JP5905523B2 - 無機フラーレン状ナノ粒子 - Google Patents
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Description
還元反応を開始させることができる点にも留意されたい。
IF‐Mo1−xNbxS2ナノ粒子の合成を、図2Aに示される垂直リアクタを用いて、前駆体MoCl5(アルドリッチ社製)及びNbCl5(アルファエイサー社製)をH2Sと反応させることから開始した。各成長セッションの前に、反応過程に干渉する微量のO2及び水蒸気を防止するために、反応チャンバ12である垂直リアクタを略600℃の高温に設定し、N2で連続的にパージした。
上述のIF‐Mo1−xNbxS2ナノ粒子の合成と同様の方法で合成を行った。この場合の前駆体はMoCl5(融点=194℃、沸点=268℃)及びReCl5(融点=220℃)である。
上述のIF‐Mo1−xRexS2ナノ粒子の合成と同様の方法及び装置で合成を行った。この場合の前駆体はWCl4(融点=300℃)及びReCl5(融点=220℃)である。
14 蒸発チャンバ
16 流入ユニット
18 開口部
20 フィルタ
22 加熱ユニット
Claims (19)
- 化学式A1−x‐Bx‐カルコゲナイドの無機フラーレン状(IF)ナノ粒子であって、BがA1−x‐カルコゲナイド内に取り込まれていて、Aが金属又は遷移金属、又は、金属及び/又は遷移金属の合金であり、Bが金属又は遷移金属であり、
xが、
A‐カルコゲナイド及びB‐カルコゲナイドが同じ様に結晶化する場合は、0.08から0.15の間、又は、
A‐カルコゲナイド及びB‐カルコゲナイド結晶が格子の傾向が異なって結晶化する場合は、0.05未満であり、
xはゼロではなく、A≠Bとする、IFナノ粒子。 - Aが、Mo、W、Re、Ti、Zr、Hf、Nb、Ta、Pt、Ru、Rh、In、Ga、WMo、TiWのうち少なくとも一つを含む、請求項1に記載のIFナノ粒子。
- Bが、Nb、Ta、W、Mo、Sc、Y、La、Hf、Ir、Mn、Ru、Re、Os、V、Au、Rh、Pd、Cr、Co、Fe、Niから選択されている、請求項1又は2に記載のIFナノ粒子。
- カルコゲナイドがS、Se、Teから選択されている、請求項1から3のいずれか一項に記載のIFナノ粒子。
- Mo1−xNbxS2、Mo1−xNbxSe2、W1−xTaxS2、W1−xTaxSe2、Re1−xWxS2、Ti1−xScxS2、Zr1−xYxS2、Hf1−xLaxS 2 、Ta1−xHfxS2、Pt1−xIrxS2、Ru1−xMnxS2、Rh1−xRuxS2、Mo1−xRexS2、W1−xRexS2、Re1−xOsxS2、Ti1−xVxS2、Zr1−xNbxS2、Hf1−xTaxS2、Ta1−xWxS2、Pt1−xAuxS2、Ru1−xRhxS2、Rh1−xPdxS 2 から選択されている請求項1に記載のIFナノ粒子。
- IF‐Mo1−xRexS2であり、xが0.05未満である、請求項1から5のいずれか一項に記載のIFナノ粒子。
- IF‐W1−xRexS2であり、xが0.05未満である、請求項1から5のいずれか一項に記載のIFナノ粒子。
- W1−xNbxS2であり、xが0.05未満である、請求項1に記載のIFナノ粒子。
- xが0.08から0.12の間である、請求項1に記載のIFナノ粒子。
- xが0.1から0.15の間である、請求項1に記載のIFナノ粒子。
- xが0.05未満である、請求項1に記載のIFナノ粒子。
- xが、最大で0.03である、請求項1に記載のIFナノ粒子。
- 請求項1に記載のIFナノ粒子の製造に使用される装置であって、
第1及び第2の流入ユニットを有する垂直反応チャンバと、
蒸発チャンバとを備え、
前記垂直反応チャンバは、前記蒸発チャンバと別個のものであり、
前記第1及び第2の流入ユニットは、前記垂直反応チャンバ内に反応物質を流せるように互いに反対側に配置されたことを特徴とする装置。 - 前記垂直反応チャンバは、ガス排出部及びフィルタをさらに有することを特徴とする請求項13に記載の装置。
- 前記垂直反応チャンバには、二段式炉を形成するように加熱ユニットが設けられており、それにより前記垂直反応チャンバの上部及び下部のそれぞれに互いに異なる第1温度条件(T1)及び第2温度条件(T2)が提供されることを特徴とする請求項13に記載の装置。
- 前記第1の流入ユニットは、2つの前駆体組成物A-Y1及びB-Y2の蒸気流を供給する機能を果たし、A及びBはそれぞれ金属又は遷移金属であり、Y1/Y2は、それぞれ、塩化物、臭化物又はヨウ化物から選択されたハロゲンであり、フォーミングガスを運ぶ還元剤と一緒にされ、
前記垂直反応チャンバにおいて前記第1の流入ユニットとは反対側に配置された前記第2の流入ユニットは、反応ガスを運ぶカルコゲナイド流を供給する機能を果たすことを特徴とする請求項13に記載の装置。 - Aが、Mo、W、Re、Ti、Zr、Hf、Nb、Ta、Pt、Ru、In、Ga、WMo、TiWから選択され、Bが、Nb、Ta、W、Mo、Sc、Y、La、Hf、Ir、Mn、Ru、Re、Os、V、Au、Rh、Pd、Cr、Co、Fe、Niから選択され、A及びBが互いに異なることを特徴とする請求項16に記載の装置。
- 前駆体組成物がMoCl5及びNbCl5であることを特徴とする請求項16に記載の装置。
- 前記反応ガスを運ぶ前記カルコゲナイドは、H2Sであることを特徴とする請求項16に記載の装置。
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