JP5891920B2 - 変調器集積型レーザ素子 - Google Patents
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- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 167
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 72
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 70
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 41
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 33
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 claims description 3
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 220
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 21
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 13
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 13
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000009931 harmful effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000012792 core layer Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
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- H01S5/0265—Intensity modulators
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/04—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping, e.g. by electron beams
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- H01S5/0425—Electrodes, e.g. characterised by the structure
- H01S5/04256—Electrodes, e.g. characterised by the structure characterised by the configuration
- H01S5/04257—Electrodes, e.g. characterised by the structure characterised by the configuration having positive and negative electrodes on the same side of the substrate
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
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- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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- H01S2301/176—Specific passivation layers on surfaces other than the emission facet
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- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/0206—Substrates, e.g. growth, shape, material, removal or bonding
- H01S5/0208—Semi-insulating substrates
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/0233—Mounting configuration of laser chips
- H01S5/02345—Wire-bonding
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- H01S5/042—Electrical excitation ; Circuits therefor
- H01S5/0421—Electrical excitation ; Circuits therefor characterised by the semiconducting contacting layers
- H01S5/0422—Electrical excitation ; Circuits therefor characterised by the semiconducting contacting layers with n- and p-contacts on the same side of the active layer
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- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
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- H01S5/22—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure
- H01S5/2205—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers
- H01S5/2222—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers having special electric properties
- H01S5/2224—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers having special electric properties semi-insulating semiconductors
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- H01S5/227—Buried mesa structure ; Striped active layer
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- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/32—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures
- H01S5/3211—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures characterised by special cladding layers, e.g. details on band-discontinuities
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- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/343—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
- H01S5/34306—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser emitting light at a wavelength longer than 1000nm, e.g. InP based 1300 and 1500nm lasers
