JP2012243958A - プラズマ処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チタンを含有する金属化合物の膜を含むウエハ102を、エッチング処理室101内の試料台103に載置し、ガス導入部104からフッ素を含有するガスを導入してエッチング処理を行い、Cl2ガスとCHF3ガスの混合ガス、または、Cl2ガスとCHF3ガスとSiの混合ガスを用いて、エッチング処理室101内に蓄積されるフッ化チタン系反応生成物を除去するプラズマクリーニングを行う。
【選択図】図4
Description
102 被処理基板
103 試料台
104 ガス導入部
105 透過窓
106 整合器
107 導波管
108 マイクロ波導入窓
109 ソレノイドコイル
110 静電吸着電源
111 チラーユニット
112 冷却ガス供給口
113 高周波電源
114 ターボ分子ポンプ
115 ドライポンプ
201 レジスト膜
202 有機膜
203 TiN膜
204 Low−k膜
S01 製品ウエハ搬入
S02 製品ウエハ処理
S03 製品ウエハ搬出
S04 製品ウエハ繰り返し判断
S05 クリーニングウエハ搬入
S06 クリーニングウエハ処理
S07 クリーニングウエハ搬出
Claims (4)
- チタンを含有する金属化合物の膜を含む被処理基板を、フッ素を含有するガスを用いてエッチング処理するエッチング処理室内をプラズマクリーニングするプラズマ処理方法において、
前記プラズマクリーニングは、Cl2ガスとCHF3ガスの混合ガスを用いて、前記エッチング処理室内に蓄積されるフッ化チタン系反応生成物を除去するプラズマクリーニングであることを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項1記載のプラズマ処理方法において、
前記プラズマクリーニングは、Cl2ガスとCHF3ガスの混合ガスを用いたプラズマにさらにシリコンを供給して、前記エッチング処理室内に蓄積されるフッ化チタン系反応生成物を除去するプラズマクリーニングであることを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項1記載のプラズマ処理方法において、
前記プラズマクリーニングは、前記被処理基板を前記エッチング処理室内の試料台に載置した状態で行うことを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項1記載のプラズマ処理方法において、
前記プラズマクリーニングは、前記エッチング処理室内の試料台に載置した前記被処理基板へ高周波電源を印加して行うことを特徴とするプラズマ処理方法。
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- 2011-05-19 JP JP2011112764A patent/JP2012243958A/ja active Pending
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