JP4052477B2 - プラズマ処理装置のクリーニング方法 - Google Patents
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クリーニングの際の前記RF周波数を10MHz以上15MHz以下とし、チャンバ内の処理圧力を100mTorr以上1Torr以下とし、RF周波数の高周波電力を1W/sccm以上5W/sccm以下とし、
まず希ガスのプラズマを形成し、その後フッ素系のガスのプラズマを形成することでフッ素の+イオンを発生させ、フッ素の−イオンを低減させてクリーニングを行うこと。
請求項1に記載する発明は、上記1)の如き構成を有するので、従来技術で使用しているRF周波数及びこの近傍の周波数で処理圧力を低下させれば良く、極めて容易にAlFの発生を防止するクリーニングを実現し得るという効果を奏する。これによりチャンバを構成するAl乃至Al2O3がフッ化され、AlFが形成されることはなかった。すなわち、従来の装置においてチャンバの分解を伴う別のクリーニングを行う必要があるウェハ処理枚数を上回る5,000枚のウェハーに成膜処理を行った後、チャンバを分解してAl乃至Al2O3部分を観察したが、AlFの発生は認められなかった。また、パーティクルカウンタで0.2μm以上のパーティクルの数をカウントしたが、数十個であり、問題にならない数であった。
これは、当該クリーニング条件では、フッ素ガスプラズマ中のフッ素イオンの運動エネルギーが低減され、筒部1aのAl及び天井板1bのAl2O3のフッ化が抑制されたと考えられる。
この結果、チャンバの内面に付着する堆積膜をフッ素系ガスのプラズマでクリーニングするだけで、チャンバを分解してのAl除去のためのクリーニングは実施する必要がない。このため、当該プラズマ処理装置のメンテナンスが極めて容易になるばかりでなく、その稼働効率を飛躍的に向上させることができる。
又、希ガス雰囲気中で誘導結合プラズマが発生した状態で、フッ素系ガスを供給するので、フッ素系ガスを含む雰囲気で誘導ガスプラズマを安定に発生することができるという固有の効果を奏する。ちなみに、最初からフッ素系ガスを供給した場合には、プラズマを形成するのが困難であったり、確実性がなかったりするという問題を有しており、特にこの問題点は誘導プラズマ結合(ICP)装置で誘導結合プラズマを形成する際に顕著である。本発明ではかかる問題点をも解消し得る。
又、フッ素系ガス流量に対するRFパワーが高い程、クリーニング効果は顕著になるのに対し、RFパワーが高すぎるとフッ化反応が発生し易いという背反する要件のバランスを採って両要件を同時に十分満足し得るという固有の効果を奏する。
又、チャンバのAl2O3部分のフッ化反応を抑制して、この点でもAlFの発生を抑制し得るという固有の効果を奏する。
11a 筒部
11b 天井板
13 給電アンテナ
14 プラズマ
15 ウェハー
Claims (1)
- チャンバの上端部を閉塞する純度が99.9%以上のAl 2 O 3 からなる平板状の天井板と、天井板の上部に給電アンテナとを設け、フッ素系のクリーニングガスを前記チャンバ内に供給し、給電アンテナを用いRF周波数の電磁波を密閉空間を形成するチャンバ内に入射することにより、前記チャンバ内に供給されたクリーニングガスをプラズマ化することで誘導結合型のプラズマ処理装置をクリーニングする方法であって、
クリーニングの際の前記RF周波数を10MHz以上15MHz以下とし、チャンバ内の処理圧力を100mTorr以上1Toor以下とし、RF周波数の高周波電力を1W/sccm以上5W/sccm以下とし、
まず希ガスのプラズマを形成し、その後フッ素系のガスのプラズマを形成することでフッ素の+イオンを発生させ、フッ素の−イオンを低減させてクリーニングを行うことを特徴とするプラズマ処理装置のクリーニング方法。
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