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Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る変調器集積型レーザ素子の平面図である。変調器集積型レーザ素子10は、レーザ部12と分離部14と変調部16が同一基板上にモノリシック形成されたものである。分離部14は一方でレーザ部12と接し、他方で変調部16と接することでレーザ部12と変調部16の間に位置してこれらを分離している。
第2下クラッド層60の上には第1吸収層62が形成されている。なお、第2下クラッド層60は、その幅を狭くするために第1吸収層62の直下にのみ形成されている。
本発明の実施の形態2に係る変調器集積型レーザ素子は、実施の形態1に係る変調器集積型レーザ素子と共通点が多い。そのため実施の形態1に係る変調器集積型レーザ素子との相違点を中心に説明する。
本発明の実施の形態3に係る変調器集積型レーザ素子は、実施の形態1に係る変調器集積型レーザ素子と共通点が多い。そのため実施の形態1に係る変調器集積型レーザ素子との相違点を中心に説明する。
本発明の実施の形態4に係る変調器集積型レーザ素子は、実施の形態1に係る変調器集積型レーザ素子と共通点が多い。そのため実施の形態1に係る変調器集積型レーザ素子との相違点を中心に説明する。
本発明の実施の形態5に係る変調器集積型レーザ素子は、実施の形態3に係る変調器集積型レーザ素子と共通点が多い。そのため実施の形態3に係る変調器集積型レーザ素子との相違点を中心に説明する。
本発明の実施の形態6に係る変調器集積型レーザ素子は分離部に特徴がある。そして、レーザ部と変調部については実施の形態1乃至4のいずれかに開示したものを採用する。
Claims (5)
- レーザ部と、分離部と、変調部が同一基板上に形成された変調器集積型レーザ素子であって、
前記レーザ部は、前記基板の上に形成された第1下クラッド層と、前記第1下クラッド層の上に形成された活性層と、前記活性層の上方に形成された第1アノード電極と、一部が前記第1下クラッド層と接する第1カソード電極を有し、
前記分離部は、前記レーザ部と接し、前記基板の上に形成された第2下クラッド層と、前記活性層とつながるように前記第2下クラッド層の上に形成された第1吸収層を有し、
前記変調部は、前記分離部と接し、前記基板の上に形成された第3下クラッド層と、前記第1吸収層とつながるように前記第3下クラッド層の上に形成された第2吸収層と、前記第2吸収層の上方に形成された第2アノード電極と、一部が前記第3下クラッド層と接する第2カソード電極とを有し、
前記基板は半絶縁体で形成され、
前記第1下クラッド層と、前記第2下クラッド層と、前記第3下クラッド層は一体的に形成され、
前記変調器集積型レーザ素子の短手方向の前記第2下クラッド層の幅は、前記第1下クラッド層の幅、及び前記第3下クラッド層の幅よりも狭く、
前記第2下クラッド層は、半絶縁体又はキャリア濃度が1×10 17 cm −3 以下の層で形成されたことを特徴とする変調器集積型レーザ素子。 - レーザ部と、分離部と、変調部が同一基板上に形成された変調器集積型レーザ素子であって、
前記レーザ部は、前記基板の上に形成された第1下クラッド層と、前記第1下クラッド層の上に形成された活性層と、前記活性層の上方に形成された第1アノード電極と、一部が前記第1下クラッド層と接する第1カソード電極を有し、
前記分離部は、前記レーザ部と接し、前記基板の上に形成された第2下クラッド層と、前記活性層とつながるように前記第2下クラッド層の上に形成された第1吸収層を有し、
前記変調部は、前記分離部と接し、前記基板の上に形成された第3下クラッド層と、前記第1吸収層とつながるように前記第3下クラッド層の上に形成された第2吸収層と、前記第2吸収層の上方に形成された第2アノード電極と、一部が前記第3下クラッド層と接する第2カソード電極とを有し、
前記基板は半絶縁体で形成され、
前記第1下クラッド層と、前記第2下クラッド層と、前記第3下クラッド層は一体的に形成され、
前記変調器集積型レーザ素子の短手方向の前記第2下クラッド層の幅は、前記第1下クラッド層の幅、及び前記第3下クラッド層の幅よりも狭く、
前記活性層と前記第1アノード電極の間に形成された第1上クラッド層と、
前記第1吸収層の上に形成された第2上クラッド層と、
前記第2吸収層と前記第2アノード電極の間に形成された第3上クラッド層と、有し、
前記第2上クラッド層又は前記第2下クラッド層は半絶縁体又はキャリア濃度が1×10 17 cm −3 以下の層で形成されたことを特徴とする変調器集積型レーザ素子。 - レーザ部と、分離部と、変調部が同一基板上に形成された変調器集積型レーザ素子であって、
前記レーザ部は、前記基板の上に形成された第1下クラッド層と、前記第1下クラッド層の上に形成された活性層と、前記活性層の上方に形成された第1アノード電極と、一部が前記第1下クラッド層と接する第1カソード電極を有し、
前記分離部は、前記レーザ部と接し、前記基板の上に形成された第2下クラッド層と、前記活性層とつながるように前記第2下クラッド層の上に形成された第1吸収層を有し、
前記変調部は、前記分離部と接し、前記基板の上に形成された第3下クラッド層と、前記第1吸収層とつながるように前記第3下クラッド層の上に形成された第2吸収層と、前記第2吸収層の上方に形成された第2アノード電極と、一部が前記第3下クラッド層と接する第2カソード電極とを有し、
前記基板は半絶縁体で形成され、
前記第1下クラッド層と、前記第2下クラッド層と、前記第3下クラッド層は一体的に形成され、
前記変調器集積型レーザ素子の短手方向の前記第2下クラッド層の幅は、前記第1下クラッド層の幅、及び前記第3下クラッド層の幅よりも狭く、
前記第3下クラッド層は、
前記第2吸収層の直下の第2吸収層直下部と、
前記変調部の表面から少なくとも前記基板にまで及ぶ溝によって前記第2吸収層直下部と離れて形成された離間部と、を有し、
前記溝の壁面に沿って絶縁膜が形成され、
前記第2アノード電極は、
前記第2吸収層直下部の上方の第2吸収層直上部と、
前記絶縁膜に沿って形成された溝部と、
前記離間部の上方に形成されたワイヤボンディング部と、を有し、
前記離間部と前記第2下クラッド層は絶縁されたことを特徴とする変調器集積型レーザ素子。 - 前記活性層、前記第1吸収層、及び前記第2吸収層は幅が均一のストライプ状導波路を形成し、
前記第2下クラッド層は、前記第1吸収層の直下にのみ形成されたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の変調器集積型レーザ素子。 - 前記活性層、前記第1吸収層、又は前記第2吸収層の少なくとも1つを光の伝播方向と垂直方向に埋め込む、半絶縁体又はキャリア濃度が1×10 17 cm −3 以下の層で形成された埋め込み層を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の変調器集積型レーザ素子。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012092904A JP5891920B2 (ja) | 2012-04-16 | 2012-04-16 | 変調器集積型レーザ素子 |
US13/737,088 US20130272326A1 (en) | 2012-04-16 | 2013-01-09 | Modulator integrated laser device |
CN201310128713.1A CN103378544B (zh) | 2012-04-16 | 2013-04-15 | 调制器集成型激光器元件 |
US14/629,626 US20150171592A1 (en) | 2012-04-16 | 2015-02-24 | Modulator integrated laser device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012092904A JP5891920B2 (ja) | 2012-04-16 | 2012-04-16 | 変調器集積型レーザ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013222795A JP2013222795A (ja) | 2013-10-28 |
JP5891920B2 true JP5891920B2 (ja) | 2016-03-23 |
Family
