JP5872035B2 - 感光性組成物およびその感光性組成物に用いられる化合物 - Google Patents

感光性組成物およびその感光性組成物に用いられる化合物 Download PDF

Info

Publication number
JP5872035B2
JP5872035B2 JP2014520109A JP2014520109A JP5872035B2 JP 5872035 B2 JP5872035 B2 JP 5872035B2 JP 2014520109 A JP2014520109 A JP 2014520109A JP 2014520109 A JP2014520109 A JP 2014520109A JP 5872035 B2 JP5872035 B2 JP 5872035B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive composition
group
composition according
alkyl group
weight
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014520109A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2014525055A (ja
Inventor
リー、ゴン、ウ
Original Assignee
エルジー・ケム・リミテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by エルジー・ケム・リミテッド filed Critical エルジー・ケム・リミテッド
Priority claimed from PCT/KR2012/004465 external-priority patent/WO2013012169A2/ko
Publication of JP2014525055A publication Critical patent/JP2014525055A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5872035B2 publication Critical patent/JP5872035B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
    • G03F7/033—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D213/00—Heterocyclic compounds containing six-membered rings, not condensed with other rings, with one nitrogen atom as the only ring hetero atom and three or more double bonds between ring members or between ring members and non-ring members
    • C07D213/02—Heterocyclic compounds containing six-membered rings, not condensed with other rings, with one nitrogen atom as the only ring hetero atom and three or more double bonds between ring members or between ring members and non-ring members having three double bonds between ring members or between ring members and non-ring members
    • C07D213/04—Heterocyclic compounds containing six-membered rings, not condensed with other rings, with one nitrogen atom as the only ring hetero atom and three or more double bonds between ring members or between ring members and non-ring members having three double bonds between ring members or between ring members and non-ring members having no bond between the ring nitrogen atom and a non-ring member or having only hydrogen or carbon atoms directly attached to the ring nitrogen atom
    • C07D213/60—Heterocyclic compounds containing six-membered rings, not condensed with other rings, with one nitrogen atom as the only ring hetero atom and three or more double bonds between ring members or between ring members and non-ring members having three double bonds between ring members or between ring members and non-ring members having no bond between the ring nitrogen atom and a non-ring member or having only hydrogen or carbon atoms directly attached to the ring nitrogen atom with hetero atoms or with carbon atoms having three bonds to hetero atoms with at the most one bond to halogen, e.g. ester or nitrile radicals, directly attached to ring carbon atoms
    • C07D213/62—Oxygen or sulfur atoms
    • C07D213/63—One oxygen atom
    • C07D213/64—One oxygen atom attached in position 2 or 6
    • C07D213/643—2-Phenoxypyridines; Derivatives thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F297/00—Macromolecular compounds obtained by successively polymerising different monomer systems using a catalyst of the ionic or coordination type without deactivating the intermediate polymer
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/022—Quinonediazides
    • G03F7/023—Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders
    • G03F7/0233—Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders characterised by the polymeric binders or the macromolecular additives other than the macromolecular quinonediazides
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
    • G03F7/029—Inorganic compounds; Onium compounds; Organic compounds having hetero atoms other than oxygen, nitrogen or sulfur
    • G03F7/0295—Photolytic halogen compounds
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
    • G03F7/031—Organic compounds not covered by group G03F7/029
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/038—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
    • G03F7/0388—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable with ethylenic or acetylenic bands in the side chains of the photopolymer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)

Description

本出願は、２０１１年７月１５日付で韓国特許庁に提出された韓国特許出願第１０−２０１１−００７０６４４号、および２０１２年５月２９日付で韓国特許庁に提出された韓国特許出願第１０−２０１２−００５６６２８号の出願日の利益を主張し、その内容のすべては本明細書に組み込まれる。
本出願は、感光性組成物およびその感光性組成物に用いられる化合物に関するものである。
液晶表示素子のカラーフィルタの製造には多様な感光性材料が使用される。例えば、カラーピクセルを形成するために顔料分散した感光性材料が使用できる。その他、光を遮断する遮光膜の役割を果たす黒隔膜のブラックマトリックスは、感光性材料に黒色顔料、カーボンブラック、ペリレンブラック、二酸化チタンなどを分散させた溶液を用いて製造できる。ピクセル間の段差を補正するオーバーコートと液晶表示素子のセルギャップ（Ｃｅｌｌ−ｇａｐ）を維持するカラムスペーサは、顔料が含まれていない透明な感光性材料を用いて製造できる。また、カラムスペーサやオーバーコートの製造時に使用される感光性組成物は、薄膜トランジスタ層のパッシベーション用としても使用可能である。前述した感光性材料をガラス基板またはインジウムスズ酸化物のコーティングされたガラス基板上にコーティングした後、フォトリソグラフィ工程により加工すると、カラーフィルタ単板が完成する。
より高水準の画質を実現するために液晶表示素子の解像度を向上させると、カラーフィルタの解像度も共に増加する。解像度が高いカラーフィルタの製造のために、ピクセル、ブラックマトリックス、カラムスペーサなどのサイズが減少する。この場合、工程中において感光性材料の薄膜と下部基板との間の付着力が不足して一部のパターンが失われる不良が発生する可能性が高くなる。そのため、感光性材料と下部基板との間の付着力を従来より増加させることが要求されている。
本出願が解決しようとする課題は、感光性組成物およびその感光性組成物に用いられる新規な化合物を提供することである。
本出願の一実施形態は、下記の化学式１で表される化合物のうちの１つ以上を含むカップリング剤；アルカリ可溶性高分子樹脂を含むバインダー樹脂；２個以上のエチレン系不飽和基を含む架橋性化合物；光重合開始剤；および溶媒を含む感光性組成物を提供する。
Figure 0005872035
前記化学式１において、
Ｌ１は、水素またはＣ１〜Ｃ６のアルキル基で置換もしくは非置換のＣ３〜Ｃ８のアルキレン基であり、
Ｒ１〜Ｒ３は、それぞれ独立にＣ１〜Ｃ３のアルコキシ基であり、
Ａは、Ｃ１〜Ｃ３のアルキル基またはＣ２〜Ｃ１４のアルケニル基であり、
Ｒ５は、水素またはＣ１〜Ｃ３のアルキル基であり、
Ｒ６は、水素またはＣ１〜Ｃ８のアルキル基である。
本出願の一実施形態は、前記感光性組成物を用いて製造された感光材を提供する。
本出願の一実施形態は、下記の化学式２で表される化合物を提供する。
Figure 0005872035
前記化学式２において、Ｌ１は、水素またはＣ１〜Ｃ６のアルキル基で置換もしくは非置換のＣ３〜Ｃ８のアルキレン基であり、Ｒ１〜Ｒ３は、それぞれ独立にＣ１〜Ｃ３のアルコキシ基であり、Ｒ４は、Ｃ１〜Ｃ３のアルキル基であり、Ｒ５は、水素またはＣ１〜Ｃ３のアルキル基であり、Ｒ６は、水素またはＣ１〜Ｃ８のアルキル基である。
本出願の一実施形態は、下記の化学式３で表される化合物を提供する。
Figure 0005872035
前記化学式３において、Ｌ２は、水素またはＣ１〜Ｃ６のアルキル基で置換もしくは非置換のＣ３〜Ｃ８のアルキレン基であり、Ｒ７〜Ｒ９は、それぞれ独立にＣ１〜Ｃ３のアルコキシ基であり、Ｒ１０およびＲ１１は、それぞれ独立に水素またはＣ１〜Ｃ３のアルキル基であり、Ｒ１２は、水素またはＣ１〜Ｃ８のアルキル基である。
本出願により提供される化合物を用いた感光性組成物は、現像工程中において薄膜の失われる可能性が少ない効果があり、パターンの接着力が向上した薄膜を形成することができる。
以下、本出願についてより詳細に説明する。
本出願の一実施形態は、前記化学式１で表される化合物のうちの１つ以上を含むカップリング剤；アルカリ可溶性高分子樹脂を含むバインダー樹脂；２個以上のエチレン系不飽和基を含む架橋性化合物；光重合開始剤；および溶媒を含む感光性組成物を提供する。
本出願の一実施形態は、前記化学式２または化学式３で表される化合物を提供する。前記化学式２または化学式３で表される化合物は、感光性組成物に用いられるための化合物であり得る。
本出願の一実施形態にかかる前記化学式１で表される化合物は、下記の化学式２で表される化合物であり得る。
Figure 0005872035
前記化学式２において、
Ｌ１は、水素またはＣ１〜Ｃ６のアルキル基で置換もしくは非置換のＣ３〜Ｃ８のアルキレン基であり、
Ｒ１〜Ｒ３は、それぞれ独立にＣ１〜Ｃ３のアルコキシ基であり、
Ｒ４は、Ｃ１〜Ｃ３のアルキル基であり、
Ｒ５は、水素またはＣ１〜Ｃ３のアルキル基であり、
Ｒ６は、水素またはＣ１〜Ｃ８のアルキル基である。
本出願の一実施形態にかかる前記化学式１で表される化合物は、下記の化学式３で表される化合物であり得る。
Figure 0005872035
前記化学式３において、
Ｌ２は、水素またはＣ１〜Ｃ６のアルキル基で置換もしくは非置換のＣ３〜Ｃ８のアルキレン基であり、
Ｒ７〜Ｒ９は、それぞれ独立にＣ１〜Ｃ３のアルコキシ基であり、
Ｒ１０およびＲ１１は、それぞれ独立に水素またはＣ１〜Ｃ３のアルキル基であり、
Ｒ１２は、水素またはＣ１〜Ｃ８のアルキル基である。
本出願の一実施形態にかかる前記化学式１で表される化合物は、下記の化学式４で表される化合物であり得る。
Figure 0005872035
前記化学式４において、
Ｌ３は、水素またはＣ１〜Ｃ６のアルキル基で置換もしくは非置換のＣ３〜Ｃ８のアルキレン基であり、
Ｒ１３〜Ｒ１５は、それぞれ独立にＣ１〜Ｃ３のアルコキシ基であり、
Ｒ１６およびＲ１８は、それぞれ独立に水素またはＣ１〜Ｃ３のアルキル基であり、
Ｒ１７およびＲ１９は、それぞれ独立に水素またはＣ１〜Ｃ８のアルキル基である。
前記化学式１で表される化合物は、シロキサン基と共に、３次アミンとＣ＝Ｃの二重結合を含む。
以下、本出願の一実施形態にかかる化合物において、前記化学式１、化学式２、化学式３および化学式４の置換基をより具体的に説明する。
前記Ｌ１〜Ｌ３に含まれるアルキレン基は、直鎖または分枝鎖であり得、炭素数は３〜８であり得る。前記アルキレン基は、水素またはＣ１〜Ｃ６のアルキル基で置換もしくは非置換であり得る。前記アルキレン基の具体例としては、メチレン、エチレン、プロピレン、イソプロピレン、ブチレン、ｔ−ブチレンなどがあるが、これらにのみ限定されるものではない。
前記Ｒ４、Ｒ５、Ｒ１０、Ｒ１１、Ｒ１６およびＲ１８は、Ｃ１〜Ｃ３のアルキル基であり得る。これらは、直鎖または分枝鎖であり得る。前記アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｔ−ブチル基などがあるが、これらにのみ限定されるものではない。
前記Ｒ６、Ｒ１２、Ｒ１７およびＲ１９は、Ｃ１〜Ｃ８のアルキル基であり得る。これらは、直鎖または分枝鎖であり得る。前記アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｔ−ブチル基などがあるが、これらにのみ限定されるものではない。
前記Ｒ１〜Ｒ３、Ｒ７〜Ｒ９およびＲ１３〜Ｒ１５は、アルコキシ基であり得る。これらは、直鎖または分枝鎖であり得、置換もしくは非置換であり得、炭素数は１〜３であり得る。アルコキシ基の例としては、メトキシ基、エトキシ基、イソプロピルオキシ基などが挙げられるが、これらにのみ限定されるものではない。
前記「置換もしくは非置換」は、１個以上の置換基で置換されたか、いずれの置換基も有しないことを意味する。
本出願の一実施形態にかかる化合物において、前記化学式２で表される化合物の具体例は、下記の通りであるが、これらにのみ限定されるものではない。
Figure 0005872035
前記化学式４で表される化合物の具体例は、下記の通りであるが、これらにのみ限定されるものではない。
Figure 0005872035
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記化学式１で表される化合物のうちの１つ以上を含むカップリング剤は、感光性組成物の総重量を基準として０．０１〜１．３２重量％で含まれるとよい。０．０１重量％以上で含まれる場合、カップリング剤による効果に優れ、１．３２重量％以下で含まれる場合、製品の貯蔵安定性の面で有利である。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記化学式１、化学式２および化学式３で表される化合物のうちの１つ以上を含むカップリング剤の含有量は、固形分の総重量を基準として０．０５〜５重量％であり得る。０．０５重量％以上で含まれる場合、カップリング剤による効果に優れ、５重量％以下で含まれる場合、製品の貯蔵安定性の面で有利である。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物は、バインダー樹脂を含むことにより、粘度を調節する効果があり、アルカリ現像液を用いたパターニングを可能にする効果がある。前記バインダーとしては、アルカリ可溶性高分子樹脂など、当業界で一般的に使用されるものが使用可能である。具体的には、アルカリ可溶性としてカルボキシル基を含むアクリル系バインダー樹脂を使用することができ、好ましくは、重量平均分子量が３，０００〜１５０，０００のものを使用する。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記バインダー樹脂の含有量は、感光性組成物の総重量を基準として１〜２０重量％であり得るが、これにのみ限定されるものではない。バインダー樹脂の含有量が１重量％以上であれば、アルカリ水溶液を用いたパターニングが良好になる効果があり、２０重量％以下であれば、現像工程時にパターンが失われるのを防止する効果がある。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記架橋性化合物としては、具体的には、エチレン系不飽和基を含む架橋性化合物を使用することができる。より具体的には、２個以上の不飽和アクリル基を含む架橋性化合物、３個以上の不飽和アクリル基を含む架橋性化合物を使用することができる。具体例として、前記架橋性化合物としては、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレン基の数が２〜１４のポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、２−トリスアクリロイルオキシメチルエチルフタル酸、プロピレン基の数が２〜１４のプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートの酸性変形物とジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートとの混合物（商品名で日本東亜合成社のＴＯ−２３４８、ＴＯ−２３４９）などの多価アルコールをα，β−不飽和カルボン酸でエステル化して得られる化合物；トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルアクリル酸付加物、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルアクリル酸付加物などのグリシジル基を含む化合物に（メタ）アクリル酸を付加して得られる化合物；β−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートのフタル酸ジエステル、β−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートのトルエンジイソシアネート付加物などの水酸基またはエチレン性不飽和結合を有する化合物と多価カルボン酸とのエステル化合物、またはポリイソシアネートとの付加物；メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレートなどの（メタ）アクリル酸アルキルエステル；および９，９’−ビス［４−（２−アクリロイルオキシエトキシ）フェニル］フルオレンからなる群より選択される１種以上を含むことができ、これらにのみ限定されず、当技術分野で知られている一般的なものを使用することができる。場合によっては、これらの化合物にシリカ分散剤を使用することができるが、例えば、Ｈａｎｓｅ Ｃｈｅｍｉｅ社製Ｎａｎｏｃｒｙｌ ＸＰ ｓｅｒｉｅｓ（０５９６、１０４５、２１／１３６４）とＮａｎｏｐｏｘ ＸＰ ｓｅｒｉｅｓ（０５１６、０５２５）などがある。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記架橋性化合物の含有量は、感光性組成物の総重量を基準として１〜３０重量％であり得るが、これにのみ限定されるものではない。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記光重合開始剤としては、例えば、２，４−トリクロロメチル−（４’−メトキシフェニル）−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−（４’−メトキシスチリル）−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−（フィプロニル）−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−（３’，４’−ジメトキシフェニル）−６−トリアジン、３−｛４−［２，４−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン−６−イル］フェニルチオ｝プロパン酸、２，４−トリクロロメチル−（４’−エチルビフェニル）−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−（４’−メチルビフェニル）−６−トリアジンなどのトリアジン系化合物；２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２，３−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾールなどのビイミダゾール化合物；２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル（２−ヒドロキシ）プロピルケトン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−メチル−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノ−１−プロパン−１−オン（Ｉｒｇａｃｕｒｅ−９０７）、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタン−１−オン（Ｉｒｇａｃｕｒｅ−３６９）などのアセトフェノン系化合物；Ｃｉｂａ Ｇｅｉｇｙ社のＩｒｇａｃｕｒｅ ＯＸＥ０１、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ＯＸＥ０２のようなＯ−アシルオキシム系化合物；４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系化合物；２，４−ジエチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントンなどのチオキサントン系化合物；２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルホスフィンオキシド、ビス（２，６−ジクロロベンゾイル）プロピルホスフィンオキシドなどのホスフィンオキシド系化合物；３，３’−カルボニルビニル−７−（ジエチルアミノ）クマリン、３−（２−ベンゾチアゾリル）−７−（ジエチルアミノ）クマリン、３−ベンゾイル−７−（ジエチルアミノ）クマリン、３−ベンゾイル−７−メトキシ−クマリン、１０，１０’−カルボニルビス［１，１，７，７−テトラメチル−２，３，６，７−テトラヒドロ−１Ｈ，５Ｈ，１１Ｈ−Ｃｌ］−ベンゾピラノ［６，７，８−ｉｊ］−キノリジン−１１−オンなどのクマリン系化合物などを単独使用するか、２つ以上を混合して使用することができる。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記光重合開始剤の含有量は、感光性組成物の総重量を基準として０．１〜５重量％であり得るが、これにのみ限定されるものではない。
前記溶媒は、例えば、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、２−エトキシプロパノール、２−メトキシプロパノール、３−メトキシブタノール、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、３−メトキシブチルアセテート、エチル３−エトキシプロピオネート、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、ブチルアセテート、およびジプロピレングリコールモノメチルエーテルからなる群より選択された１種以上を含むことができるが、必ずしもこれらに限るものではない。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記溶媒の含有量は、感光性組成物の総重量を基準として４５〜９５重量％であり得るが、これにのみ限定されるものではない。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物は、着色剤をさらに含むことができる。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記着色剤としては、１種以上の顔料、染料またはこれらの混合物を使用することができる。具体的に例示すると、黒色顔料としては、カーボンブラック、黒鉛、チタンブラックなどのような金属酸化物などを使用することができる。カーボンブラックの例としては、シースト５ＨＩＩＳＡＦ−ＨＳ、シーストＫＨ、シースト３ＨＨＡＦ−ＨＳ、シーストＮＨ、シースト３Ｍ、シースト３００ＨＡＦ−ＬＳ、シースト１１６ＨＭＭＡＦ−ＨＳ、シースト１１６ＭＡＦ、シーストＦＭＦＥＦ−ＨＳ、シーストＳＯＦＥＦ、シーストＶＧＰＦ、シーストＳＶＨＳＲＦ−ＨＳおよびシーストＳＳＲＦ（東海カーボン（株））；ダイアグラムブラックＩＩ、ダイアグラムブラックＮ３３９、ダイアグラムブラックＳＨ、ダイアグラムブラックＨ、ダイアグラムＬＨ、ダイアグラムＨＡ、ダイアグラムＳＦ、ダイアグラムＮ５５０Ｍ、ダイアグラムＭ、ダイアグラムＥ、ダイアグラムＧ、ダイアグラムＲ、ダイアグラムＮ７６０Ｍ、ダイアグラムＬＲ、＃２７００、＃２６００、＃２４００、＃２３５０、＃２３００、＃２２００、＃１０００、＃９８０、＃９００、ＭＣＦ８８、＃５２、＃５０、＃４７、＃４５、＃４５Ｌ、＃２５、＃ＣＦ９、＃９５、＃３０３０、＃３０５０、ＭＡ７、ＭＡ７７、ＭＡ８、ＭＡ１１、ＭＡ１００、ＭＡ４０、ＯＩＬ７Ｂ、ＯＩＬ９Ｂ、ＯＩＬ１１Ｂ、ＯＩＬ３０ＢおよびＯＩＬ３１Ｂ（三菱化学（株））；ＰＲＩＮＴＥＸ−Ｕ、ＰＲＩＮＴＥＸ−Ｖ、ＰＲＩＮＴＥＸ−１４０Ｕ、ＰＲＩＮＴＥＸ−１４０Ｖ、ＰＲＩＮＴＥＸ−９５、ＰＲＩＮＴＥＸ−８５、ＰＲＩＮＴＥＸ−７５、ＰＲＩＮＴＥＸ−５５、ＰＲＩＮＴＥＸ−４５、ＰＲＩＮＴＥＸ−３００、ＰＲＩＮＴＥＸ−３５、ＰＲＩＮＴＥＸ−２５、ＰＲＩＮＴＥＸ−２００、ＰＲＩＮＴＥＸ−４０、ＰＲＩＮＴＥＸ−３０、ＰＲＩＮＴＥＸ−３、ＰＲＩＮＴＥＸ−Ａ、ＳＰＥＣＩＡＬ ＢＬＡＣＫ−５５０、ＳＰＥＣＩＡＬ ＢＬＡＣＫ−３５０、ＳＰＥＣＩＡＬ ＢＬＡＣＫ−２５０、ＳＰＥＣＩＡＬ ＢＬＡＣＫ−１００、およびＬＡＭＰ ＢＬＡＣＫ−１０１（デグサ（株））；ＲＡＶＥＮ−１１００ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−１０８０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−１０６０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−１０４０、ＲＡＶＥＮ−１０３５、ＲＡＶＥＮ−１０２０、ＲＡＶＥＮ−１０００、ＲＡＶＥＮ−８９０Ｈ、ＲＡＶＥＮ−８９０、ＲＡＶＥＮ−８８０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−８６０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−８５０、ＲＡＶＥＮ−８２０、ＲＡＶＥＮ−７９０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−７８０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−７６０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−５２０、ＲＡＶＥＮ−５００、ＲＡＶＥＮ−４６０、ＲＡＶＥＮ−４５０、ＲＡＶＥＮ−４３０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−４２０、ＲＡＶＥＮ−４１０、ＲＡＶＥＮ−２５００ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−２０００、ＲＡＶＥＮ−１５００、ＲＡＶＥＮ−１２５５、ＲＡＶＥＮ−１２５０、ＲＡＶＥＮ−１２００、ＲＡＶＥＮ−１１９０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−１１７０（コロンビアカーボン（株））またはこれらの混合物などがある。また、色を呈する着色剤の例としては、カーミン６Ｂ（Ｃ．Ｉ．１２４９０）、フタロシアニングリーン（Ｃ．Ｉ．７４２６０）、フタロシアニンブルー（Ｃ．Ｉ．７４１６０）、ペリレンブラック（ＢＡＳＦ Ｋ００８４．Ｋ００８６）、シアニンブラック、リノールイエロー（Ｃ．Ｉ．２１０９０）、リノールイエローＧＲＯ（Ｃ．Ｉ．２１０９０）、ベンジジンイエロー４Ｔ−５６４Ｄ、ビクトリアピュアブルー（Ｃ．Ｉ．４２５９５）、Ｃ．Ｉ．ＰＩＧＭＥＮＴ ＲＥＤ３、２３、９７、１０８、１２２、１３９、１４０、１４１、１４２、１４３、１４４、１４９、１６６、１６８、１７５、１７７、１８０、１８５、１８９、１９０、１９２、２０２、２１４、２１５、２２０、２２１、２２４、２３０、２３５、２４２、２５４、２５５、２６０、２６２、２６４、２７２；Ｃ．Ｉ．ＰＩＧＭＥＮＴ ＧＲＥＥＮ７、３６；Ｃ．Ｉ．ＰＩＧＭＥＮＴ ｂｌｕｅ１５：１、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、２８、３６、６０、６４；Ｃ．Ｉ．ＰＩＧＭＥＮＴ ｙｅｌｌｏｗ１３、１４、３５、５３、８３、９３、９５、１１０、１２０、１３８、１３９、１５０、１５１、１５４、１７５、１８０、１８１、１８５、１９４、２１３；Ｃ．Ｉ．ＰＩＧＭＥＮＴ ＶＩＯＬＥＴ１５、１９、２３、２９、３２、３７などがあり、この他、白色顔料、蛍光顔料なども用いることができる。顔料として使用されるフタロシアニン系錯化合物としては、銅のほか、亜鉛を中心金属とする物質も使用可能である。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記着色剤の含有量は、感光性組成物の総重量を基準として１〜２０重量％であり得るが、これにのみ限定されるものではない。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物は、硬化促進剤、熱重合抑制剤、界面活性剤、分散剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、レベリング剤、光増感剤、可塑剤、接着促進剤、充填剤および接着助剤からなる群より選択される１つまたは２つ以上の添加剤をさらに含むことができる。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記添加剤の含有量は、感光性組成物の総重量を基準として０．０１〜５重量％であり得るが、これにのみ限定されるものではない。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記硬化促進剤としては、例えば、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２，５−ジメルカプト−１，３，４−チアジアゾール、２−メルカプト−４，６−ジメチルアミノピリジン、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールトリス（３−メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（２−メルカプトアセテート）、ペンタエリスリトールトリス（２−メルカプトアセテート）、トリメチロールプロパントリス（２−メルカプトアセテート）、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトプロピオネート）、トリメチロールエタントリス（２−メルカプトアセテート）、およびトリメチロールエタントリス（３−メルカプトプロピオネート）からなる群より選択された１種以上を含むことができるが、これらにのみ限定されるものではなく、当技術分野で一般的に知られているものを含むことができる。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記熱重合抑制剤としては、例えば、ｐ−アニソール、ヒドロキノン、ピロカテコール（ｐｙｒｏｃａｔｅｃｈｏｌ）、ｔ−ブチルカテコール（ｔ−ｂｕｔｙｌ ｃａｔｅｃｈｏｌ）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミンアンモニウム塩、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩およびフェノチアジン（ｐｈｅｎｏｔｈｉａｚｉｎｅ）からなる群より選択された１種以上を含むことができるが、これらにのみ限定されるものではなく、当技術分野で一般的に知られているものを含むことができる。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記界面活性剤としては、ＭＣＦ３５０ＳＦ、Ｆ−４７５、Ｆ−４８８、Ｆ−５５２（以下、ＤＩＣ社）などを含むことができるが、これらにのみ限定されるものではない。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記分散剤は、予め顔料を表面処理する形態で顔料に内部添加させる方法、または顔料に外部添加させる方法で使用することができる。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記分散剤としては、高分子型、非イオン性、陰イオン性、または陽イオン性分散剤を使用することができる。このような分散剤の非制限的な例としては、ポリアルキレングリコールおよびそのエステル、ポリオキシアルキレン多価アルコール、エステルアルキレンオキシド付加物、アルコールアルキレンオキシド付加物、スルホン酸エステル、スルホン酸塩、カルボン酸エステル、カルボン酸塩、アルキルアミドアルキレンオキシド付加物、アルキルアミンなどを含むことができ、これらの中から選択された１種または２種以上の混合物を使用することができるが、これらにのみ限定されるものではない。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記酸化防止剤の非制限的な例としては、２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）および２，６−ｇ，ｔ−ブチルフェノールの中から選択された１種以上を含むことができるが、これらにのみ限定されるものではない。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物において、前記紫外線吸収剤の非制限的な例としては、２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロ−ベンゾトリアゾールおよびアルコキシベンゾフェノンの中から選択された１種以上を含むことができるが、これらにのみ限定されるものではない。
本出願の一実施形態は、前記感光性組成物を含む感光材を提供する。
本出願の一実施形態は、前記感光性組成物を用いて製造された感光材を提供する。
前記感光性組成物は、感光材から乾燥および／または硬化によって溶媒の少なくとも一部が除去された状態または光硬化された状態で存在する。
一方、本出願にかかる感光性組成物は、ロールコータ（ｒｏｌｌ ｃｏａｔｅｒ）、カーテンコータ（ｃｕｒｔａｉｎ ｃｏａｔｅｒ）、スピンコータ（ｓｐｉｎ ｃｏａｔｅｒ）、スロットダイコータ、各種印刷、浸漬などに使用され、金属、紙、ガラスプラスチック基板などの支持体上に適用可能である。また、フィルムなどの支持体上に塗布した後その他の支持体上に転写するか、第１支持体に塗布した後ブランケットなどに転写し、再び第２支持体に転写することも可能であり、その適用方法は特に限定されない。
本出願の一実施形態にかかる感光性組成物を硬化させるための光源としては、例えば、波長が２５０〜４５０ｎｍの光を発散する水銀蒸気アーク（ａｒｃ）、炭素アーク、Ｘｅアークなどがあるが、必ずしもこれらに限るものではない。
本出願の化合物を含む感光性組成物は、ＴＦＴ ＬＣＤカラーフィルタ製造用顔料分散型感光材、ＴＦＴ ＬＣＤまたは有機発光ダイオードのブラックマトリックス形成用感光材、オーバーコート層形成用感光材、カラムスペーサ感光材に使用されることが好ましいが、光硬化性塗料、光硬化性インク、光硬化性接着剤、印刷版、印刷配線盤用感光材、その他の透明感光材、およびＰＤＰの製造などにも使用することができ、その用途に特に制限を設けない。
以下、本出願の理解のために好ましい合成例、実施例および比較例を提示する。しかし、下記の合成例、実施例および比較例は本出願を例示するためのものであり、これによって本出願の範囲が限定されるものではない。
［合成例１］
３−ｇｌｙｃｉｄｏｘｙｐｒｏｐｙｌｔｒｉｍｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ（Ｓｈｉｎｅｔｓｕ社ＫＢＭ−４０３）１０ｍｏｌを、ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ ｇｌｙｃｏｌ ｍｏｎｏｍｅｔｈｙｌ ｅｔｈｅｒ ａｃｅｔａｔｅで希釈させた。溶液を５０℃に維持し、Ｎ−ｍｅｔｈｙｌａｌｌｙｌａｍｉｎｅ１０ｍｏｌ（Ａｌｄｒｉｃｈ）を徐々に添加して反応させた。得られた溶液をカラムにより分離した後、真空蒸留を利用して溶媒を除去し、下記の化学式５で表される化合物を得た。
Figure 0005872035
構造は１Ｈ−ＮＭＲにより確認された。５．１７、５．１５、５．８３（−ＣＨ＝ＣＨ２）、２．２７（ＣＨ３）、２．０（−ＯＨ）、３．５５（−ＯＣＨ３）
［合成例２］
前記合成例１において３−ｇｌｙｃｉｄｏｘｙｐｒｏｐｙｌｔｒｉｍｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ（Ｓｈｉｎｅｔｓｕ社ＫＢＭ−４０３）の代わりに、３−ｇｌｙｃｉｄｏｘｙｐｒｏｐｙｌｔｒｉｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ（Ｓｈｉｎｅｔｓｕ社ＫＢＥ−４０３）を使用したことを除いては、合成例１と同様である。こうして下記の化学式６で表される化合物を得た。
Figure 0005872035
構造は１Ｈ−ＮＭＲにより確認された。５．１７、５．１５、５．８３（−ＣＨ＝ＣＨ２）、２．２７（ＣＨ３）、２．０（−ＯＨ）、１．２２、３．８３（−ＯＣＨ２ＣＨ３）
［合成例３］
前記合成例１においてＮ−ｍｅｔｈｙｌａｌｌｙｌａｍｉｎｅ（Ａｌｄｒｉｃｈ）の代わりに、Ｎ−ｅｔｈｙｌａｌｌｙｌａｍｉｎｅ（Ａｌｄｒｉｃｈ）を使用したことを除いては、合成例１と同様である。こうして下記の化学式７で表される化合物を得た。
Figure 0005872035
構造は１Ｈ−ＮＭＲにより確認された。５．１７、５．１５、５．８３（−ＣＨ＝ＣＨ２）、２．４０、２．６２（−ＣＨ２ＣＨ３）、２．０（−ＯＨ）、３．５５（−ＯＣＨ３）
［合成例４］
前記合成例３において３−ｇｌｙｃｉｄｏｘｙｐｒｏｐｙｌｔｒｉｍｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ（Ｓｈｉｎｅｔｓｕ社ＫＢＭ−４０３）の代わりに、３−ｇｌｙｃｉｄｏｘｙｐｒｏｐｙｌｔｒｉｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ（Ｓｈｉｎｅｔｓｕ社ＫＢＥ−４０３）を使用したことを除いては、合成例３と同様である。こうして下記の化学式８で表される化合物を得た。
Figure 0005872035
構造は１Ｈ−ＮＭＲにより確認された。５．１７、５．１５、５．８３（−ＣＨ＝ＣＨ２）、２．４０、２．６２（−ＣＨ２ＣＨ３）、２．０（−ＯＨ）、１．１２、３．８３（−ＯＣＨ２ＣＨ３）
［合成例５］
前記合成例１においてＮ−ｍｅｔｈｙｌａｌｌｙｌａｍｉｎｅ（Ａｌｄｒｉｃｈ）の代わりに、Ｄｉａｌｌｙｌａｍｉｎｅ（Ａｌｄｒｉｃｈ）を使用したことを除いては、合成例１と同様である。こうして化学式９で表される化合物を得た。
Figure 0005872035
構造は１Ｈ−ＮＭＲにより確認された。５．１７、５．１５、５．８３（−ＣＨ＝ＣＨ２）、２．０（−ＯＨ）、３．５５（−ＯＣＨ３）
［合成例６］
前記合成例５において３−ｇｌｙｃｉｄｏｘｙｐｒｏｐｙｌｔｒｉｍｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ（Ｓｈｉｎｅｔｓｕ社ＫＢＭ−４０３）の代わりに、３−ｇｌｙｃｉｄｏｘｙｐｒｏｐｙｌｔｒｉｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ（Ｓｈｉｎｅｔｓｕ社ＫＢＥ−４０３）を使用したことを除いては、合成例５と同様である。こうして化学式１０で表される化合物を得た。
Figure 0005872035
構造は１Ｈ−ＮＭＲにより確認された。５．１７、５．１５、５．８３（−ＣＨ＝ＣＨ２）、２．０（−ＯＨ）、１．２２、３．８３（−ＯＣＨ２ＣＨ３）
［実施例１］
本出願の効果を確認するために、次のような感光性組成物を製造した。アルカリ可溶性樹脂からなるバインダーＢｚＭＡ／ＭＡＡ（モル比：７０／３０、Ｍｗ：２４，０００）８重量部、架橋性化合物としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの化合物１６重量部、光重合開始剤としてＣｉｂａ−Ｇｅｉｇｙ社のＩｒｇａｃｕｒｅ３６９（２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタン−１−オン）１重量部と、そして、合成例１の化合物を０．０１重量部（固形分基準０．０５重量％）、有機溶媒のＰＧＭＥＡを入れて全体の総和が１００重量部となるようにした後、シェーカーを用いて３時間混合させた溶液を、５ミクロンのフィルタで得て使用した。
前記感光性組成物を用いて、スピンコーティング、スリットコーティング、ディップコーティングまたはドクターブレーディングなどの方法で塗布して均一な薄膜を形成した後、１００℃で２００秒間プレベーク工程を行うことで溶媒を揮発させた。乾燥した薄膜の厚さは約２．５ミクロンであった。
前記フィルムを、直径が５〜２０ミクロンまで１ミクロンの間隔で構成された独立パターン型フォトマスクを用いて高圧水銀ランプ下で露光させた後、パターンをｐＨ１１．３〜１１．７のＫＯＨアルカリ水溶液で３０℃を維持し、スプレー方式で現像した後、純水で洗浄し、エアブローイングによって乾燥させた。パターンの状態を光学顕微鏡で観察した後、残っている最小パターンの大きさを、フォトマスクの直径を基準として判別した。
組成物の貯蔵安定性は、次のように測定された。まず、初期組成物の粘度を測定した後、密封された容器に入れて、４５℃に維持されるオーブンに２４時間放置した後、再び粘度を測定する。粘度が増加した程度を最初に測定された粘度で割った値を％で表示して比較した。
［実施例２］
前記実施例１において合成例１の化合物を０．０１重量部（固形分基準０．０５重量％）使用する代わりに、０．２５重量部（固形分基準１重量％）を使用したことを除いて、実施例１と同様である。
［実施例３］
前記実施例１において合成例１の化合物を０．０１重量部（固形分基準０．０５重量％）使用する代わりに、１．３２重量部（固形分基準５重量％）を使用したことを除いて、実施例１と同様である。
［実施例４］
前記実施例１において合成例１の化合物を０．０１重量部（固形分基準０．０５重量％）使用する代わりに、２．７８重量部（固形分基準１０重量％）を使用したことを除いて、実施例１と同様である。
［実施例５−８］
実施例５−８は、前記実施例１−４においてそれぞれ合成例１の化合物の代わりに、合成例２の化合物を使用したことを除いては、それぞれ実施例１−４と同様である。
［実施例９−１２］
実施例９−１２は、前記実施例１−４においてそれぞれ合成例１の化合物の代わりに、合成例３の化合物を使用したことを除いては、それぞれ実施例１−４と同様である。
［実施例１３−１６］
実施例１３−１６は、前記実施例１−４においてそれぞれ合成例１の化合物の代わりに、合成例４の化合物を使用したことを除いては、それぞれ実施例１−４と同様である。
［実施例１７−２０］
実施例１７−２０は、前記実施例１−４においてそれぞれ合成例１の化合物の代わりに、合成例５の化合物を使用したことを除いては、それぞれ実施例１−４と同様である。
［実施例２１−２４］
実施例２１−２４は、前記実施例１−４においてそれぞれ合成例１の化合物の代わりに、合成例６の化合物を使用したことを除いては、それぞれ実施例１−４と同様である。
［比較例１−４］
比較例１−４は、前記実施例１−４においてそれぞれ合成例１の化合物の代わりに、３−ｇｌｙｃｉｄｏｘｙｐｒｏｐｙｌｔｒｉｍｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ（Ｓｈｉｎｅｔｓｕ社ＫＢＭ−４０３）を使用したことを除いて、それぞれ実施例１−４と同様である。
［比較例５−８］
比較例５−８は、前記実施例１−４においてそれぞれ合成例１の化合物の代わりに、３−ｇｌｙｃｉｄｏｘｙｐｒｏｐｙｌｔｒｉｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ（Ｓｈｉｎｅｔｓｕ社ＫＢＥ−４０３）を使用したことを除いて、それぞれ実施例１−４と同様である。
［比較例９−１２］
比較例９−１２は、前記実施例１−４においてそれぞれ合成例１の化合物の代わりに、３−ａｃｒｙｌｏｘｙｐｒｏｐｙｌｔｒｉｍｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ（Ｓｈｉｎｅｔｓｕ社ＫＢＭ−５１０３）を使用したことを除いて、それぞれ実施例１−４と同様である。
［比較例１３−１６］
比較例１３−１６は、前記実施例１−４においてそれぞれ合成例１の化合物の代わりに、３−ｍｅｔｈａｃｒｙｌｏｘｙｐｒｏｐｙｌｔｒｉｍｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ（Ｓｈｉｎｅｔｓｕ社ＫＢＭ−５０３）を使用したことを除いて、それぞれ実施例１−４と同様である。
［比較例１７−２０］
比較例１７−２０は、前記実施例１−４においてそれぞれ合成例１の化合物の代わりに、Ｖｉｎｙｌｔｒｉｍｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ（Ｓｈｉｎｅｔｓｕ社ＫＢＭ−１００３）を使用したことを除いて、それぞれ実施例１−４と同様である。
［比較例２１−２４］
比較例２１−２４は、前記実施例１−４においてそれぞれ合成例１の化合物の代わりに、３−ａｍｉｎｏｐｒｏｐｙｌｔｒｉｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ（Ｓｈｉｎｅｔｓｕ社ＫＢＥ−９０３）を使用したことを除いて、それぞれ実施例１−４と同様である。
［比較例２５］
比較例２５は、前記実施例１においてそれぞれ合成例１の化合物の代わりに、何ら使用しないことを除いては、実施例１と同様である。
前記実施例および比較例の実験結果を表１に示した。
Figure 0005872035
Figure 0005872035
実験結果から明らかなように、本出願の新規なカップリング剤である、合成例１〜６で得られた化学式５〜１０の化合物を用いると、従来一般的に使用していたカップリング剤の３−ｇｌｙｃｉｄｏｘｙｐｒｏｐｙｌｔｒｉｍｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅまたは３−ｇｌｙｃｉｄｏｘｙｐｒｏｐｙｌｔｒｉｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅを使用した時に比べてパターンの付着力が向上し、より小さいサイズのパターンも残っていることが分かる。前記表において、Ｘは、パターンがないことを意味する。
カップリング剤の使用量が固形分基準５重量％を超える場合、ほとんどで粘度の変化量が３％を超えていて、製品の安定性に影響を及ぼす可能性が高くなる。したがって、本出願の新規なカップリング剤を用いる場合、固形分基準０．０５重量％以上５重量％以下で適用することが好ましい。

Claims (13)

  1. 感光性組成物であって、
    下記化学式１で表される化合物のうちの１つ以上を含むカップリング剤と、
    アルカリ可溶性高分子樹脂を含むバインダー樹脂と、
    ２個以上のエチレン系不飽和基を含む架橋性化合物と、
    光重合開始剤と、及び
    溶媒とを含んでなることを特徴とする、感光性組成物。
    Figure 0005872035
     〔前記化学式１において、
    Ｌ1は、水素またはＣ1〜Ｃ6のアルキル基で置換もしくは非置換のＣ3〜Ｃ8のアルキレン基であり、
    Ｒ1〜Ｒ3は、それぞれ独立にＣ1〜Ｃ3のアルコキシ基であり、
    Ａは、Ｃ1〜Ｃ3のアルキル基またはＣ2〜Ｃ14のアルケニル基であり、
    Ｒ5は、水素またはＣ1〜Ｃ3のアルキル基であり、
    Ｒ6は、水素またはＣ1〜Ｃ8のアルキル基である。〕
  2. 前記化学式１が、下記化学式２〜化学式４のうちのいずれか１つであることを特徴とする、請求項１に記載の感光性組成物。
    Figure 0005872035
     〔前記化学式２〜化学式４において、
    Ｌ1〜Ｌ3は、それぞれ独立に水素またはＣ1〜Ｃ6のアルキル基で置換もしくは非置換のＣ3〜Ｃ8のアルキレン基であり、
    Ｒ1〜Ｒ3、Ｒ7〜Ｒ9およびＲ13〜Ｒ15は、それぞれ独立にＣ1〜Ｃ3のアルコキシ基であり、
    Ｒ4は、Ｃ1〜Ｃ3のアルキル基であり、
    Ｒ5、Ｒ10、Ｒ11、Ｒ16およびＲ18は、それぞれ独立に水素またはＣ1〜Ｃ3のアルキル基であり、
    Ｒ6、Ｒ12、Ｒ17およびＲ19は、それぞれ独立に水素またはＣ1〜Ｃ8のアルキル基である。〕
  3. 前記化学式２が、下記化学式５〜化学式８からなる群より選択されるいずれか１つであることを特徴とする、請求項２に記載の感光性組成物。
    Figure 0005872035
  4. 前記化学式４が、下記化学式９又は化学式１０であることを特徴とする、請求項２に記載の感光性組成物。
    Figure 0005872035
  5. 前記カップリング剤の含有量が、前記感光性組成物の総重量を基準として０．０１〜１．３２重量％であることを特徴とする、請求項１〜４の何れか一項に記載の感光性組成物。
  6. 前記カップリング剤の含有量が、固形分の総重量を基準として０．０５〜５重量％であることを特徴とする、請求項１〜４の何れか一項に記載の感光性組成物。
  7. 前記バインダー樹脂の含有量が、前記感光性組成物の総重量を基準として１〜２０重量％であることを特徴とする、請求項１〜６の何れか一項に記載の感光性組成物。
  8. 前記架橋性化合物の含有量が、前記感光性組成物の総重量を基準として１〜３０重量％であることを特徴とする、請求項１〜７の何れか一項に記載の感光性組成物。
  9. 前記光重合開始剤の含有量が、前記感光性組成物の総重量を基準として０．１〜５重量％であることを特徴とする、請求項１〜８の何れか一項に記載の感光性組成物。
  10. 前記溶媒の含有量が、前記感光性組成物の総重量を基準として４５〜９５重量％であることを特徴とする、請求項１〜９の何れか一項に記載の感光性組成物。
  11. 前記感光性組成物が、前記組成物の総重量を基準として１〜２０重量％の着色剤をさらに含んでなることを特徴とする、請求項１〜１０の何れか一項に記載の感光性組成物。
  12. 前記感光性組成物が、前記組成物の総重量を基準として０．０１〜５重量％の添加剤をさらに含んでなることを特徴とする、請求項１〜１１の何れか一項に記載の感光性組成物。
  13. 前記添加剤が、硬化促進剤、熱重合抑制剤、界面活性剤、分散剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、レベリング剤、光増感剤、可塑剤、接着促進剤、充填剤および接着助剤からなる群より選択される１つまたは２つ以上であることを特徴とする、請求項１２に記載の感光性組成物。
JP2014520109A 2011-07-15 2012-06-07 感光性組成物およびその感光性組成物に用いられる化合物 Active JP5872035B2 (ja)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2011-0070644 2011-07-15
KR20110070644 2011-07-15
KR10-2012-0056628 2012-05-29
KR1020120056628A KR101391530B1 (ko) 2011-07-15 2012-05-29 감광성 조성물
PCT/KR2012/004465 WO2013012169A2 (ko) 2011-07-15 2012-06-07 감광성 조성물 및 그 감광성 조성물에 사용되는 화합물

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014525055A JP2014525055A (ja) 2014-09-25
JP5872035B2 true JP5872035B2 (ja) 2016-03-01

Family

ID=47839342

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014520109A Active JP5872035B2 (ja) 2011-07-15 2012-06-07 感光性組成物およびその感光性組成物に用いられる化合物

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5872035B2 (ja)
KR (1) KR101391530B1 (ja)
CN (1) CN103718110B (ja)
TW (1) TWI486355B (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102092438B1 (ko) * 2016-07-26 2020-03-23 주식회사 엘지화학 감광성 수지 조성물 및 이를 포함하는 컬러필터
CN109762131B (zh) * 2018-12-29 2020-07-24 厦门大学 一种硅氧烷封端剂及其制备方法和应用该封端剂的光湿双固化聚氨酯压敏胶

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6172077A (ja) * 1984-09-14 1986-04-14 Shin Etsu Chem Co Ltd 接着促進剤
JPH08269071A (ja) * 1995-03-31 1996-10-15 Nitto Boseki Co Ltd シランカップリング剤及びその製造方法
JP3692197B2 (ja) * 1996-12-27 2005-09-07 日立化成工業株式会社 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
JPH10301272A (ja) * 1997-04-30 1998-11-13 Toyo Gosei Kogyo Kk 感光性組成物及びパターン形成方法
CN101017324A (zh) * 2003-03-12 2007-08-15 三菱化学株式会社 光敏组合物、光敏着色组合物、滤色器和液晶显示设备
DE602004024846D1 (de) * 2003-04-07 2010-02-11 Toray Industries Zusammensetzung von photoempfindlichem Harz des Positivtyps
JP2006052321A (ja) * 2004-08-12 2006-02-23 Konishi Co Ltd 新規ビニルシラン化合物、それを用いた硬化性樹脂、及び、それを用いた硬化性樹脂組成物
KR100655047B1 (ko) * 2005-12-30 2006-12-06 제일모직주식회사 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 블랙매트릭스
KR100793946B1 (ko) * 2006-11-17 2008-01-16 제일모직주식회사 액정표시소자　칼럼 스페이서용 감광성　수지 조성물, 이를이용한 액정표시소자 칼럼 스페이서의 제조방법,액정표시소자용 칼럼 스페이서 및 이를 포함하는디스플레이 장치
JP5420527B2 (ja) * 2009-12-22 2014-02-19 エルジー・ケム・リミテッド 架橋性化合物及びそれを含む感光性組成物
JP5362696B2 (ja) * 2009-12-22 2013-12-11 エルジー・ケム・リミテッド 多官能アクリル化合物及びそれを含む感光性組成物

Also Published As

Publication number Publication date
JP2014525055A (ja) 2014-09-25
KR20130009607A (ko) 2013-01-23
TWI486355B (zh) 2015-06-01
CN103718110A (zh) 2014-04-09
TW201313730A (zh) 2013-04-01
KR101391530B1 (ko) 2014-05-07
CN103718110B (zh) 2017-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8182979B2 (en) Photopolymerization initiator containing unsaturated double bond and oxime ester group and photosensitive resin composition comprising the same
JP5815133B2 (ja) フッ素系樹脂およびこれを含む感光性樹脂組成物
JP5688159B2 (ja) アクリレート系化合物を含む感光性組成物
JP5420527B2 (ja) 架橋性化合物及びそれを含む感光性組成物
JP5835600B2 (ja) 新規な化合物、これを含む感光性組成物および感光材
JP5860993B2 (ja) シロキサン系化合物、これを含む感光性組成物および感光材
JP5872035B2 (ja) 感光性組成物およびその感光性組成物に用いられる化合物
US8742005B2 (en) Acrylate-based compounds and photosensitive composition comprising the same
KR20130091866A (ko) 감광성 조성물 및 이를 이용하여 제조된 감광재
US8835521B2 (en) Photosensitive composition and compound for use in the photosensitive composition
KR101601361B1 (ko) 실록산계 화합물, 이를 포함하는 감광성 조성물 및 감광제
KR101611657B1 (ko) 고분자 화합물 및 이를 포함하는 감광성 조성물
KR101612586B1 (ko) 감광성 수지 조성물, 이로 제조된 감광재 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
KR101261618B1 (ko) 가교성 화합물과 이를 포함하는 감광성 조성물

Legal Events

Date Code Title Description
RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20140730

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20140813

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150116

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150122

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150421

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150901

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20151127

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160107

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160112

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5872035

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250