JP5839530B1 - 磁性ワイヤ整列装置および磁性ワイヤ整列方法 - Google Patents
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Abstract
Description
次に、磁性ワイヤ径に比べて十分大きく広くて深い溝に磁性ワイヤを埋設して樹脂で固定し、素子毎の磁性ワイヤの両端を一度の工程でメッキ接合すると同時に検出コイルをフォトリソグラフィによる微細加工技術で作製した特許文献2の方法は、生産性に優れており、しかもひねり応力の無い状態で固定するのでセンサ出力も良好である。しかしコイルピッチを微細化するのは困難であった。
磁性ワイヤを直接基板上に配置する特許文献3の方法は、コイルピッチを微細化する点では特許文献2の方法より優れているが、溝による水平方向の拘束力がないため磁性ワイヤの仮止めが不安定で磁性ワイヤの蛇行を許容し素子間の特性ばらつきが増加してしまっている。また配置した磁性ワイヤは位置ずれし易く、生産上のトラブルの原因となっている。さらに樹脂で固定する際、樹脂の膜厚が5〜10μmと厚くなり、コイルピッチを30μm以下に微細化するのは困難であった。
従来の磁性ワイヤ整列方法ではコイルの微細化および磁性ワイヤの他数本配置は困難であった。コイルピッチの微細化のためには基板面を基準にコイルの凹凸を小さくする必要があるので、磁性ワイヤを微小な溝内に整列配置して、磁性ワイヤ下部だけが溝内に埋設し、基板の凹凸を小さくする磁性ワイヤ整列方法の開発が求められている。
ワイヤ供給部、ワイヤ引出張り部とワイヤ位置決めとは機械装置に設けられた基準線、基準面を基準に所定の精度で組み立て、ワイヤ位置決め部の位置決めマーカーの所定の位置精度を機械的な方法で保証した装置であった。
しかし、MI素子のマイクロサイズ化、コイルの微細化や素子内に多数本の磁性ワイヤを配置するためには、ひねり応力など有害な内部応力を発生させないことを前提に、磁性ワイヤを微細溝にそって、多数本の整列配置を実現し、しかも安定で位置ずれのトラブルが発生しない磁性ワイヤ整列装置と磁性ワイヤ整列方法の開発が求められている。
磁性ワイヤの特徴として、磁性ワイヤは応力に敏感であることから磁気特性に大きな影響を与えるため、ひねり応力などの不均一性の内部応力は取り除き、内部応力の一様な状態が必須である。
なお、基準線である磁性ワイヤを機械的に拘束するガイドからなる基軸線は、上述の溝および溝と同等の機能を有して並列する微細なポストや長手方向に伸びた凸形状などでもよい。
基板固定台を載置する基板固定台送り装置は、磁性ワイヤの長手方向に対して±1μmの精度で稼働する左右方向の横送り機構と上下方向の昇降機構を有している。左右方向の横送り機構により、ワイヤ基準線と基板側の基軸線の両者のずれを±1μmの精度で検出して、直径10μmのワイヤを幅20μmの溝に配置することができる。
次に、回転機構は、ワイヤ基準線と基軸線である溝線とが平行になるように調整するものである。
基板固定台送り装置は、素子間隔ピッチは200μmから400ミクロンm程度と大きく移動し、ワイヤ間隔ピッチは50μmから100ミクロンm程度の小さな移動、およびコイル内磁性ワイヤの間隔は、磁性ワイヤ径を最小に20μm程度と微細な移動を可能にする。しかも基板全体に磁性ワイヤを整列させる必要があるので基板の大きさ、60mmから200mm程度の移動距離を±1μmの精度で移動する能力をもつ基板固定台送り装置を採用する必要がある。ただし、供給ワイヤを多数本とする場合、基板固定台の移動距離は磁性ワイヤ本数で除した距離でよい。
樹脂の塗布については、基板上の全ての磁性ワイヤが固定できるようにすることができれば、その塗布方法を上記の方法に限定するものではない。
磁力式ワイヤ固定治具としては、上記の磁石に限定されものでなく、磁力を発生する装置であるならば電磁石などの装置でよい。