ID=49325031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012092904A Active JP5891920B2 (ja) | 2012-04-16 | 2012-04-16 | 変調器集積型レーザ素子 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20130272326A1 (ja) |
JP (1) | JP5891920B2 (ja) |
CN (1) | CN103378544B (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6365357B2 (ja) * | 2015-03-11 | 2018-08-01 | 三菱電機株式会社 | 光半導体装置の製造方法 |
JP6654503B2 (ja) * | 2016-05-02 | 2020-02-26 | 日本電信電話株式会社 | 光半導体素子および半導体モノリシック型光回路 |
JP6705693B2 (ja) * | 2016-05-02 | 2020-06-03 | 日本電信電話株式会社 | 光半導体素子および半導体モノリシック型光回路 |
DE102016125430A1 (de) * | 2016-12-22 | 2018-06-28 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Oberflächenmontierbarer Halbleiterlaser, Anordnung mit einem solchen Halbleiterlaser und Betriebsverfahren hierfür |
JP7145765B2 (ja) * | 2017-02-07 | 2022-10-03 | 古河電気工業株式会社 | 光導波路構造 |
EP3416252A1 (en) * | 2017-06-13 | 2018-12-19 | Nokia Solutions and Networks Oy | One step sibh for integrated circuits |
US10541510B2 (en) * | 2017-08-02 | 2020-01-21 | Lumentum Japan, Inc. | Semiconductor light-emitting device |
JP6939411B2 (ja) * | 2017-10-26 | 2021-09-22 | 日本電信電話株式会社 | 半導体光素子 |
FR3074372A1 (fr) * | 2017-11-28 | 2019-05-31 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Structure a gain, dispositif photonique comprenant une telle structure et procede de fabrication d'une telle structure a gain |
US10756508B2 (en) * | 2018-07-10 | 2020-08-25 | Qorvo Us, Inc. | Monolithic EML with electrically isolated electrodes |
EP3903390B1 (en) * | 2019-05-08 | 2022-11-30 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Compound optical device |
CN111129944B (zh) * | 2019-12-31 | 2021-12-21 | 山东国迅量子芯科技有限公司 | 基于量子通信应用的电吸收光发射芯片及其制作方法 |
JP2020074473A (ja) * | 2020-02-05 | 2020-05-14 | 日本ルメンタム株式会社 | 半導体光素子、アレイ半導体光素子、及び光モジュール |
US11927839B2 (en) | 2020-09-14 | 2024-03-12 | Ii-Vi Delaware, Inc. | Broadband electro-absorption optical modulator using on-chip RF input signal termination |
WO2023281603A1 (ja) * | 2021-07-05 | 2023-01-12 | 日本電信電話株式会社 | 光変調モジュール及び光送信器 |
WO2023188426A1 (ja) * | 2022-04-01 | 2023-10-05 | 日本電信電話株式会社 | 半導体装置 |
WO2023248329A1 (ja) * | 2022-06-21 | 2023-12-28 | 日本電信電話株式会社 | 半導体装置 |
CN115296142A (zh) * | 2022-08-09 | 2022-11-04 | 杭州泽达半导体有限公司 | 一种激光器及其制作方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05102615A (ja) * | 1991-10-07 | 1993-04-23 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2762951B2 (ja) * | 1995-03-30 | 1998-06-11 | 日本電気株式会社 | 半導体光導波路とその製造方法 |
CN1426138A (zh) * | 2001-12-10 | 2003-06-25 | 中国科学院半导体研究所 | 混合波导结构电吸收调制分布反馈激光器和制作方法 |
JP4158383B2 (ja) * | 2002-02-01 | 2008-10-01 | 住友電気工業株式会社 | 半導体光集積素子 |
JP2003338664A (ja) * | 2002-05-20 | 2003-11-28 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP4934271B2 (ja) * | 2004-06-11 | 2012-05-16 | 日本オプネクスト株式会社 | 単一電源駆動光集積装置 |
JP4789608B2 (ja) * | 2005-12-06 | 2011-10-12 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 半導体光通信素子 |
JP4835190B2 (ja) * | 2006-02-17 | 2011-12-14 | 富士通株式会社 | 光半導体集積素子 |
EP2402996A1 (en) * | 2010-06-30 | 2012-01-04 | Alcatel Lucent | A device comprising an active component and associated electrodes and a method of manufacturing such device |
JP2012248812A (ja) * | 2011-05-31 | 2012-12-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体光集積素子の製造方法 |
-
2012
- 2012-04-16 JP JP2012092904A patent/JP5891920B2/ja active Active
-
2013
- 2013-01-09 US US13/737,088 patent/US20130272326A1/en not_active Abandoned
- 2013-04-15 CN CN201310128713.1A patent/CN103378544B/zh active Active
-
2015
- 2015-02-24 US US14/629,626 patent/US20150171592A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130272326A1 (en) | 2013-10-17 |
CN103378544B (zh) | 2016-11-23 |
US20150171592A1 (en) | 2015-06-18 |
JP2013222795A (ja) | 2013-10-28 |
CN103378544A (zh) | 2013-10-30 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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