JP5882580B2 - 放電空間内の電気放電を介するプラズマ発生のための方法、装置、及びその使用 - Google Patents
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- H05H1/48—Generating plasma using an arc
Description
12 電極II
14 第1開孔
16 第2開孔
18 絶縁体
20 キャパシタバンク
22 放電空間
24 対称性の軸
26 プラズマ
28 放射
30 キャリア材料、マトリックス材料
32 供給通路
34 貯留部
36 表面
38 犠牲材
40 マトリックス
42 電流フロー
44 犠牲材の蒸気
46 毛細管力
48 チャネル
50 気体
52 濡らされた表面
p ガス圧
T、T1、T2 温度
U 点火電圧
Claims (19)
- 少なくとも2つの電極を含む放電空間内の電気放電を介するプラズマの発生のための方法であって、
前記電極の少なくとも一方は、蒸発スポットによる侵食影響領域が少なくとも電流フローによって形成されるようにマトリックス材料又はキャリア材料から構成されており、犠牲材が、少なくとも前記蒸発スポットに供給され、前記電流フローにおいて生じる電荷キャリアが前記犠牲材から主に生成されるように、前記犠牲材の沸点は、前記マトリックス材料又は前記キャリア材料の融点よりも低く、前記犠牲材が、放電前、付加的なエネルギの導入を介して、少なくとも、カソードのスポット若しくは蒸発領域が生じる場所において、レーザパルス又は電子線によって、蒸発され、蒸発された前記犠牲材とは異なるガスが、前記電極間に存在し、前記ガスは、放射を発生する少なくとも1つの成分を含んでいることを特徴とする、方法。 - 前記犠牲材は、前記電極を介して、前記電気放電に面している表面に供給されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記電気放電に面している表面は、前記犠牲材によって濡らされることを特徴とする、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記電気放電は、前記犠牲材の融点よりも高い前記電極の平均温度において動作することを特徴とする、請求項1ないし3の何れか一項に記載の方法。
- 前記電気放電によって蒸発される前記犠牲材の量は、貯留部から補充されることを特徴とする、請求項1ないし4の何れか一項に記載の方法。
- 蒸発された前記犠牲材は、凝縮の後、前記貯留部又は他の貯留部内に戻されることを特徴とする、請求項5に記載の方法。
- 前記電気放電は、所与のガス圧においてパッシェン曲線の左側の分岐において動作することを特徴とする、請求項1ないし6の何れか一項に記載の方法。
- 前記ガスの主成分は、放出される前記放射に対して透明であることを特徴とする、請求項1ないし7の何れか一項に記載の方法。
- スズ、インジウム、ガリウム、リチウム、金、ランタン、アルミニウム、及びこれらの合金、並びに/又はこれらと他の原子との化合物が前記犠牲材に使用されることを特徴とする、請求項1ないし8の何れか一項に記載の方法。
- 電気放電を介してプラズマを発生させる装置であって、少なくとも2つの電極を有する放電空間であって、前記電極の少なくとも一方は、蒸発スポットによる侵食影響領域が少なくとも電流のフローによって形成されるように、マトリックス材料又はキャリア材料から構成されている装置において、犠牲材を、少なくとも前記蒸発スポットに供給する構成であって、前記犠牲材の沸点は、前記電流のフローの場合に生じる電荷キャリアが前記犠牲材から主に生成されることができるように、前記マトリックス材料又は前記キャリア材料の融点よりも低く、前記犠牲材が、放電前、付加的なエネルギの導入を介して、少なくとも、カソードのスポット若しくは蒸発領域が生じる場所において、レーザパルス又は電子線によって、蒸発され、蒸発された前記犠牲材とは異なるガスが、前記電極間に存在し、前記ガスは、放射を発生する少なくとも1つの成分を含んでいる構成を有することを特徴とする装置。
- プラズマは、規定されている点火電圧に到達した場合、前記放電空間内の開孔によって規定される対称性の軸に沿って形成されることができ、該放電空間は少なくとも2つの電極と少なくとも1つの絶縁体とによって形成されていることを特徴とする、請求項10に記載の装置。
- 前記キャリア材料は、多孔質であるか又は毛細管型チャネルを有することを特徴とする、請求項10又は11に記載の装置。
- 前記キャリア材料は、液状及び/又は気体の形態における前記犠牲材を含む少なくとも1つの貯留部に接続されている、請求項
10ないし12の何れか一項に記載の装置。 - 前記キャリア材料は、耐熱性の材料、好ましくは、耐熱性の金属若しくは合金、又はセラミック材料によって形成されていることを特徴とする、請求項10ないし13の何れか一項に記載の装置。
- 前記キャリア材料は、前記電極の一方の前記プラズマに面している面の少なくとも1つにおいて多孔質の形状を有し、該形状は、前記キャリア材料の他の部分の多孔質の形状とは異なっていることを特徴とする、請求項11ないし14の何れか一項に記載の装置。
- 極紫外線の範囲内の放射及び/若しくは軟X線放射の発生又はEUVリソグラフィのための、請求項1ないし9の何れか一項に記載のプラズマの発生のための方法の使用。
- 極紫外線の範囲内の放射及び/若しくは軟X線放射の発生又はEUVリソグラフィのための、請求項10ないし15の何れか一項に記載のプラズマの発生のための装置の使用。
- 前記ガスは、キセノン、アルゴン、窒素及びヘリウムからなるグループから選択される少なくとも1つを成分として含む、請求項1ないし9の何れか一項に記載の方法。
- 前記ガスは、キセノン、アルゴン、窒素及びヘリウムからなるグループから選択される少なくとも1つを成分として含む、請求項10ないし15の何れか一項に記載の装置。
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