次に、磁性ワイヤの切断機は、機械的切断機やレーザ切断機など各種の方法を適用することができる。
併せて、上記のワイヤ整列においては、磁性ワイヤのひねり応力は残存されていないために磁気特性への影響はなく、超高感度マイクロ磁気センサ素子の実現に寄与する。
また、MI素子内の微小間隔で磁性ワイヤを多数本配置することができ、MIセンサの高感度化と測定レンジの拡大を可能とする効果を有する。
さらに、磁性ワイヤと磁性ワイヤを巻回するコイルとからなる磁気センサ、例えばFGセンサや
GSRセンサにおいても同等の効果が期待される。
第1実施形態の磁性ワイヤ整列装置は、その構成を図1に示す。
磁性ワイヤ整列装置1は、ワイヤボビン11、ワイヤリール12、ワイヤ張力負荷装置13およびワイヤ固定チャック14からなるワイヤ供給装置部10と、ワイヤ引出チャック21、ワイヤ引出中間固定チャック22、ワイヤ整列用基板23、基板固定台24およびワイヤ切断機25からなるワイヤ整列装置部20と、磁性ワイヤ50と基板23の基軸線を一致させるマイクロスコープ31および磁性ワイヤ50を基板23 に磁力で吸着させる磁石を埋設する基板固定台24と基板固定台24を載せて基板固定台24を左右に横送りする横送り機構321と昇降機構322と回転機構323からなる基板固定台送り装置32を備えるワイヤ位置決め装置部30と、ワイヤ引出、ワイヤ引出チャック21による固定とワイヤ中間固定チャック22による固定からなる両端固定、基板固定台24の調整位置への上昇とワイヤの磁力固定、ワイヤ中間固定チャック22のワイヤ供給リール12の側での切断(ワイヤ固定チャック14による固定位置とワイヤ中間固定チャック22による固定位置の間での切断をいう。)、基板固定台24の下降および横方向への横方向への移動を連続的に繰り返す制御装置部40とから構成されている。
この基板23は基板固定台24 に取り付ける際には、溝方向と基板固定台の左右送り方向が直角かつ溝方向とワイヤ張り方向が並行になるように取り付けることが重要である。
基板固定台24を載置する基板固定台送り装置32の送り能力については、基板固定台24の左右移動における移動距離は左右に基板23の幅以上、また基板固定台24の昇降移動は基板固定台24のサイズ変更を考慮して20mmとし、いずれの移動も±1μmの制御能力を有する制御装置部40を使って精度を確保する。
厚み3mmの薄型の直方体形状の磁石をワイヤ長手方向に垂直に配置し、交互にN極、S極に磁化し、N極着磁磁石242とS極着磁磁石243からなる複合磁石を鉄ヨーク244に埋設させ、その上に薄膜の非磁性材料からなる非磁性薄膜245でカバーする。この磁石241の上に基板23を固定する。この磁石241の磁力で切断後の磁性ワイヤ50を基板上の溝の中に維持固定する。
その後、ワイヤ中間固定チャック22のワイヤ供給リール12の側で機械的切断機25により磁性ワイヤ50を切断する。次いで、磁性ワイヤ50を固定しているワイヤ引出チャック21とワイヤ中間固定チャック22の両端固定を開放して磁性ワイヤ50をフリーな状態にする。この時に磁性ワイヤ50は基板固定台24に埋設されている磁石の磁力により基板23の溝底に吸着されて溝からはみ出さないように維持固定される。
なお、マイクロスコープの設置についての振動対策が重要であることは言うまでもない。
第2実施形態は、第1実施形態において、ひねり応力のない状態の磁性ワイヤを基板上に整列させるための方法に関するものである。
第1実施形態の装置を使って、磁性ワイヤをワイヤ引出、両端固定、調整位置への基板固定台の上昇、切断、基板固定台の下降および横方向への移動、そして再びワイヤ引出と連続的にワイヤ整列操作を繰り返して基板全面に磁力を活用して仮止めする。
この時、磁性ワイヤに十分大きな張力を負荷した状態で磁性ワイヤを両端固定し、基板固定台内の磁力により磁性ワイヤを基板上に吸着する。
両端固定および基板上に吸着された磁性ワイヤの内部応力を磁性ワイヤの長手方向に一様にした状態で磁性ワイヤをワイヤ中間固定チャックのワイヤ供給リール側で切断する
その後、ワイヤ中間固定チャックとワイヤ引出チャックの両者を開放して磁性ワイヤを拘束のない状態において磁性ワイヤの内部応力を解放することにより磁性ワイヤのひねり方向の応力を取り除いた状態の磁性ワイヤを基板上の溝と基板固定台内の磁力とにより仮止めして維持する。
次いで、磁性ワイヤを仮止め維持した基板を固定している基板固定台を基板固定台送り装置の上から次工程のために横方向に移動させる。
次工程において仮止め維持した磁性ワイヤの全面に樹脂を塗布し固化させて磁性ワイヤのひねり応力のない状態で磁性ワイヤを基板に固定する。
磁石については、ワイヤ整列作業から樹脂塗布作業の間に磁性ワイヤを溝に維持するのに必要な磁力を確保した上で、基板固定台をできるだけ軽く小さくするために磁石も小さく設計することが望ましい。基板固定台の微小な移動を確保するために重要である。
なお、樹脂による磁性ワイヤの固定については、基板全面に塗布すると同時にワイヤ上部にも塗布できる適度な粘性を持つ樹脂を滴下することが重要である。磁性ワイヤと溝との表面張力に着目して溝内のワイヤ底面位置まで塗布すると同時に、ワイヤ上面まで全部塗布して磁性ワイヤが十分な強度で固定されていることが望ましい。しかし、ワイヤ上部に過度に樹脂が塗布されると、微細コイル形成を阻害するので望ましくない。
第3実施形態は、第1実施形態において、シリコン基板に形成する単位MI素子の中に多数本の磁性ワイヤを整列させるための方法に関するものである。この方法は、制御装置部のプログラムとして構成される。
基板に溝加工するに当たっては、基板に形成するMI素子の間隔をユニットとして、MI素子内に配置する磁性ワイヤ整列本数だけの溝を加工して、それを繰り返して基板全面に溝加工を施す。溝のサイズはできるだけ小さい方が望ましいが、磁性ワイヤを挿入するので幅では磁性ワイヤ直径より少し大きくし、深さは磁性ワイヤ半径より深くする。現在使用している磁性ワイヤの直径が10〜20μmであることを考慮すると具体的には溝の幅は15〜30μm、深さは10〜20μmが適切である。
一つのコイル内に組み込む磁性ワイヤの整列については、磁性ワイヤの直径10μm程度を最小にして、コイル内のワイヤ本数に応じて調整された幅を持つ一つの溝に沿って整列する。コイルの間隔については、両側にコイル配線があるので電気絶縁性を確保するためには、溝間隔ピッチは30〜100μmが適切である。
現在市販品のMI素子は、長さ0.6mm×幅0.4mmでコイル巻き数は17回である。本技術で1/3のサイズ(長さ0.2mmで幅0.4mm)のMI素子を製作する場合、長さが0.2mmの磁性ワイヤを、幅方向に幅ピッチ間隔を50μmで4本整列配置する。磁性ワイヤの合計長さは、0.6mmから0.8mmへと増大する。コイルの微細化を組み合わせた場合、コイル巻き数は100回でセンサ出力の増加に寄与する。
また、コイル内に磁性ワイヤを2本挿入する場合には、磁性ワイヤ本数が合計8本となり、センサ出力は倍増する。同時に磁性ワイヤ長を0.6mmから0.2mmへ短くすると測定レンジは、12ガウスから60ガウスへと増加することができる。
さらに、磁性ワイヤ径の1/2程度の浅い溝に沿って磁性ワイヤを整列すると、基板面の凹凸が半減する。フォロリソグラフィーの線幅は、ほぼ基板面の凹凸の二乗に反比例するので、本技術を使うと4倍以上の微細なコイルピッチの形成を容易に行なうことができる。したがって、コイル巻き数は4倍以上の増加となって感度が5倍以上と大幅に向上することも可能になる。
磁性ワイヤ整列装置1は、ワイヤボビン11、ワイヤリール12、ワイヤ張力負荷装置13およびワイヤ固定チャック14からなるワイヤ供給装置部10と、ワイヤ引出チャック21、ワイヤ引出中間固定チャック22、ワイヤ整列用基板23、基板固定台24およびワイヤ切断機25からなるワイヤ整列装置部20と、ワイヤ50と基板23の基軸線を一致させるマイクロスコープ31およびワイヤ50を基板23 に磁力で吸着させる磁石241を埋設する基板固定台24と基板固定台24を載せて基板固定台24を左右に横送りする横送り機構321と昇降機構322と回転機構からなる基板固定台送り装置32を備えるワイヤ位置決め装置部30と、ワイヤ引出、両端固定、基板固定台24の調整位置への上昇とワイヤの磁力固定、切断、基板固定台24の下降および横方向への移動を連続的に繰り返す制御装置部40とから構成した。
それをマイクロスコープ31で確認し、これらの制御数値を制御装置部40に記憶させた後、連続運転を行なった。連続運転では、ワイヤ固定チャック14とワイヤ引出中間固定チャック22との間でワイヤ50をワイヤ切断機25により切断し、切断後はワイヤ引出中間固定チャック22とワイヤ引出チャック21との両端固定を開放して磁性ワイヤ50をフリーな状態にして溝に整列固定させた。この時ワイヤ50は基板固定台24に埋設された磁石241の磁力で溝からはみ出さないように固定できた。
以上の実施結果から分かるように、本実施例は、磁性ワイヤを微細な間隔で基板上に整列取り付けができて、MI素子のマイクロサイズ化を実現することができ、その工業的意義は非常に大きいものである。
直径10μmのガラス被覆付き(厚み1μm)の磁性ワイヤ50を使用して、ワイヤ張力負荷装置13における荷重を6gとし、ワイヤ張力を76kg/mm2とした。この大きな張力で内部歪を一様化した後、ワイヤ両端を固定して切断し、両端を開放して磁性ワイヤ50は応力フリーな状態で磁石241の磁力で仮止めされる。
基板23にワイヤ整列された基板固定台24は、磁性ワイヤ整列装置1から次工程に移動させた。次工程では仮止め維持した基板全面に樹脂を塗布して本固定した。この状態のひねり応力の残存については、MIセンサの出力を測定し左右対称の直線性を確認した。磁性ワイヤのひねりがあるとMIセンサの出力が対称で無くなる。
樹脂固定は、粘性を調整した樹脂を滴下して基板全面に塗布した後、固化処理を施した。ここで樹脂の粘性は、液滴を滴下後に、ワイヤの上部の一部が露出する程度になるように調整した。
基板固定台24の左右送りプログラムでは、ピーンと張った磁性ワイヤ50を基準線にして、基板側の溝231との位置合わせは、実施例1と同様の手順で行なうが、位置決めが完了した後の左右送りの仕方を、加工された溝に沿って、20μm間隔、60μm間隔、および300μm間隔の3つの異なるピッチ送り、基板全面に磁性ワイヤ50を張るように変更した。
また、FGセンサやGSRセンサの素子の磁性ワイヤ整列装置として、あるいは磁性ワイヤ整列方法としても期待される。
10:ワイヤ供給装置部 11:ワイヤボビン 12:ワイヤリール 13:ワイヤ張力負荷装置
14:ワイヤ固定チャック
20:ワイヤ整列装置部 21:ワイヤ引出チャック 22:ワイヤ引出中間固定チャック
23:ワイヤ整列用基板 231:溝 232:単位素子 233:基板電極
234:基板側下コイル配線 24:基板固定台 241:磁石 242:N極着磁磁石
243:S極着磁磁石 244:鉄ヨーク 25:ワイヤ切断機
30:ワイヤ位置決め装置部 31:マイクロスコープ 32:基板固定台送り装置
321:横送り機構 322:昇降機構 323:回転機構
40:制御装置部
50:磁性ワイヤ
Claims (7)
- ワイヤボビン、ワイヤリール、ワイヤ張力負荷装置およびワイヤ固定チャックからなるワイヤ供給装置部と、
ワイヤ引出チャック、引出張り状態のワイヤの中間を固定するワイヤ中間固定チャック、ワイヤ整列用基板、前記基板を固定する基板固定台および切断機からなるワイヤ整列装置部と、
