JP5896419B2 - プラズマ処理装置およびそのクリーニング方法 - Google Patents
プラズマ処理装置およびそのクリーニング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5896419B2 JP5896419B2 JP2012276073A JP2012276073A JP5896419B2 JP 5896419 B2 JP5896419 B2 JP 5896419B2 JP 2012276073 A JP2012276073 A JP 2012276073A JP 2012276073 A JP2012276073 A JP 2012276073A JP 5896419 B2 JP5896419 B2 JP 5896419B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- gas
- plasma
- processing chamber
- frequency power
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
プラズマ処理装置ではアンテナに高周波電力を供給して電磁誘導により発生する誘電磁界によってプラズマを発生させるものである。
プラズマ処理装置の構成としては、アンテナを処理室外に配置したものや、アンテナを処理室内に配置したものが知られている(例えば非特許文献1参照)。
また、プラズマ処理装置では、アンテナを処理室外に配置する場合、アンテナから発生する磁界が処理室内に及ぶように処理室壁の一部を開口して誘電体窓を設けたり、アンテナを処理室内に配置する場合、プラズマによるアンテナエッチングを回避するためアンテナとプラズマ発生部との間に誘電体を配置したりするものが知られている。
このような原料ガスを用いてプラズマ処理により成膜をする場合、ウエハなどの被処理体上のみならず、処理室の内壁面などの処理室内の部材上にシリコン系の膜が付着する。このような処理室内への膜の付着は、シリコン窒化膜(SiN膜)を成膜する場合だけでなく、種々の処理において生じることがある。付着膜は、ある程度の膜厚になると剥離してパーティクルとなって被処理体上に落下し、被処理体上に成膜中の薄膜に混入して薄膜の膜質が劣化するなどの不都合が生じることがある。また、アンテナ近傍や誘電体にも膜が形成されると、プラズマ生成に際し誘導磁界の作用が全体的または部分的に弱められてプラズマ発生が均一にできなかったり、不安定になったりする問題もある。
具体的には、例えば三フッ化窒素(NF3)ガスなどのフッ素系ガスをクリーニングガスとして処理室内に導入するとともに、アンテナに高周波電流を流すことによりフッ素系ガスをプラズマ化する。プラズマ化されたフッ素系ガスは、処理室の内壁面などに堆積したシリコン系の膜と反応し、シリコン系の膜が分解されて四フッ化ケイ素(SiF4)のガスとして処理室外に排出される。
また、クリーニング後には、フッ素系ガスやその分解成分を処理室内から十分に排除する必要があり、処理に時間を要し生産効率が低下する。また、上記排除によっても処理室内においては、クリーニングの結果生じるフッ素成分を完全に除去することが難しく、クリーニング処理直後の通常処理では残存成分による悪影響が生じるおそれがある。
また、上記のようにフッ素系ガスは、腐食性の他、毒性、温室効果などの特性を有するものもあり、排ガスの除害処理を行うことが必要になるという負担もある。
プラズマ発生用のクリーニングガスを前記処理室内に導入し、前記クリーニングの際の高周波電力を、通常処理時の高周波電力よりも低くし、かつ、前記クリーニングの際の処理室内の圧力を通常処理時の処理室内の圧力よりも低くして、通常処理時よりも相対的に前記アンテナに近い側にプラズマを発生させ、前記プラズマによって前記処理室内のクリーニングを行い、前記クリーニングによる第1のクリーニングと、腐食性ガスを用いて前記第1のクリーニング時の高周波電力よりも高い高周波電力でプラズマを発生させる第2のクリーニングとをそれぞれ時機を異にして行うことを特徴とする。
第4の本発明のプラズマ処理装置のクリーニング方法は、前記第1〜第3の本発明において、前記通常処理時の際の処理室内圧力が、20Pa超であることを特徴とする。
なお、通常処理時よりも相対的にアンテナに近い側でプラズマが発生するとは、発生する位置が通常処理時よりもアンテナに近い側であること、また、プラズマの発生が通常処理時よりもアンテナに近い側に偏っていることの一方または両方を意味する。なお、通常処理には、成膜、エッチング処理などを含む。
なお、本発明においても、クリーニングガスとして、フッ素系ガスなどの腐食性ガスを用いることも可能ではあり、プラズマの作用がアンテナに近い側に及ぶので、処理室全体に対するガスの悪影響は小さくなる。したがってフッ素系ガスなどの腐食性ガスを用いても、処理室内の部材への腐食ダメージが小さくなる。また、所望により腐食性ガスの量を少なくして処理をすることもできる。
例えば、クリーニングの際の高周波電力を、通常処理時の高周波電力の1/3以下にすることにより、クリーニングが可能な程度にプラズマを発生させることができる。
また、クリーニングの際にアンテナ1本あたりに供給する高周波電力を10W/cm2未満とすることができる。
通常処理時よりも相対的にアンテナに近い側に発生させるプラズマによるクリーニングを適宜行うことで、アンテナによる誘導磁界を安定化することができる。アンテナ近傍への膜付着による影響は、処理室内全体への膜付着による影響よりも比較的短時間で生じる。このため、従来、腐食性ガスを用いたクリーニングでは、アンテナ近傍での膜付着による影響排除を考慮してクリーニング周期を定めている。一方、本発明では、アンテナ近傍の膜剥離は通常処理時よりも相対的にアンテナに近い側に発生させるプラズマによるクリーニングで行い、処理室全体への膜剥離は腐食性ガスを用いてクリーニングを行うことで、腐食性ガスを用いたクリーニングについて、回数を少なくし、またクリーニング間隔を長くすることができ、腐食性ガスを用いたクリーニングによる悪影響が軽減される上に、クリーニングが効果的になされる。
例えば、単一の可変出力の高周波電源を用いて、クリーニング時にアンテナに供給する高周波電力と通常処理時の高周波電力とを調整するようにしてもよい。また、プラズマをアンテナに近い側に発生させるクリーニング時の高周波電源と、通常処理時の高周波電源とを別体で備えるものであってもよい。
本発明の一実施形態の誘導結合型のプラズマ処理装置1について図1を用いて説明する。
この形態のプラズマ処理装置は、原料ガスにSiH4を用い、N2との反応により、SiN膜を形成する外部アンテナ式プラズマCVD装置に係るものである。
処理室2内には、被処理体である基板4を保持するための基板ホルダー5が設けられている。基板4は、シリコンウエハなどの半導体基板や、ガラス基板などである。基板ホルダー5には、図示しない基板用ヒーターを設けて基板ホルダー5上の基板4を加熱できるようにしてもよい。また、基板ホルダー5を処理室2と絶縁し、さらに図示しないバイアスを掛けられるバイアス電源を備えることで、基板ホルダー5上の基板4にバイアスを印加した状態でプラズマ処理を行うことができる。
高周波プラズマ源6は処理室2の上部壁部に設けられた誘電体の窓8の外側直上に設置されており、誘電体の窓8を通して処理室2内のプラズマ生成部9でプラズマを発生させることができる。
一方、処理室2の他側壁には、処理室2内にSiN膜形成用の反応ガスとクリーニングガスを兼用するN2ガスを供給するN2ガス供給部25が設けられている。N2ガス供給部25は、処理室2に一端が接続されたN2ガス導入管26と、N2ガス導入管26の他端に接続されたN2ガスソース27とを備えている。N2ガス供給部25は、本発明のクリーニングガス導入ラインにも相当する。
また、この実施形態ではクリーニングガスとして成膜用のN2ガスを兼用しているが、他の不活性ガス、例えばArガスやH2を供給する供給部を別途設けて使用しても構わない。また、供給部の位置、数も原料ガスと同様に限定されるものではない。
この実施形態では、成膜用のガスを用いるため成膜に用いる導入管を用いているが、クリーニングガス専用の導入管を設けることも可能である。
基板ホルダー5上に、被処理体である基板4を載置して保持し、真空排気系3により処理室2内を真空排気して、処理室2内を所定の圧力の真空状態とする。処理室2内が所定圧力となった後、基板ホルダー5を基板用ヒーターで加熱し、基板ホルダー5上の基板4を所定の温度に調整する。なお、真空排気系3では、以後、処理室2内を所定の圧力に維持するように排気を継続する。
次いで、真空排気系3により処理室2内を真空排気して、処理室2内を所定の圧力の真空状態とする。真空排気系3では、以後、処理室2内が所定の圧力に維持されるように排気を継続する。
また高周波プラズマ源6には、マッチングボックス10を介して高周波電源11から高周波電力を供給する。このとき印加する電力は、安定放電可能な電力、具体的には10W/cm2以下が望ましい。これは通常処理時の高周波電力の1/3以下になっている。すなわち、この場合、高周波電源11は、クリーニング用高周波電源として機能する。
本実施形態では、処理室2にてフッ素系のクリーニングガスを使用しないので、処理室内の構成部材に制限がなく、かつフッ素系クリーニングガス用の除害装置を必要としない。
また、フッ素系ガスなどの腐食性ガスを用いた場合でも、プラズマ発生がアンテナ近傍に限られるため、処理室2内の構成部品に与えるダメージが小さくなり、構成部品の耐食性を従来よりも低いものにすることができる。
なお、上記実施形態では、1つの高周波電源で、通常時高周波電源とクリーニング用高周波電源とを兼ねるものとしている。本発明としては、通常時高周波電源とクリーニング用高周波電源とを別体で構成するものにしてもよい。
図2のプラズマ処理装置1aは、高周波電源として通常時高周波電源11aとクリーニング用高周波電源11bとを備えるものであり、それぞれマッチングボックス10a、10bを介して高周波プラズマ源6に接続されている。なお、その他の構成では、前記実施形態と同様であり、前記実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。
この実施形態では、通常時とクリーニング時とで高周波電源を切り替えて使用する以外は、通常時の処理およびクリーニング処理ともに前記実施形態のプラズマ処理装置1と同様に行うことができる。
