JP2000205955A - ポリクロメ―タの校正デ―タ算出装置及びその算出方法 - Google Patents

ポリクロメ―タの校正デ―タ算出装置及びその算出方法

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JP2000205955A
JP2000205955A JP11003215A JP321599A JP2000205955A JP 2000205955 A JP2000205955 A JP 2000205955A JP 11003215 A JP11003215 A JP 11003215A JP 321599 A JP321599 A JP 321599A JP 2000205955 A JP2000205955 A JP 2000205955A
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polychromator
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light
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light receiving
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Kenji Imura
健二 井村
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Minolta Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 低コストで、かつ短時間にポリクロメータの
校正データを求める。 【解決手段】 基準ポリクロメータ４の受光素子列４３
の各受光素子の基準分光感度特性がＲＯＭ５１に格納さ
れている。測定制御手段５４は、光源１を発光させ、フ
ィルタホイール２を回転して、互いに分光特性の異なる
基準光を積分球３に入射させ、各基準光が基準及び被校
正ポリクロメータ４，６に入射したときの受光素子列４
３，６３の各受光素子からの電気信号を得る。演算処理
手段５５は、被校正ポリクロメータ６の各受光素子に対
して基準ポリクロメータ４の対応する受光素子の基準分
光感度特性を初期値として補正演算処理を行い、各基準
光を入射させたときの被校正及び基準ポリクロメータ
６，４の受光素子からの各電気信号からなる測定データ
の差が最小になるように初期値として与えられた基準分
光感度特性を修正する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、分光測色計等に用
いられるポリクロメータの受光素子から出力される測定
データを校正するための校正データを求めるポリクロメ
ータの校正データ算出装置及びその算出方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】分光測色計等の分光測定器は、一般に、
400nm〜700nmあるいはこれより少し広い測定波長域に亘
って、10nm又は20nmの比較的広い半値幅及び波長ピッチ
で測定を行うように構成されている。分光測色計の光源
は、短波長域で十分なエネルギーを持ち、測定試料を加
熱することが少ないキセノンフラッシュが用いられるこ
とが多いが、その場合、殆どの分光測色計が、分光手段
として全波長を同時に測定可能なポリクロメータを用い
ている。図８に示すように、ポリクロメータ１１０は、
入射光を波長に応じて分散する分散手段１１１と、この
分散手段１１１に対して所定位置に配置され、受光した
各波長成分の光強度に応じた電気信号を出力する受光素
子が配列されてなる受光素子列１１２とを備えたもので
ある。
【０００３】例えば分光測色計において、高精度に一定
（例えば10nm）の波長ピッチで測定データを得るために
は、ポリクロメータの校正を行う必要がある。これは、
分散手段１１１や受光素子列１１２の取付位置のばらつ
きなどのために、分光感度特性の半値幅及び波長ピッチ
が高精度に一定のポリクロメータ１１０を製造するのが
困難だからである。
【０００４】ポリクロメータの校正は、ポリクロメータ
内の受光素子列の各受光素子の分光感度特性を求めるこ
とによって行われる。この分光感度特性は、従来、図８
に示すように、半値幅の十分に小さい単色光を出力可能
な照射型モノクロメータ１００を走査して各波長成分の
単色光を順次出力させ、各単色光が被校正ポリクロメー
タ１１０に入射したときに受光素子列１１２の各受光素
子から出力される電気信号をプロットすることによって
求めるようになされていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の方法でポリ
クロメータの校正を行うためには、十分に小さい半値幅
と十分に高いエネルギーという相反する要求を満たす照
射型モノクロメータが必要になるが、このような照射型
モノクロメータは、通常、大型で高価なものになるとい
う問題がある。更に、製品となるポリクロメータの全数
について、測定波長域全体に亘って所定の波長ピッチご
とに照射型モノクロメータを走査することになるので、
校正データを求める作業に長時間を要するという問題が
ある。
【０００６】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
ポリクロメータの校正を行うための校正データを低コス
ト、かつ短時間で求めることを可能にするポリクロメー
タの校正データ算出装置及びその算出方法を提供するこ
とを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、入射
光を波長に応じて分散する分散手段と、この分散手段に
対して所定位置に配置され、受光した光の強度に応じた
電気信号を出力する受光素子が複数個配列されてなる受
光素子列とを備えた被校正ポリクロメータを校正するた
めの校正データを求めるポリクロメータの校正データ算
出装置において、光学系の構成が上記被校正ポリクロメ
ータと同一の基準ポリクロメータと、互いに異なる分光
特性を有する複数の基準光を上記被校正ポリクロメータ
及び上記基準ポリクロメータに入射させる基準光出力手
段と、上記基準ポリクロメータの受光素子列の各受光素
子の分光感度特性を基準分光感度特性として予め格納さ
れた基準特性記憶手段と、上記各基準光が上記基準ポリ
クロメータに入射したときに当該基準ポリクロメータの
受光素子列の各受光素子から出力される電気信号からな
る第１測定データと、上記各基準光が上記被校正ポリク
ロメータに入射したときに当該被校正ポリクロメータの
受光素子列の各受光素子から出力される電気信号からな
る第２測定データと、上記基準分光感度特性とを用いて
上記校正データを算出する演算処理手段とを備えたこと
を特徴としている。
【０００８】この構成によれば、光学系の構成が被校正
ポリクロメータと同一の基準ポリクロメータの受光素子
列の各受光素子の分光感度特性である基準分光感度特性
が予め格納されて既知とされている。互いに異なる分光
特性を有する複数の基準光が基準ポリクロメータに入射
したときに基準ポリクロメータの各受光素子から出力さ
れる電気信号からなる第１測定データと、各基準光が被
校正ポリクロメータに入射したときに被校正ポリクロメ
ータの各受光素子から出力される電気信号からなる第２
測定データと、基準分光感度特性とを用いて、被校正ポ
リクロメータを校正するための校正データが求められる
ことにより、低コストで、かつ短時間に校正データが求
められることとなる。これによって、ポリクロメータの
校正を容易に行うことが可能になる。
【０００９】また、請求項２の発明は、請求項１記載の
ポリクロメータの校正データ算出装置において、上記演
算処理手段は、上記基準分光感度特性を用いて上記第１
測定データに対して補正演算処理を施して上記各基準光
の第１分光特性を求め、上記基準分光感度特性を所定の
修正量だけ修正した分光感度特性を用いて上記第２測定
データに対して上記補正演算処理を施して上記各基準光
の第２分光特性を求めるときに、上記各基準光について
上記第１分光特性との差が最小になる上記第２分光特性
が得られる上記修正量を上記校正データとするものであ
ることを特徴としている。
【００１０】この構成によれば、基準分光感度特性を用
いて第１測定データに対して補正演算処理が施されて各
基準光の第１分光特性が求められる。また、基準分光感
度特性を所定の修正量だけ修正した分光感度特性を用い
て第２測定データに対して補正演算処理が施されて各基
準光の第２分光特性が求められるときに、各基準光につ
いて第１分光特性との差が最小になる第２分光特性が得
られる修正量が校正データとされることにより、校正デ
ータが精度良く求められることとなる。
【００１１】また、請求項３の発明は、請求項２記載の
ポリクロメータの校正データ算出装置において、上記演
算処理手段は、上記基準分光感度特性を所定の修正量だ
け修正した分光感度特性を用いて上記第２測定データに
対して上記補正演算処理を施して上記各基準光の上記第
２分光特性を求める演算を上記修正量を変化させて繰り
返し、その演算ごとに上記第１分光特性と上記第２分光
特性との差を上記受光素子列の所定の受光素子について
求め、これらの差が最小になるときの上記修正量を上記
校正データとするものであることを特徴としている。
【００１２】この構成によれば、基準分光感度特性を所
定の修正量だけ修正した分光感度特性を用いて第２測定
データに対して補正演算処理を施して各基準光の第２分
光特性を求める演算が修正量を変化させて繰り返され、
その演算ごとに第１分光特性と第２分光特性との差が受
光素子列の所定の受光素子について求められ、これらの
差が最小になるときの修正量が校正データとされること
により、校正データが精度良く求められることとなる。
【００１３】また、請求項４の発明は、請求項１〜３の
いずれかに記載のポリクロメータの校正データ算出装置
において、上記基準特性記憶手段は、上記基準分光感度
特性を近似的に表わす少なくとも１個の特性要素を上記
基準分光感度特性として記憶するものであることを特徴
としている。
【００１４】この構成によれば、基準分光感度特性を近
似的に表わす少なくとも１個の特性要素が基準分光感度
特性として記憶されていることにより、簡易な演算処理
により容易に校正データが求められることとなる。
【００１５】また、請求項５の発明は、請求項４記載の
ポリクロメータの校正データ算出装置において、上記特
性要素は、上記基準分光感度特性の中心波長と、その半
値幅とを含むものであることを特徴としている。
【００１６】この構成によれば、特性要素は、基準分光
感度特性の中心波長と、その半値幅とを含むものである
ことにより、基準ポリクロメータの光学系が被校正ポリ
クロメータと同一構成になっていることから両者の分光
感度特性の形状が近似したものとなるので、中心波長及
び半値幅の若干の修正量により精度良く分光感度特性が
表わされることとなり、簡易な演算処理により精度良く
校正データが求められる。
【００１７】また、請求項６の発明は、請求項１記載の
ポリクロメータの校正データ算出装置において、上記基
準特性記憶手段は、上記基準分光感度特性を近似的に表
わす少なくとも１個の特性要素を上記基準分光感度特性
として記憶するもので、上記演算処理手段は、上記特性
要素を用いて上記第１測定データに対して補正演算処理
を施して上記各基準光の第１分光特性を求め、上記特性
要素を所定の修正量だけ修正したものを用いて上記第２
測定データに対して上記補正演算処理を施して上記各基
準光の第２分光特性を求めるときに、上記各基準光につ
いて上記第１分光特性との差が最小になる上記第２分光
特性が得られる上記修正量を上記校正データとするもの
であって、更に、上記特性要素の修正量を表わす関数と
して、上記受光素子列を構成する受光素子の順番に対応
して設定されたセンサ番号を変数とし、少なくとも１個
の定数によって決まる第１関数を設定し、上記第１分光
特性と上記第２分光特性との差が最小になるように上記
第１関数の定数を求めるものであることを特徴としてい
る。
【００１８】この構成によれば、基準分光感度特性を近
似的に表わす少なくとも１個の特性要素が基準分光感度
特性として記憶され、特性要素を用いて第１測定データ
に対して補正演算処理が施されて各基準光の第１分光特
性が求められ、特性要素を所定の修正量だけ修正したも
のを用いて第２測定データに対して補正演算処理を施し
て各基準光の第２分光特性を求めるときに、各基準光に
ついて第１分光特性との差が最小になる第２分光特性が
得られる修正量が校正データとされる。このとき、特性
要素の修正量を表わす関数として、受光素子列を構成す
る受光素子の順番に対応して設定されたセンサ番号を変
数とし、少なくとも１個の定数によって決まる第１関数
が設定され、第１分光特性と第２分光特性との差が最小
になるように第１関数の定数が求められることにより、
簡易な演算処理により特性要素の修正量が求められ、こ
れによって容易に校正データが求められることとなる。
【００１９】なお、この構成において、第１関数をセン
サ番号の低次の多項式とすることにより、演算処理がよ
り一層簡易なものとなる。
【００２０】また、請求項７の発明は、請求項１〜３の
いずれかに記載のポリクロメータの校正データ算出装置
において、上記基準特性記憶手段は、上記基準分光感度
特性を近似的に表わす関数であって、波長を変数とし、
少なくとも１個の定数によって決まる第２関数を上記基
準分光感度特性として記憶するものであることを特徴と
している。
【００２１】この構成によれば、基準分光感度特性を近
似的に表わす関数であって、波長を変数とし、少なくと
も１個の定数によって決まる第２関数を基準分光感度特
性として記憶されていることにより、簡易な演算処理に
より容易に校正データが求められることとなる。
【００２２】また、請求項８の発明は、請求項７記載の
ポリクロメータの校正データ算出装置において、上記第
２関数の定数は、上記基準分光感度特性の中心波長と、
その半値幅とを含むものであることを特徴としている。
【００２３】この構成によれば、第２関数の定数は、基
準分光感度特性の中心波長と、その半値幅とを含むもの
であることにより、基準ポリクロメータの光学系が被校
正ポリクロメータと同一構成になっていることから両者
の分光感度特性の形状が近似したものとなるので、中心
波長及び半値幅の若干の修正量により精度良く分光感度
特性が表わされることとなり、簡易な演算処理により精
度良く校正データが求められる。
【００２４】また、請求項９の発明は、請求項１記載の
ポリクロメータの校正データ算出装置において、上記基
準特性記憶手段は、上記基準分光感度特性を近似的に表
わす関数であって、波長を変数とし、少なくとも１個の
定数によって決まる第２関数を上記基準分光感度特性と
して記憶するもので、上記演算処理手段は、上記第２関
数を用いて上記第１測定データに対して補正演算処理を
施して上記各基準光の第１分光特性を求め、上記第２関
数の定数を所定の修正量だけ修正したものを用いて上記
第２測定データに対して上記補正演算処理を施して上記
各基準光の第２分光特性を求めるときに、上記各基準光
について上記第１分光特性との差が最小になる上記第２
分光特性が得られる上記修正量を上記校正データとする
ものであって、更に、上記第２関数の定数の修正量を表
わす関数として、上記受光素子列を構成する受光素子の
順番に対応して設定されたセンサ番号を変数とし、少な
くとも１個の定数によって決まる第３関数を設定し、上
記第１分光特性と上記第２分光特性との差が最小になる
ように上記第３関数の定数を求めるものであることを特
徴としている。
【００２５】この構成によれば、基準分光感度特性を近
似的に表わす関数であって、波長を変数とし、少なくと
も１個の定数によって決まる第２関数が基準分光感度特
性として記憶され、第２関数を用いて第１測定データに
対して補正演算処理を施して各基準光の第１分光特性が
求められ、第２関数の定数を所定の修正量だけ修正した
ものを用いて第２測定データに対して補正演算処理を施
して各基準光の第２分光特性を求めるときに、各基準光
について第１分光特性との差が最小になる第２分光特性
が得られる修正量が校正データとされる。このとき、第
２関数の定数の修正量を表わす関数として、受光素子列
を構成する受光素子の順番に対応して設定されたセンサ
番号を変数とし、少なくとも１個の定数によって決まる
第３関数が設定され、第１分光特性と第２分光特性との
差が最小になるように第３関数の定数が求められること
により、簡易な演算処理により第２関数の定数の修正量
が求められ、これによって校正データが容易に求められ
ることとなる。
【００２６】なお、この構成において、第３関数をセン
サ番号の低次の多項式とすることにより、演算処理がよ
り一層簡易なものとなる。
【００２７】また、請求項１０の発明は、請求項９記載
のポリクロメータの校正データ算出装置において、上記
演算処理手段は、更に、上記第２関数の定数を表わす関
数として、上記受光素子列を構成する受光素子の順番に
対応して設定されたセンサ番号を変数とし、少なくとも
１個の定数によって決まる第４関数を設定し、上記第４
関数による上記第２関数の定数の計算値と上記第２関数
の定数との差が最小になるように上記第４関数の定数を
求めるものであることを特徴としている。
【００２８】この構成によれば、第２関数の定数を表わ
す関数として、受光素子列を構成する受光素子の順番に
対応して設定されたセンサ番号を変数とし、少なくとも
１個の定数によって決まる第４関数が設定され、第４関
数による第２関数の定数の計算値と本来の第２関数の定
数との差が最小になるように第４関数の定数が求められ
ることにより、簡易な演算処理により第２関数の定数が
求められ、これを用いて校正データが容易に求められ
る。
【００２９】なお、この構成において、第４関数をセン
サ番号の低次の多項式とすることにより、演算処理がよ
り一層簡易なものとなる。また、第４関数を第３関数と
同一形式の関数とすることにより、演算処理が更に一層
簡易なものとなる。
【００３０】また、請求項１１の発明は、請求項１〜１
０のいずれかに記載のポリクロメータの校正データ算出
装置において、上記基準光出力手段は、上記各基準光が
それぞれ上記被校正ポリクロメータ及び上記基準ポリク
ロメータに同時に入射するように構成されたものである
ことを特徴としている。
【００３１】この構成によれば、基準光出力手段によ
り、各基準光がそれぞれ被校正ポリクロメータ及び基準
ポリクロメータに同時に入射するように構成されている
ことにより、第１測定データ及び第２測定データに対す
る基準光の変動による影響が低減され、更に高精度で校
正データが求められることとなる。
【００３２】また、請求項１２の発明は、請求項１〜１
１のいずれかに記載のポリクロメータの校正データ算出
装置において、上記基準光出力手段は、光束を発生する
光源と、互いに分光透過特性の異なる複数のフィルタ
と、上記光源からの光束中に上記各フィルタを順次配置
させる駆動手段とを備えたものであることを特徴として
いる。
【００３３】この構成によれば、光源からの光束中に、
互いに分光透過特性の異なる複数のフィルタが順次配置
されることにより、互いに分光特性の異なる各基準光が
簡易な構成で確実に出力されることとなる。
【００３４】また、請求項１３の発明は、請求項１２記
載のポリクロメータの校正データ算出装置において、上
記基準光出力手段は、更に、上記フィルタを透過した光
束を分配して上記基準ポリクロメータ及び上記被校正ポ
リクロメータに入射させる光束分配手段を備えたもので
あることを特徴としている。
【００３５】この構成によれば、フィルタを透過した光
束が分配されて基準ポリクロメータ及び被校正ポリクロ
メータに入射することにより、互いに分光特性の異なる
各基準光が、基準ポリクロメータ及び被校正ポリクロメ
ータに同時に入射することとなり、第１測定データ及び
第２測定データに対する基準光の変動による影響が低減
され、更に高精度で校正データが求められる。
【００３６】また、請求項１４の発明は、請求項１３記
載のポリクロメータの校正データ算出装置において、上
記光束分配手段は、上記フィルタを透過した光束が入射
する第１開口部と、上記基準ポリクロメータに向けて光
束を射出する第２開口部と、上記被校正ポリクロメータ
に向けて光束を射出する第３開口部とを有する積分球で
あることを特徴としている。
【００３７】この構成によれば、フィルタを透過した光
束が積分球の第１開口部を介して入射し、積分球内で拡
散されて、第２開口部を介して基準ポリクロメータに向
けて射出されるとともに、第３開口部を介して被校正ポ
リクロメータに向けて射出されることにより、拡散光が
各ポリクロメータに入射することとなり、各ポリクロメ
ータへの入射光強度の相対レベルの変動による影響が低
減され、これによって、校正データが高精度で求められ
る。
【００３８】また、請求項１５の発明は、請求項１３記
載のポリクロメータの校正データ算出装置において、上
記光束分配手段は、上記フィルタと、上記基準ポリクロ
メータ及び上記被校正ポリクロメータとの間に介設され
た拡散板であることを特徴としている。
【００３９】この構成によれば、フィルタを透過した光
束が、拡散板を介して基準ポリクロメータ及び被校正ポ
リクロメータに向けて射出されることにより、拡散光が
各ポリクロメータに入射することとなり、各ポリクロメ
ータへの入射光強度の相対レベルの変動による影響が低
減され、これによって、校正データが高精度で求められ
る。
【００４０】また、請求項１６の発明は、請求項１２〜
１５のいずれかに記載のポリクロメータの校正データ算
出装置において、上記駆動手段を制御して、上記光源か
らの光束中に上記フィルタを配置した第１状態と、上記
光束中に上記フィルタを配置しない第２状態とに切り替
える測定制御手段を備え、上記演算処理手段は、上記第
２状態における上記基準ポリクロメータの受光素子列の
各受光素子から出力される電気信号に対する、上記第１
状態における上記基準ポリクロメータの受光素子列の各
受光素子から出力される電気信号の比を上記第１測定デ
ータとし、上記第２状態における上記被校正ポリクロメ
ータの受光素子列の各受光素子から出力される電気信号
に対する、上記第１状態における上記被校正ポリクロメ
ータの受光素子列の各受光素子から出力される電気信号
の比を上記第２測定データとするものであることを特徴
としている。
【００４１】この構成によれば、光源からの光束中にフ
ィルタを配置しない第２状態における基準ポリクロメー
タの受光素子列の各受光素子から出力される電気信号に
対する、光源からの光束中にフィルタを配置した第１状
態における基準ポリクロメータの受光素子列の各受光素
子から出力される電気信号の比が第１測定データとされ
る。また、光源からの光束中にフィルタを配置しない第
２状態における被校正ポリクロメータの受光素子列の各
受光素子から出力される電気信号に対する、光源からの
光束中にフィルタを配置した第１状態における被校正ポ
リクロメータの受光素子列の各受光素子から出力される
電気信号の比が第２測定データとされる。これによっ
て、光源からの光束の分光特性による測定データへの影
響が低減され、校正データが高精度で求められることと
なる。
【００４２】また、請求項１７の発明は、入射光を波長
に応じて分散する分散手段と、この分散手段に対して所
定位置に配置され、受光した光の強度に応じた電気信号
を出力する受光素子が複数個配列されてなる受光素子列
とを備えた被校正ポリクロメータを校正するための校正
データを求めるポリクロメータの校正データ算出方法に
おいて、互いに異なる分光特性を有する複数の基準光
を、順次、上記被校正ポリクロメータと、光学系の構成
が上記被校正ポリクロメータと同一で、各受光素子の分
光感度特性である基準分光感度特性が既知の基準ポリク
ロメータとに入射させ、上記各基準光が上記基準ポリク
ロメータに入射したときに当該基準ポリクロメータの受
光素子列の各受光素子から出力される電気信号からなる
第１測定データと、上記各基準光が上記被校正ポリクロ
メータに入射したときに当該被校正ポリクロメータの受
光素子列の各受光素子から出力される電気信号からなる
第２測定データと、上記基準分光感度特性とを用いて上
記校正データを算出するようにしたことを特徴としてい
る。
【００４３】この方法によれば、光学系の構成が被校正
ポリクロメータと同一の基準ポリクロメータの受光素子
列の各受光素子の分光感度特性である基準分光感度特性
が予め既知とされている。そして、互いに異なる分光特
性を有する複数の基準光が基準ポリクロメータに入射し
たときに基準ポリクロメータの各受光素子から出力され
る電気信号からなる第１測定データと、各基準光が被校
正ポリクロメータに入射したときに被校正ポリクロメー
タの各受光素子から出力される電気信号からなる第２測
定データと、基準分光感度特性とを用いて、被校正ポリ
クロメータを校正するための校正データが求められるこ
とにより、低コストで、かつ短時間に校正データが求め
られることとなる。これによって、ポリクロメータの校
正を容易に行うことが可能になる。
【００４４】また、請求項１８の発明は、請求項１７記
載のポリクロメータの校正データ算出方法において、上
記基準分光感度特性を用いて上記第１測定データに対し
て補正演算処理を施して上記各基準光の第１分光特性を
求め、上記基準分光感度特性を所定の修正量だけ修正し
た分光感度特性を用いて上記第２測定データに対して上
記補正演算処理を施して上記各基準光の第２分光特性を
求めるときに、上記各基準光について上記第１分光特性
との差が最小になる上記第２分光特性が得られる上記修
正量を上記校正データとするようにしたことを特徴とし
ている。
【００４５】この方法によれば、基準分光感度特性を用
いて第１測定データに対して補正演算処理が施されて各
基準光の第１分光特性が求められる。また、基準分光感
度特性を所定の修正量だけ修正した分光感度特性を用い
て第２測定データに対して補正演算処理が施されて各基
準光の第２分光特性が求められるときに、各基準光につ
いて第１分光特性との差が最小になる第２分光特性が得
られる修正量が校正データとされることにより、校正デ
ータが精度良く求められることとなる。
【００４６】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係るポリクロメー
タの校正データ算出装置の一実施形態の構成図、図２は
フィルタホイールの平面図、図３はフィルタの分光透過
特性を示す図である。このポリクロメータの校正データ
算出装置１０は、光源１、フィルタホイール２、積分球
３、基準ポリクロメータ４及び制御手段５などを備え、
被校正ポリクロメータ６を校正するための校正データを
求めるものである。
【００４７】光源１は、例えばハロゲンランプなどの時
間的に安定した光量を出力するランプからなる。フィル
タホイール２は、図２に示すように、６種類のフィルタ
Ｆｌ，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４，Ｆ５，Ｆ６がそれぞれ取り付
けられた開口２１，２２，２３，２４，２５，２６と、
素通しの６個の開口２１１，２１２，２１３，２１４，
２１５，２１６とが同一半径上に交互に配設されてなる
円板である。駆動手段２０は、駆動軸がフィルタホイー
ル２の中心軸に連結されたモータ等からなり、フィルタ
ホイール２を回転させるものである。フィルタＦｌ〜Ｆ
６は、例えばシャープカットガラスフィルタからなる短
波長遮断フィルタで、各フィルタの遮断波長は、図３に
示すように、被校正ポリクロメータ６の測定波長域であ
る400nm〜700nmをほぼ等分するものが採用されている。
【００４８】図１に戻って、積分球３は、その内壁３０
に高拡散、高反射率の例えばMgOやBaSO4等の白色拡散反
射塗料が塗布された中空の球で、第１開口部３１と、こ
の第１開口部３１に関して対称に形成された第２開口部
３２及び第３開口部３３とを備えている。そして、光源
１は、第１開口部３１に対向して配置され、フィルタホ
イール２は、開口２１〜２６，２１１〜２１６が光源１
と第１開口部３１との間に介設されるように配置されて
いる。
【００４９】積分球３は、光束分配手段を構成し、光源
１、フィルタホイール２、駆動手段２０及び積分球３
は、基準光出力手段を構成している。
【００５０】被校正ポリクロメータ６は、積分球３から
の光束を集束する結像レンズ６０、帯状の光束を入射さ
せる入射スリット６１、入射光束を波長に応じて分散す
る凹面回折格子（分散手段）６２、及びこの凹面回折格
子６２に対して所定位置に配置された受光素子列６３を
備え、積分球３の第３開口部３３に対向して配置されて
いる。基準ポリクロメータ４は、結像レンズ４０、入射
スリット４１、凹面回折格子（分散手段）４２及び受光
素子列４３を備え、積分球３の第２開口部３２に対向し
て配置されている。基準ポリクロメータ４の光学系は、
被校正ポリクロメータ６の光学系と同一構成になってい
る。なお、被校正ポリクロメータ６と基準ポリクロメー
タ４とは、互いに光軸が一致しないように配置されてい
る。すなわち、第２開口部３２と第３開口部３３とは、
積分球３の中心を通る直線上から互いにずれるように穿
設されている。
【００５１】受光素子列４３は、等間隔で一列に配列さ
れた受光素子４３1〜４３N（本実施形態では、例えばＮ
＝18）からなり、凹面回折格子４２によって分散された
光束のうちで波長成分380nmから720nmまでの光束を約20
nmピッチで受光する位置に配置されている。また、受光
素子列６３は、同様に、等間隔で一列に配列された受光
素子６３1〜６３N（本実施形態では、例えばＮ＝18）か
らなり、凹面回折格子６２によって分散された光束のう
ちで波長成分380nmから720nmまでの光束を約20nmピッチ
で受光する位置に配置されている。
【００５２】受光素子列４３，６３の各受光素子４３1
〜４３N，６３1〜６３Nは、受光強度に応じた電気信号
を出力するもので、出力された電気信号は制御手段５に
送出されるようになっている。
【００５３】なお、受光素子列４３，６３を製造する際
に各受光素子の配置を精度良く制御することが可能であ
るので、受光素子４３1〜４３N，６３1〜６３Nは、それ
ぞれ高精度で等間隔に配置されている。
【００５４】制御手段５は、ＲＯＭ５１、ＲＡＭ５２及
びＣＰＵ５３からなり、ＣＰＵ５３は、機能ブロックと
して測定制御手段５４及び演算処理手段５５を備えてい
る。ＲＯＭ５１は、本装置の制御プログラムを記憶する
ものである。また、基準ポリクロメータ４の受光素子列
４３の受光素子４３1〜４３Nの分光感度特性が、従来の
方法、すなわち図８に示すように照射型モノクロメータ
を用いて予め測定されており、この分光感度特性がＲＯ
Ｍ５１に格納されている。ＲＡＭ５２は、データを一時
的に保管するものである。
【００５５】測定制御手段５４は、光源１の発光を制御
する機能及び駆動手段２０を介して行うフィルタホイー
ル２の回転を制御する機能を有し、後述する手順で受光
素子列４３，６３の受光素子４３1〜４３N，６３1〜６
３Nからの電気信号を得るようにしている。演算処理手
段５５は、得られた電気信号を用いて演算処理を行う機
能を有し、後述する手順で演算を行うことにより、被校
正ポリクロメータ６の校正を行うための校正データを求
める。
【００５６】図１の構成において、光源１からの光束１
１は、フィルタホイール２を通過して、第１開口部３１
から積分球３内に入射し、その内壁３０で拡散多重反射
される。積分球３内の拡散光は、第２開口部３２から射
出されて基準ポリクロメータ４の結像レンズ４０を通っ
て入射スリット４１に入射する一方、第３開口部３３か
ら射出されて被校正ポリクロメータ６の結像レンズ６０
を通って入射スリット６１に入射する。各ポリクロメー
タ４，６内に入射した光束は、それぞれ凹面回折格子４
２，６２によって波長に応じて分散され、受光素子列４
３，６３上に結像する。受光素子列４３，６３の各受光
素子４３1〜４３N，６３1〜６３Nから出力される測定値
としての電気信号は、制御手段５の演算処理手段５５に
送出される。
【００５７】ここで、図１、図４を用いて、ポリクロメ
ータに配設された受光素子列を構成する各受光素子の分
光感度特性について説明する。図４は同受光素子の分光
感度特性の一例を示す特性図である。同図において、被
校正ポリクロメータ６のｎ番目の受光素子の分光感度特
性Ｒ'nの中心波長をＣ'n、半値幅をＷ'nとし、基準ポリ
クロメータ４の対応する受光素子、すなわちｎ番目の受
光素子の分光感度特性Ｒnの中心波長をＣn、半値幅をＷ
nとする。
【００５８】図１に示すようなポリクロメータにおい
て、受光素子列を構成する各受光素子の分光感度特性が
分かると、半値幅及び中心波長を修正することができ
る。すなわち、例えばｎ番目の受光素子の分光感度特性
の半値幅が14nmのときに、(ｎ−１)番目や(ｎ＋１)番目
等の受光素子の特性データを用いてマトリクス演算を行
うデコンボリュージョンによって、半値幅を10nm相当の
ものに修正することができる。また、例えば受光素子の
分光感度特性の中心波長が401.3nmや421.7nmなどのよう
に半端な値のときは、各特性データから補間を行うこと
によって、中心波長を400nm，420nmのような20nmピッチ
のデータに修正することができる。
【００５９】一般に、ポリクロメータに配設された受光
素子列を構成する各受光素子の分光感度特性の形状は一
様ではなく、その中心波長も等間隔にならず、更にポリ
クロメータのユニット毎に若干の相違があることが多
い。しかし、図１に示す基準ポリクロメータ４と被校正
ポリクロメータ６のように、光学系の構成が同一であれ
ば、各受光素子の分光感度特性の形状は互いに似たもの
となるので、その差を中心波長（特性要素）の差及び半
値幅（特性要素）の差に集約しても大きな誤差は生じな
い。
【００６０】すなわち、図４において、分光感度特性
Ｒ'nは、分光感度特性Ｒn（Ｃn，Ｗn）の中心波長Ｃnと
半値幅Ｗnをそれぞれ最適に修正して（Ｃn＋ｄＣn），
（Ｗn＋ｄＷn）とした修正分光感度特性Ｒn（Ｃn＋ｄＣ
n，Ｗn＋ｄＷn）で近似することができる。この修正分
光感度特性Ｒn（Ｃn＋ｄＣn，Ｗn＋ｄＷn）は、分光感
度特性Ｒn（Ｃn，Ｗn）を波長軸方向に平行移動及び伸
縮させたものになる。この場合には、被校正ポリクロメ
ータ６を校正するための校正データは、各受光素子に最
適の修正量ｄＣn及びｄＷnに相当する。
【００６１】上述したように、受光素子列４３，６３を
構成する各受光素子４３1〜４３N，６３1〜６３Nは、高
精度で等間隔に配置されている。従って、中心波長Ｃn
と半値幅Ｗnの最適な修正量ｄＣn，ｄＷnは、受光素子
列４３，６３の配列順に対応して各受光素子４３1〜４
３N，６３1〜６３Nに設定されたセンサ番号ｎに対し
て、緩やかに変化したものになる。そこで、最適修正量
ｄＣn，ｄＷnは、センサ番号ｎを変数とする関数（第１
関数）によって近似することができる。
【００６２】このセンサ番号ｎを変数とする関数は、本
実施形態では、例えば下記数１、数２に示すような３次
の多項式としている。
【００６３】
【数１】ｄＣn＝ａ0＋ａ1・ｎ＋ａ2・ｎ2＋ａ3・ｎ3
【００６４】
【数２】ｄＷn＝ｂ0＋ｂ1・ｎ＋ｂ2・ｎ2＋ｂ3・ｎ3 すなわち、本実施形態における被校正ポリクロメータ６
の校正を行うための校正データを求めることは、各受光
素子の最適修正量ｄＣn，ｄＷnを与える上記数１の係数
（定数）ａ0，ａ1，ａ2，ａ3及び上記数２の係数（定
数）ｂ0，ｂ1，ｂ2，ｂ3を求めることに帰着する。
【００６５】次に、図１、図５を参照しながら、図６の
フローチャートにしたがって、本装置において校正デー
タを求める手順について説明する。図５（ａ）は中心波
長の差による各ポリクロメータの測定値の差を示す図、
図５（ｂ）は半値幅の差による各ポリクロメータの測定
値の差を示す図で、それぞれ縦軸のスケールを拡大して
いる。
【００６６】図６において、まず、測定制御手段５４に
より、光源１を発光させて光量が安定した状態でフィル
タホイール２を回転させ、素通しの開口２１１が積分球
３の第１開口部３１の対向位置に配置されて第２状態に
される（＃１００）。光源１からの光束１１は、そのま
ま積分球３内に入射して混合され、第２、第３開口部３
２，３３から出射して、基準ポリクロメータ４及び被校
正ポリクロメータ６に同時に入射して測定が行われ（＃
１１０）、受光素子列４３，６３の受光素子４３1〜４
３N，６３1〜６３Nからの測定値Ａ4，Ａ6は演算処理手
段５５に送出される。
【００６７】次いで、測定制御手段５４により、フィル
タＦ１が配設された開口２１が、第１開口部３１の対向
位置に配置されて第１状態にされる（＃１２０）。光源
１からの光束１１は、フィルタＦ１を透過して積分球３
内に入射して混合され、上記と同様に、第２、第３開口
部３２，３３から出射して、基準ポリクロメータ４及び
被校正ポリクロメータ６に同時に入射して測定が行われ
（＃１３０）、受光素子列４３，６３の受光素子４３1
〜４３N，６３1〜６３Nからの測定値Ｂ4，Ｂ6は演算処
理手段５５に送出される。
【００６８】そして、演算処理手段５５により、＃１１
０，＃１３０における受光素子列４３，６３からの測定
値を用いて、比データＲ1＝Ｂ4／Ａ4（第１測定デー
タ）と、比データＳ1＝Ｂ6／Ａ6（第２測定データ）と
が算出され（＃１４０）、ＲＯＭ５１に格納されている
基準ポリクロメータ４の各受光素子の分光感度特性を用
いて補正演算処理、すなわちデコンボリュージョン及び
補間の処理が行われて、フィルタＦ１の基準ポリクロメ
ータ４による第１分光特性としての分光特性測定値ｒ
1(λ)と、被校正ポリクロメータ６による第２分光特性
としての分光特性測定値ｓ1(λ)とが求められる（＃１
５０）。
【００６９】この補正演算処理によって、分光特性測定
値ｒ1(λ)は、所定の分光感度特性を持つポリクロメー
タでの測定値となる一方、分光特性測定値ｓ1(λ)は、
補正演算処理に用いるべき被校正ポリクロメータ６の受
光素子６３1〜６３Nの分光感度特性と、初期値として用
いた基準ポリクロメータ４の受光素子４３1〜４３Nの分
光感度特性との差の分だけ誤差を有する測定値となる。
【００７０】次いで、図５（ａ）（ｂ）に示すような、
分光特性測定値ｒ1(λ)，ｓ1(λ)の差ｄ1(λ)＝{ｒ
1(λ)−ｓ1(λ)}が求められ（＃１６０）、このｄ1(λ)
を用いて中心波長と半値幅の最適な修正量ｄＣ1，ｄＷ1
が求められる（＃１７０）。
【００７１】差ｄ1(λ)の算出は、フィルタＦ１の遮断
波長λ1近傍の波長域に対応する受光素子についてのみ
行うが、この受光素子の数は、フィルタの遮断特性の傾
斜角度に依存する。これは、図５（ａ）（ｂ）に示すよ
うに、中心波長と半値幅の誤差の情報は、この傾斜部分
にのみ存在するため、平坦部分の情報を含めると、その
部分の誤差も二乗和に含まれることになるので、感度が
低下し、誤差が増大してしまうためである。フィルタＦ
１〜Ｆ６の遮断特性の傾斜角度が図３に示すような本実
施形態の場合には、それぞれ例えば４個の受光素子の測
定データを用いればよい。
【００７２】最適な修正量ｄＣ1，ｄＷ1は、基準ポリク
ロメータ４の受光素子列４３の各受光素子の分光感度特
性を初期値とし、中心波長と半値幅を初期値から少しず
つ変化させて作成した分光感度特性を用いて比データＳ
1(λ)に数値処理、すなわちデコンボリュージョン及び
補間の処理を行ってｓ1(λ)を求めてｄ1(λ)を算出する
操作を繰り返し、最小二乗法によって、下記数３のＥ
1(λ)が最小となるように求める。そして、最適修正量
ｄＣ1，ｄＷ1をフィルタＦ１の遮断波長λ1に対応する
センサ番号ｎ1に与える。
【００７３】
【数３】Ｅ1(λ)＝Σ{ｄ1(λ)}2 なお、遮断波長λ1（例えばλ1＝ 420nm）に受光素子の
中心波長が対応しているとは限らないので、各受光素子
の中心波長から、補間によって λ1に対応するセンサ番
号ｎ1を求める必要がある。従って、センサ番号ｎ1は、
例えばｎ1＝2.12のように、整数にならない場合があ
る。
【００７４】図６に戻り、次いで、全てのフィルタＦ１
〜Ｆ６について以上の操作が終了したか否かが判別され
（＃１８０）、終了していなければ（＃１８０でＮ
Ｏ）、＃１００に戻って、順次各フィルタについて以上
の操作が繰り返される。全てのフィルタＦ１〜Ｆ６につ
いて終了すると（＃１８０でＹＥＳ）、各フィルタＦ１
〜Ｆ６の遮断波長λ1〜λ6に対応するセンサ番号ｎ1〜
ｎ6に対して、それぞれ最適の修正量、すなわち中心波
長の修正量ｄＣ1〜ｄＣ6と、半値幅の修正量ｄＷ1〜ｄ
Ｗ6とが求められることとなる。
【００７５】次いで、上記数１の係数ａ0，ａ1，ａ2，
ａ3が算出される（＃１９０）。この係数ａ0〜ａ3は、
＃１００〜＃１８０により求められたｄＣ1〜ｄＣ6と、
フィルタＦ１〜Ｆ６の遮断波長λ1〜λ6に対応するセン
サ番号ｎ1〜ｎ6を上記数１に代入して得られる計算値ｄ
Ｃ'1〜ｄＣ'6との差の二乗和、
【００７６】
【数４】Ｆk(λ)＝Σ(ｄＣk−ｄＣ'k)2 が最小となるように求める。但し、ｋ＝１〜６の整数で
ある。
【００７７】続いて、上記数２の係数ｂ0，ｂ1，ｂ2，
ｂ3が算出される（＃２００）。この係数ｂ0〜ｂ3は、
＃１９０と同様に、＃１００〜＃１８０により求められ
たｄＷ1〜ｄＷ6と、フィルタＦ１〜Ｆ６の遮断波長に対
応するセンサ番号ｎ1〜ｎ6を上記数２に代入して得られ
る計算値ｄＷ'1〜ｄＷ'6との差の二乗和、
【００７８】
【数５】Ｈk(λ)＝Σ(ｄＷk−ｄＷ'k)2 が最小となるように求める。但し、ｋ＝１〜６の整数で
ある。
【００７９】次いで、＃１９０で求めた係数ａ0〜ａ3と
上記数１とを用いて、また、＃２００で求めた係数ｂ0
〜ｂ3と上記数２とを用いて、各センサ番号ｎに対する
中心波長及び半値幅の修正量ｄＣn，ｄＷnが求められる
（＃２１０）。
【００８０】このように、本実施形態によれば、被校正
ポリクロメータ６と光学系が同一構成の基準ポリクロメ
ータ４を備え、受光素子列６３の受光素子６３1〜６３N
の順番に対応して設定されたセンサ番号ｎをフィルタＦ
１〜Ｆ６の遮断波長に応じて与え（ｎ1〜ｎ6）、基準ポ
リクロメータ４の受光素子列４３の受光素子４３1〜４
３Nの既知の分光感度特性に対する中心波長と半値幅の
最適修正量ｄＣn，ｄＷ nをセンサ番号ｎを変数とする低
次の多項式を用いて求めるようにしたので、被校正ポリ
クロメータ６を校正するための校正データを短時間で求
めることができる。
【００８１】また、積分球３に第２、第３開口部３２，
３３を設け、フィルタＦ１〜Ｆ６を透過した基準光を各
ポリクロメータ４，６に向けて同時に射出して測定を行
うことにより、フィルタＦ１〜Ｆ６の経時変化や温度変
化による影響を受けることがないので、精度良く校正デ
ータを求めることができる。
【００８２】また、光源１を時間的に比較的安定したハ
ロゲンランプ等で構成し、光源１からの光束１１をフィ
ルタなしの素通し状態と、フィルタを透過させる状態と
の測定を短時間に連続して行い、各状態における出力デ
ータの比を求めることにより、この比データは、フィル
タＦ１〜Ｆ６の分光透過特性と各ポリクロメータ４，６
の分光感度特性のみに依存し、各ポリクロメータ４，６
の受光素子の感度の相違や光源１の分光強度による影響
が低減されるので、精度良く校正データを求めることが
できる。
【００８３】また、求めた修正量ｄＣn，ｄＷnを用いて
基準ポリクロメータ４の受光素子列４３の受光素子４３
1〜４３Nの分光感度特性の中心波長及び半値幅を修正す
ることによって、被校正ポリクロメータ６の受光素子列
６３の受光素子６３1〜６３Nの分光感度特性を求めるこ
とができる。すなわち、被校正ポリクロメータ６の校正
を容易に行うことが可能になる。
【００８４】なお、本実施形態は、被校正ポリクロメー
タ６と基準ポリクロメータ４の光学系が同一構成であれ
ば、受光素子６３1〜６３Nと受光素子４３1〜４３Nとの
分光感度特性の差は僅かであり、これによって、分光感
度特性を特徴づける中心波長と半値幅の最適修正量は、
センサ番号の低次の多項式で精度良く近似できるという
事実に基づいている。従って、被校正ポリクロメータ６
の校正データを求める前に、基準ポリクロメータ４の対
応する受光素子がほぼ同一の中心波長を持つように凹面
回折格子６２や受光素子列６３の取付位置を予め調整し
て、双方のポリクロメータ４，６の分光感度特性の差の
初期値があまり大きくならないようにしておくことが好
ましい。
【００８５】なお、本発明は、上記実施形態に限られ
ず、以下の変形形態を採用することができる。 （１）上記実施形態では、フィルタＦ１〜Ｆ６を第１開
口部３１の対向位置に配置する毎に、中心波長と半値幅
の最適修正量を求めるようにしているが、これに限られ
ず、まず、フィルタホイール２を一回転させて、素通し
の開口２１１〜２１６とフィルタＦ１〜Ｆ６付きの開口
２１〜２６を順次第１開口部３１の対向位置に配置させ
て測定を行い、各状態における受光素子列４３，６３の
受光素子４３1〜４３N，６３1〜６３Nからの出力データ
をＲＡＭ５２に格納しておき、その後に、最適修正量の
算出を行うようにしてもよい。
【００８６】（２）上記実施形態では、各フィルタＦ１
〜Ｆ６毎に最適な修正量を求めた後に、その最適修正量
を用いて上記数１、数２の係数ａ0，ａ1，ａ2，ａ3及び
ｂ0，ｂ1，ｂ2，ｂ3を求めているが、これに限られず、
係数ａ0〜ａ3，ｂ0〜ｂ3に初期値を与えて、初めから上
記数１、数２を用いて修正量を与えるようにしてもよ
い。
【００８７】すなわち、係数ａ0〜ａ3，ｂ0〜ｂ3に例え
ば全て０の初期値を与えると、上記数１、数２による修
正量は０、すなわち無修正となり、基準ポリクロメータ
４の分光感度特性が初期値として与えられることにな
る。このときのフィルタＦ１〜Ｆ６の遮断波長近傍にお
ける被校正ポリクロメータ６による測定値と基準ポリク
ロメータ４による測定値との差ｄ1(λ)〜ｄ6(λ)の各二
乗和Ｅk(λ)（ｋ＝１〜６）のｋについての和、
【００８８】
【数６】ΣＥk(λ)=E1＋Ｅ2＋Ｅ3＋Ｅ4＋Ｅ5＋Ｅ6 を求める。
【００８９】この値を出発点とし、この値より小さくな
るように、係数ａ0〜ａ3，ｂ0〜ｂ3、すなわち被校正ポ
リクロメータ６の分光感度特性を変化させていき、その
変化させた分光感度特性に基づいてＳk(λ)に数値処理
を行ってｓk(λ)を求め、差の二乗和Ｅk(λ)（ｋ＝１〜
６）を算出することを繰り返し、ΣＥk(λ)が最小とな
る係数ａ0〜ａ3，ｂ0〜ｂ3の組合せを求めればよい。
【００９０】（３）上記実施形態では、基準ポリクロメ
ータ４の受光素子列４３の受光素子４３1〜４３Nの分光
感度特性を照射型モノクロメータを用いて予め求めてＲ
ＯＭ５１に格納しておき、これを被校正ポリクロメータ
６の分光感度特性の初期値として数値処理を行っている
が、これに限られない。一般に、受光素子の分光感度特
性は、少数の定数で定義される波長を変数とする関数
（第２関数）、例えばガウス関数で精度良く近似するこ
とができる。従って、ガウス関数を用いて基準ポリクロ
メータ４の各受光素子の分光感度特性を表わし、これを
被校正ポリクロメータ６の受光素子列６３の受光素子６
３1〜６３Nの分光感度特性の初期値としてもよい。
【００９１】ガウス関数Ｇ(λ)は、下記数７で定義さ
れ、受光素子の分光感度特性に近似する山型曲線の形状
を持つ関数で、中心波長（定数）Ｃn、半値幅（定数）
Ｗn及び高さＡnが与えられると、その形状が決まる。
【００９２】
【数７】Ｇn(λ)＝Ａn・exp[c・{(λ−Ｃn)／Ｗn}2] ここで、ｎはセンサ番号で、ｎ＝０〜17、定数ｃ＝−4・
ln2である。
【００９３】この形態における校正データを求める手順
を説明する。 (a) まず、上記実施形態と同様に、予め照射型モノクロ
メータからの単色光を用いて基準ポリクロメータ４の各
受光素子の分光感度特性を測定する。 (b) 次いで、この基準ポリクロメータ４の各受光素子の
特性曲線に適合する形状のガウス関数Ｇn(λ)を与える
中心波長Ｃn及び半値幅Ｗnを各受光素子ごとに求め、高
さＡnは各特性曲線のピークが合うように１としてお
く。
【００９４】(c) 一方、各受光素子の中心波長Ｃnと半
値幅Ｗnは、センサ番号ｎに対して緩やかに変化したも
のになると考えられるので、それぞれセンサ番号ｎを変
数とする関数（第４関数）によって近似することができ
る。このセンサ番号ｎを変数とする関数は、本変形形態
では、例えば下記数８、数９に示すような３次の多項式
としている。
【００９５】
【数８】Ｃn＝ｐ0＋ｐ1・ｎ＋ｐ2・ｎ2＋ｐ3・ｎ3
【００９６】
【数９】Ｗn＝ｑ0＋ｑ1・ｎ＋ｑ2・ｎ2＋ｑ3・ｎ3 これによって、合計８個の係数（定数）ｐ0〜ｐ3，ｑ0
〜ｑ3を求めると、センサ番号ｎに対応する各受光素子
の分光感度特性が得られることになる。
【００９７】そこで、係数ｐ0〜ｐ3，ｑ0〜ｑ3は、上記
実施形態と同様に、最小二乗法で算出する。すなわち、
係数ｐ0〜ｐ3，ｑ0〜ｑ3を用いて上記数８、数９により
算出した計算値Ｃ'n，Ｗ'nと、ＲＯＭ５１に格納されて
いるＣn，Ｗnとの差の各センサ番号ｎについての二乗
和、
【００９８】
【数１０】Σ(Ｃ'n−Ｃn)2 Σ(Ｗ'n−Ｗn)2 を算出する操作を繰り返し、この二乗和が最小になると
きの係数ｐ0〜ｐ3，ｑ0〜ｑ3を求める値として、この求
めた係数ｐ0〜ｐ3，ｑ0〜ｑ3を、例えばＲＯＭ５１に予
め格納しておく。
【００９９】(d) 基準ポリクロメータ４の受光素子の分
光感度特性として、照射型モノクロメータからの単色光
を用いた測定値ではなく、係数ｐ0〜ｐ3，ｑ0〜ｑ3を用
いて上記数８、数９で求められるＣn，Ｗnによって決ま
るガウス関数Ｇ(λ)を使用する。そして、このガウス関
数Ｇ(λ)で与えられる分光感度特性を初期値とし、これ
を修正して被校正ポリクロメータ６の各受光素子の分光
感度特性を求める。
【０１００】この最適修正量ｄＣn，ｄＷnの算出は、上
記実施形態と同様に行う。すなわち、最適修正量ｄ
Ｃn，ｄＷnをセンサ番号ｎを変数とする関数（第３関
数）により近似する。この関数は、本変形形態では、例
えば上記数１、数２に示すような３次の多項式としてい
る。そして、上記数１、数２の係数ａ0〜ａ3，ｂ0〜ｂ3
を求めて、その求めた係数ａ0〜ａ3，ｂ0〜ｂ3を用いて
修正量を算出する。
【０１０１】以上の動作手順(a)〜(d)により、上記実施
形態と同様に、被校正ポリクロメータ６を校正するため
の校正データを求めることができる。
【０１０２】この変形形態によれば、中心波長及び半値
幅の初期値Ｃn，Ｗnが上記数８、数９に示すようにセン
サ番号ｎの３次多項式で表わされ、各修正量ｄＣn，ｄ
Ｗnが上記数１、数２に示すように、やはりセンサ番号
ｎの３次多項式で表わされることになる。
【０１０３】従って、下記数１１に示す、校正データを
用いて校正された中心波長及び半値幅Ｃ'n，Ｗ'nは、上
記数１、数２、数８、数９より、それぞれ下記数１２、
数１３で表わされる。
【０１０４】
【数１１】Ｃ'n＝Ｃn＋ｄＣn Ｗ'n＝Ｗn＋ｄＷｎ
【０１０５】
【数１２】Ｃ’ｎ＝(ｐ0＋ａ0)＋(ｐ1＋ａ1)・ｎ＋(ｐ2
＋ａ2)・ｎ2＋(ｐ3＋ａ3)・ｎ3
【０１０６】
【数１３】Ｗ'n＝(ｑ0＋ｂ0)＋(ｑ1＋ｂ1)・ｎ＋(ｑ2＋
ｂ2)・ｎ2＋(ｑ3＋ｂ3)・ｎ3 従って、初期値である基準ポリクロメータ４の分光感度
特性も、これを修正する修正量も、同一形式のセンサ番
号ｎを変数とする関数（ここでは、ｎの３次多項式）で
あるので、分光感度特性の修正は、センサ番号ｎの各次
の項の係数の修正ということになる。このように、分光
感度特性Ｒnの形状を決める中心波長及び半値幅Ｃn，Ｗ
nの初期値及び修正量ｄＣn，ｄＷnを、センサ番号ｎを
変数とする同一形式の関数とすることにより、測定値の
修正は各項の係数の修正に帰着し、簡素な演算処理によ
って校正データを求めることができる。
【０１０７】また、上記実施形態のように、測定値をそ
のまま基準ポリクロメータ４の受光素子の分光感度特性
として、これを初期値とする場合には、中心波長Ｃnの
修正は、分光感度特性Ｒnの特性曲線の平行移動を伴
い、半値幅Ｗnの修正は、特性曲線の波長軸方向の拡大
又は縮小が必要となり、補間等の演算が必要になる。
【０１０８】しかし、本変形形態のように、基準ポリク
ロメータ４の受光素子の分光感度特性をガウス関数Ｇ
(λ)で与えておくことにより、演算処理に全ての測定値
を必要とすることがなく、中心波長Ｃn及び半値幅Ｗnの
みが必要となり、演算に必要なデータを削減することが
でき、これによって、演算処理を簡素化することができ
る。
【０１０９】また、中心波長Ｃn及び半値幅Ｗnの修正に
伴う分光感度特性Ｒnの修正は、修正されたＣn，Ｗnを
用いてガウス関数Ｇ(λ)を計算するのみとなるので、簡
素な演算処理によって校正データを求めることができ
る。
【０１１０】（４）上記実施形態では、中心波長及び半
値幅の修正量を表わすセンサ番号ｎを変数とする関数と
して、上記数１、数２に示すように３次の多項式を用い
ているが、これに限られず、例えば２次や４次以上の多
項式を用いてもよい。
【０１１１】（５）上記変形形態（３）では、中心波長
及び半値幅Ｃn，Ｗnを表わすセンサ番号ｎを変数とする
関数として、上記数８、数９に示すように３次の多項式
を用いているが、これに限られず、例えば２次や４次の
多項式を用いてもよい。この場合において、中心波長及
び半値幅の修正量ｄＣn，ｄＷnを表わすセンサ番号ｎを
変数とする関数と同一形式の関数とすることにより、演
算を簡素なものとすることができる。
【０１１２】（６）上記実施形態では、フィルタＦ１〜
Ｆ６を透過した光源１からの光束を分配して基準ポリク
ロメータ４及び被校正ポリクロメータ６に同時に入射さ
せる光束分配手段として積分球３を用いているが、これ
に限られない。例えば、図７に示すように、摺りガラス
や、乳白ガラスなどからなる拡散板７を用いるようにし
てもよい。なお、図７では拡散板７を透過型としている
が、反射型を用いてもよい。
【０１１３】（７）上記実施形態では、フィルタＦ１〜
Ｆ６の６種類のフィルタを用いているが、これに限られ
ず、６種類未満でも７種類以上でもよい。使用するフィ
ルタの個数を増加し、各フィルタの遮断波長の差を小さ
くすると、演算処理に時間を要するが、校正データを更
に精度良く求めることができる。
【０１１４】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１、１７の
発明によれば、光学系の構成が被校正ポリクロメータと
同一の基準ポリクロメータの受光素子列の各受光素子の
分光感度特性である基準分光感度特性を予め格納し、互
いに異なる分光特性を有する複数の基準光が基準ポリク
ロメータに入射したときに基準ポリクロメータの各受光
素子から出力される電気信号からなる第１測定データ
と、各基準光が被校正ポリクロメータに入射したときに
被校正ポリクロメータの各受光素子から出力される電気
信号からなる第２測定データと、基準分光感度特性とを
用いて、被校正ポリクロメータを校正するための校正デ
ータを求めるようにしたので、低コストで、かつ短時間
に校正データを求めることができる。これによって、ポ
リクロメータの校正を容易に行うことが可能になる。
【０１１５】また、請求項２、１８の発明によれば、基
準分光感度特性を用いて第１測定データに対して補正演
算処理を施して各基準光の第１分光特性を求め、基準分
光感度特性を所定の修正量だけ修正した分光感度特性を
用いて第２測定データに対して補正演算処理を施して各
基準光の第２分光特性を求めるときに、各基準光につい
て第１分光特性との差が最小になる第２分光特性が得ら
れる修正量を校正データとすることにより、校正データ
を精度良く求めることができる。
【０１１６】また、請求項３の発明によれば、基準分光
感度特性を所定の修正量だけ修正した分光感度特性を用
いて第２測定データに対して補正演算処理を施して各基
準光の第２分光特性を求める演算を修正量を変化させて
繰り返し、その演算ごとに第１分光特性と第２分光特性
との差を受光素子列の所定の受光素子について求め、こ
れらの差が最小になるときの修正量を校正データとする
ことにより、校正データを精度良く求めることができ
る。
【０１１７】また、請求項４の発明によれば、基準分光
感度特性を近似的に表わす少なくとも１個の特性要素を
基準分光感度特性として記憶することにより、簡易な演
算処理により容易に校正データを求めることができる。
【０１１８】また、請求項５の発明によれば、特性要素
は、基準分光感度特性の中心波長と、その半値幅とを含
むものであることにより、基準ポリクロメータの光学系
が被校正ポリクロメータと同一構成になっていることか
ら両者の分光感度特性の形状が近似したものとなるの
で、中心波長及び半値幅の若干の修正量により精度良く
分光感度特性を表わすことができ、簡易な演算処理によ
り精度良く校正データを求めることができる。
【０１１９】また、請求項６の発明によれば、基準分光
感度特性を近似的に表わす少なくとも１個の特性要素を
基準分光感度特性として記憶し、特性要素を用いて第１
測定データに対して補正演算処理を施して各基準光の第
１分光特性を求め、特性要素を所定の修正量だけ修正し
たものを用いて第２測定データに対して補正演算処理を
施して各基準光の第２分光特性を求めるときに、各基準
光について第１分光特性との差が最小になる第２分光特
性が得られる修正量を校正データとするときに、特性要
素の修正量を表わす関数として、受光素子列を構成する
受光素子の順番に対応して設定されたセンサ番号を変数
とし、少なくとも１個の定数によって決まる第１関数を
設定して、第１分光特性と第２分光特性との差が最小に
なるように第１関数の定数を求めることにより、簡易な
演算処理により特性要素の修正量を求めることができ、
これによって容易に校正データを求めることができる。
【０１２０】また、請求項７の発明によれば、基準分光
感度特性を近似的に表わす関数であって、波長を変数と
し、少なくとも１個の定数によって決まる第２関数を基
準分光感度特性として記憶することにより、簡易な演算
処理により校正データを容易に求めることができる。
【０１２１】また、請求項８の発明によれば、第２関数
の定数は、基準分光感度特性の中心波長と、その半値幅
とを含むものであることにより、基準ポリクロメータの
光学系が被校正ポリクロメータと同一構成になっている
ことから両者の分光感度特性の形状が近似したものとな
るので、中心波長及び半値幅の若干の修正量により精度
良く分光感度特性を表わすことができ、簡易な演算処理
により精度良く校正データを求めることができる。
【０１２２】また、請求項９の発明によれば、基準分光
感度特性を近似的に表わす関数であって、波長を変数と
し、少なくとも１個の定数によって決まる第２関数を基
準分光感度特性として記憶し、第２関数を用いて第１測
定データに対して補正演算処理を施して各基準光の第１
分光特性を求め、第２関数の定数を所定の修正量だけ修
正したものを用いて第２測定データに対して補正演算処
理を施して各基準光の第２分光特性を求めるときに、各
基準光について第１分光特性との差が最小になる第２分
光特性が得られる修正量を校正データとするときに、第
２関数の定数の修正量を表わす関数として、受光素子列
を構成する受光素子の順番に対応して設定されたセンサ
番号を変数とし、少なくとも１個の定数によって決まる
第３関数を設定し、第１分光特性と第２分光特性との差
が最小になるように第３関数の定数を求めることによ
り、簡易な演算処理により第２関数の定数の修正量を求
めることができ、これによって校正データを容易に求め
ることができる。
【０１２３】また、請求項１０の発明によれば、第２関
数の定数を表わす関数として、受光素子列を構成する受
光素子の順番に対応して設定されたセンサ番号を変数と
し、少なくとも１個の定数によって決まる第４関数を設
定し、第４関数による第２関数の定数の計算値と本来の
第２関数の定数との差が最小になるように第４関数の定
数を求めることにより、簡易な演算処理により第２関数
の定数を求めることができ、これを用いて校正データを
容易に求めることができる。
【０１２４】また、請求項１１の発明によれば、各基準
光をそれぞれ被校正ポリクロメータ及び基準ポリクロメ
ータに同時に入射するように構成することにより、第１
測定データ及び第２測定データに対する基準光の変動に
よる影響を低減することができ、更に高精度で校正デー
タを求めることができる。
【０１２５】また、請求項１２の発明によれば、光源か
らの光束中に、互いに分光透過特性の異なる複数のフィ
ルタを順次配置することにより、互いに分光特性の異な
る基準光を簡易な構成で確実に出力することができる。
【０１２６】また、請求項１３の発明によれば、フィル
タを透過した光束を分配して基準ポリクロメータ及び被
校正ポリクロメータに入射することにより、互いに分光
特性の異なる基準光が、基準ポリクロメータ及び被校正
ポリクロメータに同時に入射することとなり、第１測定
データ及び第２測定データに対する基準光の変動による
影響を低減することができ、更に高精度で校正データを
求めることができる。
【０１２７】また、請求項１４の発明によれば、フィル
タを透過した光束を積分球の第１開口部を介して入射さ
せ、積分球内で拡散されて、第２開口部を介して基準ポ
リクロメータに向けて射出するとともに、第３開口部を
介して被校正ポリクロメータに向けて射出することによ
り、拡散光が各ポリクロメータに入射することとなり、
各ポリクロメータの入射光強度の相対レベルの変動によ
る影響を低減することができ、これによって、校正デー
タを高精度で求めることができる。
【０１２８】また、請求項１５の発明によれば、フィル
タを透過した光束を、拡散板を介して基準ポリクロメー
タ及び被校正ポリクロメータに向けて射出することによ
り、拡散光が各ポリクロメータに入射することとなり、
各ポリクロメータの入射光強度の相対レベルの変動によ
る影響を低減することができ、これによって、校正デー
タを高精度で求めることができる。
【０１２９】また、請求項１６の発明によれば、光源か
らの光束中にフィルタを配置しない第２状態における基
準ポリクロメータの受光素子列の各受光素子から出力さ
れる電気信号に対する、光源からの光束中にフィルタを
配置した第１状態における基準ポリクロメータの受光素
子列の各受光素子から出力される電気信号の比を第１測
定データとし、光源からの光束中にフィルタを配置しな
い第２状態における被校正ポリクロメータの受光素子列
の各受光素子から出力される電気信号に対する、光源か
らの光束中にフィルタを配置した第１状態における被校
正ポリクロメータの受光素子列の各受光素子から出力さ
れる電気信号の比を第２測定データとすることにより、
光源からの光束の分光特性による測定データへの影響を
低減することができ、これによって校正データを高精度
で求めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るポリクロメータの校正データ算出
装置の一実施形態の構成図である。
【図２】フィルタホイールの平面図である。
【図３】各フィルタの分光透過特性を示す図である。
【図４】受光素子の分光感度特性の一例を示す特性図で
ある。
【図５】（ａ）は中心波長の差による各ポリクロメータ
の測定値の差を示す図、（ｂ）は半値幅の差による各ポ
リクロメータの測定値の差を示す図で、それぞれ縦軸の
スケールを拡大している。
【図６】装置の動作手順を示すフローチャートである。
【図７】積分球に代えて拡散板を用いた形態を示す構成
図である。
【図８】従来のポリクロメータの校正方法を示す図であ
る。
【符号の説明】
１ 光源 ２ フィルターホイール ２０ 駆動手段 ３ 積分球 ３１ 第１開口部 ３２ 第２開口部 ３３ 第３開口部 ４ 基準ポリクロメータ ４３ 受光素子列 ５ 制御手段 ５１ ＲＯＭ（基準特性記憶手段） ５２ ＲＡＭ ５３ ＣＰＵ ５４ 測定制御手段 ５５ 演算処理手段 ６ 被校正ポリクロメータ ６３ 受光素子列 Ｆ１〜Ｆ６ フィルタ

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 入射光を波長に応じて分散する分散手段
    と、この分散手段に対して所定位置に配置され、受光し
    た光の強度に応じた電気信号を出力する受光素子が複数
    個配列されてなる受光素子列とを備えた被校正ポリクロ
    メータを校正するための校正データを求めるポリクロメ
    ータの校正データ算出装置において、 光学系の構成が上記被校正ポリクロメータと同一の基準
    ポリクロメータと、 互いに異なる分光特性を有する複数の基準光を上記被校
    正ポリクロメータ及び上記基準ポリクロメータに入射さ
    せる基準光出力手段と、 上記基準ポリクロメータの受光素子列の各受光素子の分
    光感度特性を基準分光感度特性として予め格納された基
    準特性記憶手段と、 上記各基準光が上記基準ポリクロメータに入射したとき
    に当該基準ポリクロメータの受光素子列の各受光素子か
    ら出力される電気信号からなる第１測定データと、上記
    各基準光が上記被校正ポリクロメータに入射したときに
    当該被校正ポリクロメータの受光素子列の各受光素子か
    ら出力される電気信号からなる第２測定データと、上記
    基準分光感度特性とを用いて上記校正データを算出する
    演算処理手段とを備えたことを特徴とするポリクロメー
    タの校正データ算出装置。
  2. 【請求項２】 請求項１記載のポリクロメータの校正デ
    ータ算出装置において、上記演算処理手段は、上記基準
    分光感度特性を用いて上記第１測定データに対して補正
    演算処理を施して上記各基準光の第１分光特性を求め、
    上記基準分光感度特性を所定の修正量だけ修正した分光
    感度特性を用いて上記第２測定データに対して上記補正
    演算処理を施して上記各基準光の第２分光特性を求める
    ときに、上記各基準光について上記第１分光特性との差
    が最小になる上記第２分光特性が得られる上記修正量を
    上記校正データとするものであることを特徴とするポリ
    クロメータの校正データ算出装置。
  3. 【請求項３】 請求項２記載のポリクロメータの校正デ
    ータ算出装置において、上記演算処理手段は、上記基準
    分光感度特性を所定の修正量だけ修正した分光感度特性
    を用いて上記第２測定データに対して上記補正演算処理
    を施して上記各基準光の上記第２分光特性を求める演算
    を上記修正量を変化させて繰り返し、その演算ごとに上
    記第１分光特性と上記第２分光特性との差を上記受光素
    子列の所定の受光素子について求め、これらの差が最小
    になるときの上記修正量を上記校正データとするもので
    あることを特徴とするポリクロメータの校正データ算出
    装置。
  4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載のポリク
    ロメータの校正データ算出装置において、上記基準特性
