JP5890583B2 - 研磨用組成物および研磨物製造方法 - Google Patents
研磨用組成物および研磨物製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5890583B2 JP5890583B2 JP2015501431A JP2015501431A JP5890583B2 JP 5890583 B2 JP5890583 B2 JP 5890583B2 JP 2015501431 A JP2015501431 A JP 2015501431A JP 2015501431 A JP2015501431 A JP 2015501431A JP 5890583 B2 JP5890583 B2 JP 5890583B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polymer
- polishing
- mass
- polishing composition
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 314
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 163
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 21
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 192
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 claims description 101
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 99
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 86
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 62
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 43
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 43
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 42
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 claims description 42
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 42
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 42
- 150000007514 bases Chemical class 0.000 claims description 39
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 36
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 27
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 21
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 claims description 16
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 claims description 13
- 238000005119 centrifugation Methods 0.000 claims description 10
- 229920000663 Hydroxyethyl cellulose Polymers 0.000 claims description 9
- 239000004354 Hydroxyethyl cellulose Substances 0.000 claims description 9
- 235000019447 hydroxyethyl cellulose Nutrition 0.000 claims description 9
- 239000006228 supernatant Substances 0.000 claims description 8
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 3
- -1 2-methyl-2-phenyl-3-dimethylaminopropyl Chemical group 0.000 description 58
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 37
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 37
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 32
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 31
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 28
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 22
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 22
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 21
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 19
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 17
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 17
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 17
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical compound CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 15
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 15
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 14
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 14
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 description 14
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 12
- FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N methacrylamide Chemical compound CC(=C)C(N)=O FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 12
- XLPJNCYCZORXHG-UHFFFAOYSA-N 1-morpholin-4-ylprop-2-en-1-one Chemical compound C=CC(=O)N1CCOCC1 XLPJNCYCZORXHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N N-Vinyl-2-pyrrolidone Chemical compound C=CN1CCCC1=O WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 125000005702 oxyalkylene group Chemical group 0.000 description 11
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 11
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 10
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 9
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 9
- 238000007127 saponification reaction Methods 0.000 description 9
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 8
- 239000002738 chelating agent Substances 0.000 description 8
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 8
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 8
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 8
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 8
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 150000001408 amides Chemical group 0.000 description 7
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 description 7
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 7
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 7
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 7
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 7
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 7
- 229920005604 random copolymer Polymers 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 6
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 6
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 6
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 6
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 6
- JWYVGKFDLWWQJX-UHFFFAOYSA-N 1-ethenylazepan-2-one Chemical compound C=CN1CCCCCC1=O JWYVGKFDLWWQJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229920000463 Poly(ethylene glycol)-block-poly(propylene glycol)-block-poly(ethylene glycol) Polymers 0.000 description 5
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 5
- 150000003950 cyclic amides Chemical class 0.000 description 5
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 5
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L sodium carbonate Substances [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N Ammonium bicarbonate Chemical compound [NH4+].OC([O-])=O ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N Ethenol Chemical compound OC=C IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N Phosphorous acid Chemical compound OP(O)=O ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000001099 ammonium carbonate Substances 0.000 description 4
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 4
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 4
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 4
- UUORTJUPDJJXST-UHFFFAOYSA-N n-(2-hydroxyethyl)prop-2-enamide Chemical compound OCCNC(=O)C=C UUORTJUPDJJXST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QNILTEGFHQSKFF-UHFFFAOYSA-N n-propan-2-ylprop-2-enamide Chemical compound CC(C)NC(=O)C=C QNILTEGFHQSKFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 4
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 4
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 239000012085 test solution Substances 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 235000017060 Arachis glabrata Nutrition 0.000 description 3
- 241001553178 Arachis glabrata Species 0.000 description 3
- 235000010777 Arachis hypogaea Nutrition 0.000 description 3
- 235000018262 Arachis monticola Nutrition 0.000 description 3
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-M Bicarbonate Chemical class OC([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920001214 Polysorbate 60 Polymers 0.000 description 3
- RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N Pyrrolidine Chemical compound C1CCNC1 RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 description 3
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 description 3
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 235000008504 concentrate Nutrition 0.000 description 3
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 3
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 3
- NFDRPXJGHKJRLJ-UHFFFAOYSA-N edtmp Chemical compound OP(O)(=O)CN(CP(O)(O)=O)CCN(CP(O)(O)=O)CP(O)(O)=O NFDRPXJGHKJRLJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LZWYWAIOTBEZFN-UHFFFAOYSA-N ethenyl hexanoate Chemical group CCCCCC(=O)OC=C LZWYWAIOTBEZFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 3
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 3
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 3
- 229920000578 graft copolymer Polymers 0.000 description 3
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 description 3
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 3
- 229930014626 natural product Natural products 0.000 description 3
- 238000010979 pH adjustment Methods 0.000 description 3
- 235000020232 peanut Nutrition 0.000 description 3
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 3
- 229940073455 tetraethylammonium hydroxide Drugs 0.000 description 3
- LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M tetraethylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CC[N+](CC)(CC)CC LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 3
- QQVDJLLNRSOCEL-UHFFFAOYSA-N (2-aminoethyl)phosphonic acid Chemical compound [NH3+]CCP(O)([O-])=O QQVDJLLNRSOCEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OTIXUSNHAKOJBX-UHFFFAOYSA-N 1-(aziridin-1-yl)ethanone Chemical compound CC(=O)N1CC1 OTIXUSNHAKOJBX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AAYSXEMBWUMDIZ-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n,n-dipropylprop-2-enamide Chemical compound CCCN(CCC)C(=O)C(C)=C AAYSXEMBWUMDIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000013 Ammonium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-N Carbamic acid Chemical compound NC(O)=O KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N Dimethylamine Chemical compound CNC ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N Ethylamine Chemical compound CCN QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DBVJJBKOTRCVKF-UHFFFAOYSA-N Etidronic acid Chemical compound OP(=O)(O)C(O)(C)P(O)(O)=O DBVJJBKOTRCVKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 2
