JP6123536B2 - 光半導体素子、及びその製造装置 - Google Patents
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Description
半導体基板と、
前記半導体基板上に成長し、各々が歪み半導体層を有する複数のナノワイヤコアと、
前記複数のナノワイヤコアの間を埋め込んでひとつの柱状構造体を形成する半導体結晶層であって、前記半導体基板の面内方向に対して前記ナノワイヤコアと同じ結晶構造および同じ面方位を有する半導体結晶層と、
を有し、隣接する前記ナノワイヤコアの中心間の光学距離が動作波長よりも小さいことを特徴とする。
(付記1)
半導体基板と、
前記半導体基板上に成長し、各々が歪み半導体層を有する複数のナノワイヤコアと、
前記複数のナノワイヤコアの間を埋め込んでひとつの柱状構造体を形成する半導体結晶層であって、前記半導体基板の面内方向に対して前記ナノワイヤコアと同じ結晶構造および同じ面方位を有する半導体結晶層と、
を有し、隣接する前記ナノワイヤコアの中心間の光学距離が動作波長よりも小さいことを特徴とする光半導体素子。
(付記2)
前記半導体基板上に、前記ナノワイヤコア以外の領域を覆うマスク層を有し、
前記半導体結晶層は、前記マスク層上に成長して前記面内方向で前記ナノワイヤコアと接続していることを特徴とする付記1に記載の光半導体素子。
(付記3)
前記各ナノワイヤコアは、第1導電型の不純物を含み、
前記歪み半導体層は、前記ナノワイヤコアの側壁に当該ナノワイヤコアの径方向に積層されたアンドープの歪み半導体層であり、
前記半導体結晶層は、前記複数のナノワイヤコアをまとめるアンドープの第1半導体結晶層と、前記第1半導体結晶層の周囲に配置され、前記ナノワイヤコアと同じ結晶構造および同じ面方位を有する第2導電型の第2半導体結晶層とを含むことを特徴とする付記1又は2に記載の光半導体素子。
(付記4)
前記各ナノワイヤコアは、第1導電型の第1コア層と、第2導電型の第2コア層と、前記第1コア層と前記第2コア層の間に位置し前記歪み半導体層を含む活性層と、を有し、
前記歪み半導体層は前記ナノワイヤコアの高さ方向に積層されたアンドープの歪み半導体層であり、
前記半導体結晶層は、前記複数のナノワイヤコアをまとめるアンドープの半導体結晶層であることを特徴とする付記1又は2に記載の光半導体素子。
(付記5)
前記半導体基板は、面方位が(111)の化合物半導体基板であり、
前記ナノワイヤコアと前記柱状構造体の前記面内方向での断面形状は六角形であることを特徴とする付記1〜4のいずれかに記載の光半導体素子。
(付記6)
前記柱状構造体に含まれる前記ナノワイヤコアの数は3であり、
前記ナノワイヤコアの径をb1、前記柱状構造体の径をa1とすると、
(a1/3)<b1<(a1/2)
の関係を満たすことを特徴とする付記5に記載の光半導体素子。
(付記7)
前記半導体基板は、面方位が(100)の化合物半導体基板であり、
前記ナノワイヤコアと前記柱状構造体の前記面内方向での断面形状は四角形であることを特徴とする付記1〜4のいずれかに記載の光半導体素子。
(付記8)
前記柱状構造体に含まれる前記ナノワイヤコアの数は4であり、
前記ナノワイヤコア及び前記柱状構造体の前記断面形状は正方形であり、
前記ナノワイヤコアの径をb1、前記柱状構造体の径をa1とすると、
(a1/4)<b1<(a1/2)
の関係を満たすことを特徴とする付記7に記載の光半導体素子。
(付記9)
前記半導体基板上に、付記1〜8のいずれかに記載の前記光半導体素子を複数個配列した光半導体素子アレイ。
(付記10)
半導体基板上に、各々が歪み半導体層を有する複数のナノワイヤコアを、隣接する前記ナノワイヤコアの中心間の光学距離が動作波長より短くなるように形成し、
前記複数のナノワイヤコアの間を、前記ナノワイヤコアと前記半導体基板の面内方向に同じ結晶構造および同じ面方位を有する半導体結晶層で埋め込んで、柱状構造体を形成する、
工程を含むことを特徴とする光半導体素子の製造方法。
(付記11)
前記半導体基板上に、マスク層を形成し、
前記マスク層の所定の箇所に開口を形成し、前記開口内に触媒層を配置して前記ナノワイヤコアを成長し、
前記半導体結晶層を前記マスク層上に成長して、前記面内方向で前記ナノワイヤコアと接続させる
工程をさらに含むことを特徴とする付記10に記載の光半導体素子の製造方法。
(付記12)
前記ナノワイヤコアを第1導電型の半導体材料で形成し、
前記ナノワイヤコアの側壁上で、アンドープの前記歪み半導体層を前記ナノワイヤコアの径方向に積層し、
前記柱状構造体の形成は、前記歪み半導体層が形成された前記複数のナノワイヤコアの間をアンドープの第1半導体結晶層で埋め込み、前記第1半導体結晶層の周囲に、前記ナノワイヤコアと同じ結晶構造および同じ面方位を有する第2導電型の第2半導体結晶層を形成する工程を含むことを特徴とする付記10又は11に記載の光半導体素子の製造方法。
(付記13)
前記ナノワイヤコアの形成は、前記半導体基板上に第1導電型の第1コア層を形成し、前記第1コア層上に、アンドープの前記歪み半導体層を含む活性層を形成し、前記活性層上に第2導電型の第2コア層を形成する工程を含み、
前記歪み半導体層が形成された前記ナノワイヤコアの間を、アンドープの前記半導体結晶層で埋め込むことを特徴とする付記10又は11に記載の光半導体素子の製造方法。
(付記14)
前記半導体基板に、面方位が(111)の化合物半導体基板を用い、
前記ナノワイヤコアと前記柱状構造体の前記面内方向での断面形状を六角形に形成することを特徴とする付記10〜13のいずれかに記載の光半導体素子の製造方法。
(付記15)
前記半導体基板に、面方位が(100)の化合物半導体基板を用い、
前記ナノワイヤコアと前記柱状構造体の前記面内方向での断面形状を四角形に形成することを特徴とする付記10〜13のいずれかに記載の光半導体素子の製造方法。
2、12、48、82、92 量子井戸層(歪み半導体層)
3、13、25、50、69、90 ナノワイヤコア
4、14、26、51 活性層
5、15、31、61、85、95 柱状構造体
6、16、21、41 半導体基板
7、17、27、28、56 半導体結晶層
22、42 マスク層
24、44 触媒層
70 光半導体素子アレイ
Claims (5)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に成長し、各々が歪み半導体層を有する複数のナノワイヤコアと、
前記複数のナノワイヤコアの間を埋め込んでひとつの柱状構造体を形成する半導体結晶層であって、前記半導体基板の面内方向に対して前記ナノワイヤコアと同じ結晶構造および同じ面方位を有する半導体結晶層と、
を有し、隣接する前記ナノワイヤコアの中心間の光学距離が動作波長よりも小さく、
前記各ナノワイヤコアは、第1導電型の不純物を含み、
前記歪み半導体層は、前記ナノワイヤコアの側壁に当該ナノワイヤコアの径方向に積層されたアンドープの歪み半導体層であり、
前記半導体結晶層は、前記複数のナノワイヤコアをまとめるアンドープの第1半導体結晶層と、前記第1半導体結晶層の周囲に配置され、前記ナノワイヤコアと同じ結晶構造および同じ面方位を有する第2導電型の第2半導体結晶層とを含む
ことを特徴とする光半導体素子。 - 前記半導体基板上に、前記ナノワイヤコア以外の領域を覆うマスク層を有し、
前記半導体結晶層は、前記マスク層上に成長して前記面内方向で前記ナノワイヤコアと接続していることを特徴とする請求項1に記載の光半導体素子。 - 前記半導体基板上に、請求項1又は2に記載の前記光半導体素子を複数個配列した光半導体素子アレイ。
- 半導体基板上に、各々が歪み半導体層を有する複数のナノワイヤコアを、隣接する前記ナノワイヤコアの中心間の光学距離が動作波長より短くなるように形成し、
前記複数のナノワイヤコアの間を、前記ナノワイヤコアと前記半導体基板の面内方向に同じ結晶構造および同じ面方位を有する半導体結晶層で埋め込んで、柱状構造体を形成する、
工程を含み、
前記ナノワイヤコアを第1導電型の半導体材料で形成し、
前記ナノワイヤコアの側壁上で、アンドープの前記歪み半導体層を前記ナノワイヤコアの径方向に積層し、
前記柱状構造体の形成は、前記歪み半導体層が形成された前記複数のナノワイヤコアの間をアンドープの第1半導体結晶層で埋め込み、前記第1半導体結晶層の周囲に、前記ナノワイヤコアと同じ結晶構造および同じ面方位を有する第2導電型の第2半導体結晶層を形成する
ことを特徴とする光半導体素子の製造方法。 - 前記半導体基板上に、マスク層を形成し、
前記マスク層の所定の箇所に開口を形成し、前記開口内に触媒層を配置して前記ナノワイヤコアを成長し、
前記半導体結晶層を前記マスク層上に成長して、前記面内方向で前記ナノワイヤコアと接続させる
工程をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の光半導体素子の製造方法。
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JP2013144909A JP6123536B2 (ja) | 2013-07-10 | 2013-07-10 | 光半導体素子、及びその製造装置 |
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