    記憶手段は、上記基準分光感度特性を近似的に表わす少
    なくとも１個の特性要素を上記基準分光感度特性として
    記憶するものであることを特徴とするポリクロメータの
    校正データ算出装置。
  5. 【請求項５】 請求項４記載のポリクロメータの校正デ
    ータ算出装置において、上記特性要素は、上記基準分光
    感度特性の中心波長と、その半値幅とを含むものである
    ことを特徴とするポリクロメータの校正データ算出装
    置。
  6. 【請求項６】 請求項１記載のポリクロメータの校正デ
    ータ算出装置において、 上記基準特性記憶手段は、上記基準分光感度特性を近似
    的に表わす少なくとも１個の特性要素を上記基準分光感
    度特性として記憶するもので、 上記演算処理手段は、上記特性要素を用いて上記第１測
    定データに対して補正演算処理を施して上記各基準光の
    第１分光特性を求め、上記特性要素を所定の修正量だけ
    修正したものを用いて上記第２測定データに対して上記
    補正演算処理を施して上記各基準光の第２分光特性を求
    めるときに、上記各基準光について上記第１分光特性と
    の差が最小になる上記第２分光特性が得られる上記修正
    量を上記校正データとするものであって、 更に、上記特性要素の修正量を表わす関数として、上記
    受光素子列を構成する受光素子の順番に対応して設定さ
    れたセンサ番号を変数とし、少なくとも１個の定数によ
    って決まる第１関数を設定し、上記第１分光特性と上記
    第２分光特性との差が最小になるように上記第１関数の
    定数を求めるものであることを特徴とするポリクロメー
    タの校正データ算出装置。
  7. 【請求項７】 請求項１〜３のいずれかに記載のポリク
    ロメータの校正データ算出装置において、上記基準特性
    記憶手段は、上記基準分光感度特性を近似的に表わす関
    数であって、波長を変数とし、少なくとも１個の定数に
    よって決まる第２関数を上記基準分光感度特性として記
    憶するものであることを特徴とするポリクロメータの校
    正データ算出装置。
  8. 【請求項８】 請求項７記載のポリクロメータの校正デ
    ータ算出装置において、上記第２関数の定数は、上記基
    準分光感度特性の中心波長と、その半値幅とを含むもの
    であることを特徴とするポリクロメータの校正データ算
    出装置。
  9. 【請求項９】 請求項１記載のポリクロメータの校正デ
    ータ算出装置において、 上記基準特性記憶手段は、上記基準分光感度特性を近似
    的に表わす関数であって、波長を変数とし、少なくとも
    １個の定数によって決まる第２関数を上記基準分光感度
    特性として記憶するもので、 上記演算処理手段は、上記第２関数を用いて上記第１測
    定データに対して補正演算処理を施して上記各基準光の
    第１分光特性を求め、上記第２関数の定数を所定の修正
    量だけ修正したものを用いて上記第２測定データに対し
    て上記補正演算処理を施して上記各基準光の第２分光特
    性を求めるときに、上記各基準光について上記第１分光
    特性との差が最小になる上記第２分光特性が得られる上
    記修正量を上記校正データとするものであって、 更に、上記第２関数の定数の修正量を表わす関数とし
    て、上記受光素子列を構成する受光素子の順番に対応し
    て設定されたセンサ番号を変数とし、少なくとも１個の
    定数によって決まる第３関数を設定し、上記第１分光特
    性と上記第２分光特性との差が最小になるように上記第
    ３関数の定数を求めるものであることを特徴とするポリ
    クロメータの校正データ算出装置。
  10. 【請求項１０】 請求項９記載のポリクロメータの校正
    データ算出装置において、上記演算処理手段は、更に、
    上記第２関数の定数を表わす関数として、上記受光素子
    列を構成する受光素子の順番に対応して設定されたセン
    サ番号を変数とし、少なくとも１個の定数によって決ま
    る第４関数を設定し、上記第４関数による上記第２関数
    の定数の計算値と上記第２関数の定数との差が最小にな
    るように上記第４関数の定数を求めるものであることを
    特徴とするポリクロメータの校正データ算出装置。
  11. 【請求項１１】 請求項１〜１０のいずれかに記載のポ
    リクロメータの校正データ算出装置において、上記基準
    光出力手段は、上記各基準光がそれぞれ上記被校正ポリ
    クロメータ及び上記基準ポリクロメータに同時に入射す
    るように構成されたものであることを特徴とするポリク
    ロメータの校正データ算出装置。
  12. 【請求項１２】 請求項１〜１１のいずれかに記載のポ
    リクロメータの校正データ算出装置において、上記基準
    光出力手段は、光束を発生する光源と、互いに分光透過
    特性の異なる複数のフィルタと、上記光源からの光束中
    に上記各フィルタを順次配置させる駆動手段とを備えた
    ものであることを特徴とするポリクロメータの校正デー
    タ算出装置。
  13. 【請求項１３】 請求項１２記載のポリクロメータの校
    正データ算出装置において、上記基準光出力手段は、更
    に、上記フィルタを透過した光束を分配して上記基準ポ
    リクロメータ及び上記被校正ポリクロメータに入射させ
    る光束分配手段を備えたものであることを特徴とするポ
    リクロメータの校正データ算出装置。
  14. 【請求項１４】 請求項１３記載のポリクロメータの校
    正データ算出装置において、上記光束分配手段は、上記
    フィルタを透過した光束が入射する第１開口部と、上記
    基準ポリクロメータに向けて光束を射出する第２開口部
    と、上記被校正ポリクロメータに向けて光束を射出する
    第３開口部とを有する積分球であることを特徴とするポ
    リクロメータの校正データ算出装置。
  15. 【請求項１５】 請求項１３記載のポリクロメータの校
    正データ算出装置において、上記光束分配手段は、上記
    フィルタと、上記基準ポリクロメータ及び上記被校正ポ
    リクロメータとの間に介設された拡散板であることを特
    徴とするポリクロメータの校正データ算出装置。
  16. 【請求項１６】 請求項１２〜１５のいずれかに記載の
    ポリクロメータの校正データ算出装置において、上記駆
    動手段を制御して、上記光源からの光束中に上記フィル
    タを配置した第１状態と、上記光束中に上記フィルタを
    配置しない第２状態とに切り替える測定制御手段を備
    え、 上記演算処理手段は、上記第２状態における上記基準ポ
    リクロメータの受光素子列の各受光素子から出力される
    電気信号に対する、上記第１状態における上記基準ポリ
    クロメータの受光素子列の各受光素子から出力される電
    気信号の比を上記第１測定データとし、 上記第２状態における上記被校正ポリクロメータの受光
    素子列の各受光素子から出力される電気信号に対する、
    上記第１状態における上記被校正ポリクロメータの受光
    素子列の各受光素子から出力される電気信号の比を上記
    第２測定データとするものであることを特徴とするポリ
    クロメータの校正データ算出装置。
  17. 【請求項１７】 入射光を波長に応じて分散する分散手
    段と、この分散手段に対して所定位置に配置され、受光
    した光の強度に応じた電気信号を出力する受光素子が複
    数個配列されてなる受光素子列とを備えた被校正ポリク
    ロメータを校正するための校正データを求めるポリクロ
    メータの校正データ算出方法において、 互いに異なる分光特性を有する複数の基準光を、順次、
    上記被校正ポリクロメータと、光学系の構成が上記被校
    正ポリクロメータと同一で、各受光素子の分光感度特性
    である基準分光感度特性が既知の基準ポリクロメータと
    に入射させ、 上記各基準光が上記基準ポリクロメータに入射したとき
    に当該基準ポリクロメータの受光素子列の各受光素子か
    ら出力される電気信号からなる第１測定データと、上記
    各基準光が上記被校正ポリクロメータに入射したときに
    当該被校正ポリクロメータの受光素子列の各受光素子か
    ら出力される電気信号からなる第２測定データと、上記
    基準分光感度特性とを用いて上記校正データを算出する
    ようにしたことを特徴とするポリクロメータの校正デー
    タ算出方法。
  18. 【請求項１８】 請求項１７記載のポリクロメータの校
    正データ算出方法において、上記基準分光感度特性を用
    いて上記第１測定データに対して補正演算処理を施して
    上記各基準光の第１分光特性を求め、上記基準分光感度
    特性を所定の修正量だけ修正した分光感度特性を用いて
    上記第２測定データに対して上記補正演算処理を施して
    上記各基準光の第２分光特性を求めるときに、上記各基
    準光について上記第１分光特性との差が最小になる上記
    第２分光特性が得られる上記修正量を上記校正データと
    するようにしたことを特徴とするポリクロメータの校正
    データ算出方法。
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