- ZRALSGWEFCBTJO-UHFFFAOYSA-N Guanidine Chemical compound NC(N)=N ZRALSGWEFCBTJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N Methylamine Chemical compound NC BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GLUUGHFHXGJENI-UHFFFAOYSA-N Piperazine Chemical compound C1CNCCN1 GLUUGHFHXGJENI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003926 acrylamides Chemical class 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000008044 alkali metal hydroxides Chemical class 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- 235000012538 ammonium bicarbonate Nutrition 0.000 description 2
- 235000012501 ammonium carbonate Nutrition 0.000 description 2
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 2
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 2
- AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L barium carbonate Chemical compound [Ba+2].[O-]C([O-])=O AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 239000004359 castor oil Substances 0.000 description 2
- 235000019438 castor oil Nutrition 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 2
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 2
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 2
- JBKVHLHDHHXQEQ-UHFFFAOYSA-N epsilon-caprolactam Chemical compound O=C1CCCCCN1 JBKVHLHDHHXQEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 2
- 238000007518 final polishing process Methods 0.000 description 2
- 229910021485 fumed silica Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- ZEMPKEQAKRGZGQ-XOQCFJPHSA-N glycerol triricinoleate Natural products CCCCCC[C@@H](O)CC=CCCCCCCCC(=O)OC[C@@H](COC(=O)CCCCCCCC=CC[C@@H](O)CCCCCC)OC(=O)CCCCCCCC=CC[C@H](O)CCCCCC ZEMPKEQAKRGZGQ-XOQCFJPHSA-N 0.000 description 2
- NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diamine Chemical compound NCCCCCCN NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N manganese dioxide Chemical compound O=[Mn]=O NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002738 metalloids Chemical class 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JMCVCHBBHPFWBF-UHFFFAOYSA-N n,n-diethyl-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCN(CC)C(=O)C(C)=C JMCVCHBBHPFWBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OVHHHVAVHBHXAK-UHFFFAOYSA-N n,n-diethylprop-2-enamide Chemical compound CCN(CC)C(=O)C=C OVHHHVAVHBHXAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DCBBWYIVFRLKCD-UHFFFAOYSA-N n-[2-(dimethylamino)ethyl]-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CN(C)CCNC(=O)C(C)=C DCBBWYIVFRLKCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WDQKICIMIPUDBL-UHFFFAOYSA-N n-[2-(dimethylamino)ethyl]prop-2-enamide Chemical compound CN(C)CCNC(=O)C=C WDQKICIMIPUDBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XOYONZYDWNTDAL-UHFFFAOYSA-N n-butoxyprop-2-enamide Chemical compound CCCCONC(=O)C=C XOYONZYDWNTDAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RQAKESSLMFZVMC-UHFFFAOYSA-N n-ethenylacetamide Chemical compound CC(=O)NC=C RQAKESSLMFZVMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HAZULKRCTMKQAS-UHFFFAOYSA-N n-ethenylbutanamide Chemical compound CCCC(=O)NC=C HAZULKRCTMKQAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IUWVWLRMZQHYHL-UHFFFAOYSA-N n-ethenylpropanamide Chemical compound CCC(=O)NC=C IUWVWLRMZQHYHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WDFKEEALECCKTJ-UHFFFAOYSA-N n-propylprop-2-enamide Chemical compound CCCNC(=O)C=C WDFKEEALECCKTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 2
- 239000011146 organic particle Substances 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000011736 potassium bicarbonate Substances 0.000 description 2
- 229910000028 potassium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000015497 potassium bicarbonate Nutrition 0.000 description 2
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000011181 potassium carbonates Nutrition 0.000 description 2
- TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M potassium hydrogencarbonate Chemical compound [K+].OC([O-])=O TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 159000000001 potassium salts Chemical class 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 159000000000 sodium salts Chemical class 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 229920001059 synthetic polymer Polymers 0.000 description 2
- VDZOOKBUILJEDG-UHFFFAOYSA-M tetrabutylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC VDZOOKBUILJEDG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N trimethylamine Chemical compound CN(C)C GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 2
- LNAZSHAWQACDHT-XIYTZBAFSA-N (2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-dimethoxy-2-(methoxymethyl)-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-trimethoxy-6-(methoxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6r)-4,5,6-trimethoxy-2-(methoxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxane Chemical compound CO[C@@H]1[C@@H](OC)[C@H](OC)[C@@H](COC)O[C@H]1O[C@H]1[C@H](OC)[C@@H](OC)[C@H](O[C@H]2[C@@H]([C@@H](OC)[C@H](OC)O[C@@H]2COC)OC)O[C@@H]1COC LNAZSHAWQACDHT-XIYTZBAFSA-N 0.000 description 1
- WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N (E)-8-Octadecenoic acid Natural products CCCCCCCCCC=CCCCCCCC(O)=O WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- FFJCNSLCJOQHKM-CLFAGFIQSA-N (z)-1-[(z)-octadec-9-enoxy]octadec-9-ene Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCCOCCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC FFJCNSLCJOQHKM-CLFAGFIQSA-N 0.000 description 1
- QGLWBTPVKHMVHM-KTKRTIGZSA-N (z)-octadec-9-en-1-amine Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCCN QGLWBTPVKHMVHM-KTKRTIGZSA-N 0.000 description 1
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SFRLSTJPMFGBDP-UHFFFAOYSA-N 1,2-diphosphonoethylphosphonic acid Chemical compound OP(O)(=O)CC(P(O)(O)=O)P(O)(O)=O SFRLSTJPMFGBDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PVOAHINGSUIXLS-UHFFFAOYSA-N 1-Methylpiperazine Chemical compound CN1CCNCC1 PVOAHINGSUIXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PBGPBHYPCGDFEZ-UHFFFAOYSA-N 1-ethenylpiperidin-2-one Chemical compound C=CN1CCCCC1=O PBGPBHYPCGDFEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MXYOPVWZZKEAGX-UHFFFAOYSA-N 1-phosphonoethylphosphonic acid Chemical compound OP(=O)(O)C(C)P(O)(O)=O MXYOPVWZZKEAGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RESPXSHDJQUNTN-UHFFFAOYSA-N 1-piperidin-1-ylprop-2-en-1-one Chemical compound C=CC(=O)N1CCCCC1 RESPXSHDJQUNTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WLPAQAXAZQUXBG-UHFFFAOYSA-N 1-pyrrolidin-1-ylprop-2-en-1-one Chemical compound C=CC(=O)N1CCCC1 WLPAQAXAZQUXBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LYGXUCWNFYFFBS-UHFFFAOYSA-N 1-thiomorpholin-4-ylprop-2-en-1-one Chemical compound C=CC(=O)N1CCSCC1 LYGXUCWNFYFFBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LQXBZWFNAKZUNM-UHFFFAOYSA-N 16-methyl-1-(16-methylheptadecoxy)heptadecane Chemical compound CC(C)CCCCCCCCCCCCCCCOCCCCCCCCCCCCCCCC(C)C LQXBZWFNAKZUNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VILCJCGEZXAXTO-UHFFFAOYSA-N 2,2,2-tetramine Chemical compound NCCNCCNCCN VILCJCGEZXAXTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QJUCCGSXGKTYBT-UHFFFAOYSA-N 2,4,4-trimethylpent-2-enamide Chemical compound NC(=O)C(C)=CC(C)(C)C QJUCCGSXGKTYBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- URDCARMUOSMFFI-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[bis(carboxymethyl)amino]ethyl-(2-hydroxyethyl)amino]acetic acid Chemical compound OCCN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O URDCARMUOSMFFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KHJWSKNOMFJTDN-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[bis(carboxymethyl)amino]ethyl-(carboxymethyl)amino]acetic acid;sodium Chemical compound [Na].OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KHJWSKNOMFJTDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKVMOQXBMPYPGK-UHFFFAOYSA-N 2-[bis(carboxymethyl)amino]acetic acid;sodium Chemical compound [Na].OC(=O)CN(CC(O)=O)CC(O)=O WKVMOQXBMPYPGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000022 2-aminoethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])N([H])[H] 0.000 description 1
