JP5854263B2 - 蒸気洗浄方法及び装置 - Google Patents
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同表によれば、角度20度の場合には全ての条件で洗浄が良好に行われ、40度の場合には概ね良好であるが条件によってはコンタミの再付着等が懸念され、60度の場合にはコンタミの再付着の可能性が高いが条件によっては採用可能であることが理解できる。
Claims (18)
- 被洗浄物の被洗浄面に付着したコンタミを洗浄する洗浄方法であって、
前記被洗浄面に対して垂直な方向から洗浄流体を吹き付ける第一の洗浄工程と、
前記第一の洗浄工程の後で、前記第一の洗浄工程により前記コンタミが除去された前記被洗浄面に対して45度以下の所定の角度を以って前記洗浄流体を吹き付ける第二の洗浄工程と、を有することを特徴とする洗浄方法。 - 前記所定の角度は、前記第一の洗浄工程において前記コンタミが除去された領域に対して前記洗浄流体を吹き付けた際に、前記コンタミと前記被洗浄面との間に前記洗浄流体が侵入可能な角度であることを特徴とする請求項1に記載の洗浄方法。
- 前記被洗浄物を移動可能に支持し、前記第一の洗浄工程及び前記第二の洗浄工程は前記被洗浄物が支持された状態を維持したままで行われることを特徴とする請求項2に記載の洗浄方法。
- 前記被洗浄物を支持した状態で、所定の軸を中心に前記被洗浄物を回転させることを特徴とする請求項3に記載の洗浄方法。
- 前記第一の洗浄工程及び前記第二の洗浄工程は、前記被洗浄物を回転させる間に行われることを特徴とする請求項4に記載の洗浄方法。
- 前記第一の洗浄工程は前記所定の軸から延在する第一の径方向において所定距離にある前記被洗浄面に対して行われ、前記第二の洗浄工程は前記第一の径方向から任意の角度を有して前記所定の軸から延在する第二の径方向において前記所定距離近傍にある前記被洗浄面に対して行われることを特徴とする請求項4又は5に記載の洗浄方法。
- 前記第二の洗浄工程が行われる前記被洗浄面上の位置は、前記第一の洗浄工程において前記被洗浄面に対して吹き付けられる前記洗浄流体と前記第二の洗浄工程において前記被洗浄面に対して吹き付けられる前記洗浄流体とが干渉しない距離だけ、前記第一の洗浄工程が行われる前記被洗浄面上の位置から隔置されることを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の洗浄方法。
- 前記第一の洗浄工程及び前記第二の洗浄工程で用いられる洗浄流体は同一であることを特徴とする請求項1乃至7の何れか一項に記載の洗浄方法。
- 前記洗浄流体が飽和蒸気からなり、前記飽和蒸気の熱による前記コンタミ及び前記被洗浄物各々の熱膨張量の差を利用して前記コンタミが除去された領域を拡大することを特徴とする請求項1乃至8の何れか一項に記載の洗浄方法。
- 前記第一の洗浄工程により前記コンタミが部分的に除去された被洗浄面に対して前記第二の洗浄工程を行い、前記被除去物と前記被洗浄面との間に前記洗浄流体を侵入させることにより、前記部分的に除去された前記被洗浄面の周囲のコンタミを除去することを特徴とする請求項1乃至9の何れか一項に記載の洗浄方法。
- 被洗浄面に付着したコンタミを洗浄する洗浄装置であって、
前記被洗浄面に対して垂直な方向から洗浄流体を吹き付け可能な垂直ノズルと、
前記被洗浄面に対して45度以下の所定の角度を以って前記洗浄流体を吹き付け可能な傾斜ノズルと、
前記垂直ノズル及び前記傾斜ノズルに対する前記被洗浄面の相対位置を移動可能な相対位置移動手段と、を有し、
前記相対位置移動手段、前記垂直ノズルにより前記洗浄流体が吹き付けられて前記コンタミが除去された前記被洗浄面に対して前記傾斜ノズルからの前記洗浄流体の吹き付けを可能とすることを特徴とする洗浄装置。 - 前記相対位置移動手段は前記被洗浄面を有する被洗浄物を支持し且つ所定の回転軸を中心に回転させることを特徴とする請求項11に記載の洗浄装置。
- 前記垂直ノズルは前記所定の軸から延在する第一の径方向において所定距離にある前記被洗浄面に対して前記洗浄流体を吹き付け、前記傾斜ノズルは前記第一の径方向から任意の角度を有して前記所定の軸から延在する第二の径方向において前記所定距離近傍にある前記被洗浄面に対して前記洗浄流体を吹き付けることを特徴とする請求項12に記載の洗浄装置。
- 前記所定の回転軸の回転方向をプラス方向とした場合、前記任意の角度は前記第一の径方向に対して前記プラス方向に設けられる角度であることを特徴とする請求項13に記載の洗浄装置。
- 前記傾斜ノズルが前記洗浄流体を吹き付ける前記被洗浄面上の位置は、前記垂直ノズルが前記被洗浄面に対して吹き付ける前記洗浄流体と前記傾斜ノズルが前記被洗浄面に対して吹き付ける前記洗浄流体とが干渉しない距離だけ、前記垂直ノズルが前記洗浄流体を吹き付ける前記被洗浄面上の位置から隔置されることを特徴とする請求項11又は12に記載の洗浄装置。
- 前記所定の角度は、前記垂直ノズルによって吹き付けられた前記洗浄流体により前記コンタミが除去された前記被洗浄面の領域において、前記被除去物と前記被洗浄面との間に前記洗浄流体が侵入可能な角度であることを特徴とする請求項11乃至15の何れか一項に記載の洗浄装置。
- 前記垂直ノズルと前記傾斜ノズルとが前記被洗浄面に吹き付ける前記洗浄流体は同一であることを特徴とする請求項11乃至16の何れか一項に記載の洗浄装置。
- 前記洗浄流体が飽和蒸気からなり、前記飽和蒸気の熱による前記コンタミ及び前記被洗浄物各々の熱膨張量の差を利用して前記コンタミが除去された領域を拡大することを特徴とする請求項11乃至17の何れか一項に記載の洗浄装置。
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