JP5850207B2 - 薬液収納容器、薬液用ノズル、液体の充てん方法および液体の排出方法 - Google Patents

Description

本発明は、例えばリチウムイオン電池用電解液のような薬液を収納するための薬液収納容器、薬液用ノズル、液体の充てん方法および液体の排出方法に関する。

従来より例えばリチウムイオン電池用電解液のような薬液は、キャニスタ缶（金属缶）内に収納され、この薬液を収納した金属缶が搬送される。そして必要に応じて金属缶内部から薬液が取出され、使用される。

薬液が取出された金属缶はその後内部が洗浄され、次回再び薬液を収納して搬送される。

ところでリチウム電池用電解液は、その取扱いを慎重に行う必要があり、一度リチウム電池用電解液を収納した金属缶の洗浄にあたっても、高精度に洗浄する必要があり、金属缶の洗浄コストが高価となっている。

例えばキャニスタ―缶の洗浄に関しては内容物の除去に加え、洗浄後の残渣がなきように工程を組みあげる必要がある（特許文献１）。

特開平１０−４３６

上述のようにリチウム電池用電解液等の薬液を金属缶内に収納した場合、薬液を取出す毎に金属缶内を洗浄する必要があり、この洗浄コストが高価となっている。

他方、金属缶内に薬液収納袋を配置し、金属缶と薬液収納袋を貫通して薬液用ノズルを設けるとともに、薬液用ノズルを介して薬液収納袋内の薬液を外方へ排出する薬液収納容器も開発されている。この場合、金属缶と薬液収納袋との間の空間に窒素ガス（Ｎ_２ガス）供給用ノズルからＮ_２ガスを加圧ガスとして供給し、この加圧ガスによって薬液収納袋内の薬液を外方へ排出させる。また薬液用ノズルおよびＮ_２ガス供給用ノズルは、薬液収納袋に設けられた注出部材と金属缶により保持されている。

このように金属缶内に薬液収納袋を配置してなる薬液収納容器が開発され、この場合、薬液用ノズルを介して薬液収納袋内の薬液を外方へ排出している。一般に, 薬液収納袋は合成樹脂製となっているため、使用中に薬液用ノズルの下端により薬液収納袋が破損する恐れがある。

また、液体注出の際に可撓性の薬液収納袋が萎み、薬液用ノズルの下端に設けられた開口部を閉塞してしまい、内部の薬液を十分に注出できない不具合が発生する場合がある。

本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、使用中に薬液用ノズルによって薬液収納袋が破損することがなく、さらに薬液用ノズルの開口部を閉塞することなく薬液収納袋内部の薬液を十分に注出できる、薬液収納容器、薬液用ノズル、液体の充てん方法および液体の排出方法を提供することを目的とする。

本発明は、上方開口を有する外側容器と、前記外側容器内に配置されるとともに、上端部に注出部材が設けられ、内部に薬液が収納される薬液収納袋とを備える薬液収納容器であって、前記注出部材は前記外側容器の前記上方開口に配置され、前記外側容器の前記上方開口を密閉する蓋体が前記注出部材を覆って設けられ、前記蓋体には、前記注出部材内を通過するとともに薬液を排出する薬液用ノズルと前記注出部材内に加圧ガスを供給する加圧ガス供給用ノズルとが設けられ、前記薬液用ノズルは、ノズル本体と、このノズル本体の下端に配置され、湾曲面を有する先端部とを有することを特徴とする薬液収納容器である。

本発明は、前記ノズル本体は金属を含み、前記先端部は合成樹脂を含んでいてもよい。

本発明は、前記ノズル本体および前記先端部は金属を含んでいてもよい。

本発明は、前記ノズル本体および前記先端部は合成樹脂を含んでいてもよい。

本発明は、前記ノズル本体は合成樹脂を含み、前記先端部は金属を含んでいてもよい。

本発明は、前記先端部に開口が形成されていてもよい。

本発明は、薬液用ノズルのノズル本体側壁に複数の開口が形成されていてもよい。

本発明は、前記注出部材内は、前記薬液用ノズルが通過するとともに前記薬液収納袋内に連通する薬液用ノズル空間と加圧ガスが充てんされる加圧ガス空間とに区画され、前記注出部材には、前記外側容器と前記薬液収納袋との間の加圧空間と前記加圧ガス空間とを連通する連通孔が形成され、前記蓋体に前記薬液用ノズルに接続された薬液用ノズルコネクタと、前記薬液用ノズル空間に連通する第１ドライエア排出開口コネクタと、前記加圧ガス空間に連通する加圧ガス供給用ノズルコネクタおよび第２ドライエア排出開口コネクタとが形成され、前記薬液用ノズルコネクタおよび前記加圧ガス供給用ノズルコネクタは各々供給ラインを介して、ドライエア供給源に接続可能となっていてもよい。

本発明は、各供給ライン、前記第１ドライエア排出開口コネクタ、および前記第２ドライエア排出開口コネクタは、露点計を接続する露点計接続部に接続可能となっていてもよい。

本発明は、上方開口を有する外側容器と、前記外側容器内に配置されるとともに、上端部に注出部材が設けられ、内部に薬液が収納される薬液収納袋とを備える薬液収納容器であって、前記注出部材は、前記外側容器の前記上方開口に配置されるとともに、前記注出部材に薬液を排出する薬液用ノズルが挿入され、前記薬液用ノズルは、ノズル本体と、このノズル本体の下端に取付けられ、湾曲面を有する先端部とを有することを特徴とする薬液収納容器である。

