15 Sonocom Co Ltd Manufacture of screen printing suspended metal mask
JP2000108539A (en) * 1998-10-02 2000-04-18 Sony Corp Printing mask
JP3560042B2 (en) 2001-03-22 2004-09-02 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション Patterning mask and patterning method

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63198561U (en) * 1987-06-11 1988-12-21
JPH0852951A (en) * 1994-08-12 1996-02-27 Fuchigami Micro:Kk Mesh good in opening ratio, production thereof and screen plate utilizing mesh
JP2006302962A (en) * 2005-04-15 2006-11-02 Clean Venture 21:Kk Screen printing method and electronic component mounting method
JP5162810B2 (en) * 2005-05-25 2013-03-13 Ｔｄｋ株式会社 Metal mask and multilayer electronic parts
JP5328217B2 (en) * 2007-04-24 2013-10-30 株式会社ボンマーク Mask and mask manufacturing method
JP2009220493A (en) * 2008-03-18 2009-10-01 Nec Electronics Corp Metal paste printing method and metal mask
JP2011009581A (en) * 2009-06-26 2011-01-13 Renesas Electronics Corp Process of producing semiconductor device and the semiconductor device
JP5547672B2 (en) * 2010-02-26 2014-07-16 株式会社コベルコ科研 Mesh material for screen printing
CN102645786A (en) * 2012-03-29 2012-08-22 京东方科技集团股份有限公司 Color film substrate, display device and preparation method of color film substrate

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04347695A (en) * 1991-05-24 1992-12-02 Olympus Optical Co Ltd Metal printing plate and its manufacture
JPH08183151A (en) * 1994-12-28 1996-07-16 Kyushu Hitachi Maxell Ltd Manufacture of mesh-integrated metal mask
JPH11157042A (en) 1997-11-28 1999-06-15 Sonocom Co Ltd Manufacture of screen printing suspended metal mask
JP2000108539A (en) * 1998-10-02 2000-04-18 Sony Corp Printing mask
JP3560042B2 (en) 2001-03-22 2004-09-02 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション Patterning mask and patterning method

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2014076762A1 (en) 2016-09-08
JP5919391B2 (en) 2016-05-18
CN104822534B (en) 2017-03-15
WO2014076762A1 (en) 2014-05-22
CN104822534A (en) 2015-08-05
KR101723320B1 (en) 2017-04-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009029101A (en) Mask for screen printing and screen printing method using the same
CN106494074B (en) Preparation method of screen printing plate
JP4927511B2 (en) Mask manufacturing method
KR101723320B1 (en) Suspended metal mask for printing and method for producing same
KR101723321B1 (en) Suspended metal mask for printing and manufacturing method therefor
JP2007307717A (en) Screen printing plate and its manufacturing method
JP2016182709A (en) Suspend metal mask using dummy pattern, and method for manufacturing suspend metal mask using dummy pattern
JP6282466B2 (en) Metal mask for screen printing and manufacturing method thereof
EP1809477B1 (en) Mandrels for electroforming printing screens, and electroforming apparatus
JP2016120595A (en) Printing suspend metal mask and production method of the same
JP6560109B2 (en) Suspended metal mask for printing and manufacturing method thereof
JP2020059290A (en) Metal mask
JP2017100417A (en) Suspend metal mask for printing and manufacturing method thereof
JP5328217B2 (en) Mask and mask manufacturing method
TW201637106A (en) Mask for emplacement of conductive ball and manufacturing method thereof
JP4001973B2 (en) Manufacturing method of metal mask with mesh
JP3212012U (en) Mesh screen version for printing
JP6925651B2 (en) Screen printing plate and manufacturing method of screen printing plate
JP2012077332A (en) Method of forming base part on metal substrate by etching
US20130213247A1 (en) Stencil apparatus for printing solder paste
JP4113906B2 (en) Manufacturing method of mesh-integrated metal mask
JP2015131427A (en) Screen printing plate
JP2010042569A (en) Method of manufacturing suspend metal mask, and suspend metal mask
JP2018065396A (en) Metal mask for screen printing
JP6118553B2 (en) Suspended metal mask for printing and manufacturing method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant