JP5864346B2 - オートフォーカス機構 - Google Patents
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Description
A+B信号電圧V(A+B)=A信号電圧+B信号電圧 (1)
S信号電圧VS=(A信号電圧−B信号電圧)/(A信号電圧+B信号電圧)(2)
A+B信号電圧=A信号電圧+B信号電圧 (1)
S信号電圧=(A信号電圧−B信号電圧)/(A信号電圧+B信号電圧) (2)
2、102…測定ワーク
12…結像レンズ
14、114…対物レンズ
16、116…レーザ光
20…ビームスプリッタ
22、122…第1ピンホール
24、124…第1フォトダイオード
26、126…第2ピンホール
28、128…第2フォトダイオード
104…光学ヘッド
106…スタンド
108…処理部
110…レーザダイオード
112…チューブレンズ
118…第1ビームスプリッタ
120…第2ビームスプリッタ
130…位置検出部
132…光学ヘッド移動機構
134…A信号電圧変換部
136…B信号電圧変換部
138…A+B信号電圧変換部
140…S信号電圧変換部
142…S信号・A+B信号電圧検出部
144…S信号・A+B信号・位置データ記憶部
146…演算・制御部
148…S信号有効判定電圧記憶部
150…外部通信部
152…ホストコントローラ
154…入出力部
Claims (1)
- レーザ光を集光して測定ワークに照射する対物レンズと、該対物レンズを介して該測定ワークからの反射光を分岐するビームスプリッタと、分岐された一方の該反射光の焦点位置の手前側に配置された第1光量制限素子と、該第1光量制限素子を通過した該反射光を受光する第1受光素子と、分岐されたもう一方の該反射光の焦点位置の奥側に配置された第2光量制限素子と、該第2光量制限素子を通過した該反射光を受光する第2受光素子と、第1、第2受光素子から出力される信号をそれぞれA信号電圧、B信号電圧に変換し、式(1)、(2)に示すA+B信号電圧とS信号電圧とを求める処理部と、を備えるオートフォーカス機構において、
前記処理部に、
前記S信号電圧における最大電圧及び最小電圧となる前記対物レンズと前記測定ワークとの間の距離における前記A+B信号電圧をそれぞれ第1電圧及び第2電圧と定める第1演算手段と、
該第1電圧及び第2電圧のうちの高い方の電圧を、前記距離が前記対物レンズの焦点距離とされた際に得られる前記S信号電圧である合焦判断電圧を有効とする閾値電圧であるS信号有効判定電圧として定める第2演算手段と、
該S信号有効判定電圧以上の電圧となる前記A+B信号電圧の前記距離において、前記合焦判断電圧となる前記S信号電圧の位置を前記対物レンズの焦点距離とする第3演算手段と、
を備えることを特徴とするオートフォーカス機構。
A+B信号電圧=A信号電圧+B信号電圧 (1)
S信号電圧=(A信号電圧−B信号電圧)/(A信号電圧+B信号電圧) (2)
Priority Applications (4)
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012094297A JP5864346B2 (ja) | 2012-04-17 | 2012-04-17 | オートフォーカス機構 |
Publications (2)
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Family
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2012094297A Active JP5864346B2 (ja) | 2012-04-17 | 2012-04-17 | オートフォーカス機構 |
Country Status (1)
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-
2012
- 2012-04-17 JP JP2012094297A patent/JP5864346B2/ja active Active
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