本発明は、前記注出部材に、前記外側容器と前記薬液収納袋との間の加圧空気へ連通する連通孔を設け、前記連通孔に加圧ガス供給用ノズルが連通されていてもよい。

本発明は、前記先端部は、前記薬液用ノズル本体と一体成形されていてもよい。

本発明は、薬液収納容器を用いた液体の充てん方法であって、前記液体収納容器の前記注出部材から前記薬液収納袋内に前記薬液用ノズルを介して気体を供給して前記薬液収納袋を前記外側容器内で膨らませる工程と、前記薬液収納袋内に前記薬液用ノズルを介して前記注出部材から液体を充てんする工程と、を備えたことを特徴とする液体の充てん方法である。

本発明は、薬液収納容器を用いた液体の注出方法であって、前記液体収納容器の前記薬液収納袋内に液体を充てんする工程と、前記薬液収納袋内に充てんされた液体を前記薬液用ノズルを介して前記注出部材から排出する工程を備えたことを特徴とする液体の排出方法である。

本発明は、薬液収納容器の薬液収納袋内に挿入されて使用される薬液用ノズルにおいて、ノズル本体と、このノズル本体の下端に取付けられ、湾曲面を有する先端部とを有していてもよい。

本発明は、前記ノズル本体は金属を含み、前記先端部は合成樹脂を含んでいてもよい。

本発明は、前記ノズル本体および前記先端部は金属を含んでいてもよい。

本発明は、前記ノズル本体および前記先端部は合成樹脂を含んでいてもよい。

本発明は、前記ノズル本体は、合成樹脂を含み、前記先端部は金属を含んでいてもよい。

本発明は、前記先端部に開口が形成されていてもよい。

本発明は、前記ノズル本体の側壁に複数の開口が形成されていてもよい。

以上のように本発明によれば、使用中に薬液用ノズルによって薬液収納袋が破損することが抑制でき、かつ薬液用ノズルの開口部の閉塞を防止し薬液収納袋内の薬液を十分に排出することができる。

図１は本発明による薬液収納容器を示す全体概略図。 図２は注出部材を示す拡大側面図。 図３は薬液収納容器の注出部材を示す平面図。 図４は薬液収納袋を示す概略側面図。 図５（ａ）は内袋用の材料を示す断面図であり、図５（ｂ）は外袋用の材料を示す断面図。 図６は薬液用ノズルを示す概略図。 図７（ａ）は薬液用ノズルのノズルキャップ（先端部）を示す拡大図、図７（ｂ）〜図７（ｆ）はノズルキャップの変形例を示す図。 図８はドライエアの供給ラインと排出ラインを示す図。 図９は露点計の接続構造を示す図。

＜発明の実施の形態＞
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。

図１乃至図９は、本発明による薬液収納容器の実施の形態を示す図である。

まず図１乃至図３により、薬液収納容器の概略について説明する。

図１乃至図３に示すように、薬液収納容器１は、リチウムイオン電池用電解液等の薬液が収納される薬液収納用の薬液収納袋１０と、内部にこの薬液収納袋１０が配置される金属製の外側容器（以下、金属缶ともいう）２とを備えている。なお、外側容器２は金属製の他、合成樹脂により作製することもできる。

また薬液収納袋１０は、リチウムイオン電池用電解液等の薬液を収納するものであるが、リチウムイオン電池用電解液の他、半導体製造工程において用いられるレジスト除去用薬液、エッチング用薬液あるいは他の化学薬液を収納することもできる。

また、薬液収納袋１０内に、リードフレーム製造工程において用いられるレジスト除去用薬液あるいはエッチング液を収納してもよく、サスペンション基板製造工程において用いられるレジスト除去用薬液あるいはエッチング液を収納してもよく、さらに印刷工程において用いられる印刷用インキを収納してもよい。

例えば薬液収納袋１０内に収納されるリチウムイオン電池用電解液としては、ＬｉＣｌＯ_４、ＬｉＰＦ_６等のＬｉイオンを含んだ有機電解液を用いることができる。

このような有機電解液は、水分、ハロゲン、金属イオン等を嫌うため、後述のように有機電解液を収納する内袋１１としては、これら水分、ハロゲン、金属イオン等をなるべく含まない材料が用いられる。

また金属缶２は、上方開口２ａを有し、この上方開口２ａは蓋体５により密閉されている。金属缶２および蓋体５は全体としてステンレス製となっている。

また図４に示すように、薬液収納袋１０は、例えばリチウムイオン電池用電解液等の薬液３が収納されるとともに可撓性をもつ合成樹脂製の内袋１１と、内袋１１を囲むとともに可撓性をもつ合成樹脂製の外袋１２とを有し、内袋１１と外袋１２を貫通して注出部材１５が延びている。

次に図１乃至図３により、注出部材１５および蓋体５の取付構造について説明する。

図１乃至図３に示すように、注出部材１５は金属缶２の上方開口２ａに嵌込まれており、蓋体５は注出部材１５を覆って設けられ金属缶２の上方開口２ａを密閉するとともに、この蓋体５は金属缶２の上方開口２ａの周縁に複数のボルト６によりボルト締めされて固定されている。

注出部材１５について、更に説明する。注出部材１５は、底面２２と、底面２２周縁の側面２３と、側面２３の上端に設けられた周縁フランジ２１とを有し、この側面２３が金属缶２の上方開口２ａ内面に嵌込まれることにより、注出部材１５は金属缶２の上方開口２ａに位置決めされる。