なお、上記各実施形態では、外部アンテナ式のプラズマ処理装置について説明したが、処理室内部にアンテナを備えるものであってもよい。以下、図3に基づいて説明する。なお、前記各実施形態と同様の構成については、同一の符号を付してその説明を省略または簡略化する。
この実施形態のプラズマ処理装置1bにおいても、原料ガスにSiH4を用い、N2との反応により、SiN膜を形成するプラズマCVD装置であり、内部アンテナ式である。
処理室2内には、基板4を保持するための基板ホルダー5が設けられている。
処理室2の外側上部には、一個もしくは複数の高周波プラズマ源30が設けられ、高周波印加プラズマ源30にはアンテナ31が接続されて処理室2内に位置している。高周波プラズマ源30にはマッチングボックス10を介して高周波電源11の一方が接続されており、高周波電源11の他方は接地電位に接続されている。また、処理室2も同様に接地電位に接続されている。高周波電源11の出力周波数は、例えば13.56MHzである。
アンテナ31は、表面が誘電体32で覆われており、誘電体32を通して処理室2内のプラズマ生成部9でプラズマを発生させる。
基板ホルダー5上に、被処理体である基板4を載置して保持し、真空排気系3により処理室2内を真空排気して、処理室2内を所定の圧力の真空状態とする。処理室2内が所定圧力となった後、基板ホルダー5を基板用ヒーターで加熱し、基板ホルダー5上の基板4を所定の温度に調整する。なお、真空排気系3では、以後、処理室2内を所定の圧力(例えば20Pa超)に維持するように排気を継続する。
また高周波プラズマ源30には、マッチングボックス10を介して高周波電源11から高周波電力を供給する。この場合、高周波電源11は、通常時高周波電源として機能する。すると、アンテナ31の近傍では、原料および反応ガスがプラズマ生成部9に送り出され、誘電体窓32を通して発生する高周波電界に晒されてプラズマ化する。この結果、基板4にシリコン窒化膜からなる薄膜が堆積する。また、その一方で、基板4だけでなく、処理室2内の各構成部品に膜が付着し、堆積する。
次いで、真空排気系3により処理室2内を真空排気して、処理室2内を所定の圧力の真空状態とする。真空排気系3では、以後、処理室2内が所定の圧力に維持されるように排気を継続する。
また高周波プラズマ源30には、マッチングボックス10を介して高周波電源11から高周波電力を供給する。このとき印加する電力は、10W/cm2以下が望ましい。これは通常処理時における高周波電力の1/3以下になっている。すなわち、この場合、高周波電源11は、クリーニング用高周波電源として機能する。
この実施形態でも、高周波電源として通常時高周波電源とクリーニング用高周波電源とを別体で備えるものであってもよい。
従来は、図4(b)に示すように、所定の稼働時間が処理回数などに応じてフッ素系ガスなどの腐食性ガスを用いたクリーニングが行われている。この手順を図4(b)のフローチャートに基づいて説明する。なお、この例では、クリーニングを行う閾値として稼働時間Aが定められている。
装置が稼働した後、クリーニング後稼働合計時間T=0が初期セットされ、プラズマ処理(稼働時間t)が行われると、Tにtを加算する(ステップs10)。なお、Tは、プラズマ処理装置の不揮発メモリなどに格納しておき、装置が電源オフされた状態でも保持されるようにする。
加算されたTは閾値Aと比較され、TがA以上であるかの判定が行われる(ステップs11)。判定は、コンピュータによって行われるものでもよく、またオペレータが判定を行うものであってもよい。TがA以上でない場合、終了かを判定し(ステップs14)、終了でなければ(ステップs14、N)、ステップs10に戻って継続する。なお、この間、装置のオンオフとは関係なく、装置がオンになれば手順がその時点で開始される。
上記手順により稼働時間がAに達する毎にフッ素系ガスを用いたクリーニングを行うことができる。
装置が稼働した後、低電力不活性ガスクリーニング後稼働合計時間T1=0が初期セットされ、高電力フッ素系ガスクリーニング後稼働合計時間T2=0が初期セットされる。
先ず、加算されたT1が閾値bと比較され、T1がb以上であるかの判定が行われる(ステップs2)。判定は、コンピュータによって行われるものでもよく、またオペレータが判定を行うものであってもよい。
T1がb以上でない場合(ステップs2、N)、ステップs5に移行し、T2が閾値aと比較され、T2がa以上であるかの判定が行われる(ステップs5)。判定は、コンピュータによって行われるものでもよく、またオペレータが判定を行うものであってもよい。
T2がa以上でなければ終了かを判定し(ステップs8)、終了でなければ(ステップs8、N)、ステップs1に戻って継続する。なお、この間、装置のオンオフとは関係なく、装置がオンになれば手順がその時点で開始される。
上記手順により短い周期で低電力不活性ガスクリーニングが行われ、長い周期で高電力フッ素系ガスクリーニングが行われることにより、全体としてフッ素系ガスを用いたクリーニングの回数を減らし、周期を長くすることができる。また、a+b>Aとすれば、クリーニング回数を増やすことなく効果的なクリーニングを行うことができる。
1a プラズマ処理装置
1b プラズマ処理装置
2 処理室
4 基板
6 高周波プラズマ源
7 アンテナ
8 誘電体窓
9 プラズマ生成部
11 高周波電源
11a 通常処理時高周波電源