- OOOLSJAKRPYLSA-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-2-phosphonobutanedioic acid Chemical compound CCC(P(O)(O)=O)(C(O)=O)CC(O)=O OOOLSJAKRPYLSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QKGQABOXTAPRLB-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyprop-2-enamide Chemical compound COC(=C)C(N)=O QKGQABOXTAPRLB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AKVUWTYSNLGBJY-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-morpholin-4-ylprop-2-en-1-one Chemical compound CC(=C)C(=O)N1CCOCC1 AKVUWTYSNLGBJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RASDUGQQSMMINZ-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-piperidin-1-ylprop-2-en-1-one Chemical compound CC(=C)C(=O)N1CCCCC1 RASDUGQQSMMINZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JNDVNJWCRZQGFQ-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-N,N-bis(methylamino)hex-2-enamide Chemical compound CCCC=C(C)C(=O)N(NC)NC JNDVNJWCRZQGFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MSXBNVQLIFDFCC-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n,n-bis(2-methylpropyl)prop-2-enamide Chemical compound CC(C)CN(CC(C)C)C(=O)C(C)=C MSXBNVQLIFDFCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HGJDNBZIDQOMEU-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n,n-bis(prop-2-enyl)prop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)N(CC=C)CC=C HGJDNBZIDQOMEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VAASJZAOHDHRSY-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n,n-di(propan-2-yl)prop-2-enamide Chemical compound CC(C)N(C(C)C)C(=O)C(C)=C VAASJZAOHDHRSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZCMGUAECOMTFG-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n,n-dioctadecylprop-2-enamide Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCN(C(=O)C(C)=C)CCCCCCCCCCCCCCCCCC WZCMGUAECOMTFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZJUCEZKOOKQHKH-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n,n-dioctylprop-2-enamide Chemical compound CCCCCCCCN(C(=O)C(C)=C)CCCCCCCC ZJUCEZKOOKQHKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODKQUWPWXBWQOM-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n,n-diphenylprop-2-enamide Chemical compound C=1C=CC=CC=1N(C(=O)C(=C)C)C1=CC=CC=C1 ODKQUWPWXBWQOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HYIOVDDWOCTHOG-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n-(2,2,2-trichloro-1-hydroxyethyl)prop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NC(O)C(Cl)(Cl)Cl HYIOVDDWOCTHOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WPFTVIVHDBZTSZ-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n-(2,4,4-trimethylpentan-2-yl)prop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NC(C)(C)CC(C)(C)C WPFTVIVHDBZTSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUCBLZDPYLPEMH-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n-(2-methylbut-3-yn-2-yl)prop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NC(C)(C)C#C UUCBLZDPYLPEMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWYISXLZCIVDDW-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n-(2-methylpropoxymethyl)prop-2-enamide Chemical compound CC(C)COCNC(=O)C(C)=C TWYISXLZCIVDDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRFUQJFVJRYYDZ-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n-(2-methylpropyl)prop-2-enamide Chemical compound CC(C)CNC(=O)C(C)=C FRFUQJFVJRYYDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NGMWKRNPNRTXOQ-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n-(2-morpholin-4-ylethyl)prop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NCCN1CCOCC1 NGMWKRNPNRTXOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PABGQABTFFNYFH-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n-octadecylprop-2-enamide Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCNC(=O)C(C)=C PABGQABTFFNYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMCBLSMMFWHLSN-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n-octylprop-2-enamide Chemical compound CCCCCCCCNC(=O)C(C)=C IMCBLSMMFWHLSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJSVVICYGLOZHA-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n-phenylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NC1=CC=CC=C1 IJSVVICYGLOZHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GROXSGRIVDMIEN-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n-prop-2-enylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NCC=C GROXSGRIVDMIEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YQIGLEFUZMIVHU-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n-propan-2-ylprop-2-enamide Chemical compound CC(C)NC(=O)C(C)=C YQIGLEFUZMIVHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CCIDRBFZPRURMU-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n-propylprop-2-enamide Chemical compound CCCNC(=O)C(C)=C CCIDRBFZPRURMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCDWFXQBSFUVSP-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxyethanol Chemical compound OCCOC1=CC=CC=C1 QCDWFXQBSFUVSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 20:1omega9c fatty acid Natural products CCCCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DFSGINVHIGHPES-UHFFFAOYSA-N 3-ethenyl-4h-1,3-oxazin-2-one Chemical compound C=CN1CC=COC1=O DFSGINVHIGHPES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GUUULVAMQJLDSY-UHFFFAOYSA-N 4,5-dihydro-1,2-thiazole Chemical class C1CC=NS1 GUUULVAMQJLDSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZMALNMQOXQXZRO-UHFFFAOYSA-N 4-ethenylmorpholin-3-one Chemical compound C=CN1CCOCC1=O ZMALNMQOXQXZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HDYTUPZMASQMOH-UHFFFAOYSA-N 4-ethenylmorpholine-3,5-dione Chemical compound C=CN1C(=O)COCC1=O HDYTUPZMASQMOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYWGVBFSIIZBHJ-UHFFFAOYSA-N 4-phosphonobutane-1,2,3-tricarboxylic acid Chemical compound OC(=O)CC(C(O)=O)C(C(O)=O)CP(O)(O)=O MYWGVBFSIIZBHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NFKIMJJASFDDJG-UHFFFAOYSA-N 5-amino-N,N-diethyl-2-methylpent-2-enamide Chemical compound NCCC=C(C(=O)N(CC)CC)C NFKIMJJASFDDJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WIGIPJGWVLNDAF-UHFFFAOYSA-N 8-methyl-1-(8-methylnonoxy)nonane Chemical compound CC(C)CCCCCCCOCCCCCCCC(C)C WIGIPJGWVLNDAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 9-Heptadecensaeure Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 229910052580 B4C Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004438 BET method Methods 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAAZODBNOCBLSY-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)(CC(C)(C)C)C(=C(C(=O)N)C)C(C)(C)CC(C)(C)C Chemical compound C(C)(C)(CC(C)(C)C)C(=C(C(=O)N)C)C(C)(C)CC(C)(C)C XAAZODBNOCBLSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CEUFHUKTGYIYNM-UHFFFAOYSA-N C(C)C=C(C(=O)NOCCCC)C.C(C)N(OCC)C(=O)C(=C)C Chemical compound C(C)C=C(C(=O)NOCCCC)C.C(C)N(OCC)C(=O)C(=C)C CEUFHUKTGYIYNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RBUWQEHTCBTJBF-UHFFFAOYSA-N CCCC(=C)C(=O)N(NCC)NCC Chemical compound CCCC(=C)C(=O)N(NCC)NCC RBUWQEHTCBTJBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229920002134 Carboxymethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N D-Glucitol Natural products OC[C@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 1
- RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N Diethylenetriamine Chemical compound NCCNCCN RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GDFCSMCGLZFNFY-UHFFFAOYSA-N Dimethylaminopropyl Methacrylamide Chemical compound CN(C)CCCNC(=O)C(C)=C GDFCSMCGLZFNFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000896 Ethulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001859 Ethyl hydroxyethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001479 Hydroxyethyl methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 229920002153 Hydroxypropyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- SHVMKTGNFYIZLH-UHFFFAOYSA-N N,2-dimethyl-N-propoxyprop-2-enamide Chemical compound CCCON(C)C(=O)C(C)=C SHVMKTGNFYIZLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QPCDCPDFJACHGM-UHFFFAOYSA-N N,N-bis{2-[bis(carboxymethyl)amino]ethyl}glycine Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(=O)O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O QPCDCPDFJACHGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SIYUIYLUKAPWQM-UHFFFAOYSA-N N-(2-amino-1,2-dicyanoethyl)-2-methylprop-2-enamide Chemical compound NC(C(C#N)NC(C(=C)C)=O)C#N SIYUIYLUKAPWQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEMVUMDPVFABGO-UHFFFAOYSA-N N-(2-amino-1,2-dicyanoethyl)prop-2-enamide Chemical compound NC(C(C#N)NC(C=C)=O)C#N YEMVUMDPVFABGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CNCOEDDPFOAUMB-UHFFFAOYSA-N N-Methylolacrylamide Chemical compound OCNC(=O)C=C CNCOEDDPFOAUMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MWZNJSKCOSLKHV-UHFFFAOYSA-N N-butyl-N-ethoxy-2-methylprop-2-enamide Chemical compound C(CCC)N(C(C(=C)C)=O)OCC MWZNJSKCOSLKHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCQMDQCAXHMJJJ-UHFFFAOYSA-N N-ethoxy-2-methyl-N-propylprop-2-enamide Chemical compound C(C(=C)C)(=O)N(OCC)CCC HCQMDQCAXHMJJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JZILLJUOYVHLAH-UHFFFAOYSA-N N-ethoxy-N-propylprop-2-enamide Chemical compound C(CC)N(C(C=C)=O)OCC JZILLJUOYVHLAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BKQJISUFDAVBIH-UHFFFAOYSA-N N-methoxy-2-methyl-N-propylprop-2-enamide Chemical compound C(C(=C)C)(=O)N(OC)CCC BKQJISUFDAVBIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VRKDXQUEPAKKNP-UHFFFAOYSA-N N-methyl-N-propoxyprop-2-enamide Chemical compound C(C=C)(=O)N(OCCC)C VRKDXQUEPAKKNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CHJJGSNFBQVOTG-UHFFFAOYSA-N N-methyl-guanidine Natural products CNC(N)=N CHJJGSNFBQVOTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101800000021 N-terminal protease Proteins 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 239000005642 Oleic acid Substances 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N Oleic acid Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- NKSOSPOXQKNIKJ-CLFAGFIQSA-N Polyoxyethylene dioleate Polymers CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(=O)OCCOC(=O)CCCCCCC\C=C/CCCCCCCC NKSOSPOXQKNIKJ-CLFAGFIQSA-N 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 229920001213 Polysorbate 20 Polymers 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001218 Pullulan Polymers 0.000 description 1
