JPH01183418A - 二硫化チタンの製造方法 - Google Patents
二硫化チタンの製造方法Info
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- JPH01183418A JPH01183418A JP607388A JP607388A JPH01183418A JP H01183418 A JPH01183418 A JP H01183418A JP 607388 A JP607388 A JP 607388A JP 607388 A JP607388 A JP 607388A JP H01183418 A JPH01183418 A JP H01183418A
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Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、二硫化チタン多孔体の製造方法に関する。
従来技術とその問題点
化学気相反応による二硫化チタン(TiS2)の製造で
は、TiS2は、主としてTiCl4とH2Sとから次
式にしたがって合成される。
は、TiS2は、主としてTiCl4とH2Sとから次
式にしたがって合成される。
Ti CQ4 +2H2S−+Ti S2 +4HCR
この反応式に基づいて、各種のTiS2製造方法が提案
されている。しかしながら、TiS2の製造に際しては
、反応温度及び圧力、原料ガスの組成、流量、流速等の
多くの因子が関連するため、所定の組成及び形状を有す
る製品を得るためには、これらの因子を適切にコントロ
ールする必要かある。
この反応式に基づいて、各種のTiS2製造方法が提案
されている。しかしながら、TiS2の製造に際しては
、反応温度及び圧力、原料ガスの組成、流量、流速等の
多くの因子が関連するため、所定の組成及び形状を有す
る製品を得るためには、これらの因子を適切にコントロ
ールする必要かある。
例えば、米国特許第4137298号明細書(1979
年)に開示された方法においては、それぞれ不活性ガス
で希釈したTiCl4とH2Sを別個に予熱した後、特
定の条件で反応管に導入して、粒径1〜25μmの微粉
状Ti S2(1,00≦X≦1.02)を得ている
。しかしながら、この様な微粉状TiS2は、発塵しや
すく且つ嵩高いため、取扱が困難である。この様な微粉
にバインダーを加えて造粒しようとすれば、不純物とし
ての影響を考慮する必要があり、その選択が極めて困難
である。
年)に開示された方法においては、それぞれ不活性ガス
で希釈したTiCl4とH2Sを別個に予熱した後、特
定の条件で反応管に導入して、粒径1〜25μmの微粉
状Ti S2(1,00≦X≦1.02)を得ている
。しかしながら、この様な微粉状TiS2は、発塵しや
すく且つ嵩高いため、取扱が困難である。この様な微粉
にバインダーを加えて造粒しようとすれば、不純物とし
ての影響を考慮する必要があり、その選択が極めて困難
である。
一方、膜状のTiS2を形成する方法も提案されている
(特開昭58−199718号公報)。
(特開昭58−199718号公報)。
この方法では、緻密な薄膜を形成することによって、比
表面積を大きくさせ、反応性を高めている。
表面積を大きくさせ、反応性を高めている。
しかしながら、薄膜を形成しようとすれば、生産性が低
下するし、−また薄膜の形状も、反応容器、基板等によ
り限定される。一方、厚膜にすれば、比表面積が減少し
て、反応率が低下するので、粉砕して使用する必要があ
る。しかるに、このような緻密な膜では、通常結晶が大
きく成長しており、これを粉砕すると、TiS2の層状
構造沿いに剥離が生じるため、得られる粉体は薄片状を
呈し、配向性が大きいため、有用性に欠ける。
下するし、−また薄膜の形状も、反応容器、基板等によ
り限定される。一方、厚膜にすれば、比表面積が減少し
て、反応率が低下するので、粉砕して使用する必要があ
る。しかるに、このような緻密な膜では、通常結晶が大
きく成長しており、これを粉砕すると、TiS2の層状
構造沿いに剥離が生じるため、得られる粉体は薄片状を
呈し、配向性が大きいため、有用性に欠ける。
したがって、取扱が容易であって、しかも比表面積の大
きなTiS2を得るための新しい方法の出現が望まれて
いる。
きなTiS2を得るための新しい方法の出現が望まれて
いる。
問題点を解決する為の手段
本発明者は、上記の如き技術の現状に鑑みて、鋭意研究
を進めた結果、成る特定条件下に得られたハニカム状の
TiS2多孔体を粉砕して得られる粉体が、取扱の容易
な粗粒であるにもかかわらず、その比表面積が極めて大
きなものとなることを見出した。すなわち、本発明は、
以下の方法を提供するものである: ■TiCl4、TiCl3 (CH3)及びTiCRa
(C2H5)の少なくとも一種を含むTi源ガスと
H2S s CS 2 、及び硫黄蒸気とH2との混合
物の少なくとも一種を含む硫黄源ガスとの化学気相反応
による二硫化チタンの製造方法において、反応温度を3
00〜800℃とし、反応ガス全圧を0.3〜1気圧と
しかつ反応装置内のガス線速度を3〜50cm/秒(い
ずれも標準状態)とすることにより、0.1〜5μmの
微粒子の凝集体からなり嵩密度が0.5〜3.0g/c
m3であって、T L X S 2 (但し1.00
≦x<1.2)で表わされる組成の二硫化チタン多孔体
を製造する方法;及び ■TLCQ4 、TiCl3 (CH3)及びTiC(
23(C2H5)の少なくとも一種を含むTi源ガスと
H2S1C82、及び硫黄蒸気とH2との混合物の少な
くとも一種を含む硫黄源ガスとの化学気相反応による二
硫化チタンの製造方法において、反応温度を300〜8
00℃とし、反応ガス全圧を0.3〜1気圧としかつ反
応装置内のガス線速度を3〜50cm/秒(いずれも標
準状態)とすることにより、0.1〜5μmの微粒子の
凝集体からなり嵩密度が0.5〜3.0g / c m
3であって、TixS2(但し1.00≦x<1.2
)で表わされる組成のハニカム状二硫化チタン多孔体を
製造した後、これを粉砕することを特徴とする比表面積
5〜25rd/gの粉末状二硫化チタン多孔体を製造す
る方法。
を進めた結果、成る特定条件下に得られたハニカム状の
TiS2多孔体を粉砕して得られる粉体が、取扱の容易
な粗粒であるにもかかわらず、その比表面積が極めて大
きなものとなることを見出した。すなわち、本発明は、
以下の方法を提供するものである: ■TiCl4、TiCl3 (CH3)及びTiCRa
(C2H5)の少なくとも一種を含むTi源ガスと
H2S s CS 2 、及び硫黄蒸気とH2との混合
物の少なくとも一種を含む硫黄源ガスとの化学気相反応
による二硫化チタンの製造方法において、反応温度を3
00〜800℃とし、反応ガス全圧を0.3〜1気圧と
しかつ反応装置内のガス線速度を3〜50cm/秒(い
ずれも標準状態)とすることにより、0.1〜5μmの
微粒子の凝集体からなり嵩密度が0.5〜3.0g/c
m3であって、T L X S 2 (但し1.00
≦x<1.2)で表わされる組成の二硫化チタン多孔体
を製造する方法;及び ■TLCQ4 、TiCl3 (CH3)及びTiC(
23(C2H5)の少なくとも一種を含むTi源ガスと
H2S1C82、及び硫黄蒸気とH2との混合物の少な
くとも一種を含む硫黄源ガスとの化学気相反応による二
硫化チタンの製造方法において、反応温度を300〜8
00℃とし、反応ガス全圧を0.3〜1気圧としかつ反
応装置内のガス線速度を3〜50cm/秒(いずれも標
準状態)とすることにより、0.1〜5μmの微粒子の
凝集体からなり嵩密度が0.5〜3.0g / c m
3であって、TixS2(但し1.00≦x<1.2
)で表わされる組成のハニカム状二硫化チタン多孔体を
製造した後、これを粉砕することを特徴とする比表面積
5〜25rd/gの粉末状二硫化チタン多孔体を製造す
る方法。
以下図面に示す実施態様を参照しつつ、本発明を更に詳
細に説明する。
細に説明する。
第1図は、本発明方法を実施する為の装置の一例を示す
。該装置は、加熱炉(3)により囲まれた石英製反応管
(1)を主要構成部材としている。
。該装置は、加熱炉(3)により囲まれた石英製反応管
(1)を主要構成部材としている。
石英製反応管(1)には、原料ガス導入の為の石英管(
5)及び石英ロッド(7)を挿入された石英管(9)が
取り付けられている。原料ガスは、矢印(11)から(
13)の方向に(第1図において上方から中央部右方に
)流れる。
5)及び石英ロッド(7)を挿入された石英管(9)が
取り付けられている。原料ガスは、矢印(11)から(
13)の方向に(第1図において上方から中央部右方に
)流れる。
本発明においては、TLCQ4、
T i C20(CH3)及びTiC123(C2H5
)の少なくとも一種を含むTi源ガスと、H2S1C8
2、及び硫黄蒸気とH2との混合物の少なくとも一種を
含む硫黄源ガスとを原料として使用する。Ti源ガスは
、常法どおりに、これらの化合物中にAr、N2などの
不活性ガスをバブリングすることにより形成させた混合
ガスの状態で使用し、硫黄源ガスはそのまま又は不活性
ガスで希釈して使用する。これら原料ガスは、矢印(1
1)の方向に石英管(5)を通って石英ロッド(7)の
頂端に至り、ここにTiS2多孔体(15)を形成し始
める。この際、TiS2多孔体(15)の成長に合わせ
て石英ロッド(7)を回転させつつ下方に引き下げ、石
英管(5)の下端とTiS2多孔体(15)の上端とが
常にほぼ一定の距離となるように調整することが好まし
い。石英ロッド(7)の頂端における反応条件は、全ガ
ス圧0.3〜1気圧程度、全ガス量中のTi源ガス0.
3〜5%及び硫黄源ガス1〜40%、温度300〜80
0℃程度、ガス線速度で示される流量3〜50cm/秒
(標準状態換算)程度とする。本発明においては、これ
らの反応条件の全てが充足されている必要がある。例え
ば、反応温度が300℃を下回る場合には、T i S
2の生成量が著しく低下するとともに、生成物中に硫黄
分が混入し始める。
)の少なくとも一種を含むTi源ガスと、H2S1C8
2、及び硫黄蒸気とH2との混合物の少なくとも一種を
含む硫黄源ガスとを原料として使用する。Ti源ガスは
、常法どおりに、これらの化合物中にAr、N2などの
不活性ガスをバブリングすることにより形成させた混合
ガスの状態で使用し、硫黄源ガスはそのまま又は不活性
ガスで希釈して使用する。これら原料ガスは、矢印(1
1)の方向に石英管(5)を通って石英ロッド(7)の
頂端に至り、ここにTiS2多孔体(15)を形成し始
める。この際、TiS2多孔体(15)の成長に合わせ
て石英ロッド(7)を回転させつつ下方に引き下げ、石
英管(5)の下端とTiS2多孔体(15)の上端とが
常にほぼ一定の距離となるように調整することが好まし
い。石英ロッド(7)の頂端における反応条件は、全ガ
ス圧0.3〜1気圧程度、全ガス量中のTi源ガス0.
3〜5%及び硫黄源ガス1〜40%、温度300〜80
0℃程度、ガス線速度で示される流量3〜50cm/秒
(標準状態換算)程度とする。本発明においては、これ
らの反応条件の全てが充足されている必要がある。例え
ば、反応温度が300℃を下回る場合には、T i S
2の生成量が著しく低下するとともに、生成物中に硫黄
分が混入し始める。
一方、800℃を上回る場合には、Ti3S4が生成し
始める。また、ガスの圧力または流量が上記の値を下回
る場合には、TiS2結晶が大きく成長して、膜が緻密
化し、多孔体が得られないし、一方、ガスの圧力または
流量が上記の値を上回る場合には、生成物が部分的に粉
体化して、多孔体の収率が低下する。生成するTiS2
膜の組成比を足枕に近づけるためには、硫黄源ガス/T
i源ガスの割合は、3〜50程度(モル比)とすること
が好ましい。
始める。また、ガスの圧力または流量が上記の値を下回
る場合には、TiS2結晶が大きく成長して、膜が緻密
化し、多孔体が得られないし、一方、ガスの圧力または
流量が上記の値を上回る場合には、生成物が部分的に粉
体化して、多孔体の収率が低下する。生成するTiS2
膜の組成比を足枕に近づけるためには、硫黄源ガス/T
i源ガスの割合は、3〜50程度(モル比)とすること
が好ましい。
なお、上記において石英製の部材に代えて、アルミナ、
ジルコニア、ムライト、また反応温度が600℃以下の
場合には、ホウケイ酸塩ガラスなどの耐熱及び耐蝕性材
料で作られた部材を使用しても良いことは、いうまでも
ない。
ジルコニア、ムライト、また反応温度が600℃以下の
場合には、ホウケイ酸塩ガラスなどの耐熱及び耐蝕性材
料で作られた部材を使用しても良いことは、いうまでも
ない。
また、硫黄源ガスとTi源ガスとを別々に反応管(1)
に導入し、石英ロッド(7)の頂端で混合反応させる様
にしても良い。
に導入し、石英ロッド(7)の頂端で混合反応させる様
にしても良い。
更に、図示はしないが、大径の石英管(1)内に原料ガ
スの流れ方向に対し所定の角度(10〜90度)で基板
を配置し、該基板上に連続的に大寸のTiS2多孔体を
形成させることが出来る。
スの流れ方向に対し所定の角度(10〜90度)で基板
を配置し、該基板上に連続的に大寸のTiS2多孔体を
形成させることが出来る。
この場合、TiS2多孔体の成長面が加熱炉(3)に対
し所定の位置となるようにガス流の下流方向に基板を移
動させることが好ましい。
し所定の位置となるようにガス流の下流方向に基板を移
動させることが好ましい。
更にまた、石英管(1)内面の均熱反応部を円筒形状と
し、原料ガスを長さ方向に平行に出来るだけ一定流速で
導入する場合には、円筒状のTiS2多孔体を形成させ
ることが出来る。特に、反応温度を300〜500℃の
範囲内で均一に保持し続けると、均一なTiS2膜が形
成される。
し、原料ガスを長さ方向に平行に出来るだけ一定流速で
導入する場合には、円筒状のTiS2多孔体を形成させ
ることが出来る。特に、反応温度を300〜500℃の
範囲内で均一に保持し続けると、均一なTiS2膜が形
成される。
この場合には、当然のことながら、上記の石英ロッド(
7)、基板等は使用しない。
7)、基板等は使用しない。
反応時間は、特に限定されないが、TiS2多孔体の厚
さが100μm以上となるまで、反応を継続させること
が好ましい。通常厚さが100μmを超えると、熱膨張
率の差により、冷却時にTiS2多孔体が石英ロッド(
7)、基板、石英管(1)の内面等から自然に剥離する
。 ・この様にして得られる本発明のTiS2は、0.
1〜5μm程度の板状微粒子が三次元的に絡み合ってあ
たかもハニカム構造のような多孔体構造を構成している
。その空隙は、不定多角形状で、さしわたし0.1〜1
0μm程度の大きさである。
さが100μm以上となるまで、反応を継続させること
が好ましい。通常厚さが100μmを超えると、熱膨張
率の差により、冷却時にTiS2多孔体が石英ロッド(
7)、基板、石英管(1)の内面等から自然に剥離する
。 ・この様にして得られる本発明のTiS2は、0.
1〜5μm程度の板状微粒子が三次元的に絡み合ってあ
たかもハニカム構造のような多孔体構造を構成している
。その空隙は、不定多角形状で、さしわたし0.1〜1
0μm程度の大きさである。
この多孔体の嵩密度は、065〜360g /c m
3 (空隙率85〜10%)程度である。
3 (空隙率85〜10%)程度である。
上記のようにして得られたハニカム状TiS2多孔体を
ボールミル、振動ミルなどの粉砕手段により粉砕すると
、本発明による粉体が得られる。
ボールミル、振動ミルなどの粉砕手段により粉砕すると
、本発明による粉体が得られる。
粒度の調整は、粉砕の程度(主に粉砕時間により定まる
)及びふるい分けにより行うことが出来るが、通常取扱
い性の点から、10〜100μm程度の粗粒とすること
が好ましい。
)及びふるい分けにより行うことが出来るが、通常取扱
い性の点から、10〜100μm程度の粗粒とすること
が好ましい。
それぞれの粉体粒子の形状は、粉砕前のものと同様に、
0.1〜5μm程度の微粒子が三次元的に絡み合った多
孔体構造を呈しており、薄片状の粒子は、はとんど見ら
れない。BET法により測定した粉体の比表面積は、粗
粒の大きさに殆んど影響されず、主としてそれを形成す
る微粒子の径に支配され、通常5〜25i/g程度であ
る。これに対し、既存の緻密なTiS2は、結晶が大き
く成長しており且つ方位が揃っているので、これを粉砕
する場合には、結合が弱い層面での剥離が選択的に生じ
て、はとんどが薄片状の粒子となり、各種の反応に有効
な層面に垂直な方向の面が増大しない。この様な点から
も、本発明によるハニカム状TiS2多孔体が既存のT
iS2とは、本質的に相違することが明白である。
0.1〜5μm程度の微粒子が三次元的に絡み合った多
孔体構造を呈しており、薄片状の粒子は、はとんど見ら
れない。BET法により測定した粉体の比表面積は、粗
粒の大きさに殆んど影響されず、主としてそれを形成す
る微粒子の径に支配され、通常5〜25i/g程度であ
る。これに対し、既存の緻密なTiS2は、結晶が大き
く成長しており且つ方位が揃っているので、これを粉砕
する場合には、結合が弱い層面での剥離が選択的に生じ
て、はとんどが薄片状の粒子となり、各種の反応に有効
な層面に垂直な方向の面が増大しない。この様な点から
も、本発明によるハニカム状TiS2多孔体が既存のT
iS2とは、本質的に相違することが明白である。
上記の如き特異な形態を有する本発明TiS2多孔体粉
体は、リチウム二次電池等の二次電池用正極活物質、有
機ガス吸収剤、触媒担体等として極めて有用である。
体は、リチウム二次電池等の二次電池用正極活物質、有
機ガス吸収剤、触媒担体等として極めて有用である。
実施例
以下に実施例を示し、本発明の特徴とするところをより
一層明らかにする。
一層明らかにする。
実施例1
第1図に示す装置を使用して、本発明を実施した。
すなわち、内径4o+a+の原料ガス導入用石英管(5
)と直径8mmの石英ロッド(7)を挿入された内径1
0m+++の石英管(9)とが取り付けられた内径20
關の石英製反応管(1)に、1分光たりTi C148
ml+H2550m1+N2400m1の混合ガス(標
準状態)を石英ロッド(7)の頂端に垂直となるように
導入した。
)と直径8mmの石英ロッド(7)を挿入された内径1
0m+++の石英管(9)とが取り付けられた内径20
關の石英製反応管(1)に、1分光たりTi C148
ml+H2550m1+N2400m1の混合ガス(標
準状態)を石英ロッド(7)の頂端に垂直となるように
導入した。
反応条件は、温度′450℃、圧力0.32気圧、時間
60分とした。そして、10分毎に3mll1ずつ石英
ロッド(7)を下方に移動させた。
60分とした。そして、10分毎に3mll1ずつ石英
ロッド(7)を下方に移動させた。
かくして、直径8 ma+ X長さ18mmの円筒状T
iS2多孔体が形成された。このものは、粒径的1μm
の微粒子が三次元的に結合して構成されており、嵩密度
は、1.5g/cm3 (空隙率53%)であり、組成
は、Ti S2 (X”1.02)であった。また
、空孔は、不定多角形状を呈しており、そのさしわたし
径は、平均的1μmであった。
iS2多孔体が形成された。このものは、粒径的1μm
の微粒子が三次元的に結合して構成されており、嵩密度
は、1.5g/cm3 (空隙率53%)であり、組成
は、Ti S2 (X”1.02)であった。また
、空孔は、不定多角形状を呈しており、そのさしわたし
径は、平均的1μmであった。
実施例2
内径4mmのホウケイ酸塩ガラス製の直管を反応管とし
、1分光たりT L CQ 45ml+H2S40ml
+N2200mlの混合ガス(標準状態)ヲ反応管の内
壁に平行となるように導入した。
、1分光たりT L CQ 45ml+H2S40ml
+N2200mlの混合ガス(標準状態)ヲ反応管の内
壁に平行となるように導入した。
反応条件は、温度500℃、圧力0.32気圧、時間1
時間とした。
時間とした。
かくして、反応管の内壁上にTiS2多孔体が形成され
た。このものは、粒径的1μmの微粒子が三次元的に結
合して構成されており、嵩密度は、1.4g/cm3
(空隙率56%)であり、組成は、TixS2 (X=
=1.oo〜1.06)であった。また、空孔は、不定
多角形状を呈しており、そのさしわたし径は、約1μm
のものが多かった。
た。このものは、粒径的1μmの微粒子が三次元的に結
合して構成されており、嵩密度は、1.4g/cm3
(空隙率56%)であり、組成は、TixS2 (X=
=1.oo〜1.06)であった。また、空孔は、不定
多角形状を呈しており、そのさしわたし径は、約1μm
のものが多かった。
実施例3
内径10nu++の石英ガラス製の直管を反応管とし、
1分光たりTiCR48m1、H2S25m1及びN2
1N215O標準状態)を反応管の内壁に平行となるよ
うにそれぞれ別個に導入し、均熱帯域(反応ゾーン)で
初めて接触させた。
1分光たりTiCR48m1、H2S25m1及びN2
1N215O標準状態)を反応管の内壁に平行となるよ
うにそれぞれ別個に導入し、均熱帯域(反応ゾーン)で
初めて接触させた。
反応条件は、温度570℃、圧力0.32気圧、時間1
時間とした。
時間とした。
かくして、反応管の内壁上反応ゾーンに膜状TiS2多
孔体が形成された。このものは、粒径的3μmの微粒子
が三次元的に結合して構成されており、嵩密度は、1.
7g/cm3 (空隙率47%)であり、組成は、Ti
82 (x=1.00〜1.03)であった。空
孔径は、はぼ0.8μm程度であった。
孔体が形成された。このものは、粒径的3μmの微粒子
が三次元的に結合して構成されており、嵩密度は、1.
7g/cm3 (空隙率47%)であり、組成は、Ti
82 (x=1.00〜1.03)であった。空
孔径は、はぼ0.8μm程度であった。
実施例4〜6
内径411Ilのホウケイ酸塩ガラス製の直管を反応管
とし、1分光たりT i CQ45ml+H2S40m
l+N2200mlの混合ガス(標準状態)を反応管の
内壁に平行となるように導入した。
とし、1分光たりT i CQ45ml+H2S40m
l+N2200mlの混合ガス(標準状態)を反応管の
内壁に平行となるように導入した。
反応条件は、温度450℃、圧力0.32気圧、時間3
0分(実施例3)、60分(実施例4)及び120分(
実施例5)とした。
0分(実施例3)、60分(実施例4)及び120分(
実施例5)とした。
かくして、反応管の内壁上に夫々TiS2多孔体が形成
された。これらのものは、粒径的1μmの微粒子が三次
元的に結合して構成されており、嵩密度は、1.2〜1
.5g/cm3 (空隙率62〜53%)であり、組成
は、T ix S 2 (x=1.00〜1.02)
であった。
された。これらのものは、粒径的1μmの微粒子が三次
元的に結合して構成されており、嵩密度は、1.2〜1
.5g/cm3 (空隙率62〜53%)であり、組成
は、T ix S 2 (x=1.00〜1.02)
であった。
また、第2図に生成物の膜厚分布を示し、第3図に加熱
炉の温度分布を示す。
炉の温度分布を示す。
第2図及び第3図に示す結果から、加熱炉の均熱帯とほ
ぼ同じ位置から均一膜厚になっていること、及び反応時
間が長くなるに従って、膜厚も長さも大きくなっている
ことが明らかである。
ぼ同じ位置から均一膜厚になっていること、及び反応時
間が長くなるに従って、膜厚も長さも大きくなっている
ことが明らかである。
実施例7
実施例2で得られたTiS2多孔体を直径51111の
アルミナ製ボールを使用するボールミルにより5分間粉
砕したところ、平均粒径約20μmのTiS2粗粒が得
られた。この粗粒も、粒径的1μmの微粒子が三次元的
に結合した粒子により構成されており、薄片状の粒子は
、存在してぃなかった。BET法により測定した比表面
積は、8rrr/lrであった。
アルミナ製ボールを使用するボールミルにより5分間粉
砕したところ、平均粒径約20μmのTiS2粗粒が得
られた。この粗粒も、粒径的1μmの微粒子が三次元的
に結合した粒子により構成されており、薄片状の粒子は
、存在してぃなかった。BET法により測定した比表面
積は、8rrr/lrであった。
第1図は、本発明方法を実施するために使用する装置の
概要を示す断面図、第2図は、本発明方法により形成さ
れたTiS2多孔体の寸法を示すグラフ、第3図は、本
発明方法で使用した装置の温度分布を示すグラフである
。 (1)・・・反応管 (3)・・・加熱炉 (5)・・・原料ガス導入用の石英管 (7)・・・石英ロッド (9)・・・石英管 (11)、(13)・・・原料ガスの流れ(以上) 第1図 第2図 第3図
概要を示す断面図、第2図は、本発明方法により形成さ
れたTiS2多孔体の寸法を示すグラフ、第3図は、本
発明方法で使用した装置の温度分布を示すグラフである
。 (1)・・・反応管 (3)・・・加熱炉 (5)・・・原料ガス導入用の石英管 (7)・・・石英ロッド (9)・・・石英管 (11)、(13)・・・原料ガスの流れ(以上) 第1図 第2図 第3図
Claims (2)
- (1)TiCl_4、TiCl_3(CH_3)及びT
iCl_3(C_2H_5)の少なくとも一種を含むT
i源ガスとH_2S、CS_2、及び硫黄蒸気とH_2
との混合物の少なくとも一種を含む硫黄源ガスとの化学
気相反応による二硫化チタンの製造方法において、反応
温度を300〜800℃とし、反応ガス全圧を0.3〜
1気圧としかつ反応装置内のガス線速度を3〜50cm
/秒(いずれも標準状態)とすることにより、0.1〜
5μmの微粒子の凝集体からなり嵩密度が0.5〜3.
0g/cm^3であって、Ti_xS_2(但し1.0
0≦x<1.2)で表わされる組成のハニカム状二硫化
チタン多孔体を得ることを特徴とする二硫化チタンの製
造方法。 - (2)TiCl_4、TiCl_3(CH_3)及びT
iCl_3(C_2H_5)の少なくとも一種を含むT
i源ガスとH_2S、CS_2、及び硫黄蒸気とH_2
との混合物の少なくとも一種を含む硫黄源ガスとの化学
気相反応による二硫化チタンの製造方法において、反応
温度を300〜800℃とし、反応ガス全圧を0.3〜
1気圧としかつ反応装置内のガス線速度を3〜50cm
/秒(いずれも標準状態)とすることにより、0.1〜
5μmの微粒子の凝集体からなり嵩密度が0.5〜3.
0g/cm^3であって、Ti_xS_2(但し1.0
0≦x<1.2)で表わされる組成のハニカム状二硫化
チタン多孔体を製造した後、これを粉砕することを特徴
とする比表面積5〜25m^2/gの粉末状二硫化チタ
ンの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP607388A JPH01183418A (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | 二硫化チタンの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP607388A JPH01183418A (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | 二硫化チタンの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01183418A true JPH01183418A (ja) | 1989-07-21 |
Family
ID=11628400
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP607388A Pending JPH01183418A (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | 二硫化チタンの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01183418A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009155197A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 層状構造ナノ粒子の製造方法 |
JP2010538951A (ja) * | 2007-09-10 | 2010-12-16 | イエダ・リサーチ・アンド・デベロツプメント・カンパニー・リミテツド | フラーレン状ナノ構造体、その使用及びその製造プロセス |
-
1988
- 1988-01-14 JP JP607388A patent/JPH01183418A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010538951A (ja) * | 2007-09-10 | 2010-12-16 | イエダ・リサーチ・アンド・デベロツプメント・カンパニー・リミテツド | フラーレン状ナノ構造体、その使用及びその製造プロセス |
JP2009155197A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 層状構造ナノ粒子の製造方法 |
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