11b クリーニング用高周波電源
25 N2ガス供給部
26 N2ガス導入管
31 アンテナ
32 誘電体
Claims (6)
- 高周波電力をアンテナに供給しプラズマを処理室内に発生させて処理を行うプラズマ処理装置のクリーニング方法であって、
プラズマ発生用のクリーニングガスを前記処理室内に導入し、前記クリーニングの際の高周波電力を、通常処理時の高周波電力よりも低くし、かつ、前記クリーニングの際の処理室内の圧力を通常処理時の処理室内の圧力よりも低くして、通常処理時よりも相対的に前記アンテナに近い側にプラズマを発生させ、前記プラズマによって前記処理室内のクリーニングを行い、前記クリーニングによる第1のクリーニングと、腐食性ガスを用いて前記第1のクリーニング時の高周波電力よりも高い高周波電力でプラズマを発生させる第2のクリーニングとをそれぞれ時機を異にして行うことを特徴とするプラズマ処理装置のクリーニング方法。 - 前記第1のクリーニングの際の高周波電力が、通常処理時の高周波電力の1/3以下であることを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理装置のクリーニング方法。
- 前記第1のクリーニングの際の処理室内圧力が、20Pa以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ処理装置のクリーニング方法。
- 前記通常処理時の際の処理室内圧力が、20Pa超であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のプラズマ処理装置のクリーニング方法。
- 前記第1のクリーニングに用いられるクリーニングガスが、水素ガス、窒素ガス、およびアルゴンガスのうちの1種または2種以上からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のプラズマ処理装置のクリーニング方法。
- 前記第1のクリーニングに用いられるクリーニングガスが、前記通常処理時に前記処理室内に導入するガスの少なくとも1種と同種であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のプラズマ処理装置のクリーニング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012276073A JP5896419B2 (ja) | 2012-12-18 | 2012-12-18 | プラズマ処理装置およびそのクリーニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012276073A JP5896419B2 (ja) | 2012-12-18 | 2012-12-18 | プラズマ処理装置およびそのクリーニング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014120680A JP2014120680A (ja) | 2014-06-30 |
JP5896419B2 true JP5896419B2 (ja) | 2016-03-30 |
Family
ID=51175261
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012276073A Expired - Fee Related JP5896419B2 (ja) | 2012-12-18 | 2012-12-18 | プラズマ処理装置およびそのクリーニング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5896419B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230001280A (ko) * | 2021-06-28 | 2023-01-04 | 주식회사 원익아이피에스 | 챔버내부처리방법 및 기판처리방법 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2913671B2 (ja) * | 1989-06-29 | 1999-06-28 | ソニー株式会社 | Ecrプラズマcvd装置及びこれを用いた半導体装置の製造方法 |
JP2945420B2 (ja) * | 1989-10-27 | 1999-09-06 | 株式会社日立製作所 | プラズマ処理装置 |
JPH04192325A (ja) * | 1990-11-24 | 1992-07-10 | Hitachi Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置およびマイクロ波導入窓のクリーニング方法 |
JP3277552B2 (ja) * | 1992-06-08 | 2002-04-22 | ソニー株式会社 | Ecrプラズマcvd法 |
JP3181473B2 (ja) * | 1993-08-19 | 2001-07-03 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JPH08107073A (ja) * | 1994-10-05 | 1996-04-23 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置、及びその洗浄方法 |
