JP5898771B2 - 分光器および測定方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 53
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 47
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 37
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 7
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 12
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01J3/46—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
- G01J3/50—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors
- G01J3/51—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors using colour filters
- G01J3/513—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors using colour filters having fixed filter-detector pairs
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- G01J2003/1234—Continuously variable IF [CVIF]; Wedge type
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
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Description
しかしながら、実際には、図8(a)のような理想的な透過特性が得られず、例えば、図8(b)に示すような透過特性(空気/HLHL4HLHLH/基板とした場合の特性。「L」は低屈折材料の単位厚さ、「H」は高屈折材料の単位厚さ、「4H」は単位厚さの4倍の厚さを表す。ただし、「屈折率」*「単位厚さ」=λ/4。λは、透過ピークの波長)が得られる。すなわち、必ずしも各受光部の出力値と、各色の波長強度とは比例関係とはならないので、上記の構成では、強度分布を精度良く得ることができないという問題があった。これに対し、各フィルター部を複雑化して精度を向上し、図8(a)に示した透過特性に極力近づけることも可能であるが、かかる場合、各フィルター部が複雑化または大型化してしまうという問題があった。これによって、分光器全体が大型化してしまう。
また、入射光が各受光部に均等に且つ垂直入射の平行光として受光されるため、強度分布をより精度良く測定することができる。
Memory)等で構成されており、強度分布の算出時に用いる補正行列を記憶する。補正行列は、フィルター部28毎且つ色毎の透過係数の係数行列を、逆行列に変換したものである。詳細は後述するが、当該補正行列は、予め校正装置41において生成され、記憶部31に記憶される。
Claims (5)
- 入射光におけるn色各色の強度分布を測定する分光器であって、
n個のフィルターと、
前記n個のフィルターを通過した入射光を其々受光して光電流値を得るn個の受光部と、
前記各光電流値と、n種の校正光を個々に入射させて得られた前記フィルター毎且つ色毎の透過係数の係数行列を逆行列に変換した補正行列との乗算で前記強度分布を算出する算出部と、
入射光を拡散する拡散板と、
拡散した入射光を偏向して前記各受光部に導く導光板と、
偏向した入射光を平行光にするコリメーターと、を備えたことを特徴とする分光器。 - 前記n種の校正光は、前記n色各色の波長の単色光であることを特徴とする請求項1に記載の分光器。
- 前記n個のフィルターは、一体の透過波長可変干渉フィルターにより構成されていることを特徴とする請求項1に記載の分光器。
- 前記透過波長可変干渉フィルターは、高屈折率材料と低屈折率材料とを交互に積層した多重層を、前記各受光部に対する開口率が異なるマスク部材を介してスパッタリング成形して成ることを特徴とする請求項3に記載の分光器。
- n個のフィルター、n個の受光部、拡散板、導光板及びコリメーターを備えた分光器で入射光のn色各色の強度分布を測定する測定方法であって、
前記拡散板で、入射光を拡散し、
前記導光板で、拡散した入射光を偏向して前記各受光部に導き、
前記コリメーターで、偏向した入射光を平行光にし、
前記各受光部で、前記各フィルターを通過した入射光を受光し電流値を得、
前記各電流値と、前記フィルター毎且つ色毎の透過係数の行列を逆行列に変換した補正行列との乗算で前記強度分布を算出することを特徴とする測定方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2012/005488 WO2014033783A1 (ja) | 2012-08-30 | 2012-08-30 | 分光器および分光測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5898771B2 true JP5898771B2 (ja) | 2016-04-06 |
JPWO2014033783A1 JPWO2014033783A1 (ja) | 2016-08-08 |
Family
ID=50182635
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014532570A Active JP5898771B2 (ja) | 2012-08-30 | 2012-08-30 | 分光器および測定方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5898771B2 (ja) |
WO (1) | WO2014033783A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN112556849A (zh) * | 2020-12-07 | 2021-03-26 | 上海新产业光电技术有限公司 | 高光谱成像装置 |
CN112964360A (zh) * | 2021-02-05 | 2021-06-15 | 上海新产业光电技术有限公司 | 高光谱成像装置 |
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CN106461461A (zh) | 2014-01-03 | 2017-02-22 | 威利食品有限公司 | 光谱测定系统、方法和应用 |
EP3209983A4 (en) | 2014-10-23 | 2018-06-27 | Verifood Ltd. | Accessories for handheld spectrometer |
WO2016125164A2 (en) | 2015-02-05 | 2016-08-11 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system applications |
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WO2016162865A1 (en) | 2015-04-07 | 2016-10-13 | Verifood, Ltd. | Detector for spectrometry system |
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- 2012-08-30 JP JP2014532570A patent/JP5898771B2/ja active Active
- 2012-08-30 WO PCT/JP2012/005488 patent/WO2014033783A1/ja active Application Filing
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Publication number | Publication date |
---|---|
WO2014033783A1 (ja) | 2014-03-06 |
JPWO2014033783A1 (ja) | 2016-08-08 |
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