- UIIMBOGNXHQVGW-DEQYMQKBSA-M Sodium bicarbonate-14C Chemical compound [Na+].O[14C]([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-DEQYMQKBSA-M 0.000 description 1
- FKNQFGJONOIPTF-UHFFFAOYSA-N Sodium cation Chemical compound [Na+] FKNQFGJONOIPTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004147 Sorbitan trioleate Substances 0.000 description 1
- PRXRUNOAOLTIEF-ADSICKODSA-N Sorbitan trioleate Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(=O)OC[C@@H](OC(=O)CCCCCCC\C=C/CCCCCCCC)[C@H]1OC[C@H](O)[C@H]1OC(=O)CCCCCCC\C=C/CCCCCCCC PRXRUNOAOLTIEF-ADSICKODSA-N 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical group CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MVCMTOJZXPCZNM-UHFFFAOYSA-I [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O.NCCNCCN Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O.NCCNCCN MVCMTOJZXPCZNM-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 1
- YDONNITUKPKTIG-UHFFFAOYSA-N [Nitrilotris(methylene)]trisphosphonic acid Chemical compound OP(O)(=O)CN(CP(O)(O)=O)CP(O)(O)=O YDONNITUKPKTIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 description 1
- RUSUZAGBORAKPY-UHFFFAOYSA-N acetic acid;n'-[2-(2-aminoethylamino)ethyl]ethane-1,2-diamine Chemical compound CC(O)=O.CC(O)=O.CC(O)=O.CC(O)=O.CC(O)=O.CC(O)=O.NCCNCCNCCN RUSUZAGBORAKPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004423 acyloxy group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 229910001413 alkali metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910001860 alkaline earth metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003973 alkyl amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005603 alternating copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- LHIJANUOQQMGNT-UHFFFAOYSA-N aminoethylethanolamine Chemical compound NCCNCCO LHIJANUOQQMGNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMUDHTPIFIBORV-UHFFFAOYSA-N aminoethylpiperazine Chemical compound NCCN1CCNCC1 IMUDHTPIFIBORV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 1
- 230000002421 anti-septic effect Effects 0.000 description 1
- 239000003429 antifungal agent Substances 0.000 description 1
- 229940121375 antifungal agent Drugs 0.000 description 1
- 229940064004 antiseptic throat preparations Drugs 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- QRTCASNUSVDIEL-UHFFFAOYSA-N azane;2-[bis(carboxymethyl)amino]acetic acid Chemical compound N.OC(=O)CN(CC(O)=O)CC(O)=O QRTCASNUSVDIEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003851 azoles Chemical class 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N boron carbide Chemical compound B12B3B4C32B41 INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N carbonic acid Chemical compound OC(O)=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 239000001768 carboxy methyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010948 carboxy methyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000008112 carboxymethyl-cellulose Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000015165 citric acid Nutrition 0.000 description 1
- 230000002301 combined effect Effects 0.000 description 1
- 239000011246 composite particle Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N diethylamine Chemical compound CCNCC HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- SWSQBOPZIKWTGO-UHFFFAOYSA-N dimethylaminoamidine Natural products CN(C)C(N)=N SWSQBOPZIKWTGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N diphenyl ether Chemical class C=1C=CC=CC=1OC1=CC=CC=C1 USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- DUYCTCQXNHFCSJ-UHFFFAOYSA-N dtpmp Chemical compound OP(=O)(O)CN(CP(O)(O)=O)CCN(CP(O)(=O)O)CCN(CP(O)(O)=O)CP(O)(O)=O DUYCTCQXNHFCSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002296 dynamic light scattering Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- UIWXSTHGICQLQT-UHFFFAOYSA-N ethenyl propanoate Chemical group CCC(=O)OC=C UIWXSTHGICQLQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019326 ethyl hydroxyethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000003205 fragrance Substances 0.000 description 1
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 1
- 239000000417 fungicide Substances 0.000 description 1
- 229910021397 glassy carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- WPPVJSFNBNUTHQ-UHFFFAOYSA-H hexasodium N'-[2-(2-aminoethylamino)ethyl]ethane-1,2-diamine hexaacetate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O.NCCNCCNCCN WPPVJSFNBNUTHQ-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- GTTBQSNGUYHPNK-UHFFFAOYSA-N hydroxymethylphosphonic acid Chemical compound OCP(O)(O)=O GTTBQSNGUYHPNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001863 hydroxypropyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010977 hydroxypropyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000001866 hydroxypropyl methyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010979 hydroxypropyl methyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 229920003088 hydroxypropyl methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- UFVKGYZPFZQRLF-UHFFFAOYSA-N hydroxypropyl methyl cellulose Chemical compound OC1C(O)C(OC)OC(CO)C1OC1C(O)C(O)C(OC2C(C(O)C(OC3C(C(O)C(O)C(CO)O3)O)C(CO)O2)O)C(CO)O1 UFVKGYZPFZQRLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 1
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N isooleic acid Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCCC(O)=O QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 235000014666 liquid concentrate Nutrition 0.000 description 1
- 235000015073 liquid stocks Nutrition 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052752 metalloid Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- WFKDPJRCBCBQNT-UHFFFAOYSA-N n,2-dimethylprop-2-enamide Chemical compound CNC(=O)C(C)=C WFKDPJRCBCBQNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QRWZCJXEAOZAAW-UHFFFAOYSA-N n,n,2-trimethylprop-2-enamide Chemical compound CN(C)C(=O)C(C)=C QRWZCJXEAOZAAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PMGISMZTZFSVFK-UHFFFAOYSA-N n,n-bis(2,4,4-trimethylpentan-2-yl)prop-2-enamide Chemical compound CC(C)(C)CC(C)(C)N(C(=O)C=C)C(C)(C)CC(C)(C)C PMGISMZTZFSVFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IZRNULXWZVWLQG-UHFFFAOYSA-N n,n-bis(2-cyanoethyl)prop-2-enamide Chemical compound N#CCCN(C(=O)C=C)CCC#N IZRNULXWZVWLQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZXEYZRMNGLNRFK-UHFFFAOYSA-N n,n-bis(2-hydroxyethyl)-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)N(CCO)CCO ZXEYZRMNGLNRFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUQIDBSIIKXTTI-UHFFFAOYSA-N n,n-bis(2-hydroxyethyl)prop-2-enamide Chemical compound OCCN(CCO)C(=O)C=C XUQIDBSIIKXTTI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPSVCCLIDMUQFT-UHFFFAOYSA-N n,n-bis(2-methylpropyl)prop-2-enamide Chemical compound CC(C)CN(CC(C)C)C(=O)C=C BPSVCCLIDMUQFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SQGKLVBPYCDZLT-UHFFFAOYSA-N n,n-bis(hydroxymethyl)-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)N(CO)CO SQGKLVBPYCDZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HZHRYYYIOGLPCB-UHFFFAOYSA-N n,n-bis(hydroxymethyl)prop-2-enamide Chemical compound OCN(CO)C(=O)C=C HZHRYYYIOGLPCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DFENKTCEEGOWLB-UHFFFAOYSA-N n,n-bis(methylamino)-2-methylidenepentanamide Chemical compound CCCC(=C)C(=O)N(NC)NC DFENKTCEEGOWLB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLYOHBPLFYXHQA-UHFFFAOYSA-N n,n-bis(prop-2-enyl)prop-2-enamide Chemical compound C=CCN(CC=C)C(=O)C=C BLYOHBPLFYXHQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YHOSNAAUPKDRMI-UHFFFAOYSA-N n,n-di(propan-2-yl)prop-2-enamide Chemical compound CC(C)N(C(C)C)C(=O)C=C YHOSNAAUPKDRMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHFSIUXERRLSJV-UHFFFAOYSA-N n,n-diacetyl-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CC(=O)N(C(C)=O)C(=O)C(C)=C VHFSIUXERRLSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MIVGZOMJVVQBAO-UHFFFAOYSA-N n,n-dibenzylprop-2-enamide Chemical group C=1C=CC=CC=1CN(C(=O)C=C)CC1=CC=CC=C1 MIVGZOMJVVQBAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LZMQMUZCPILQGI-UHFFFAOYSA-N n,n-dibutyl-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCCCN(C(=O)C(C)=C)CCCC LZMQMUZCPILQGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HUESSPLKCMYVFN-UHFFFAOYSA-N n,n-didodecyl-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCCCCCCCCCCCN(C(=O)C(C)=C)CCCCCCCCCCCC HUESSPLKCMYVFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IXSXIMCFYLTCMM-UHFFFAOYSA-N n,n-didodecylprop-2-enamide Chemical compound CCCCCCCCCCCCN(C(=O)C=C)CCCCCCCCCCCC IXSXIMCFYLTCMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRFRBJNSMLQXFW-UHFFFAOYSA-N n,n-diheptyl-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCCCCCCN(C(=O)C(C)=C)CCCCCCC HRFRBJNSMLQXFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVSGSVRDIIQWSW-UHFFFAOYSA-N n,n-diheptylprop-2-enamide Chemical compound CCCCCCCN(C(=O)C=C)CCCCCCC VVSGSVRDIIQWSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940088644 n,n-dimethylacrylamide Drugs 0.000 description 1