JP3599834B2 (ja) * | 1995-05-30 | 2004-12-08 | アネルバ株式会社 | プラズマ処理装置 |
JPH09148255A (ja) * | 1995-11-27 | 1997-06-06 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 反応容器内のクリーニング方法 |
JP3510434B2 (ja) * | 1996-11-25 | 2004-03-29 | 株式会社アルバック | プラズマ処理装置、クリーニング方法 |
JP3592878B2 (ja) * | 1997-02-20 | 2004-11-24 | 株式会社日立製作所 | プラズマクリーニング方法 |
JP5163894B2 (ja) * | 2008-11-11 | 2013-03-13 | 信越化学工業株式会社 | ドライエッチング時間の決定方法、及びドライエッチング方法 |
-
2012
- 2012-12-18 JP JP2012276073A patent/JP5896419B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014120680A (ja) | 2014-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102158307B1 (ko) | 플라즈마 프로세싱 챔버에서의 인-시튜 챔버 세정 효율 향상을 위한 플라즈마 처리 프로세스 | |
US6923189B2 (en) | Cleaning of CVD chambers using remote source with cxfyoz based chemistry | |
JP4860087B2 (ja) | エッチング方法 | |
JP3571404B2 (ja) | プラズマcvd装置及びその場クリーニング後処理方法 | |
JP2012023385A (ja) | 残存フォトレジスト及び残留側壁パッシベーションを除去する、その場でのポストエッチング工程 | |
WO2009119627A1 (ja) | 金属系膜の成膜方法および記憶媒体 | |
US10553409B2 (en) | Method of cleaning plasma processing apparatus | |
JP2021184505A (ja) | 基板処理システム及び基板処理方法 | |
JP5548028B2 (ja) | 堆積チャンバのリモートクリーニング方法 | |
KR101953149B1 (ko) | 플라스마 처리 방법 | |
KR20160149151A (ko) | 플라즈마 처리 방법 | |
JP2015211156A (ja) | ドライクリーニング方法及びプラズマ処理装置 | |
KR102538188B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치의 세정 방법 | |
JP5896419B2 (ja) | プラズマ処理装置およびそのクリーニング方法 | |
US6545245B2 (en) | Method for dry cleaning metal etching chamber | |
JP2003309105A (ja) | プラズマ処理方法 | |
JP2004214609A (ja) | プラズマ処理装置の処理方法 | |
KR20140001023A (ko) | 반도체 제조장비용 ain 히터의 클리닝 장치 및 클리닝 방법 | |
JP2011249405A (ja) | ドライエッチング装置のプラズマクリーニング方法 | |
JP2004296512A (ja) | プラズマ処理装置のクリーニング方法 | |
JP4958658B2 (ja) | プラズマ処理方法 | |
JP4052477B2 (ja) | プラズマ処理装置のクリーニング方法 | |
KR20090020925A (ko) | 반도체 장비의 세정방법 | |
JP2005142596A (ja) | 半導体製造装置の洗浄方法、及び半導体装置の製造方法 | |
JP2016076515A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150319 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151202 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160201 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160224 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160224 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5896419 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |