JPWO2014033783A1 - 分光器および測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
しかしながら、実際には、図8(a)のような理想的な透過特性が得られず、例えば、図8(b)に示すような透過特性(空気/HLHL4HLHLH/基板とした場合の特性。「L」は低屈折材料の単位厚さ、「H」は高屈折材料の単位厚さ、「4H」は単位厚さの4倍の厚さを表す。ただし、「屈折率」*「単位厚さ」=λ/4。λは、透過ピークの波長)が得られる。すなわち、必ずしも各受光部の出力値と、各色の波長強度とは比例関係とはならないので、上記の構成では、強度分布を精度良く得ることができないという問題があった。これに対し、各フィルター部を複雑化して精度を向上し、図8(a)に示した透過特性に極力近づけることも可能であるが、かかる場合、各フィルター部が複雑化または大型化してしまうという問題があった。これによって、分光器全体が大型化してしまう。
Memory)等で構成されており、強度分布の算出時に用いる補正行列を記憶する。補正行列は、フィルター部28毎且つ色毎の透過係数の係数行列を、逆行列に変換したものである。詳細は後述するが、当該補正行列は、予め校正装置41において生成され、記憶部31に記憶される。
また、入射光が各受光部に均等に且つ垂直入射の平行光として受光されるため、強度分布をより精度良く測定することができる。
Claims (6)
- 入射光におけるn(n≧1)色各色の波長の強度分布を測定する分光器であって、
前記n色各色の波長をそれぞれ透過ピークとするn個のフィルター部と、
前記n個のフィルター部を通過した前記入射光を、それぞれ受光して光電流値を出力するn個の受光部と、
相違した特定の強度分布を有するn種の校正光を個々に入射させて得られた前記フィルター部毎且つ色毎の透過係数の係数行列を、逆行列に変換して成る補正行列を記憶する記憶部と、
前記n個の受光部の各光電流値と前記補正行列との乗算処理によって、前記強度分布を算出する算出部と、を備えたことを特徴とする分光器。 - 前記n種の校正光は、前記n色各色の波長の単色光であることを特徴とする請求項1に記載の分光器。
- 前記n個のフィルター部は、一体の透過波長可変干渉フィルターにより構成されていることを特徴とする請求項1に記載の分光器。
- 前記透過波長可変干渉フィルターは、高屈折率材料と低屈折率材料とを交互に積層した多重層を、前記各受光部に対する開口率が異なるマスク部材を介してスパッタリング成形して成ることを特徴とする請求項3に記載の分光器。
- 前記入射光を拡散する拡散板と、
拡散した前記入射光を偏向して前記各受光部に導く導光板と、
偏向した入射光を、平行光にするコリメーターレンズアレイと、を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載の分光器。 - n(n≧1)色各色の波長をそれぞれ透過ピークとするn個のフィルター部とn個の受光部とを備えた分光器により、入射光における前記n色各色の波長の強度分布を測定する分光測定方法であって、
前記n個の受光部により、前記n個のフィルター部を通過した前記入射光を、それぞれ受光して光電流値を出力する受光ステップと、
相違した特定の強度分布を有するn種の校正光を個々に入射させて得られた前記フィルター部毎且つ色毎の透過係数の係数行列を、逆行列に変換して成る補正行列を記憶する記憶ステップと、
前記n個の受光部の各光電流値と前記補正行列との乗算処理によって、前記強度分布を算出する算出ステップと、を実行することを特徴とする分光測定方法。
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