JP7232464B2 - 発光装置およびプロジェクター - Google Patents
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Description
基体と、
前記基体に設けられ、複数の柱状部集合体を有する積層体と、
を有し、
前記柱状部集合体は、
少なくとも1つの第1柱状部と、
複数の第2柱状部と、
を有し、
前記第1柱状部は、電流が注入されて光を発生させる発光層を有し、
前記第2柱状部には、電流が注入されず、
複数の前記柱状部集合体において、光閉じ込めモードが形成され、
前記第1柱状部は、電界強度のピークと重なる位置に配置され、
前記第2柱状部は、電界強度のピークと重ならない位置に配置されている。
前記第2柱状部の径は、前記第1柱状部の径よりも小さくてもよい。
前記第2柱状部は、前記第2柱状部の径と、前記第2柱状部の径方向における空乏層領域の幅と、が等しい部分を有してもよい。
前記第2柱状部の高さは、前記第1柱状部の高さよりも小さくてもよい。
前記柱状部集合体における電界強度のピークの数と前記第1柱状部の数は、等しくてもよい。
前記柱状部集合体は、2つの前記第1柱状部と、2つの前記第2柱状部と、を有していてもよい。
前記発光層は、第1部分と、第2部分と、を有し、
前記第2部分のバンドギャップは、前記第1部分のバンドギャップよりも大きく、
前記第1部分は、電界強度のピークと重なる位置に配置されていてもよい。
前記発光装置の一態様を有する。
1.1. 発光装置
まず、第1実施形態に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る発光装置100を模式的に示す断面図である。図2は、第1実施形態に係る発光装置100を模式的に示す平面図である。なお、図1は、図2のI-I線断面図である。
柱状部30Aおよび第2柱状部30B以外の部材の図示を省略している。
じない。すなわち、第2柱状部30BのMQW層34は、発光層として機能しない。以下、第2柱状部30Bが高抵抗となる理由について説明する。
場合、量子井戸層として機能する第1部分34aとピークPとが重ならない。そのため、参考例に係る発光装置では、第1部分34aと電界との結合が弱く、光を効率よく増幅できない。
次に、第1実施形態に係る発光装置100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図9は、第1実施形態に係る発光装置100の製造工程を模式的に示す断面図である。
次に、第1実施形態に係る発光装置100の変形例について説明する。以下に説明する各変形例において、上述した発光装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図10は、第1変形例に係る発光装置を模式的に示す平面図である。図10は、図2に対応している。
図12は、第2変形例に係る発光装置を模式的に示す平面図である。図12は、図2に対応している。
2.1. 発光装置
次に、第2実施形態に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図14は、第2実施形態に係る発光装置200を模式的に示す断面図である。以下、第2実施形態に係る発光装置200において、上述した第1実施形態に係る発光装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、第2実施形態に係る発光装置200の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図15は、第2実施形態に係る発光装置200の製造工程を模式的に示す断面図である。以下では、上述した発光装置100の製造方法と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
上述した第1実施形態に係る発光装置の第1変形例および第2変形例は、第2実施形態に係る発光装置にも適用可能である。
次に、第3実施形態に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら説明する。図16は、第3実施形態に係るプロジェクター900を模式的に示す図である。
源100Gから出射された光は、第2レンズアレイ902Gによって、集光され、例えば重畳されることができる。
Claims (7)
- 基体と、
前記基体に設けられ、複数の柱状部集合体を有する積層体と、
を有し、
前記複数の柱状部集合体の各々は、
2つの第1柱状部と、
2つの第2柱状部と、
で構成され、
前記複数の柱状部集合体の各々は、ナノ構造体であり、
前記複数の柱状部集合体は、三角格子状または四角格子状に配列され、
前記第1柱状部は、電流が注入されて光を発生させる発光層を有し、
前記第2柱状部には、電流が注入されず、
前記複数の柱状部集合体において、光閉じ込めモードが形成され、
前記第1柱状部は、前記光閉じ込めモードの電界強度分布における電界強度のピークと重なる位置に配置され、
前記第2柱状部は、前記光閉じ込めモードの前記電界強度分布における電界強度のピークと重ならない位置に配置されている、発光装置。 - 請求項1において、
前記第2柱状部の径は、前記第1柱状部の径よりも小さい、発光装置。 - 請求項2において、
前記第2柱状部は、前記第2柱状部の径と、前記第2柱状部の径方向における空乏層領域の幅と、が等しい部分を有する、発光装置。 - 請求項1において、
前記第2柱状部の高さは、前記第1柱状部の高さよりも小さい、発光装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記光閉じ込めモードの前記電界強度分布における電界強度のピークの数と前記第1柱状部の数は、等しい、発光装置。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記発光層は、第1部分と、前記第1部分を囲む第2部分と、を有し、
前記第2部分のバンドギャップは、前記第1部分のバンドギャップよりも大きく、
前記第1部分は、前記光閉じ込めモードの前記電界強度分布における電界強度のピークと重なる位置に配置されている、発光装置。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の発光装置を有する、プロジェクター。
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