- YLGYACDQVQQZSW-UHFFFAOYSA-N n,n-dimethylprop-2-enamide Chemical compound CN(C)C(=O)C=C YLGYACDQVQQZSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MLIONETUSDBJEZ-UHFFFAOYSA-N n,n-dioctadecylprop-2-enamide Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCN(C(=O)C=C)CCCCCCCCCCCCCCCCCC MLIONETUSDBJEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRUSUOGPILMFBM-UHFFFAOYSA-N n,n-dioctylprop-2-enamide Chemical compound CCCCCCCCN(C(=O)C=C)CCCCCCCC JRUSUOGPILMFBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PHUYTHHZSUIMIX-UHFFFAOYSA-N n,n-diphenylprop-2-enamide Chemical compound C=1C=CC=CC=1N(C(=O)C=C)C1=CC=CC=C1 PHUYTHHZSUIMIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RKSYJNCKPUDQET-UHFFFAOYSA-N n,n-dipropylprop-2-enamide Chemical compound CCCN(CCC)C(=O)C=C RKSYJNCKPUDQET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCDXQQGWFGRQPQ-UHFFFAOYSA-N n,n-ditert-butyl-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)N(C(C)(C)C)C(C)(C)C ZCDXQQGWFGRQPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCYXBYSCGRFTJL-UHFFFAOYSA-N n,n-ditert-butylprop-2-enamide Chemical compound CC(C)(C)N(C(C)(C)C)C(=O)C=C YCYXBYSCGRFTJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KKWYAVYQRXQSAZ-UHFFFAOYSA-N n-(1-hydroxy-2-methylpropan-2-yl)-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NC(C)(C)CO KKWYAVYQRXQSAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHJNQEHPYYGWGL-UHFFFAOYSA-N n-(1-hydroxy-2-methylpropan-2-yl)prop-2-enamide Chemical compound OCC(C)(C)NC(=O)C=C WHJNQEHPYYGWGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GVKDCYNVGQYGCX-UHFFFAOYSA-N n-(1-hydroxybutan-2-yl)-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCC(CO)NC(=O)C(C)=C GVKDCYNVGQYGCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CJDWAHPSQSGIRR-UHFFFAOYSA-N n-(1-hydroxybutan-2-yl)prop-2-enamide Chemical compound CCC(CO)NC(=O)C=C CJDWAHPSQSGIRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WJGQBTHAJQOPOM-UHFFFAOYSA-N n-(2,2,2-trichloro-1-hydroxyethyl)prop-2-enamide Chemical compound ClC(Cl)(Cl)C(O)NC(=O)C=C WJGQBTHAJQOPOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YRDNVESFWXDNSI-UHFFFAOYSA-N n-(2,4,4-trimethylpentan-2-yl)prop-2-enamide Chemical compound CC(C)(C)CC(C)(C)NC(=O)C=C YRDNVESFWXDNSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WEXJFAILFCJUAN-UHFFFAOYSA-N n-(2-chloroethyl)-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NCCCl WEXJFAILFCJUAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WSLOZQLOMMLGPY-UHFFFAOYSA-N n-(2-chloroethyl)prop-2-enamide Chemical compound ClCCNC(=O)C=C WSLOZQLOMMLGPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HEOJXQORMIVKQQ-UHFFFAOYSA-N n-(2-cyanoethyl)-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NCCC#N HEOJXQORMIVKQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BSCJIBOZTKGXQP-UHFFFAOYSA-N n-(2-hydroxyethyl)-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NCCO BSCJIBOZTKGXQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KCTMTGOHHMRJHZ-UHFFFAOYSA-N n-(2-methylpropoxymethyl)prop-2-enamide Chemical compound CC(C)COCNC(=O)C=C KCTMTGOHHMRJHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PBSASXNAZJHOBR-UHFFFAOYSA-N n-(2-methylpropyl)prop-2-enamide Chemical compound CC(C)CNC(=O)C=C PBSASXNAZJHOBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XWCUDBBUDRNSKP-UHFFFAOYSA-N n-(2-morpholin-4-ylethyl)prop-2-enamide Chemical compound C=CC(=O)NCCN1CCOCC1 XWCUDBBUDRNSKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HKLPOBRVSAUJSG-UHFFFAOYSA-N n-(4-anilinophenyl)prop-2-enamide Chemical compound C1=CC(NC(=O)C=C)=CC=C1NC1=CC=CC=C1 HKLPOBRVSAUJSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ADGJZVKOKVENDN-UHFFFAOYSA-N n-(butoxymethyl)-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCCCOCNC(=O)C(C)=C ADGJZVKOKVENDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UTSYWKJYFPPRAP-UHFFFAOYSA-N n-(butoxymethyl)prop-2-enamide Chemical compound CCCCOCNC(=O)C=C UTSYWKJYFPPRAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LSWADWIFYOAQRZ-UHFFFAOYSA-N n-(ethoxymethyl)prop-2-enamide Chemical compound CCOCNC(=O)C=C LSWADWIFYOAQRZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DNTMQTKDNSEIFO-UHFFFAOYSA-N n-(hydroxymethyl)-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NCO DNTMQTKDNSEIFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YOZHLACIXDCHPV-UHFFFAOYSA-N n-(methoxymethyl)-2-methylprop-2-enamide Chemical compound COCNC(=O)C(C)=C YOZHLACIXDCHPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULYOZOPEFCQZHH-UHFFFAOYSA-N n-(methoxymethyl)prop-2-enamide Chemical compound COCNC(=O)C=C ULYOZOPEFCQZHH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MZJNKICDKYBTRD-UHFFFAOYSA-N n-[1-(dimethylamino)-2-methylpropan-2-yl]-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CN(C)CC(C)(C)NC(=O)C(C)=C MZJNKICDKYBTRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JDEVOVDAJIWQBP-UHFFFAOYSA-N n-[1-(dimethylamino)-2-methylpropan-2-yl]prop-2-enamide Chemical compound CN(C)CC(C)(C)NC(=O)C=C JDEVOVDAJIWQBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CXSANWNPQKKNJO-UHFFFAOYSA-N n-[2-(diethylamino)ethyl]prop-2-enamide Chemical compound CCN(CC)CCNC(=O)C=C CXSANWNPQKKNJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VNLHOYZHPQDOMS-UHFFFAOYSA-N n-[3-(diethylamino)propyl]-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCN(CC)CCCNC(=O)C(C)=C VNLHOYZHPQDOMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BYXHXBCFNMHZGY-UHFFFAOYSA-N n-[3-(dimethylamino)-2,2-dimethylpropyl]-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CN(C)CC(C)(C)CNC(=O)C(C)=C BYXHXBCFNMHZGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZZSGYARVLIMPBM-UHFFFAOYSA-N n-[3-(dimethylamino)-2,2-dimethylpropyl]prop-2-enamide Chemical compound CN(C)CC(C)(C)CNC(=O)C=C ZZSGYARVLIMPBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FDHFLHJTOFSAOD-UHFFFAOYSA-N n-[3-(dimethylamino)-2-methyl-2-phenylpropyl]prop-2-enamide Chemical compound C=CC(=O)NCC(C)(CN(C)C)C1=CC=CC=C1 FDHFLHJTOFSAOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ADTJPOBHAXXXFS-UHFFFAOYSA-N n-[3-(dimethylamino)propyl]prop-2-enamide Chemical compound CN(C)CCCNC(=O)C=C ADTJPOBHAXXXFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FTFDISZVYWCDGO-UHFFFAOYSA-N n-[3-[bis(2-hydroxyethyl)amino]propyl]-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NCCCN(CCO)CCO FTFDISZVYWCDGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PBJMWQHIBDHHPU-UHFFFAOYSA-N n-[3-[bis(2-hydroxyethyl)amino]propyl]prop-2-enamide Chemical compound OCCN(CCO)CCCNC(=O)C=C PBJMWQHIBDHHPU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OJBZOTFHZFZOIJ-UHFFFAOYSA-N n-acetyl-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CC(=O)NC(=O)C(C)=C OJBZOTFHZFZOIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CEBFLGHPYLIZSC-UHFFFAOYSA-N n-benzyl-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NCC1=CC=CC=C1 CEBFLGHPYLIZSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OHLHOLGYGRKZMU-UHFFFAOYSA-N n-benzylprop-2-enamide Chemical compound C=CC(=O)NCC1=CC=CC=C1 OHLHOLGYGRKZMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UGVYTRVYOYKZSO-UHFFFAOYSA-N n-butoxy-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCCCONC(=O)C(C)=C UGVYTRVYOYKZSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HAYSAUBHUMGSAD-UHFFFAOYSA-N n-butoxy-n,2-dimethylprop-2-enamide Chemical compound CCCCON(C)C(=O)C(C)=C HAYSAUBHUMGSAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUPGHCXZYQMRRN-UHFFFAOYSA-N n-butoxy-n-methylprop-2-enamide Chemical compound CCCCON(C)C(=O)C=C BUPGHCXZYQMRRN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQGWOOIHSXNRPW-UHFFFAOYSA-N n-butyl-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCCCNC(=O)C(C)=C VQGWOOIHSXNRPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLLVRJPAPZZHSB-UHFFFAOYSA-N n-butyl-n-ethoxyprop-2-enamide Chemical compound CCCCN(OCC)C(=O)C=C NLLVRJPAPZZHSB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AQYOXOPDGKLQPA-UHFFFAOYSA-N n-butyl-n-methoxy-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCCCN(OC)C(=O)C(C)=C AQYOXOPDGKLQPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QJGLMIABOUEMFL-UHFFFAOYSA-N n-butyl-n-methoxyprop-2-enamide Chemical compound CCCCN(OC)C(=O)C=C QJGLMIABOUEMFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YRVUCYWJQFRCOB-UHFFFAOYSA-N n-butylprop-2-enamide Chemical compound CCCCNC(=O)C=C YRVUCYWJQFRCOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HOZLHJIPBBRFGM-UHFFFAOYSA-N n-dodecyl-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCCCCCCCCCCCNC(=O)C(C)=C HOZLHJIPBBRFGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XQPVIMDDIXCFFS-UHFFFAOYSA-N n-dodecylprop-2-enamide Chemical compound CCCCCCCCCCCCNC(=O)C=C XQPVIMDDIXCFFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DYLMGWPMAXPGEB-UHFFFAOYSA-N n-ethoxy-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCONC(=O)C(C)=C DYLMGWPMAXPGEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XKIBZODHEDQFAT-UHFFFAOYSA-N n-ethoxy-n,2-dimethylprop-2-enamide Chemical compound CCON(C)C(=O)C(C)=C XKIBZODHEDQFAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KIKSIZDORUUEES-UHFFFAOYSA-N n-ethoxy-n-ethylprop-2-enamide Chemical compound CCON(CC)C(=O)C=C KIKSIZDORUUEES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RMQLWXQTAOCGHL-UHFFFAOYSA-N n-ethoxy-n-methylprop-2-enamide Chemical compound CCON(C)C(=O)C=C RMQLWXQTAOCGHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IIVTYEDFYGVHMR-UHFFFAOYSA-N n-ethoxyprop-2-enamide Chemical compound CCONC(=O)C=C IIVTYEDFYGVHMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZIWDVJPPVMGJGR-UHFFFAOYSA-N n-ethyl-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCNC(=O)C(C)=C ZIWDVJPPVMGJGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXQLMXPTQYAUPK-UHFFFAOYSA-N n-ethyl-n-methoxy-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCN(OC)C(=O)C(C)=C FXQLMXPTQYAUPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTODDKUZTDCEDA-UHFFFAOYSA-N n-ethyl-n-methoxyprop-2-enamide Chemical compound CCN(OC)C(=O)C=C CTODDKUZTDCEDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SWPMNMYLORDLJE-UHFFFAOYSA-N n-ethylprop-2-enamide Chemical compound CCNC(=O)C=C SWPMNMYLORDLJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XCYRHAIYAPLAOA-UHFFFAOYSA-N n-heptyl-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCCCCCCNC(=O)C(C)=C XCYRHAIYAPLAOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ABUMECXPQVMMIN-UHFFFAOYSA-N n-heptylprop-2-enamide Chemical compound CCCCCCCNC(=O)C=C ABUMECXPQVMMIN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SXEQNYJKZGIDTG-UHFFFAOYSA-N n-methoxy-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CONC(=O)C(C)=C SXEQNYJKZGIDTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CSCFRIXKHXJIFU-UHFFFAOYSA-N n-methoxy-n,2-dimethylprop-2-enamide Chemical compound CON(C)C(=O)C(C)=C CSCFRIXKHXJIFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KYAPNXCVKVFVKZ-UHFFFAOYSA-N n-methoxy-n-propylprop-2-enamide Chemical compound CCCN(OC)C(=O)C=C KYAPNXCVKVFVKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YPHQUSNPXDGUHL-UHFFFAOYSA-N n-methylprop-2-enamide Chemical compound CNC(=O)C=C YPHQUSNPXDGUHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CNWVYEGPPMQTKA-UHFFFAOYSA-N n-octadecylprop-2-enamide Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCNC(=O)C=C CNWVYEGPPMQTKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AWGZKFQMWZYCHF-UHFFFAOYSA-N n-octylprop-2-enamide Chemical compound CCCCCCCCNC(=O)C=C AWGZKFQMWZYCHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPCNEKWROYSOLT-UHFFFAOYSA-N n-phenylprop-2-enamide Chemical compound C=CC(=O)NC1=CC=CC=C1 BPCNEKWROYSOLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CNPHCSFIDKZQAK-UHFFFAOYSA-N n-prop-2-enylprop-2-enamide Chemical compound C=CCNC(=O)C=C CNPHCSFIDKZQAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XWNYEAXPHNDEOT-UHFFFAOYSA-N n-propoxyprop-2-enamide Chemical compound CCCONC(=O)C=C XWNYEAXPHNDEOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XFHJDMUEHUHAJW-UHFFFAOYSA-N n-tert-butylprop-2-enamide Chemical compound CC(C)(C)NC(=O)C=C XFHJDMUEHUHAJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- MGFYIUFZLHCRTH-UHFFFAOYSA-N nitrilotriacetic acid Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CC(O)=O MGFYIUFZLHCRTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 229920002114 octoxynol-9 Polymers 0.000 description 1
- FATBGEAMYMYZAF-KTKRTIGZSA-N oleamide Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(N)=O FATBGEAMYMYZAF-KTKRTIGZSA-N 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N oleic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N 0.000 description 1
- 229940113162 oleylamide Drugs 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006353 oxyethylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960003330 pentetic acid Drugs 0.000 description 1
- 229960005323 phenoxyethanol Drugs 0.000 description 1
- 229960005141 piperazine Drugs 0.000 description 1
- 229960003506 piperazine hexahydrate Drugs 0.000 description 1
- AVRVZRUEXIEGMP-UHFFFAOYSA-N piperazine;hexahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.O.C1CNCCN1 AVRVZRUEXIEGMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000233 poly(alkylene oxides) Polymers 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920000259 polyoxyethylene lauryl ether Polymers 0.000 description 1
- 239000000256 polyoxyethylene sorbitan monolaurate Substances 0.000 description 1
- 235000010486 polyoxyethylene sorbitan monolaurate Nutrition 0.000 description 1
- 239000000244 polyoxyethylene sorbitan monooleate Substances 0.000 description 1
- 235000010482 polyoxyethylene sorbitan monooleate Nutrition 0.000 description 1
- 239000001818 polyoxyethylene sorbitan monostearate Substances 0.000 description 1
- 235000010989 polyoxyethylene sorbitan monostearate Nutrition 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920000053 polysorbate 80 Polymers 0.000 description 1
- 229940086066 potassium hydrogencarbonate Drugs 0.000 description 1
- 239000003755 preservative agent Substances 0.000 description 1
- 230000002335 preservative effect Effects 0.000 description 1
- 238000011085 pressure filtration Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 1
- 125000002568 propynyl group Chemical group [*]C#CC([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 235000019423 pullulan Nutrition 0.000 description 1
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 235000017550 sodium carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 235000019337 sorbitan trioleate Nutrition 0.000 description 1
- 229960000391 sorbitan trioleate Drugs 0.000 description 1
- 239000000600 sorbitol Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000011550 stock solution Substances 0.000 description 1
- 238000000967 suction filtration Methods 0.000 description 1
- 125000000020 sulfo group Chemical group O=S(=O)([*])O[H] 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 1
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910001428 transition metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003852 triazoles Chemical class 0.000 description 1
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USIPWJRLUGPSJM-UHFFFAOYSA-K trisodium 2-(2-aminoethylamino)ethanol triacetate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O.NCCNCCO USIPWJRLUGPSJM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000003039 volatile agent Substances 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/042—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces operating processes therefor
- B24B37/044—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces operating processes therefor characterised by the composition of the lapping agent
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/02—Polishing compositions containing abrasives or grinding agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
- C09K3/1463—Aqueous liquid suspensions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
- H01L21/02005—Preparing bulk and homogeneous wafers
- H01L21/02008—Multistep processes
- H01L21/0201—Specific process step
- H01L21/02024—Mirror polishing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/30625—With simultaneous mechanical treatment, e.g. mechanico-chemical polishing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
本出願は、2013年2月21日に出願された日本国特許出願2013−032464に基づく優先権を主張しており、その出願の全内容は本明細書中に参照として組み入れられている。
[吸着比測定]
(1)測定対象ポリマー0.018質量%およびアンモニア0.01質量%を含み、残部が水からなる試験液L0を用意する。
(2)上記砥粒を0.18質量%、上記測定対象ポリマーを0.018質量%およびアンモニアを0.01質量%の濃度で含み、残部が水からなる試験液L1を用意する。
(3)上記試験液L1に対して遠心分離処理を行って上記砥粒を沈降させる。
(4)上記試験液L0に含まれる上記測定対象ポリマーの質量W0と、上記試験液L1に上記遠心分離処理を施した後の上澄み液に含まれる上記測定対象ポリマーの質量W1とから、以下の式により上記測定対象ポリマーの吸着比を算出する。
吸着比(%)=[(W0−W1)/W0]×100
また、上記ポリマーBとしては、研磨性能改善の観点から、窒素原子を含むポリマー(例えば、アミド結合を有するペンダント基を含むポリマー)を好ましく採用し得る。ここに開示される技術におけるポリマーBの好適例として、窒素原子を含むノニオン性ポリマーが挙げられる。
ここに開示される研磨用組成物に含まれる砥粒の材質や性状は特に制限されず、研磨用組成物の使用目的や使用態様等に応じて適宜選択することができる。砥粒の例としては、無機粒子、有機粒子、および有機無機複合粒子が挙げられる。無機粒子の具体例としては、シリカ粒子、アルミナ粒子、酸化セリウム粒子、酸化クロム粒子、二酸化チタン粒子、酸化ジルコニウム粒子、酸化マグネシウム粒子、二酸化マンガン粒子、酸化亜鉛粒子、ベンガラ粒子等の酸化物粒子;窒化ケイ素粒子、窒化ホウ素粒子等の窒化物粒子;炭化ケイ素粒子、炭化ホウ素粒子等の炭化物粒子;ダイヤモンド粒子;炭酸カルシウムや炭酸バリウム等の炭酸塩等が挙げられる。有機粒子の具体例としては、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)粒子やポリ(メタ)アクリル酸粒子(ここで(メタ)アクリル酸とは、アクリル酸およびメタクリル酸を包括的に指す意味である。)、ポリアクリロニトリル粒子等が挙げられる。このような砥粒は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
砥粒の平均二次粒子径DP2は、対象とする砥粒の水分散液を測定サンプルとして、例えば、日機装株式会社製の型式「UPA−UT151」を用いた動的光散乱法により測定することができる。
ここに開示される研磨用組成物は、水溶性ポリマーを含有する。水溶性ポリマーの種類は特に制限されず、研磨用組成物の分野において公知の水溶性ポリマーのなかから適宜選択することができる。
上記水溶性ポリマーは、分子中に、カチオン性基、アニオン性基およびノニオン性基から選ばれる少なくとも1種の官能基を有するものであり得る。上記水溶性ポリマーは、例えば、分子中に水酸基、カルボキシル基、アシルオキシ基、スルホ基、アミド構造、第四級窒素構造、複素環構造、ビニル構造、ポリオキシアルキレン構造等を有するものであり得る。
水溶性ポリマーとしてビニルアルコール系ポリマー(PVA)を用いる場合、そのけん化度は、通常は50モル%以上が適当であり、典型的には65モル%以上、好ましくは75モル%以上、例えば80モル%以上である。好ましい一態様において、PVAのけん化度は、90モル%以上であり得る。研磨用組成物の性能安定性の観点から、けん化度が95モル%以上(典型的には95モル%超、例えば98モル%超)のPVAが特に好ましい。なお、PVAのけん化度は、原理上、100モル%以下である。
なお、PVAとしては、金属イオンの含有量の少ないものを用いることが好ましい。金属イオン含有量の少ないPVAは、例えば、金属イオンの含有量の少ない原料を用いてPVAを製造する、製造後のPVAをイオン交換処理する、等の方法により得ることができる。金属イオンのなかでも、アルカリ金属イオンの含有量の少ないPVAが好ましい。ナトリウムイオンを実質的に含有しないPVAが特に好ましい。このようなPVAを用いることは、研磨後の表面欠陥を低減する観点から有利である。例えば、後述する研磨液(ワーキングスラリー)中のナトリウムイオン濃度が10ppb以下となる程度にナトリウムイオンの含有量が抑えられたPVAを好ましく使用し得る。
EOとPOとのブロック共重合体は、ポリエチレンオキサイド(PEO)ブロックとポリプロピレンオキサイド(PPO)ブロックとを含むジブロック体、トリブロック体等であり得る。上記トリブロック体の例には、PEO−PPO−PEO型トリブロック体およびPPO−PEO−PPO型トリブロック体が含まれる。通常は、PEO−PPO−PEO型トリブロック体がより好ましい。
HO−(EO)a−(PO)b−(EO)c−H ・・・(1)
一般式(1)中のEOはオキシエチレン単位(−CH2CH2O−)を示し、POはオキシプロピレン単位(−CH2CH(CH3)O−)を示し、a、bおよびcはそれぞれ1以上(典型的には2以上)の整数を示す。
一般式(1)において、aとcとの合計は、2〜1000の範囲であることが好ましく、より好ましくは5〜500の範囲であり、さらに好ましくは10〜200の範囲である。一般式(1)中のbは、2〜200の範囲であることが好ましく、より好ましくは5〜100の範囲であり、さらに好ましくは10〜50の範囲である。
主鎖に窒素原子を含有するポリマーの例としては、N−アシルアルキレンイミン型モノマーの単独重合体および共重合体が挙げられる。N−アシルアルキレンイミン型モノマーの具体例としては、N−アセチルエチレンイミン、N−プロピオニルエチレンイミン、N−カプロイルエチレンイミン、N−ベンゾイルエチレンイミン、N−アセチルプロピレンイミン、N−ブチリルエチレンイミン等が挙げられる。N−アシルアルキレンイミン型モノマーの単独重合体としては、ポリ(N−アセチルエチレンイミン)、ポリ(N−プロピオニルエチレンイミン)、ポリ(N−カプロイルエチレンイミン)、ポリ(N−ベンゾイルエチレンイミン)、ポリ(N−アセチルプロピレンイミン)、ポリ(N−ブチリルエチレンイミン)等が挙げられる。N−アシルアルキレンイミン型モノマーの共重合体の例には、2種以上のN−アシルアルキレンイミン型モノマーの共重合体と、1種または2種以上のN−アシルアルキレンイミン型モノマーと他のモノマーとの共重合体が含まれる。
なお、本明細書中において共重合体とは、特記しない場合、ランダム共重合体、交互共重合体、ブロック共重合体、グラフト共重合体等の各種の共重合体を包括的に指す意味である。
N−(メタ)アクリロイル基を有する鎖状アミドをモノマー単位として含むポリマーの例として、N−イソプロピルアクリルアミドの単独重合体およびN−イソプロピルアクリルアミドの共重合体(例えば、N−イソプロピルアクリルアミドの共重合割合が50質量%を超える共重合体)、N−ヒドロキシエチルアクリルアミドの単独重合体およびN−ヒドロキシエチルアクリルアミドの共重合体(例えば、N−ヒドロキシエチルアクリルアミドの共重合割合が50質量%を超える共重合体)等が挙げられる。
