JP5862757B2 - 半導体レーザ - Google Patents
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Description
一方、ボトムアップで形成した半導体ナノワイヤは、良好な結晶性からナノデバイスへの応用が期待されている。
例えば、図20に示すように、半導体ナノワイヤ100に、基板101の表面に平行な方向(基板面内方向)へ延びる発光層102を介在させて、微小な半導体レーザを実現することが考えられる。これを第1の技術という。
また、上述の第2の技術において、単に半導体ナノワイヤの周囲に発光層を設けただけでは、良好な発光特性を有する微小な半導体レーザを実現するのは難しい。例えば、発光層の端部が、電極として機能する基板に接し、これに電気的に接続されるようになっていると、キャリアの再結合が基板界面付近に集中してしまうため、良好な発光特性を有する微小な半導体レーザを実現するのは難しい。
また、本半導体レーザは、基板の上方に設けられた第1導電型の半導体ナノワイヤと、半導体ナノワイヤの周囲に設けられ、上端及び下端が絶縁されている発光層と、発光層の外周に設けられ、第1導電型と異なる第2導電型のクラッド層と、半導体ナノワイヤの端部に電気的に接続された第1電極と、クラッド層の外周に電気的に接続された第2電極と、半導体ナノワイヤの一方の端部側に設けられた第1反射鏡と、半導体ナノワイヤの他方の端部側に設けられた第2反射鏡とを備え、半導体ナノワイヤを構成する半導体材料の屈折率n 1 、発光層を構成する半導体材料の屈折率n 2 、クラッド層を構成する半導体材料の屈折率n 3 は、n 3 <n 1 <n 2 の関係を満たし、半導体ナノワイヤを構成する半導体材料の屈折率n 1 に対する発光層を構成する半導体材料の屈折率n 2 の変化の割合Δn=(n 2 −n 1 )/n 1 と、半導体ナノワイヤの半径r 1 に対する発光層の膜厚(r 2 −r 1 )の割合δ=(r 2 −r 1 )/r 1 との積Δn・δが0.025以上、かつ、前記半導体ナノワイヤの半径r 1 と光の波数κ 0 との積r 1 ・κ 0 が2.61以上であるという条件、Δn・δが0.031以上、かつ、r 1 ・κ 0 が2.24以上であるという条件、Δn・δが0.091以上、かつ、r 1 ・κ 0 が1.046以上であるという条件、Δn・δが0.118以上、かつ、r 1 ・κ 0 が0.896以上であるという条件のいずれかの条件を満たすことを要件とする。
本実施形態にかかる半導体レーザは、例えば直径が約10μm以下の半導体ナノワイヤを用いた面内サイズの微小な半導体レーザである。このため、装置の小型化や高密度集積化に適している。なお、この半導体レーザを、ナノワイヤレーザ、あるいは、半導体ナノワイヤレーザともいう。
ここで、基板1は、第1導電型を有する半導体基板、即ち、導電性半導体基板である。ここでは、n型半導体基板である。具体的には、n型GaAs基板である。
発光層3は、半導体ナノワイヤ2の周囲に設けられた筒状の半導体発光層である。つまり、発光層3は、半導体ナノワイヤ2の側面に沿って基板1の表面に垂直な方向へ延びており、半導体ナノワイヤ2の側面(側壁)に接してこれを覆っている。ここでは、発光層3は、半導体ナノワイヤ2の側面のうち、絶縁膜4によって覆われている領域以外の領域を覆っている。つまり、半導体ナノワイヤ2の側面の一部を覆うように発光層3が設けられている。具体的には、InGaAs発光層である。このように、発光層3を構成する半導体材料は、InGaAsを含む。
まず、本半導体レーザでは、図2(B)に示すように、半導体ナノワイヤ2を構成する半導体材料の屈折率をn1とし、発光層3を構成する半導体材料の屈折率をn2とし、クラッド層5を構成する半導体材料の屈折率をn3として、n3<n1<n2の関係を満たすようにすることで、良好な光閉じ込め構造を有する半導体レーザを実現している。