さらに注出部材１５には内部を後述する薬液用ノズル（ディップチューブともいう）１６が通過して延びる薬液用ノズル空間１５Ａと、後述する加圧ガス供給用ノズル１７から供給される加圧ガスが充てんされる加圧ガス空間１５Ｂとに区画する円筒状の区画壁２０が設けられている。すなわち、注出部材１５の円筒状の区画壁２０は、その内部に薬液用ノズル１６が貫通する薬液用ノズル空間１５Ａが形成され、注出部材１５内のうち区画壁２０の外方は加圧ガス空間１５Ｂとなっている。

この場合、蓋体５の下面にも、注出部材１５の区画壁２０内面に当接する区画壁５ａが設けられ、これら注出部材１５の区画壁２０と蓋体５の区画壁５ａとにより注出部材１５内を薬液用ノズル空間１５Ａと加圧ガス空間１５Ｂとに密封状態で互いに区画している。しかしながら、区画壁２０および区画壁５ａのうちの一方、例えば注出部材１５の区画壁２０のみにより、注出部材１５内を薬液用ノズル空間１５Ａと加圧ガス空間１５Ｂとに区画してもよい。

また注出部材１５は上述のように底面２２を有し、この底面２２には複数の連通孔２２ａ，２２ｂが形成され、この連通孔２２ａ，２２ｂにより注出部材１５の加圧ガス空間１５Ｂと、金属缶２と薬液収納袋１０との間に形成された加圧空間８とが連通するようになっている。

また、注出部材１５は区画壁２０から下方へ連続して延びる連結口１５Ｄを有し、連結口１５Ｄの下端部には、内袋１１と外袋１２を一体にシールして形成された密閉シール部１３が固着されるシール固着部２５が形成されている。注出部材１５のシール固着部２５は平面略だ円形状を有し、これによりシール固着部２５と薬液収納袋１０の密閉シール部１３とを容易に固着することができる。

上述のように、注出部材１５の薬液用ノズル空間１５Ａ内には薬液用ノズル１６が貫通し、加圧ガス空間１５Ｂ内には加圧ガス供給用ノズル１７から加圧ガスが供給される。

図１乃至図３に示すように、薬液用ノズル１６は注出部材１５の薬液用ノズル空間１５Ａ内を延びるとともに蓋体５により堅固に保持されている。この薬液用ノズル１６は薬液収納袋１０内の薬液３を注出して外方へ放出するものであるが、薬液収納袋１０内に薬液３を充てんする目的で使用することもできる。

次に薬液用ノズル１６について図６および図７により更に説明する。図６および図７（ａ）に示すように、薬液用ノズル１６は、金属製、例えば銅製のノズル本体２６と、ノズル本体２６の下端に差し込み取付けられた合成樹脂製、例えば耐薬品性および滑り性が高いポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製の先端部（ノズルキャップ）２７とを有している。

このうち、ノズル本体２６の下方側壁には、複数の開口２６ａが形成されている。またノズルキャップ２７は、円筒状側壁２７Ａと、底面２７Ｂとを有し、円筒状側壁２７Ａの外周には、複数の開口２７ａが形成されている。さらにノズルキャップ２７の円筒状側壁２７Ａと底面２７Ｂとの間には、円周状に延びる湾曲面２７Ｃが形成されている。

このようにノズルキャップ２７は、円筒状側壁２７Ａと、底面２７Ｂと、湾曲面２７Ｃとを有し、全体として湾曲形状を有する。薬液用ノズル１６は、薬液収納袋１０内へ挿入されており、また薬液収納袋１０は後述のように合成樹脂製となっている。このため薬液用ノズル１６の下端により薬液収納袋１０が破損することも考えられるが、本実施の形態によれば、薬液用ノズル１６はノズル本体２６と、ノズル本体２６の下端に設けられた合成樹脂製、例えばＰＴＦＥ製のノズルキャップ２７とを有している。このノズルキャップ２７は全体として湾曲形状をし、かつ滑り性の高いＰＴＦＥ製となっているので、薬液用ノズル１６の下端によって薬液収納袋１０を破損することはない。

すなわち、ノズルキャップ２７は、金属に比べて滑り性に優れ、かつ柔軟なＰＴＦＥ製となっているため、このノズルキャップ２７が薬液収納袋１０に当たっても、薬液収納袋１０が破損することはない。また、ノズルキャップ２７は全体として湾曲形状をもつため、鋭利な突起部をもつことがなく、ノズルキャップ２７が薬液収納袋１０に当たっても、薬液収納袋１０が破損することはない。ここで「湾曲形状」とは、鋭利な突起部を含まない形状をいう。

さらにまた薬液用ノズル１６は、ノズル本体２６の下方側壁に複数の開口２６ａを有するとともに、ノズルキャップ２７の円筒状側壁２７Ａに複数の開口２７ａを有している。このため後述のように薬液用ノズル１６を用いて薬液収納袋１０内の薬液３を排出する際、薬液用ノズル１６の複数の開口２６ａ、２７ａから薬液用ノズル１６内に薬液３を流入することができ、薬液用ノズル１６の外周に加わる圧力を分散できる。従って薬液用ノズル１６の特定の部位に薬液収納袋１０が強く押付けられることはなく、薬液収納袋１０の破損を防止できる。

また、ノズルキャップ２７に複数の開口２７ａを設けるとともに、ノズル本体２６の下方側壁に複数の開口２６ａを設けることで、可撓性のある合成樹脂製の薬液収納袋１０が、開口部を完全に閉塞することを無くし、排出不良を防止できる。