前記引出張り状態のワイヤからなる基準線と、前記ワイヤを機械的に拘束するガイドからなる前記基板面上の基軸線との位置ずれ状態を検知する検出装置および前記両者の位置ずれを横送り、昇降、回転により調整する基板固定台送り装置からなるワイヤ位置決め装置部であって、前記基板固定台は前記ワイヤを前記基軸線上に磁力により吸着させるための磁力発生装置を埋設するとともに前記基板を固定チャックできるホルダーから構成されているワイヤ位置決め装置部と、
ワイヤ引出、前記ワイヤ中間固定チャックと前記引出チャックによる両端固定、前記基板固定台の調整位置への上昇、切断、前記基板固定台の下降および前記基板固定台の次工程への移動を連続的に繰り返す制御装置部とから構成されている磁性ワイヤ整列装置において、
前記両端固定および前記基板上に吸着された前記ワイヤの内部応力を前記ワイヤの長手方向に一様にした状態で、前記ワイヤ固定チャックと前記ワイヤ中間固定チャックの中間でワイヤを切断し、その後、前記ワイヤ中間固定チャックと前記ワイヤ引出チャックの両者を解放してワイヤを拘束のない状態において、前記ワイヤの内部応力を解放することにより前記ワイヤのひねり方向応力を取り除いた状態の前記ワイヤを基板上のガイドと基板固定台内の磁力でもって仮止め維持することを特徴とする磁性ワイヤ整列装置。 - 請求項1に記載の磁性ワイヤ整列装置において、
前記磁力発生装置は、直方体磁石からなり、前記ワイヤの長手方向に垂直に配置し、交互にN極、S極に磁化し、それらを組み合わせた複合磁石を鉄ヨークに埋設した磁石から構成されていることを特徴とする磁性ワイヤ整列装置。 - 請求項1から請求項2のいずれか1項に記載の磁性ワイヤ整列装置において、
前記基軸線は、水平方向のぶれを防止できる溝から構成されていることを特徴とする磁性ワイヤ整列装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の磁性ワイヤ整列装置において、
前記切断機は、機械式切断機から構成されていることを特徴とする磁性ワイヤ整列装置。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の磁性ワイヤ整列装置において、
前記ワイヤ供給装置部は、多数個のワイヤを同時に供給できるように構成されていることを特徴とする磁性ワイヤ整列装置。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の磁性ワイヤ整列装置において、
前記制御装置部は、ワイヤを素子間の間隔ピッチと素子内の間隔ピッチの組み合わせおよびコイル内のワイヤ間隔ピッチからなるピッチ送りの組み合わせを制御するプログラムから構成されていることを特徴とする磁性ワイヤ整列装置。 - 請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の磁性ワイヤ整列装置を使用して磁性ワイヤをワイヤ引出、両端固定、調整位置への基板固定台の上昇、切断、基板固定台の下降および次工程への移動、そして再びワイヤ引出と連続的にワイヤ整列操作を繰り返して基板全面に磁力を活用して仮止めするワイヤ整列方法において、
前記ワイヤに張力を負荷した状態で前記ワイヤを両端固定すると同時に前記基板固定台内の磁力により前記ワイヤを基板上に吸着し、
前記両端固定および基板上に吸着された前記ワイヤの内部応力を前記ワイヤの長手方向に一様にした状態で前記ワイヤをワイヤ中間固定チャックのワイヤ供給リール側で切断し、
その後、前記ワイヤ中間固定チャックとワイヤ引出チャックの両者を解放してワイヤを拘束のない状態において前記ワイヤの内部応力を解放することにより前記ワイヤのひねり方向の応力を取り除いた状態の前記ワイヤを前記基板上の前記ガイドと前記基板固定台内の磁力とにより仮止めして維持し、
次工程において仮止め維持した前記ワイヤの全面に樹脂を塗布し固化させて前記ワイヤのひねり応力のない状態で前記ワイヤを前記基板に固定することを特徴とするワイヤ整列方法。
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