ここで、半導体ナノワイヤ2を構成する半導体材料と発光層3を構成する半導体材料との屈折率差が大きくなるほど、より光が閉じ込められることになる。このため、半導体ナノワイヤ2を構成する半導体材料の屈折率n1に対する発光層3を構成する半導体材料の屈折率n2の変化の割合Δn=(n2−n1)/n1が大きくなるほど、より光が閉じ込められることになる。
また、光の波長λが短いほど、即ち、光の波数k0=2π/λが大きいほど、より光を閉じ込められることになる。
そこで、本実施形態では、まず、屈折率n1、n3、半導体ナノワイヤ2の半径r1、波数k0を、それぞれ、ある値に設定することにより、ナノワイヤ構造の規格化周波数V0を決定し、この場合の発光層3を構成する半導体材料の屈折率n2毎のδに対する規格化カットオフ周波数Vの変化を示すグラフに基づいて、規格化カットオフ周波数Vが規格化周波数V0に一致する、即ち、光閉じ込めが可能なδの最小値を求めた上で、半導体ナノワイヤ2を構成する半導体材料と発光層3を構成する半導体材料との屈折率差を考慮して、これを一般化すべく、Δnとδとの積Δn・δを用い、さらに、r1と波数k0との積r1・k0を用いて、モードIの条件を規定している。
また、n2=3.3、3.4、3.5のそれぞれにおいて、r2を変化させることでδの値を変化させると、各屈折率の場合のδに対する規格化カットオフ周波数Vの変化を示すグラフは、それぞれ、図3中、実線A〜Cで示すようになる。ここで、図3中、実線Aはn2=3.3の場合、実線Bはn2=3.4の場合、実線Cはn2=3.5の場合を示している。
なお、モードIの条件を満たす場合、即ち、上述の光閉じ込め状態を実現する場合、半導体ナノワイヤ2の半径に下限があることを見出した。つまり、図3中、δが2.0の場合、半導体ナノワイヤ2の半径に対して発光層3の膜厚が2倍となるが、これは、半導体ナノワイヤ2の側面に形成することができる発光層3の膜厚の限界である。そして、上記式(1)より、規格化カットオフ周波数Vが下限値の場合に半導体ナノワイヤ2の半径r1が下限値となる。このため、図3において、規格化カットオフ周波数Vの下限値は、実線Cで示す屈折率n2=3.5でδが2.0の場合であり、その値は0.41である。そして、この値0.41、及び、n1=3.2、n3=3.1、λ=1.2μm(k0=0.00523nm−1)を用いて、上記式(1)より、半導体ナノワイヤ2の半径r1を求めると、100nmとなる。
また、上述の具体例において、r1=500nmに代えて、r1=200nmとした場合、上記式(1)より、波長1.2μmにおける規格化周波数V0は0.83である。これを、図5では、実線Xで示している。規格化カットオフ周波数Vの値が、この実線Xよりも上側になると光が閉じ込められなくなる。
また、上述の具体例において、r1=500nmに代えて、r1=200nmとし、λ=1.2μm(k0=0.00523nm−1)に代えて、波長λ=1.4μm(波数k0=0.00448nm−1)とした場合、上記式(1)より、規格化周波数V0は0.71である。これを、図6では、実線Xで示している。規格化カットオフ周波数Vの値が、この実線Xよりも上側になると光が閉じ込められなくなる。
要するに、Δn・δが0.003以上、かつ、r1・k0が2.61以上であるという条件、Δn・δが0.007以上、かつ、r1・k0が2.24以上であるという条件、Δn・δが0.058以上、かつ、r1・k0が1.046以上であるという条件、Δn・δが0.075以上、かつ、r1・k0が0.896以上であるという条件のいずれかの条件を満たせば、光の電界が半導体ナノワイヤ2及び発光層3に閉じ込められる光閉じ込め状態となり、即ち、モードIの条件を満たし、さらに良好な光閉じ込め構造を有する半導体レーザを実現することが可能となる。
発光層3を構成する半導体材料の屈折率毎のδに対する規格化カットオフ周波数Vの変化を示すグラフは、以下のカットオフ条件の関係式(5)を用いて数値計算を行なうことで得ることができる。
また、n2=3.3、3.4、3.5のそれぞれにおいて、r2を変化させることでδの値を変化させると、各屈折率の場合のδに対する規格化カットオフ周波数Vの変化を示すグラフは、それぞれ、図8中、実線A〜Cで示すようになる。ここで、図8中、実線Aはn2=3.3の場合、実線Bはn2=3.4の場合、実線Cはn2=3.5の場合を示している。
また、上述の具体例において、λ=1.2μm(k0=0.00523nm−1)に代えて、波長λ=1.4μm(波数k0=0.00448nm−1)とした場合、上記式(1)より、規格化周波数V0は1.78である。これを、図9では、実線Xで示している。規格化カットオフ周波数Vの値が、この実線Xよりも上側になると光が閉じ込められなくなる。
また、上述の具体例において、r1=500nmに代えて、r1=200nmとした場合、上記式(1)より、波長1.2μmの場合の規格化周波数V0は0.83である。これを、図10では、実線Xで示している。規格化カットオフ周波数Vの値が、この実線Xよりも上側になると光が閉じ込められなくなる。
また、上述の具体例において、r1=500nmに代えて、r1=200nmとし、λ=1.2μm(k0=0.00523nm−1)に代えて、波長λ=1.4μm(波数k0=0.00448nm−1)とした場合、上記式(1)より、波長1.4μmの場合の規格化周波数V0は0.71である。これを、図11では、実線Xで示している。規格化カットオフ周波数Vの値が、この実線Xよりも上側になると光が閉じ込められなくなる。
要するに、Δn・δが0.025以上、かつ、r1・k0が2.61以上であるという条件、Δn・δが0.031以上、かつ、r1・k0が2.24以上であるという条件、Δn・δが0.091以上、かつ、r1・k0が1.046以上であるという条件、Δn・δが0.118以上、かつ、r1・k0が0.896以上であるという条件のいずれかの条件を満たせば、光の電界が発光層3に閉じ込められる光閉じ込め状態となり、即ち、モードIIの条件を満たし、さらに良好な光閉じ込め構造を有する半導体レーザを実現することが可能となる。特に、光の電界が、発光層3に強く閉じ込められ、発光層3との重なりが強いため、より低閾値での発振が可能となる。
まず、図12(A)に示すように、n型GaAs基板1上に、触媒としての金属微粒子(触媒金属)10及び絶縁膜4としてのSiO2膜4A、即ち、SiO2絶縁膜(SiO2マスク)を設ける。つまり、n型GaAs基板1上に、半導体ナノワイヤ2を成長させる領域に開口部を有するSiO2絶縁膜4Aを形成し、その開口部に金属微粒子10を設ける。このようにして半導体ナノワイヤ成長用基板を作製する。ここで、n型GaAs基板1の不純物濃度は、例えば5×1017〜1×1019cm−3程度であれば良い。なお、開口部の大きさは、半導体ナノワイヤ2の直径に相当する大きさとすれば良い。
次に、図12(D)に示すように、表面に絶縁膜4としてのSiO2膜4B、即ち、SiO2絶縁膜を形成した後、図12(E)に示すように、レジスト11をパターニングし、図12(F)に示すように、SiO2絶縁膜4Bの一部、即ち、p型AlGaAsクラッド層5の側面を覆っている部分をエッチングによって除去する。このようにして、p型AlGaAsクラッド層5の側面を露出させる。
その後、図12(H)に示すように、基板1の裏面を加工した後、基板1の裏面を覆うように、下部反射膜9とn側電極7とを兼ねる金属膜、即ち、金属膜反射膜及びn側金属電極を形成する。また、n型GaAsナノワイヤ2、InGaAs発光層3及びp型AlGaAsクラッド層5の上方の端部上に、上部反射鏡8としての誘電体多層膜、即ち、誘電体多層膜反射鏡を形成する。
したがって、本実施形態にかかる半導体レーザによれば、良好な発光特性を有する微小な半導体レーザを実現することができるという利点がある。
つまり、装置の小型化や高集積化に適した、例えば直径が約10μm以下の半導体ナノワイヤを用いた面内サイズの小さい微小な半導体レーザにおいて、良好な発光特性を実現することができる。特に、Si系パッシブデバイスとの整合性が良い、波長1.2μm以上の長波長の半導体レーザとして、良好な発光特性を有するものを実現することが可能となる。
例えば、上述の実施形態では、基板1、半導体ナノワイヤ2、発光層3、クラッド層5を構成する材料を、それぞれ、GaAs、GaAs、InGaAs、AlGaAsを含むものとし、AlGaInAs系材料を用いる場合を例に挙げて説明しているが、これらに限られるものではない。例えば、InGaAsP系材料を用い、基板1、半導体ナノワイヤ2、発光層3、クラッド層5を構成する材料を、それぞれ、InP、InP、InGaAsP又はInGaAs、InGaPを含むものとしても良い。
この場合、例えば、半導体ナノワイヤ2をAlGaAsナノワイヤとし、発光層3をGaAs層3AとInGaAs層3Bとを積層してなるGaAs/InGaAs量子井戸発光層とし、クラッド層5をAlGaAsクラッド層とすれば良い。ここで、GaAs/InGaAs量子井戸発光層3は、InGaAs層3B(障壁層;第2半導体層)の内部に、InGaAs層3Bよりもバンドギャップの小さいGaAs層3A(井戸層;第4半導体層)を設けることによって構成される。この場合、発光層3は、InGaAsを含むものとなる。そして、例えば、AlGaAsナノワイヤ2のAl組成を例えば0.3とし、このAl0.3Ga0.7Asナノワイヤ2の半径を約200nmとし、InGaAs層3Bを5層としたGaAs/InGaAs量子井戸発光層3の膜厚を約230nm(GaAs層3Aの合計膜厚約210nm、InGaAs層3Bの合計膜厚約20nm)とすれば、波長1.2μmにおいて、Δnが0.057となり、δが1.15となり、これらの積Δn・δが0.0655となる。また、r1・k0が1.046となる。つまり、Δn・δが0.058以上、かつ、r1・k0が1.046以上となり、モードIの条件を満たすことになる。なお、この場合、GaAs/InGaAs量子井戸発光層3を構成するInGaAs層3Bについては、In組成を0.6とし、膜厚は約4nmとしている。なお、ここで、GaAs/InGaAs量子井戸発光層3の屈折率は、膜厚で重みを付けた平均値を用いている。また、AlGaAsクラッド層5のAl組成は例えば0.4とし、その膜厚は例えば約100nmとすれば良い。
例えば、上述のモードIの条件を満たす場合には、上部反射鏡8は、少なくとも半導体ナノワイヤ2の上方の端部及び発光層3の上方の端部の上方に設けられており、下部反射鏡9は、少なくとも半導体ナノワイヤ2の下方の端部及び発光層3の下方の端部の下方に設けられていれば良い。また、上述のモードIIの条件を満たす場合には、上部反射鏡8は、少なくとも発光層3の上方の端部の上方に設けられており、下部反射鏡9は、少なくとも発光層3の下方の端部の下方に設けられていれば良い。また、下部反射鏡9は、半導体ナノワイヤ2の基板側に設けられた多層膜反射鏡であっても良い。
ここで、多層膜反射鏡9は、誘電体多層膜反射鏡とすれば良い。この場合、基板表面側にp側電極6及びn側電極7の両方の電極が設けられ、これらの電極6、7を介して基板表面側から電流を注入する電流注入構造となり、かつ、少ない周期数で高反射率が得られる誘電体多層膜反射鏡8、9を半導体ナノワイヤ2及び発光層3の上下に備える構造となる。また、一方の電極(n側電極7)は、半導体基板1を介して、半導体ナノワイヤ2の端部に電気的に接続されることになる。
ここで、多層膜反射鏡9は、少なくとも基板1と半導体ナノワイヤ2及び発光層3との間に設けられた導電性多層膜反射鏡とすれば良い。例えば、多層膜反射鏡9を構成する材料を導電性半導体材料とすれば良い。また、半導体ナノワイヤ2の下方の端部は、導電性多層膜反射鏡9の表面に接するようにすれば良い。また、絶縁膜4は、導電性多層膜反射鏡9の表面上に設けられ、半導体ナノワイヤ2の側面の一部に接し、かつ、表面の一部に発光層3の下方の端部が接するようにすれば良い。また、n側電極7は、導電性多層膜反射鏡9の表面上に設けるようにすれば良い。この場合、半導体ナノワイヤ2は、基板1の上方に設けられることになる。また、基板表面側にp側電極6及びn側電極7の両方の電極が設けられ、これらの電極を介して基板表面側から電流を注入する電流注入構造となり、かつ、基板表面側の半導体ナノワイヤ2及び発光層3の上下に少ない周期数で高反射率が得られる誘電体多層膜反射鏡8、9を備え、基板1内での光の広がりを抑制しうる構造となる。また、一方の電極(n側電極7)は、導電性多層膜反射鏡9や半導体基板1を介して、半導体ナノワイヤ2の端部に電気的に接続されることになる。また、下部反射鏡9は、半導体ナノワイヤ2の下方の端部側に設けられることになる。
また、例えば図18に示すように、下部反射鏡9を、基板1の裏面に設けるのに代えて、基板1の表面上に部分的に設けられた誘電体多層膜反射鏡としても良い。つまり、下部反射鏡9を、少なくとも基板1と発光層3との間に設けられ、半導体ナノワイヤ2の側面の一部に接し、かつ、表面の一部に発光層3の下方の端部が接する誘電体多層膜反射鏡としても良い。これを第6変形例という。
2 半導体ナノワイヤ
3 発光層
3A 井戸層
3B 障壁層
4,4A,4B 絶縁膜
5 クラッド層
6 p側電極
7 n側電極
8 上部反射鏡
9 下部反射鏡
10 金属微粒子(触媒;触媒金属)
11 レジスト
12 導電性半導体層
13 レジスト
Claims (12)
- 基板の上方に設けられた第1導電型の半導体ナノワイヤと、
前記半導体ナノワイヤの周囲に設けられ、上端及び下端が絶縁されている発光層と、
前記発光層の外周に設けられ、前記第1導電型と異なる第2導電型のクラッド層と、
前記半導体ナノワイヤの端部に電気的に接続された第1電極と、
前記クラッド層の外周に電気的に接続された第2電極と、
前記半導体ナノワイヤの一方の端部側に設けられた第1反射鏡と、
前記半導体ナノワイヤの他方の端部側に設けられた第2反射鏡とを備え、
前記半導体ナノワイヤを構成する半導体材料の屈折率n 1 、前記発光層を構成する半導体材料の屈折率n 2 、前記クラッド層を構成する半導体材料の屈折率n 3 は、n 3 <n 1 <n 2 の関係を満たし、
前記半導体ナノワイヤを構成する半導体材料の屈折率n 1 に対する前記発光層を構成する半導体材料の屈折率n 2 の変化の割合Δn=(n 2 −n 1 )/n 1 と、前記半導体ナノワイヤの半径r 1 に対する前記発光層の膜厚(r 2 −r 1 )の割合δ=(r 2 −r 1 )/r 1 との積Δn・δが0.003以上、かつ、前記半導体ナノワイヤの半径r 1 と光の波数κ 0 との積r 1 ・κ 0 が2.61以上であるという条件、Δn・δが0.007以上、かつ、r 1 ・κ 0 が2.24以上であるという条件、Δn・δが0.058以上、かつ、r 1 ・κ 0 が1.046以上であるという条件、Δn・δが0.075以上、かつ、r 1 ・κ 0 が0.896以上であるという条件のいずれかの条件を満たすことを特徴とする半導体レーザ。 - 基板の上方に設けられた第1導電型の半導体ナノワイヤと、
前記半導体ナノワイヤの周囲に設けられ、上端及び下端が絶縁されている発光層と、
前記発光層の外周に設けられ、前記第1導電型と異なる第2導電型のクラッド層と、
前記半導体ナノワイヤの端部に電気的に接続された第1電極と、
前記クラッド層の外周に電気的に接続された第2電極と、
前記半導体ナノワイヤの一方の端部側に設けられた第1反射鏡と、
前記半導体ナノワイヤの他方の端部側に設けられた第2反射鏡とを備え、
前記半導体ナノワイヤを構成する半導体材料の屈折率n 1 、前記発光層を構成する半導体材料の屈折率n 2 、前記クラッド層を構成する半導体材料の屈折率n 3 は、n 3 <n 1 <n 2 の関係を満たし、
前記半導体ナノワイヤを構成する半導体材料の屈折率n1に対する前記発光層を構成する半導体材料の屈折率n2の変化の割合Δn=(n2−n1)/n1と、前記半導体ナノワイヤの半径r1に対する前記発光層の膜厚(r2−r1)の割合δ=(r2−r1)/r1との積Δn・δが0.025以上、かつ、前記半導体ナノワイヤの半径r 1 と光の波数κ 0 との積r1・κ0が2.61以上であるという条件、Δn・δが0.031以上、かつ、r1・κ0が2.24以上であるという条件、Δn・δが0.091以上、かつ、r1・κ0が1.046以上であるという条件、Δn・δが0.118以上、かつ、r1・κ0が0.896以上であるという条件のいずれかの条件を満たすことを特徴とする半導体レーザ。 - 前記第1反射鏡は、少なくとも前記半導体ナノワイヤの一方の端部及び前記発光層の一方の端部の上方に設けられており、
前記第2反射鏡は、少なくとも前記半導体ナノワイヤの他方の端部及び前記発光層の他方の端部の下方に設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の半導体レーザ。 - 前記第1反射鏡は、少なくとも前記発光層の一方の端部の上方に設けられており、
前記第2反射鏡は、少なくとも前記発光層の他方の端部の下方に設けられていることを特徴とする、請求項2に記載の半導体レーザ。 - 前記第1反射鏡は、前記半導体ナノワイヤの先端側に設けられた多層膜反射鏡であり、
前記第2反射鏡は、前記半導体ナノワイヤの前記基板側に設けられた多層膜反射鏡又は金属膜反射鏡であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体レーザ。 - 前記第1反射鏡は、少なくとも前記半導体ナノワイヤの一方の端部及び前記発光層の一方の端部を覆う誘電体多層膜反射鏡であり、
前記基板は、前記第1導電型を有する半導体基板であり、
前記半導体ナノワイヤの他方の端部は、前記基板の表面に接しており、
前記基板の表面上に設けられ、前記半導体ナノワイヤの側面の一部に接し、かつ、表面の一部に前記発光層の他方の端部が接する絶縁膜を備えることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体レーザ。 - 前記第2反射鏡及び前記第1電極は、前記基板の裏面に設けられた金属膜によって構成されることを特徴とする、請求項6に記載の半導体レーザ。
- 前記第2反射鏡は、前記基板の裏面に設けられた多層膜反射鏡であり、
前記第1電極は、前記基板の表面に設けられていることを特徴とする、請求項6に記載の半導体レーザ。 - 前記第1反射鏡は、少なくとも前記半導体ナノワイヤの一方の端部及び前記発光層の一方の端部を覆う誘電体多層膜反射鏡であり、
前記第2反射鏡は、少なくとも前記基板と前記半導体ナノワイヤ及び前記発光層との間に設けられた導電性多層膜反射鏡であり、
前記半導体ナノワイヤの他方の端部は、前記導電性多層膜反射鏡の表面に接しており、
前記導電性多層膜反射鏡の表面上に設けられ、前記半導体ナノワイヤの側面の一部に接し、かつ、表面の一部に前記発光層の他方の端部が接する絶縁膜を備えることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体レーザ。 - 前記第1電極は、前記導電性多層膜反射鏡の表面上に設けられていることを特徴とする、請求項9に記載の半導体レーザ。
- 前記基板の表面上に設けられ、前記導電性多層膜反射鏡に接続された導電性半導体層を備え、
前記第1電極は、前記導電性半導体層の表面上に設けられていることを特徴とする、請求項9に記載の半導体レーザ。 - 前記第1反射鏡は、少なくとも前記発光層の一方の端部を覆う誘電体多層膜反射鏡であり、
前記第2反射鏡は、少なくとも前記基板と前記発光層との間に設けられ、前記半導体ナノワイヤの側面の一部に接し、かつ、表面の一部に前記発光層の他方の端部が接する誘電体多層膜反射鏡であり、
前記半導体ナノワイヤの他方の端部は、前記基板の表面に接しており、
前記第1電極は、前記基板の裏面に設けられていることを特徴とする、請求項2、4、5のいずれか1項に記載の半導体レーザ。
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