次に図７（ｂ）〜図７（ｅ）によりノズルキャップ２７の変形例を説明する。

図７（ａ）に示すように、ノズルキャップ２７の底面２７Ｂは密封されているが、図７（ｂ）に示すようにノズルキャップ２７の底面２７Ｂに複数の開口２７ｂを設けてもよい。このように底面２７Ｂに開孔２７ｂを設けることによって、薬液用ノズル１６により薬液収納袋１０内の薬液をその残量が少なくなるよう確実に排出することができる。

また図７（ａ）に示すノズルキャップ２７において、ノズルキャップ２７の底面２７Ｂは平坦状をなしているが、図７（ｃ）に示すように、ノズルキャップ２７は開口２７ａを有する円筒状側壁２７Ａと、球面状底面２７Ｂとを有していてもよい。図７（ｃ）において、ノズル本体２６はノズルキャップ２７に差し込み取付けられている。

さらにまた、図７（ｄ）に示すようにノズルキャップ２７を全体として球面状に形成し、この球面状のノズルキャップ２７の先端に開口２７ａを形成してもよい。図７（ｄ）において、ノズル本体２６はノズルキャップ２７に差し込み取付けられている。

なお、図７（ａ）〜図７（ｄ）において、薬液用ノズル１６は、ノズル本体２６と、このノズル本体２６の下端に差し込み取付けられた先端部としてのノズルキャップ２７とを有する例を示したが、これに限らずノズルキャップ２７とノズル本体２６を同一の材料から一体に成形してもよい（図７（ｅ）（ｆ）参照）。すなわち、先端部がノズル本体２６と一体に成形されていてもよい。このように、ノズルキャップ２７とノズル本体２６を一体に成形した場合、ノズルキャップ２７を用いることなく、ノズル本体２６の先端が先端部２７を構成する。この場合、先端部２７に開口２７ａを設けてもよく（図７（ｅ）参照）、ノズル本体２６の側壁のうち先端部２７に近い側に開口２６ａを設けてもよい（図７（ｆ）参照）。

ところで、図７（ａ）〜図７（ｄ）に示すいずれも別体に成形されたノズルキャップ２７とノズル本体２６の材料としては、以下のようなものが考えられる。

まず、ノズルキャップ２７とノズル本体２６をいずれも金属製、例えば銅製またはステンレス鋼から構成してもよい。

またノズルキャップ２７を合成樹脂、例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重体（ＦＥＰ）、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）等から構成するとともに、ノズル本体２６を金属製、例えば銅製またはステンレス鋼から構成してもよい。

さらにまた、ノズルキャップ２７を金属製、例えば銅製から構成するととともに、ノズル本体２６をＰＴＦＥ、ＰＦＡ、ＦＥＰ、ＨＤＰＥ等の合成樹脂から構成してもよい。

またノズルキャップ２７とノズル本体２６をいずれも、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ、ＦＥＰ、ＨＤＰＥ等の合成樹脂から構成してもよい。

他方、図７（ｅ）(ｆ)に示す一体に成形されノズルキャップ２７とノズル本体２６の材料としては、以下のようなものが考えられる。

ノズルキャップ２７とノズル本体２６をいずれも金属、例えば銅製から一体に成形してもよく、ノズルキャップ２７とノズル本体２６をいずれも合成樹脂、例えばＰＴＦＥ、ＰＦＡ、ＦＥＰ、ＨＤＰＥ等の合成樹脂により一体に成形してもよい。

なお、図７（ａ）〜図７（ｆ）に示す各実施の形態において、ノズルキャップ２７の円筒状側壁２７Ａに開口２７ａを設け、ノズルキャップ２７の底面２７Ｂに開口２７ｂを設け、あるいはノズル本体２６に開口２６ａを設けた例を示したが、必ずしも開口２７ａ、開口２７ｂあるいは開口２６ａをすべて設ける必要はなく、いずれかの開口、例えば開口２７ａのみを設けてもよく、開口２７ｂのみを設けてもよく、開口２６ａのみを設けてもよい。

また、加圧ガス供給用ノズル１７も蓋体５により堅固に保持され、加圧ガス供給用ノズル１７から窒素ガス（Ｎ_２ガス）等の不活性ガス又は空気を注出部材１５の加圧ガス空間１５Ｂ内に充てんすることができる。加圧ガス供給用ノズル１７から加圧ガス空間１５Ｂ内に充てんされた不活性ガス又は空気は、その後加圧ガス空間１５Ｂから連通孔２２ａ，２２ｂを経て、金属缶２と薬液収納袋１０との間の加圧空間８内へ送られる。そして加圧空間８内に不活性ガス又は空気を供給することにより、薬液収納袋１０を外方から加圧して、薬液収納袋１０内の薬液３を薬液用ノズル１６から外方へ放出することができる。

また蓋体５に取付けられた薬液用ノズル１６の上端には、コネクタ（薬液用ノズルコネクタ）１６ａが設けられ、加圧ガス供給用ノズル１７の先端には、コネクタ（加圧ガス供給用ノズルコネクタ）１７ａが設けられている。

なお、上述した注出部材１５は、全体として合成樹脂製となっている。

次に薬液収納袋１０について図４および図５により述べる。薬液収納袋１０を構成する内袋１１は内袋用の材料１１Ａからなる一対のフィルムを準備し、この一対のフィルムの周縁をヒートシールしてヒートシール部１１ａを形成することにより得られる（図５（ａ）参照）。

内袋用の材料１１Ａとしては、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン材料を用いることができ、内袋１１は薬液３に直接触れる部分であるため、リチウムイオン電池用電解液が嫌う水分、ハロゲン、金属イオンをなるべく含まない材料、例えば低水分、低ハロゲン、低金属イオンの材料を用いることが好ましい。また内袋用の材料１１Ａとしては、無添加のポリオレフィンであることがより好ましく、このような無添加のポリオレフィンを用いることにより、内袋用の材料１１Ａ中の成分が薬液３へ溶出することを防止できる。

また内袋１１内には薬液３が収納されることになるが、搬送時に薬液３から内袋１１内面に圧力が加わっても内袋１１が破損したりすることがないよう、内袋１１内面の隅部１１ｂは湾曲面を有している。

すなわち、薬液３が収納された内袋１１を有する薬液収納袋１０が金属缶２内に配置されて薬液収納容器１が得られるが、この薬液収納容器１を搬送する際、内袋１１内に収納された薬液３から内袋１１内面に圧力が加わることも考えられる。

このような場合、内袋１１の内面の隅部１１ｂが多角形状となっている場合、内袋１１の内面に薬液３から圧力が加わると、多角形状の隅部１１ｂに局地的な応力が生じてこの隅部１１ｂ近傍で内袋１１が破損することも考えられる。

これに対して本発明によれば、内袋１１の内面の隅部１１ｂは湾曲面からなるため、搬送中に内袋１１の内面に薬液３から圧力が加わったとしても、湾曲面からなる隅部１１ｂに局地的な応力が生じることはなく、隅部１１ｂ近傍における内袋１１の破損を未然に防ぐことができる。

このような湾曲面をもつ内袋１１の隅部１１ｂは、内袋１１を作製する際、隅部１１ｂが湾曲面をもつようヒートシール部１１ａを形成することにより得られる。

次に外袋１２について更に説明する。外袋１２は内袋１１を外方から囲むものであってかつ金属缶２内に配置されるものであり、内袋１１を外側から保護し、金属缶２からの衝撃が直接内袋１１に伝わらないよう機能する。

このため外袋１２を作製するための外袋用の材料１２Ａとしては、内側から外側へ向かって順次配置されたＰＥ、ＰＰ等のポリオレフィン層、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）層又はナイロン（Ｎｙ）層を含む積層体が用いられる（図５（ｂ）参照）。

このうちＰＥ、ＰＰ等のポリオレフィン層はヒートシール層として機能し、ＰＥＴ層又はＮｙ層は耐衝撃性およびガスバリア性をもつ。

このように外袋１２用の材料１２Ａは、内袋１１用の材料１１Ａに比べて、全体として優れた耐衝撃性およびガスバリア性をもち、他方内袋１１用の材料１１Ａは外袋１２用の材料１２Ａに比べて、低水分量、低ハロゲン量、および低金属イオンの材料からなる。

ところで外袋１２は、外袋１２用の材料１２Ａからなる表面（図４紙面手前側）フィルム、裏面（図４紙面奥側）フィルムを準備し、これらの周縁をヒートシールしてヒートシール部１２ａを形成することにより得られる。

とりわけ薬液収納袋１０の底部において、内袋１１のヒートシール部１１ａと外袋１２のヒートシール部１２ａは一体に形成される。

ところで後述のように、薬液収納容器１内の露点を−５０℃〜−７０℃の範囲まで低下させるよう薬液収納容器１内にドライエアを供給して置換する露点管理が行なわれる。

ここで薬液収納容器１内に供給されるドライエアとしては、露点温度−５０℃〜−７０℃のドライエアが用いられる。

ところで、蓋体５に取付けられた薬液用ノズル１６は、薬液収納袋１０内にドライエアを供給するノズルとしても用いられる。

上述のように、薬液用ノズル１６にはコネクタ（薬液用ノズルコネクタ）１６ａが連結され、このコネクタ１６ａに接続された外部のドライエア供給源３０からドライエアが薬液用ノズル１６を介して薬液用ノズル１６の開口２６ａ、２７ａ、２７ｂから薬液収納袋１０内に供給される（図８参照）。

そして薬液収納袋１０内に供給されたドライエアは、薬液用ノズル空間１５Ａから第１ドライエア排出開口１８内に入り、その後、コネクタ（第１ドライエア排出開口コネクタ）１８ａ、１８ｃから外方へ排出される。

また加圧ガス供給用ノズル１７の先端のコネクタ（加圧ガス供給用ノズルコネクタ）１７ａに対して、外部のドライエア供給源３０からドライエアを供給することもできる。この場合は、コネクタ１７ａに接続されたドライエア供給源３０から加圧ガス供給用ノズル１７を介して加圧ガス空間１５Ｂ内にドライエアが供給される。そして加圧ガス空間１５Ｂ内に供給されたドライエアは注出部材１５の連通孔２２ａ，２２ｂを通って金属缶２と薬液収納袋１０との間の加圧空間８内へ送られる。

ところで、注出部材１５の底面２２には複数の連通孔２２ａ，２２ｂが設けられており、このうち連通孔２２ａは比較的大きな開口をもち、また連通孔２２ｂは比較的小さな開口をもっている。

また蓋体５には、加圧ガス空間１５Ｂからのドライエアを排出する第２ドライエア排出開口１９が設けられ、この第２ドライエア排出開口１９にはコネクタ（第２ドライエア排出開口コネクタ）１９ａ、１９ｃが接続されている。加圧ガス空間１５Ｂから連通孔２２ａ、２２ｂを介して金属缶２と薬液収納袋１０との間の加圧空間８内に送られたドライエアは、主として連通孔２２ａ、２２ｂから加圧ガス空間１５Ｂ内に戻され、ドライエア排出開口１９を介してコネクタ１９ａ、１９ｃから外方へ排出される。

次に図８および図９により、ドライエアの供給ラインと排出ラインについて更に説明する。図８および図９に示すように、薬液用ノズルコネクタ１６ａにはドライエアが供給されるとともに弁３１ａを有する第１供給ライン３１が接続され、加圧ガス供給用ノズルコネクタ１７ａにはドライエアが供給されるとともに弁３２ａを有する第２供給ライン３２が接続され、これら第１供給ライン３１と第２供給ライン３２は３方継手３８を介して合流供給ライン３３に合流している。またこの合流供給ライン３３には、３方継手４２、４１が介在され、また合流供給ライン３３はドライエア供給源３０が接続されている。

図８に示すように、コネクタ１６ａに接続された第１供給ライン３１と、コネクタ１７ａに接続された第２供給ライン３２は、３方継手３８を介して合流供給ライン３３に接続され、この合流供給ライン３３はドライエア供給源３０に接続されているため、きわめて簡単な構造をもつ供給ライン３１、３２、３３を用いてドライエア供給源３０からコネクタ１６ａおよび薬液用ノズル１６を介して薬液収納袋１０内にドライエアを供給することができる。また、コネクタ１７ａおよび加圧ガス供給用ノズル１７を介して加圧ガス空間１５Ｂに対してドライエアを供給することができる。

次に露点計４０の接続構造について述べる。図８および図９に示すように、合流供給ラインに介在された３方継手４１、４２のそれぞれに露点計接続部４１ａおよび露点計接続部４２ａが設けられている。

次に図９により、露点計４０の接続構造を説明する。図９に示すように、３方継手４３の上端に露点計４０が接続され、３方継手４３の下端には露点計接続部４３ｃが接続されている。

また３方継手４３の側方には、弁４３ｂを有する排出管４３ａが取付けられている。

図８および図９において、いずれかのコネクタ１８ｃ、１９ｃが各々対応するコネクタ１８ａ、１９ａから取外され、その後露点計４０は露点計接続部４３ｃを介してコネクタ１８ｃ、１９ｃが取外されたコネクタ１８ａ、１９ａに着脱自在となっている。

同様に合流供給ライン３３に設けられた露点計接続部４１ａ、４２ａのいずれかに対しても露点計４０は露点計接続部４３ｃを介して着脱自在に取付けることができる。

図８および図９に示すように、合流供給ライン３３の露点計接続部４１ａ、４２ａ、コネクタ１８ａ、およびコネクタ１９ａのいずれかに対して露点計４０を露点計接続部４３ｃを介して着脱自在に取付けることができるため、単一の露点計４０を用いて合流供給ライン３３、第１ドライエア排出開口１８、および第２ドライエア排出開口１９うち任意箇所のドライエアの露点を容易に測定することができる。

次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。

まず薬液収納容器１の製造方法について述べる。

図４に示すように、内袋１１の表側（図４紙面手前側）及び裏側（図４紙面奥側）に、外袋１２のフィルムを配置し、袋の左側、右側および底側に対してヒートシールを行う。

次に内袋１１内に、内袋１１の上側開口から注出部材１５を挿入する。

その後、内袋１１の上側開口と外袋１２の上側開口を揃えて一体にヒートシールする。このことにより、内袋１１の上側開口と外袋１２の上側開口が一体にシールされて密閉シール部１３が形成される。同時に注出部材１５のシール固着部２５も、内袋１１および外袋１２と一体にヒートシールされ、注出部材１５は密閉シール部１３により内袋１１と外袋１２に固定される（図４参照）。

次に内袋１１と外袋１２の底部が一体にヒートシールされる。

このようにして、内袋１１と、外袋１２とを有し、注出部材１５が取付けられた薬液収納袋１０が得られる。他方、予め薬液用ノズル１６と、加圧ガス供給用ノズル１７と、コネクタ１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａとが取付けられた蓋体５を準備しておく。次に注出部材１５の区画壁２０により形成された薬液ノズル空間１５Ａ内に薬液用ノズル１６が挿入され、加圧ガス供給用ノズル１７が加圧ガス空間１５Ｂ内に挿入されて、薬液収納袋１０と、蓋体５と、注出部材１５とが一体に組合される。

次に外側容器（金属缶）２内に上方開口２ａから薬液収納袋１０が挿入され、注出部材１５が金属缶２の上方開口２ａに嵌込まれる。この場合、注出部材１５の側面２３が金属缶２の上方開口２ａ内に嵌込まれ、蓋体５はその周縁に設けられたボルト６により金属缶２の上方開口２ａ周縁にボルト締めされる。また、蓋体５に取付けられた加圧ガス供給用ノズル１７は、注出部材１５の加圧ガス空間１５Ｂ内に延びる。

次に薬液収納容器１に対してドライエア置換が施される。

まずドライエア供給開口である薬液用ノズル１６のコネクタ１６ａと、加圧ガス供給用ノズル１７のコネクタ１７ａが第１供給ライン３１および第２供給ライン３２を介して合流供給ライン３３に接続され、この合流供給ライン３３がドライエア供給源３０に接続される。また、コネクタ１８ａおよびドライエア排出開口１９のコネクタ１９ａに、対応するコネクタ１８ｃ、コネクタ１９ｃが各々接続される。次にドライエア供給源３０から合流供給ライン３３、第１供給ライン３１、コネクタ１６ａおよび薬液用ノズル１６を介してドライエアが供給される。そして供給されたドライエアは、薬液収納袋１０内に供給され、薬液収納袋１０内のエアがドライエアに置換される。同時にこのドライエアによって薬液収納袋１０が外側容器２内で膨らむ。

次に薬液収納袋１０内のドライエアは、第１ドライエア排出開口１８を通り、コネクタ１８ａ、１８ｃを介してこのコネクタ１８ａ、１８ｃから外方へ排出される。

同様にドライエア供給源３０から合流供給ライン３３、第２供給ライン３２、コネクタ１７ａおよび加圧ガス供給用ノズル１７を介して加圧ガス空間１５Ｂ内にドライエアが供給される。加圧ガス空間１５Ｂ内に供給されたドライエアは、主として連通孔２２ａ、２２ｂを介して金属缶２と薬液収納袋１０との間の加圧空間８内に供給される。加圧空間８内に供給されたドライエアは加圧空間８内のエアと置換する。

次に加圧空間８内のドライエアは、主として連通孔２２ｂを介して加圧ガス空間１５Ｂ内に戻され、その後第２ドライエア排出開口１９を通り、コネクタ１９ａ、１９ｃを介してこのコネクタ１９ａ、１９ｃから外方へ排出される。

このようにして、薬液収納袋１０内、および金属缶２と薬液収納袋１０との間の加圧空間８内の露点を−５０℃〜−７０℃程度まで低下させ、適切な露点管理を行なうことができる。

このように薬液収納袋１０内および加圧空間８内の露点を低下させることにより、湿気に弱い薬液３であっても、薬液収納容器１０内に問題なく収納することができる。

その後、コネクタ１７ａからコネクタ１７ｃを取り外し第２供給ライン３２を取外してコネクタ１７ａと外部のドライエア供給源３０との連結を解除し、コネクタ１９ａからコネクタ１９ｃを取外しコネクタ１９ａを閉とする。またコネクタ１６ａからコネクタ１６ｃを取り外し第１供給ライン３１が取外され、コネクタ１８ａからコネクタ１８ｃが取外され、コネクタ１８ａを閉とする。

薬液収納袋１０内に薬液３を収納する場合、薬液用ノズル１６のコネクタ１６ａが外部の供給機構（図示せず）に接続され、この供給機構から薬液３が内袋１１内へ供給される。

次に薬液用ノズル１６のコネクタ１６ａが図示しない蓋部により密封され、同様に他のコネクタ１７ａ，１８ａ，１９ａも蓋部により密封される。次に内袋１１と、外袋１２とを有する薬液収納袋１０と、金属缶２とを有する薬液収納容器１が、目的地まで搬送される。その後、搬送先において薬液用ノズル１６のコネクタ１６ａから蓋部が取外され、薬液用ノズル１６のコネクタ１６ａが排出機構（図示せず）に接続される。

次に加圧ガス供給用ノズル１７のコネクタ１７ａから蓋部が取外され、このコネクタ１７ａがＮ_２ガス又はエア供給機構（図示せず）に接続され、加圧ガス供給用ノズル１７から注出部材１５の加圧ガス空間１５Ｂ内にＮ_２ガス又はエアが供給される。加圧ガス空間１５Ｂ内のガスは、注出部材１５の連通孔２２ａから金属缶２と薬液収納袋１０との間の加圧空間８内に送られ、薬液収納袋１０を外方から加圧する。このことにより、薬液収納袋１０の内袋１１内に収納されていた薬液３を薬液用ノズル１６から排出機構側へ排出することができる。この間、Ｎ_２ガスの供給量は圧力計に示されるＮ_２ガスの圧力をみながら調整することができる。

以上のように本実施の形態によれば、薬液用ノズル１６はノズル本体２６と、ノズル本体２６の下端に設けられたノズルキャップ２７とを有している。このノズルキャップ２７は全体として湾曲形状をなしているので、薬液用ノズル１６の下端によって薬液収納袋１０を破損することはない。またノズルキャップ２７が滑り性の高いＰＴＦＥ製となっている場合、薬液収納袋１０の破損をより確実に防止できる。さらにまた薬液用ノズル１６は、ノズル本体２６の下方側壁に複数の開口２６ａを有するとともに、ノズルキャップ２７の円筒状側壁２７Ａに複数の開口２７ａを有し、あるいはノズルキャップ２７の底面２７Ｂに複数の開口２７ｂを有する。

このため薬液用ノズル１６を用いて薬液３を排出する際、薬液用ノズル１６の複数の開口２６ａ、２７ａ、２７ｂのいずれかから薬液用ノズル１６内に薬液３を流入することができ、薬液用ノズル１６の外周に加わる圧力を分散できる。従って薬液用ノズル１６の特定の部位に薬液収納袋１０が強く押付けられることはなく、薬液収納袋１０の破損を防止できる。また本実施の形態によれば、単一の露点計４０を用いて合流供給ライン３３、第１ドライエア排出開口１８および第２ドライエア排出開口１９のうち任意箇所のドライエアの露点を容易に測定することができる。また薬液収納袋１０内に薬液を供給する前に、薬液収納袋１０内および金属缶２と薬液収納袋１０との間の加圧空間８内をドライエアにより置換し、このことにより薬液収納袋１０および加圧空間８内の露点を−５０℃〜−７０℃まで低下させる露点管理を行なうことができる。このため、湿気に弱い薬液３であっても、薬液収納袋１０内に問題なく収納して使用することができる。

また薬液収納用の薬液収納容器１が、金属缶２と、金属缶２内に配置され薬液３を収納する内袋１１および内袋１１を囲む外袋１２とを有する薬液収納袋１０と、薬液収納袋１０に取付けられた注出部材１５とを備えている。このため金属缶２内に薬液３を直接収納する装置に比べて、金属缶２を頻繁に洗浄する必要はなく、高価な洗浄コストを低減することができる。

さらにまた、注出部材１５を覆って、金属缶２の上方開口２ａを密閉する蓋体５が設けられ、この蓋体５に注出部材１５を貫通する薬液用ノズル１６と加圧ガス供給用ノズル１７とが予め取付けられている。このため予め薬液収納袋１０に注出部材１５を取付けておき、次に注出部材１５に薬液用ノズル１６を貫通させる。

そして金属缶２の上方開口２ａに蓋体５を嵌込み固定するだけで、容易かつ簡単に薬液用ノズル１６と加圧ガス供給用ノズル１７とを設置することができる。

さらにまた、内袋１１の材料１１Ａは低水分量、低ハロゲン量、および低イオン量の材料からなるので、内袋１１内に収納された薬液３が劣化したり、内袋１１から悪影響を受けることはない。

さらにまた外袋１２の材料１２Ａは、耐衝撃性およびガスバリア性に優れているので、内袋１１を外側から保護し、搬送中に金属缶２からの衝撃が内袋１１に伝わらないようにすることができ、かつ内袋１１内の薬液３側へ外部の雰囲気が侵入することを未然に防ぐことができる。

＜本実施の形態の変形例＞
次に本実施の形態の変形例について以下説明する。
上記実施の形態において、外側容器２に蓋体５が設けられ、薬液用ノズル１６がこの蓋体５により保持されている例を示したが、薬液用ノズル１６が注出部材１５を介して薬液収納内袋１０内に挿入されている限り、必ずしも蓋体５により保持されている必要はない。

例えば、薬液用ノズル１６を注出部材１５により固定保持してもよい。そしてこの注出部材１５を外側容器２に固定することにより、注出部材１５および薬液用ノズル１６の双方を外側容器２に固定することができる。

１ 薬液収納容器
２ 金属缶
２ａ 上方開口
３ 薬液
５ 蓋体
６ ボルト
８ 加圧空間
１０ 薬液収納袋
１１ 内袋
１１ａ ヒートシール部
１１ｂ 隅部
１２ 外袋
１２ａ ヒートシール部
１３ 密閉シール部
１５ 注出部材
１５Ａ 薬液用ノズル空間
１５Ｂ 加圧ガス空間
１５Ｄ 連結口
１６ 薬液用ノズル
１６ａ コネクタ
１７ 加圧ガス供給用ノズル
１７ａ コネクタ
１８ 第１ドライエア排出開口
１８ａ コネクタ
１９ 第２ドライエア排出開口
１９ａ コネクタ
２０ 円筒状区画壁
２２ 底面
２２ａ、２２ｂ 連通孔
２５ シール固着部
２６ ノズル本体
２６ａ 開口
２７ ノズルキャップ
２７ａ 追加開口
２７Ａ 円筒状側壁
２７Ｂ 底面
２７Ｃ 湾曲面
３０ ドライエア供給源
３１ 第１供給ライン
３２ 第２供給ライン
３３ 合流供給ライン
３５ 第１排出ライン
３６ 第２排出ライン
４０ 露点計
４１ 露点計接続部
４２ 露点計接続部
４３ 露点計接続部
４４ 露点計接続部

Claims (8)

1. 上方開口を有する外側容器と、
   前記外側容器内に配置されるとともに、上端部に注出部材が設けられ、内部に薬液が収納される薬液収納袋とを備える薬液収納容器であって、
   前記注出部材は前記外側容器の前記上方開口に配置され、
   前記外側容器の前記上方開口を密閉する蓋体が前記注出部材を覆って設けられ、
   前記蓋体には、前記注出部材内を通過するとともに薬液を排出する薬液用ノズルと前記注出部材内に加圧ガスを供給する加圧ガス供給用ノズルとが設けられ、
   前記薬液用ノズルは、ノズル本体と、このノズル本体の下端に配置され、湾曲面を有する先端部とを有し、
   前記注出部材内は、前記薬液用ノズルが通過するとともに前記薬液収納袋内に連通する薬液用ノズル空間と加圧ガスが充てんされる加圧ガス空間とに区画され、前記注出部材には、前記外側容器と前記薬液収納袋との間の加圧空間と前記加圧ガス空間とを連通する連通孔が形成され、
   前記蓋体に前記薬液用ノズルに接続された薬液用ノズルコネクタと、前記薬液用ノズル空間に連通する第１ドライエア排出開口コネクタと、前記加圧ガス空間に連通する加圧ガス供給用ノズルコネクタおよび第２ドライエア排出開口コネクタとが形成され、
   前記薬液用ノズルコネクタおよび前記加圧ガス供給用ノズルコネクタは各々供給ラインを介して、ドライエア供給源に接続可能となることを特徴とする薬液収納容器。
2. 前記ノズル本体は金属を含み、前記先端部は合成樹脂を含むことを特徴とする請求項１記載の薬液収納容器。
3. 前記ノズル本体および前記先端部は金属を含むことを特徴とする請求項１記載の薬液収納容器。
4. 前記ノズル本体および前記先端部は合成樹脂を含むことを特徴とする請求項１記載の薬液収納容器。
5. 前記ノズル本体は、合成樹脂を含み、前記先端部は金属を含むことを特徴とする請求項１記載の薬液収納容器。
6. 前記先端部に開口が形成されていることを特徴とする請求項１記載の薬液収納容器。
7. 薬液用ノズルのノズル本体側壁に複数の開口が形成されていることを特徴とする請求項１記載の薬液収納容器。
8. 各供給ライン、前記第１ドライエア排出開口コネクタ、および前記第２ドライエア排出開口コネクタは、露点計を接続する露点計接続部に接続可能となっていることを特徴とする請求項１記載の薬液収納容器。

Images