N−ビニルラクタム型モノマーの具体例としては、N−ビニルピロリドン(VP)、N−ビニルピペリドン、N−ビニルモルホリノン、N−ビニルカプロラクタム(VC)、N−ビニル−1,3−オキサジン−2−オン、N−ビニル−3,5−モルホリンジオン等が挙げられる。N−ビニルラクタム型のモノマー単位を含むポリマーの具体例としては、ポリビニルピロリドン(PVP)、ポリビニルカプロラクタム、VPとVCとのランダム共重合体、VPおよびVCの一方または両方と他のビニルモノマー(例えば、アクリル系モノマー、ビニルエステル系モノマー等)とのランダム共重合体、VPおよびVCの一方または両方を含むポリマーセグメントを含むブロック共重合体やグラフト共重合体(例えば、ポリビニルアルコールにポリビニルピロリドンがグラフトしたグラフト共重合体)等が挙げられる。なかでも好ましいものとして、ビニルピロリドン系ポリマー(PVP)が挙げられる。ここでビニルピロリドン系ポリマーとは、VPの単独重合体およびVPの共重合体(例えば、VPの共重合割合が50重量%を超える共重合体)をいう。ビニルピロリドン系ポリマーにおいて、全繰返し単位のモル数に占めるVP単位のモル数の割合は、通常は50%以上であり、80%以上(例えば90%以上、典型的には95%以上)であることが適当である。水溶性ポリマーの全繰返し単位が実質的にVP単位から構成されていてもよい。
N−ビニル鎖状アミドの具体例としては、N−ビニルアセトアミド、N−ビニルプロピオン酸アミド、N−ビニル酪酸アミド等が挙げられる。
N−ビニル鎖状アミドの具体例としては、N−ビニルアセトアミド、N−ビニルプロピオン酸アミド、N−ビニル酪酸アミド等が挙げられる。
また、オキシアルキレン単位を含む水溶性ポリマーのMwは、好ましくは50×104以下、より好ましくは30×104以下、さらに好ましくは25×104以下(例えば10×104以下)である。オキシアルキレン単位を含む水溶性ポリマーのMwは、典型的には1×104以上である。
また、例えば窒素原子を含有する水溶性ポリマーのMwは、典型的には50×104以下、好ましくは40×104以下、より好ましくは30×104以下、さらに好ましくは10×104以下(例えば7×104以下)である。窒素原子を含有する水溶性ポリマーのMwの下限は特に限定されない。窒素原子を含有する水溶性ポリマーのMwは、例えば1×103以上、典型的には1×104以上であり、ヘイズ低減等の観点から好ましくは2×104以上、より好ましくは3×104以上である。
なお、原理上、Mw/Mnは1.0以上である。原料の入手容易性や合成容易性の観点から、通常は、Mw/Mnが1.05以上の水溶性ポリマーを好ましく使用し得る。
ここに開示される研磨用組成物は、以下の吸着比測定における吸着比が互いに異なる2種類の水溶性ポリマーを含むことによって特徴づけられる。具体的には、ここに開示される研磨用組成物は、吸着比が5%未満であるポリマーAと、吸着比が5%以上95%未満であるポリマーB(ただし、ヒドロキシエチルセルロースを除く。)とを含有する。ポリマーAとしては、上記吸着比を満たす水溶性ポリマーを単独でまたは2種以上組み合わせて用いることができる。ポリマーBについても同様に、上記吸着比を満たす水溶性ポリマーを単独でまたは2種以上組み合わせて用いることができる。
[吸着比測定]
(1)測定対象ポリマー0.018質量%およびアンモニア0.01質量%を含み、残部が水からなる試験液L0を用意する。
(2)砥粒を0.18質量%、上記測定対象ポリマーを0.018質量%およびアンモニアを0.01質量%の濃度で含み、残部が水からなる試験液L1を用意する。
(3)上記試験液L1に対して遠心分離処理を行って上記砥粒を沈降させる。
(4)上記試験液L0に含まれる上記測定対象ポリマーの質量W0と、上記試験液L1に上記遠心分離処理を施した後の上澄み液に含まれる上記測定対象ポリマーの質量W1とから、以下の式により上記測定対象ポリマーの吸着比を算出する。
吸着比(%)=[(W0−W1)/W0]×100
なお、特に限定するものではないが、ここに開示される技術は、比表面積が凡そ20〜200mm2/g(典型的には50〜150mm2/g)の砥粒を使用する研磨用組成物に好ましく適用され得る。
ポリマーBと組み合わせて使用することの効果(例えば、ポリマーA、ポリマーBの各々の単独使用に比べて研磨性能を向上させる効果)をよりよく発揮させる観点から、ポリマーAの吸着比は、好ましくは3%未満、より好ましくは1%未満であり、実質的に0%であってもよい。
ポリマーAと組み合わせて使用することの効果(例えば、ポリマーA、ポリマーBの各々の単独使用に比べて研磨性能を向上させる効果)をよりよく発揮する観点から、ポリマーBの吸着比は、8%以上が好ましく、10%以上がより好ましく、12%以上がさらに好ましい。また、同様の理由から、ポリマーBの吸着比PBからポリマーAの吸着比PAを減じた値(PB−PA)は、5%以上が好ましく、7%以上がより好ましく、10%以上がさらに好ましい。また、ポリマーA,Bの吸着比の差が大きすぎても両者の併用効果が減少傾向となることがあり得る。かかる観点から、好ましい一態様において、上記吸着比の差(PB−PA)は、80%以下とすることができ、70%以下(例えば60%以下)とすることがより好ましい。
ここに開示される研磨用組成物に含まれる水としては、イオン交換水(脱イオン水)、純水、超純水、蒸留水等を好ましく用いることができる。使用する水は、研磨用組成物に含有される他の成分の働きが阻害されることを極力回避するため、例えば遷移金属イオンの合計含有量が100ppb以下であることが好ましい。例えば、イオン交換樹脂による不純物イオンの除去、フィルタによる異物の除去、蒸留等の操作によって水の純度を高めることができる。
ここに開示される研磨用組成物は、必要に応じて、水と均一に混合し得る有機溶剤(低級アルコール、低級ケトン等)をさらに含有してもよい。通常は、研磨用組成物に含まれる溶媒の90体積%以上が水であることが好ましく、95体積%以上(典型的には99〜100体積%)が水であることがより好ましい。
ここに開示される研磨用組成物は、典型的には、砥粒、水溶性ポリマーおよび水の他に、塩基性化合物を含有する。ここで塩基性化合物とは、研磨用組成物に添加されることによって該組成物のpHを上昇させる機能を有する化合物を指す。塩基性化合物は、研磨対象となる面を化学的に研磨する働きをし、研磨速度の向上に寄与し得る。また、塩基性化合物は、研磨用組成物の分散安定性の向上に役立ち得る。
ここに開示される研磨用組成物は、砥粒、水溶性ポリマーおよび水の他に、界面活性剤(典型的には、分子量1×104未満の水溶性有機化合物)を含む態様で好ましく実施され得る。界面活性剤の使用により、研磨用組成物の分散安定性が向上し得る。また、研磨面のヘイズを低減することが容易となり得る。界面活性剤は、1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。
界面活性剤の分子量のより好ましい範囲は、界面活性剤の種類によっても異なり得る。例えば、界面活性剤としてEOとPOとのブロック共重合体を用いる場合には、Mwが1000以上のものが好ましく、2000以上のものがより好ましく、5000以上のものがさらに好ましい。
なお、ここに開示される技術における界面活性剤として、上述したいずれかの水溶性ポリマーと同様の化学構造であってMwが1×104未満のものを使用することも可能である。したがって、ここに開示される研磨用組成物は、例えば水溶性ポリマーAとしてポリビニルアルコールを用いる場合、水溶性ポリマーAとしてのMw1×104以上のポリビニルアルコールと、界面活性剤としてのMw1×104未満のポリビニルアルコールとを併用し、さらにMw1×104以上の水溶性ポリマーBを含む態様で実施されてもよい。
また、水溶性ポリマーの含有量W1と界面活性剤の含有量W2との質量比(W1/W2)は特に制限されないが、通常、0.01〜200の範囲とすることが適当であり、例えば0.1〜100の範囲とすることが好ましい。好ましい一態様において、(W1/W2)は、例えば0.01〜20の範囲とすることができ、0.05〜15の範囲が好ましく、0.1〜10の範囲がより好ましい。
ここに開示される研磨用組成物は、本発明の効果が著しく妨げられない範囲で、キレート剤、有機酸、有機酸塩、無機酸、無機酸塩、防腐剤、防カビ剤等の、研磨用組成物(典型的には、シリコンウエハのファイナルポリシングに用いられる研磨用組成物)に用いられ得る公知の添加剤を、必要に応じてさらに含有してもよい。
防腐剤および防カビ剤の例としては、イソチアゾリン系化合物、パラオキシ安息香酸エステル類、フェノキシエタノール等が挙げられる。
ここに開示される研磨用組成物は、種々の材質および形状を有する研磨対象物の研磨に適用され得る。研磨対象物の材質は、例えば、シリコン、アルミニウム、ニッケル、タングステン、銅、タンタル、チタン、ステンレス鋼等の金属もしくは半金属、またはこれらの合金;石英ガラス、アルミノシリケートガラス、ガラス状カーボン等のガラス状物質;アルミナ、シリカ、サファイア、窒化ケイ素、窒化タンタル、炭化チタン等のセラミック材料;炭化ケイ素、窒化ガリウム、ヒ化ガリウム等の化合物半導体基板材料;ポリイミド樹脂等の樹脂材料;等であり得る。これらのうち複数の材質により構成された研磨対象物であってもよい。なかでも、シリコンからなる表面を備えた研磨対象物の研磨に好適である。ここに開示される技術は、例えば、砥粒としてシリカ粒子を含む研磨用組成物(典型的には、砥粒としてシリカ粒子のみを含む研磨用組成物)であって、研磨対象物がシリコンである研磨用組成物に対して特に好ましく適用され得る。
研磨対象物の形状は特に制限されない。ここに開示される研磨用組成物は、例えば、板状や多面体状等の、平面を有する研磨対象物の研磨に好ましく適用され得る。
ここに開示される研磨用組成物は、典型的には該研磨用組成物を含む研磨液の形態で研磨対象物に供給されて、その研磨対象物の研磨に用いられる。上記研磨液は、例えば、ここに開示されるいずれかの研磨用組成物を希釈(典型的には、水により希釈)して調製されたものであり得る。あるいは、該研磨用組成物をそのまま研磨液として使用してもよい。すなわち、ここに開示される技術における研磨用組成物の概念には、研磨対象物に供給されて該研磨対象物の研磨に用いられる研磨液(ワーキングスラリー)と、希釈して研磨液として用いられる濃縮液(研磨液の原液)との双方が包含される。ここに開示される研磨用組成物を含む研磨液の他の例として、該組成物のpHを調整してなる研磨液が挙げられる。
ここに開示される研磨用組成物の製造方法は特に限定されない。例えば、翼式攪拌機、超音波分散機、ホモミキサー等の周知の混合装置を用いて、研磨用組成物に含まれる各成分を混合するとよい。これらの成分を混合する態様は特に限定されず、例えば全成分を一度に混合してもよく、適宜設定した順序で混合してもよい。
塩基性砥粒分散液とポリマー水溶液とを混合する際には、塩基性砥粒分散液に対してポリマー水溶液を添加することが好ましい。かかる混合方法によると、例えばポリマー水溶液に対して塩基性砥粒分散液を添加する混合方法に比べて、砥粒の局所的な凝集をよりよく防止することができる。砥粒がシリカ粒子(例えばコロイダルシリカ粒子)である場合には、上記のように塩基性砥粒分散液に対してポリマー水溶液を添加する混合方法を採用することが特に有意義である。
ここに開示される研磨用組成物は、例えば以下の操作を含む態様で、研磨対象物の研磨に好適に使用することができる。以下、ここに開示される研磨用組成物を用いて研磨対象物を研磨する方法の好適な一態様につき説明する。
すなわち、ここに開示されるいずれかの研磨用組成物を含む研磨液(典型的にはスラリー状の研磨液であり、研磨スラリーと称されることもある。)を用意する。上記研磨液を用意することには、上述のように、研磨用組成物に濃度調整(例えば希釈)、pH調整等の操作を加えて研磨液を調製することが含まれ得る。あるいは、研磨用組成物をそのまま研磨液として使用してもよい。
ここに開示される研磨用組成物を用いて研磨された研磨物は、典型的には、研磨後に洗浄される。この洗浄は、適当な洗浄液を用いて行うことができる。使用する洗浄液は特に限定されず、例えば、半導体等の分野において一般的なSC−1洗浄液(水酸化アンモニウム(NH4OH)と過酸化水素(H2O2)と水(H2O)との混合液。以下、SC−1洗浄液を用いて洗浄することを「SC−1洗浄」という。)、SC−2洗浄液(HClとH2O2とH2Oとの混合液。)等を用いることができる。洗浄液の温度は、例えば常温〜90℃程度とすることができる。洗浄効果を向上させる観点から、50℃〜85℃程度の洗浄液を好ましく使用し得る。
ここに開示される研磨用組成物は、研磨対象物に供給される前には濃縮された形態(すなわち、研磨液の濃縮液の形態)であってもよい。このように濃縮された形態の研磨用組成物は、製造、流通、保存等の際における利便性やコスト低減等の観点から有利である。濃縮倍率は、例えば、体積換算で2倍〜100倍程度とすることができ、通常は5倍〜50倍程度が適当である。好ましい一態様に係る研磨用組成物の濃縮倍率は10倍〜40倍であり、例えば15倍〜25倍である。
重量平均分子量(Mw)が1.3×104のポリビニルアルコール(けん化度95モル%以上;以下「PVA−A」と表記)、アンモニア水(濃度29%)および脱イオン水を混合して、PVA−Aを0.018%、アンモニア(NH3)を0.01%の濃度で含み、残部が水からなる試験液L0を調製した。その試験液L0について、島津製作所社製の全有機体炭素計(燃焼触媒酸化方式、型式「TOC−5000A」)を用いて全有機炭素量(TOC)を測定した。
一方、後述する実施例1〜8,11,12および比較例1〜4で用いたものと同じ砥粒、PVA−A、アンモニア水(濃度29%)および脱イオン水を混合して、上記砥粒を0.18%、PVA−Aを0.018%、アンモニア(NH3)を0.01%の濃度で含み、残部が水からなる試験液L1を調製した。その試験液L1に対し、ベックマン・コールター社製の遠心分離器、型式「Avanti HP−30I」を用いて20000rpmの回転数で30分間の遠心分離処理を行った。上記遠心分離処理後の上澄み液を回収し、その上澄み液のTOCを上記全有機体炭素計を用いて計測した。上記試験液L0のTOC値および上記試験液L1の上澄み液のTOC値からPVA−Aの吸着比を算出したところ、ほぼ0%であった。
試験液L1の調製において後述する実施例9,10で用いたものと同じ砥粒を使用した他は上記吸着比の測定(1)と同様にして、PVA−D,Mwが0.3×104のポリビニルアルコール(ビニルアルコール単位80モル%、ヘキサン酸ビニル単位20モル%;以下「PVA−E」と表記)およびPVP−Aの吸着比を測定した。その結果、PVA−DおよびPVA−Eの吸着比はほぼ0%であり、PVP−Aの吸着比は90%であった。
(実施例1)
砥粒、水溶性ポリマー、アンモニア水(濃度29%)および脱イオン水を混合して、研磨用組成物の濃縮液を得た。この濃縮液を脱イオン水で20倍に希釈して、実施例1に係る研磨用組成物を調製した。
砥粒としては、平均一次粒子径25nm、平均二次粒子径46nmのコロイダルシリカを使用した。上記平均一次粒子径は、マイクロメリテックス社製の表面積測定装置、商品名「Flow Sorb II 2300」を用いて測定されたものである。また、上記平均二次粒子径は、日機装株式会社製の型式「UPA−UT151」を用いて測定された体積平均二次粒子径である(以下の例において同じ。)。
水溶性ポリマーとしてはPVA−AとPACMO−Aとを50:50の質量比で使用した。
砥粒、水溶性ポリマーおよびアンモニア水の使用量は、研磨用組成物中における砥粒の含有量が0.18%となり、水溶性ポリマーの含有量(PVA−AとPACMO−Aとの合計量)が0.018%となり、アンモニア(NH3)の含有量が0.01%となる量とした。この研磨用組成物のpHは10.2であった。
水溶性ポリマーとしてPVA−AとPACMO−Aとを30:70の質量比で使用した他は実施例1と同様にして、実施例2に係る研磨用組成物を調製した。
水溶性ポリマーとしてPVA−AとPACMO−Aとを25:75の質量比で使用した他は実施例1と同様にして、実施例3に係る研磨用組成物を調製した。
水溶性ポリマーとしてPVA−AとPACMO−Aとを75:25の質量比で使用した他は実施例1と同様にして、実施例4に係る研磨用組成物を調製した。
水溶性ポリマーとしてPVA−BとPNIPAMとを50:50の質量比で使用した他は実施例1と同様にして、実施例5に係る研磨用組成物を調製した。
本例では、砥粒、水溶性ポリマーおよびアンモニア水の使用量を、研磨用組成物中における砥粒の含有量が0.09%となり、水溶性ポリマーの含有量(PVA−AとPACMO−Aとの合計量)が0.010%となり、アンモニア(NH3)の含有量が0.005%となる量とした。その他の点は実施例1と同様にして、実施例6に係る研磨用組成物を調製した。
水溶性ポリマーとしてPVA−DとPACMO−Aとを50:50の質量比で使用した他は実施例6と同様にして、実施例7に係る研磨用組成物を調製した。
水溶性ポリマーとしてPVA−DとPVP−Aとを50:50の質量比で使用した他は実施例6と同様にして、実施例8に係る研磨用組成物を調製した。
本例では、砥粒として、平均一次粒子径35nm、平均二次粒子径66nmのコロイダルシリカを使用した。水溶性ポリマーとしては、PVA−DとPVP−Aとを30:70の質量比で使用した。砥粒、水溶性ポリマーおよびアンモニア水の使用量は、研磨用組成物中における砥粒の含有量が0.50%となり、水溶性ポリマーの含有量(PVA−DとPVP−Aとの合計量)が0.008%となり、アンモニア(NH3)の含有量が0.01%となる量とした。その他の点は実施例1と同様にして、実施例9に係る研磨用組成物を調製した。
水溶性ポリマーとしてPVA−EとPVP−Aとを30:70の質量比で使用した他は実施例9と同様にして、実施例10に係る研磨用組成物を調製した。
水溶性ポリマーとしてPVA−AとPACMO−Bとを50:50の質量比で使用した他は実施例6と同様にして、実施例11に係る研磨用組成物を調製した。
水溶性ポリマーとしてPVA−AとPACMO−Cとを50:50の質量比で使用した他は実施例6と同様にして、実施例12に係る研磨用組成物を調製した。
水溶性ポリマーとしてPVA−Aを単独で使用した他は実施例1と同様にして、比較例1に係る研磨用組成物を調製した。
水溶性ポリマーとしてPACMO−Aを単独で使用した他は実施例1と同様にして、比較例2に係る研磨用組成物を調製した。
水溶性ポリマーとしてPVA−BとPVA−Cとを50:50の質量比で使用した他は実施例1と同様にして、比較例3に係る研磨用組成物を調製した。
水溶性ポリマーとしてPACMO−AとPVP−Bとを50:50の質量比で使用した他は実施例1と同様にして、比較例4に係る研磨用組成物を調製した。
各例に係る研磨用組成物をそのまま研磨液として使用して、シリコンウエハの表面を下記の条件で研磨した。シリコンウエハとしては、直径が300mm、伝導型がP型、結晶方位が<100>、抵抗率が0.1Ω・cm以上100Ω・cm未満であるものを、研磨スラリー(株式会社フジミインコーポレーテッド製、商品名「GLANZOX 2100」)を用いて予備研磨を行うことにより表面粗さ0.1nm〜10nmに調整して使用した。
研磨機:株式会社岡本工作機械製作所製の枚葉研磨機、型式「PNX−332B」
研磨テーブル:上記研磨機の有する3テーブルのうち後段の2テーブルを用いて、予備研磨後のファイナル研磨1段目および2段目を実施した。
(以下の条件は各テーブル同一である。)
研磨荷重:15kPa
定盤回転数:30rpm
ヘッド回転数:30rpm
研磨時間:2分
研磨液の温度:20℃
研磨液の供給速度:2.0リットル/分(掛け流し使用)
研磨後のシリコンウエハを、NH4OH(29%):H2O2(31%):脱イオン水(DIW)=1:3:30(体積比)の洗浄液を用いて洗浄した(SC−1洗浄)。より具体的には、周波数950kHzの超音波発振器を取り付けた洗浄槽を2つ用意し、それら第1および第2の洗浄槽の各々に上記洗浄液を収容して60℃に保持し、研磨後のシリコンウエハを第1の洗浄槽に6分、その後超純水と超音波によるリンス槽を経て、第2の洗浄槽に6分、それぞれ上記超音波発振器を作動させた状態で浸漬した。
ケーエルエー・テンコール社製のウエハ検査装置、商品名「Surfscan SP2」を用いて、洗浄後の直径300mmのシリコンウエハ表面に存在する37nm以上の大きさのパーティクルの個数(LPD数)をカウントした。得られた結果を、比較例1のLPD数を100%とする相対値に換算して表1に示した。
洗浄後のシリコンウエハ表面につき、ケーエルエー・テンコール社製のウエハ検査装置、商品名「Surfscan SP2」を用いて、DWOモードでヘイズ(ppm)を測定した。得られた結果を、比較例1のヘイズ値を100%とする相対値に換算して表1に示した。
これに対して、水溶性ポリマーとしてポリマーAに該当するもののみを2種組み合わせて用いた比較例3およびポリマーBに該当するもののみを2種組み合わせて用いた比較例4では、実施例1〜12とは異なり、水溶性ポリマーの組合せによるLPD数およびヘイズの低減効果は認められなかった。
Claims (9)
- シリコンウエハの研磨に用いられる研磨用組成物であって、
砥粒と水溶性ポリマーと水とを含み、
前記砥粒としてシリカ粒子を含み、
前記水溶性ポリマーとして、以下の吸着比測定:
(1)測定対象ポリマー0.018質量%およびアンモニア0.01質量%を含み、残部が水からなる試験液L0を用意する;
(2)前記砥粒を0.18質量%、前記測定対象ポリマーを0.018質量%およびアンモニアを0.01質量%の濃度で含み、残部が水からなる試験液L1を用意する;
(3)前記試験液L1に対して遠心分離処理を行って前記砥粒を沈降させる;
(4)前記試験液L0に含まれる前記測定対象ポリマーの質量W0と、前記試験液L1の前記遠心分離処理後の上澄み液に含まれる前記測定対象ポリマーの質量W1とから、次式:
吸着比(%)=[(W0−W1)/W0]×100;
により前記測定対象ポリマーの吸着比を算出する;
に基づく吸着比が5%未満であるポリマーAと、
前記吸着比測定に基づく吸着比が5%以上95%未満であるポリマーBとを含み、
ここで、前記ポリマーBは、窒素原子を含有するノニオン性ポリマーであって、かつヒドロキシエチルセルロース以外のポリマーから選択され、
前記ポリマーAは、分子中に水酸基を有するポリマーおよび分子中にポリオキシアルキレン構造を有するポリマーから選択される、研磨用組成物。 - 前記ポリマーBは、数平均分子量(Mn)に対する重量平均分子量(Mw)の比(Mw/Mn)が5.0以下である、請求項1に記載の研磨用組成物。
- 前記ポリマーBの重量平均分子量(Mw)は1×104以上25×104未満である、請求項1または2に記載の研磨用組成物。
- 前記ポリマーBは、アミド結合を有するペンダント基を含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の研磨用組成物。
- 前記ポリマーAは、前記分子中に水酸基を有するポリマーから選択される、請求項1から4のいずれか一項に記載の研磨用組成物。
- 前記ポリマーAは、ビニルアルコール系ポリマーから選択される、請求項1から5のいずれか一項に記載の研磨用組成物。
- 前記ポリマーAはポリビニルアルコールである、請求項1から6のいずれか一項に記載の研磨用組成物。
- さらに塩基性化合物を含む、請求項1から6のいずれか一項に記載の研磨用組成物。
- 請求項1から8のいずれか一項に記載の研磨用組成物を含む研磨液を用意すること;
前記研磨液を研磨対象物としてのシリコンウエハに供給すること;および、
前記研磨対象物の表面を前記研磨液で研磨すること;
を包含する、シリコンウエハ製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015501431A JP5890583B2 (ja) | 2013-02-21 | 2014-02-14 | 研磨用組成物および研磨物製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013032464 | 2013-02-21 | ||
JP2013032464 | 2013-02-21 | ||
PCT/JP2014/053540 WO2014129408A1 (ja) | 2013-02-21 | 2014-02-14 | 研磨用組成物および研磨物製造方法 |
JP2015501431A JP5890583B2 (ja) | 2013-02-21 | 2014-02-14 | 研磨用組成物および研磨物製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5890583B2 true JP5890583B2 (ja) | 2016-03-22 |
JPWO2014129408A1 JPWO2014129408A1 (ja) | 2017-02-02 |
Family
ID=51391200
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015501431A Active JP5890583B2 (ja) | 2013-02-21 | 2014-02-14 | 研磨用組成物および研磨物製造方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9566685B2 (ja) |
EP (1) | EP2960314A4 (ja) |
JP (1) | JP5890583B2 (ja) |
KR (1) | KR102226501B1 (ja) |
CN (1) | CN105073941B (ja) |
SG (1) | SG11201506296VA (ja) |
TW (1) | TWI624537B (ja) |
WO (1) | WO2014129408A1 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6389629B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2018-09-12 | ニッタ・ハース株式会社 | 研磨用組成物 |
JP6389630B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2018-09-12 | ニッタ・ハース株式会社 | 研磨用組成物 |
JP6185432B2 (ja) | 2014-06-24 | 2017-08-23 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | シリコンウェーハ研磨用組成物 |
JP2016056254A (ja) * | 2014-09-08 | 2016-04-21 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物 |
US10179870B2 (en) | 2014-12-05 | 2019-01-15 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive composition |
JP6403324B2 (ja) * | 2014-12-25 | 2018-10-10 | 花王株式会社 | シリコンウェーハ用研磨液組成物 |
JP6367113B2 (ja) * | 2014-12-25 | 2018-08-01 | 花王株式会社 | シリコンウェーハ用研磨液組成物 |
JP2016213216A (ja) * | 2015-04-28 | 2016-12-15 | 花王株式会社 | シリコンウェーハ用研磨液組成物 |
JP6801964B2 (ja) * | 2016-01-19 | 2020-12-16 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物及びシリコン基板の研磨方法 |
CN108713242A (zh) * | 2016-03-01 | 2018-10-26 | 福吉米株式会社 | 硅基板的研磨方法及研磨用组合物套组 |
WO2018131508A1 (ja) * | 2017-01-16 | 2018-07-19 | 日揮触媒化成株式会社 | 研磨組成物 |
WO2018168206A1 (ja) * | 2017-03-14 | 2018-09-20 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物、その製造方法ならびにこれを用いた研磨方法および基板の製造方法 |
US10319601B2 (en) * | 2017-03-23 | 2019-06-11 | Applied Materials, Inc. | Slurry for polishing of integrated circuit packaging |
CN106947396B (zh) * | 2017-03-23 | 2019-02-26 | 河南联合精密材料股份有限公司 | 研磨液用悬浮体系、研磨液及其制备方法 |
JP6879798B2 (ja) * | 2017-03-30 | 2021-06-02 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物および研磨方法 |
CN110462797B (zh) * | 2017-03-31 | 2023-09-22 | 福吉米株式会社 | 研磨用组合物 |
JP6951933B2 (ja) * | 2017-10-10 | 2021-10-20 | 花王株式会社 | シリコンウェーハ用仕上げ研磨液組成物 |
WO2019187969A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物 |
JP6929239B2 (ja) * | 2018-03-30 | 2021-09-01 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物および研磨方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006352042A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Nitta Haas Inc | 半導体研磨用組成物 |
JPWO2007088868A1 (ja) * | 2006-01-31 | 2009-06-25 | 日立化成工業株式会社 | 絶縁膜研磨用cmp研磨剤、研磨方法、該研磨方法で研磨された半導体電子部品 |
JPWO2008044477A1 (ja) * | 2006-10-06 | 2010-02-04 | Jsr株式会社 | 化学機械研磨用水系分散体および半導体装置の化学機械研磨方法 |
JP2010028080A (ja) * | 2008-02-18 | 2010-02-04 | Jsr Corp | 化学機械研磨用水系分散体およびその製造方法、ならびに化学機械研磨方法 |
JP2012079964A (ja) * | 2010-10-04 | 2012-04-19 | Nissan Chem Ind Ltd | 半導体ウェーハ用研磨液組成物 |
WO2013125441A1 (ja) * | 2012-02-21 | 2013-08-29 | 日立化成株式会社 | 研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法 |
WO2013125446A1 (ja) * | 2012-02-21 | 2013-08-29 | 日立化成株式会社 | 研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法 |
WO2014034358A1 (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-06 | 日立化成株式会社 | 研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法 |
WO2014034379A1 (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-06 | 日立化成株式会社 | 研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3536683A (en) * | 1967-04-07 | 1970-10-27 | Du Pont | Process for isolating a fluorine-containing polymer |
DE2247067C3 (de) | 1972-09-26 | 1979-08-09 | Wacker-Chemitronic Gesellschaft Fuer Elektronik-Grundstoffe Mbh, 8263 Burghausen | Verwendung einer Poliersuspension zum schleierfreien Polieren von Halbleiteroberflächen |
JPH08113772A (ja) | 1994-10-18 | 1996-05-07 | Asahi Denka Kogyo Kk | シリコンウェハ研磨剤組成物及びシリコンウェハ研磨剤用組成物 |
US5860848A (en) * | 1995-06-01 | 1999-01-19 | Rodel, Inc. | Polishing silicon wafers with improved polishing slurries |
WO2000004757A1 (fr) * | 1998-07-23 | 2000-02-03 | Kao Corporation | Milieux artificiels aqueux |
CN1290162C (zh) * | 2001-02-20 | 2006-12-13 | 日立化成工业株式会社 | 抛光剂及基片的抛光方法 |
JP4212861B2 (ja) | 2002-09-30 | 2009-01-21 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物及びそれを用いたシリコンウエハの研磨方法、並びにリンス用組成物及びそれを用いたシリコンウエハのリンス方法 |
US20060135045A1 (en) * | 2004-12-17 | 2006-06-22 | Jinru Bian | Polishing compositions for reducing erosion in semiconductor wafers |
WO2006112519A1 (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Showa Denko K.K. | 研磨組成物 |
JP2007105833A (ja) * | 2005-10-14 | 2007-04-26 | Kyocera Chemical Corp | 研磨剤、その製造方法及び研磨方法 |
WO2008013226A1 (fr) * | 2006-07-28 | 2008-01-31 | Showa Denko K.K. | Composition de polissage |
JP5060755B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2012-10-31 | Sumco Techxiv株式会社 | 半導体ウェハの粗研磨方法、及び半導体ウェハの研磨装置 |
US20110081780A1 (en) | 2008-02-18 | 2011-04-07 | Jsr Corporation | Aqueous dispersion for chemical mechanical polishing and chemical mechanical polishing method |
JP2011171689A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-09-01 | Kao Corp | シリコンウエハ用研磨液組成物 |
DE112011103232T5 (de) | 2010-09-27 | 2013-06-27 | Fujimi Incorporated | Oberflächenbehandlungszusammensetzung und Oberflächenbehandlungsverfahren unter Verwendung derselben |
WO2012090755A1 (ja) | 2010-12-28 | 2012-07-05 | コニカミノルタオプト株式会社 | 記録媒体用ガラス基板を製造する方法 |
CN103403123B (zh) * | 2011-01-26 | 2015-04-08 | 福吉米株式会社 | 研磨用组合物、使用其的研磨方法及基板的制造方法 |
KR102000304B1 (ko) * | 2011-06-14 | 2019-07-15 | 가부시키가이샤 후지미인코퍼레이티드 | 연마용 조성물 |
-
2014
- 2014-02-14 WO PCT/JP2014/053540 patent/WO2014129408A1/ja active Application Filing
- 2014-02-14 US US14/769,377 patent/US9566685B2/en active Active
- 2014-02-14 CN CN201480009943.9A patent/CN105073941B/zh active Active
- 2014-02-14 EP EP14754700.4A patent/EP2960314A4/en active Pending
- 2014-02-14 SG SG11201506296VA patent/SG11201506296VA/en unknown
- 2014-02-14 KR KR1020157025527A patent/KR102226501B1/ko active IP Right Grant
- 2014-02-14 JP JP2015501431A patent/JP5890583B2/ja active Active
- 2014-02-20 TW TW103105643A patent/TWI624537B/zh active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006352042A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Nitta Haas Inc | 半導体研磨用組成物 |
JPWO2007088868A1 (ja) * | 2006-01-31 | 2009-06-25 | 日立化成工業株式会社 | 絶縁膜研磨用cmp研磨剤、研磨方法、該研磨方法で研磨された半導体電子部品 |
JPWO2008044477A1 (ja) * | 2006-10-06 | 2010-02-04 | Jsr株式会社 | 化学機械研磨用水系分散体および半導体装置の化学機械研磨方法 |
JP2010028080A (ja) * | 2008-02-18 | 2010-02-04 | Jsr Corp | 化学機械研磨用水系分散体およびその製造方法、ならびに化学機械研磨方法 |
JP2012079964A (ja) * | 2010-10-04 | 2012-04-19 | Nissan Chem Ind Ltd | 半導体ウェーハ用研磨液組成物 |
WO2013125441A1 (ja) * | 2012-02-21 | 2013-08-29 | 日立化成株式会社 | 研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法 |
WO2013125446A1 (ja) * | 2012-02-21 | 2013-08-29 | 日立化成株式会社 | 研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法 |
WO2014034358A1 (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-06 | 日立化成株式会社 | 研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法 |
WO2014034379A1 (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-06 | 日立化成株式会社 | 研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2014129408A1 (ja) | 2014-08-28 |
CN105073941B (zh) | 2018-01-30 |
EP2960314A4 (en) | 2016-11-23 |
TW201439296A (zh) | 2014-10-16 |
SG11201506296VA (en) | 2015-09-29 |
US9566685B2 (en) | 2017-02-14 |
KR102226501B1 (ko) | 2021-03-11 |
KR20150123265A (ko) | 2015-11-03 |
US20160001416A1 (en) | 2016-01-07 |
CN105073941A (zh) | 2015-11-18 |
TWI624537B (zh) | 2018-05-21 |
EP2960314A1 (en) | 2015-12-30 |
JPWO2014129408A1 (ja) | 2017-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5890583B2 (ja) | 研磨用組成物および研磨物製造方法 | |
JP6387032B2 (ja) | 研磨用組成物、研磨用組成物製造方法および研磨物製造方法 | |
JP6360108B2 (ja) | シリコンウエハ研磨用組成物 | |
JP6514653B2 (ja) | 研磨用組成物、研磨用組成物製造方法および研磨用組成物調製用キット | |
JP5857310B2 (ja) | 研磨用組成物およびその製造方法 | |
JP6259723B2 (ja) | シリコンウェーハの研磨方法、研磨用組成物および研磨用組成物セット | |
JP5892638B2 (ja) | 研磨用組成物およびその製造方法 | |
JP5920840B2 (ja) | 研磨用組成物およびその製造方法 | |
JP6691774B2 (ja) | 研磨用組成物およびその製造方法 | |
JP6255287B2 (ja) | 研磨方法およびそれに用いられる研磨用組成物 | |
KR101732331B1 (ko) | 실리콘 웨이퍼 연마용 조성물 | |
JP6246638B2 (ja) | 研磨方法およびそれに用いられる研磨用組成物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160218 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5890583 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |