JP5652357B2 - 洗浄乾燥装置 - Google Patents
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- 所定の軸を中心に被洗浄物を回転可能に支持するステージユニットと、
前記ステージユニットに支持された前記被洗浄物に対して洗浄流体を吹き付け可能なノズル部と、
前記ステージユニット及び前記ノズル部を収容する筐体と、
前記筐体から洗浄により生じた物質を排出するための排気系と接続される排気管と、を有し
前記ステージユニットは前記洗浄流体の吹き付け時の低速回転モードと、前記被洗浄物を乾燥させるための高速回転モードとを有し、
前記洗浄流体は飽和蒸気であって、前記飽和蒸気を生成する飽和蒸気発生ユニットを更に有し、
前記飽和蒸気発生ユニットは、流体の流入口と流出口とを有する流体通路を有し、前記流体通路を通過する流体を加熱する加熱源と、
前記流体通路と前記加熱源とを内部に包含するヒータケースと、
前記ヒータケース内に充填されて前記加熱源の発する熱を前記流体通路に伝達する熱伝導小片と、を有し
前記熱伝導小片は、前記ヒータケースの内部の前記加熱源と前記流体通路とを覆うように充填され、
前記熱伝導小片は前記ヒータケースの内部に空隙を形成するように所定の充填密度にて充填されることを特徴とする洗浄乾燥装置。 - 前記所定の充填密度は、前記熱伝導小片が熱膨張した際の移動を可能とする密度であることを特徴とする請求項1に記載の洗浄乾燥装置。
- 前記所定の充填密度は、前記熱伝導小片が熱膨張した際の熱膨張量を吸収可能な充填密度であることを特徴とする請求項1に記載の洗浄乾燥装置。
- 前記ヒータケースの内部に配置されて前記ヒータケースの内部温度を測定する温度測定手段と、
前記ヒータケースを覆って前記ヒータケースの保温を為す断熱材と、を更に有し、
前記流体通路は管状の部材を螺旋状に成型して得られたものであること、を特徴とする請求項2又は3の何れか一項に記載の洗浄乾燥装置。 - 前記ノズル部は複数のノズルを有し、前記複数のノズルは各々異なる角度にて前記被洗浄物の洗浄面に対して前記洗浄流体を吹き付け可能であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載の洗浄乾燥装置。
- 前記ノズル部は、前記被洗浄物の洗浄面に対して垂直に前記洗浄流体を吹き付け可能な噴出軸を有したノズルを有することを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載の洗浄乾燥装置。
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