JP5660660B2 - 磁気抵抗評価装置 - Google Patents
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Description
図1乃至図5は、本発明の実施の形態の磁気抵抗評価装置を示している。
図1乃至図5に示すように、磁気抵抗評価装置10は、支持台11と載置台12と磁場発生手段13とプローブ14とを有している。
磁気抵抗評価装置10は、載置台12の上に磁気抵抗素子を有するウエハを載置して使用される。載置台12にウエハを載置したならば、磁場発生手段13の各電磁石24により磁界を発生させる。このとき、各電磁石24の芯から連続して伸びた各磁路延長部材25の先端25aが、ウエハの両面側でウエハとの間に隙間をあけてウエハを挟んで対向するよう配置されているため、各磁路延長部材25の先端25aが異なる極性になるよう電磁石24に電流を流すことにより、ウエハの表面に対して垂直方向の磁界を容易に発生させることができる。
11 支持台
12 載置台
13 磁場発生手段
14 プローブ
15 ケーシング
21 脚部
22 台部
23 高さ調整部材
24 電磁石
25 磁路延長部材
26 接続部材
27 支持アーム
Claims (3)
- 磁気抵抗素子を有するウエハを載置可能に設けられた載置台と、磁場発生手段とを有し、
前記磁場発生手段は、前記載置台に載置されたウエハの両面側にそれぞれ2対の電磁石と、前記電磁石の各対毎に、それぞれの電磁石の芯から伸びて1本に収束するよう設けられた1対の磁路延長部材とを有し、各対のそれぞれの電磁石の中心軸が互いに垂直に交わるよう配置され、各磁路延長部材の先端が、前記載置台に載置されたウエハの両面側で前記ウエハの表面に対し所定の間隔をあけて配置されるとともに、前記ウエハの反対面側に配置された対応する磁路延長部材の先端に対して前記ウエハを挟んで対向するよう配置されていることを、
特徴とする磁気抵抗評価装置。 - 前記載置台に載置されたウエハの一方の面側の各磁路延長部材の先端の間から前記ウエハに電気的に接触可能に伸びるプローブを有することを、特徴とする請求項1記載の磁気抵抗評価装置。
- 前記磁場発生手段は、前記載置台に載置されたウエハに平行な基準面、および、前記基準面に垂直かつ互いに垂直な2つの面に対して面対称を成す構成から成ることを、特徴とする請求項1または2記載の磁気抵抗評価装置。
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JP2010007842A JP5660660B2 (ja) | 2010-01-18 | 2010-01-18 | 磁気抵抗評価装置 |
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JP2010007842A JP5660660B2 (ja) | 2010-01-18 | 2010-01-18 | 磁気抵抗評価装置 |
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