JP5850236B2 - カーボンナノチューブの製造装置及びカーボンナノチューブの製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第一実施形態に係るカーボンナノチューブの製造装置1の概略構成を示したものである。
以下、実施例および比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
<触媒基板>
基板として、50mm×50mmの正方形で厚さ0.5mmのシリコン基板を用いた。シリコン基板は研磨されており、その表面粗さRaは5ナノメートルであった。
図2(A)に示される反応ガス導入構造を使用し、上側のシャワープレート11として図5(A)に示される上部プレートを使用し、下側のシャワープレート12として図5(B)に示される下部プレートを使用した。上部プレートは、ガス吹出面が60mm×60mmの正方形で厚さが1mmのSUS材料からなり、図5(A)に示されるように85個のガス吹出孔を千鳥穴配置で有する。上部プレートは、ガス吹出孔の大きさを、反応ガスの導入位置から遠くなるにしたがって小さくなるようにしてあり、図5(A)の中心から外側にいくにしたがって大きくなる破線で示される3つの四角形で規定される領域のうち、一番内側の領域にあるガス吹出孔の大きさがφ2.0mm、その外側の領域にあるガス吹出孔の大きさがφ1.0mm、一番外側の領域にあるガス吹出孔の大きさがφ0.5mmとなっている。下部プレートは、上部プレート同様に、ガス吹出面が60mm×60mmの正方形で厚さが1mmのSUS材料からなり、図5(B)に示されるように84個のガス吹出孔を千鳥穴配置で有する。下部プレートのガス吹出孔の大きさは、全てφ1.0mmである。そして、下部プレートを基板から25mm離れた位置に配置し、上部プレートと下部プレートとの間隔を5mmとした。ガス吹出孔の相互位置は、上部プレートおよび下部プレートを中心が一致するように重ねて、それぞれのガス吹出孔の位置が、縦横方向のガス吹出孔の並びにおいて、他方のプレートの孔−孔距離の中心に位置するように互い違いに配置されるようにした。
1.ガス定常解析
2.シャワーヘッド下1/4空間における流れの解析(図6(A))
3.ガスをAirとして計算(CVD条件の流量:5.5L/min.)
(MAT 1)
名前: 空気(非圧縮20℃)
種類: 非圧縮流体
密度: 1.205(kg/m3)
粘性係数: 1.03e−005(Pa・s)
定圧比熱: 1007(J/(kg・K))
熱伝導率: 0.0241(W/(m・k))
・ガス物性を変更:計2パターン
・窒素+C2H2≒air(非圧縮空気(20℃))
・定常解析
・乱流(低レイノルズ式)
シミュレーション結果を図6(B)および(C)に示す(図6(B)及び(C)は、それぞれ、ガス流速ベクトルおよびワークセットステージ上のガス圧力を示している)。
図1と同じように構成された熱CVD法によるカーボンナノチューブ製造装置を使用してカーボンナノチューブを形成した。上記で作製した触媒つき基板を反応チャンバ2内にセットし、その後蓋をし、10Paまで真空引きを行った。反応チャンバ2中にキャリヤガス6として窒素ガスを5000cc/分で導入し、かつ圧力を1×105Paに調整した。基板表面温度を600℃に5分で昇温後、炭素源となる原料ガス5としてアセチレンガスを500cc/分で窒素ガスに加えて6分間導入しながら650℃まで昇温させ、カーボンナノチューブを形成させた。この結果、CNT面内におけるCNT高さとガス圧力との関係は図7で示すような結果となり、5cm角のサイズであっても20μm内にバラツキを抑えられた。なお、図7中の「CNT高さ」は、SEMを用いて形成されたカーボンナノチューブの高さを確認して求めた(装置:日立ハイテク社製 SU-70、加速電圧:5kV、倍率:×50〜×100)。また、「ガス圧力」は、上記シミュレーション結果から求めた。
<触媒基板>
実施例1と同じ触媒基板を使用した。
図3に示される反応ガス導入構造を使用し、図8に示されるような、ガス吹出面が60mm×60mmの正方形で厚さが1mmのSUS材料からなり、φ1.0mmのガス吹出孔を千鳥穴配置で85個有するシャワープレートを1枚使用した。このシャワープレートを基板から25mm離れた位置に配置した。
実施例1と同じ条件でカーボンナノチューブを形成した。この結果、CNT面内におけるCNT高さとガス圧力との関係は図10で示すような結果となり、5cm角のサイズであっても240μmものバラツキが生じてしまう。
2 反応チャンバ
3 基板
4 反応ガス
5 ガス導入管
6 原料ガス
7 キャリアガス
8 流量調整器
9 加熱手段
11,12,21,22 シャワープレート
Claims (5)
- カーボンナノチューブを形成する基板を収容する反応チャンバと、前記反応チャンバに収容された前記基板に反応ガスを供給するための反応ガス供給手段とを備え、熱CVD法によりカーボンナノチューブを形成する製造装置であって、
前記反応ガス供給手段が、前記反応ガスが順に通過して前記基板のカーボンナノチューブ形成面に前記反応ガスが供給されるように重ねて配置された複数のガス吹出孔を有する2枚以上のシャワープレートを有し、
隣接する前記シャワープレート間の前記吹出孔がガスの吹出方向に対して重ならないように前記シャワープレートを配置し、
前記反応ガスが最初に通過する前記シャワープレートの前記ガス吹出孔の大きさを、前記シャワープレートへの前記反応ガスの導入位置から前記ガス吹出孔までの距離が大きくなるほど小さいものとする、
ことを特徴とするカーボンナノチューブの製造装置。 - 前記シャワープレートが、前記基板の両面それぞれに対して設けられていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記反応ガスの導入位置を、前記反応ガスが最初に通過する前記シャワープレートの中心とすることを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
- 前記反応ガスの導入位置を、前記反応ガスが最初に通過する前記シャワープレートの端部とすることを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
- 反応チャンバに収容された基板に、反応ガス供給手段により反応ガスを供給して熱CVD法によりカーボンナノチューブを形成する工程を含むカーボンナノチューブの製造方法であって、
前記反応ガス供給手段が、前記反応ガスが順に通過して前記基板のカーボンナノチューブ形成面に前記反応ガスが供給されるように重ねて配置された複数のガス吹出孔を有する2枚以上のシャワープレートを有し、
隣接する前記シャワープレート間の前記吹出孔がガスの吹出方向に対して重ならないように前記シャワープレートを配置し、
前記反応ガスが最初に通過する前記シャワープレートの前記ガス吹出孔の大きさを、前記シャワープレートへの前記反応ガスの導入位置から前記ガス吹出孔までの距離が大きくなるほど小さいものとする、
ことを特徴とする方法。
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